CN109468587B - 一种掩膜板安装架及掩膜板组件 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜板安装架及掩膜板组件，涉及掩膜板技术领域，用于解决相关技术中的掩膜板安装架不能很好地适应掩膜板的宽度的改变的问题而发明。该掩膜板安装架，包括框体和多个第一固定单元，多个第一固定单元均设置于框体上并且沿第一方向相隔排布，框体具有开口，第一固定单元包括两个均与框体活动连接的第一子固定单元，在第二方向上，两个第一子固定单元分别位于开口的两侧并且相对设置；第一子固定单元包括第一本体以及设置于第一本体上的第一连接部，第一连接部用于与掩膜板相连接，在第一方向、第二方向上，第一连接部相对框体的位置均可调节。本发明可用于掩膜板的张网调节。

Description

一种掩膜板安装架及掩膜板组件

技术领域

本发明涉及掩膜板技术领域，尤其涉及一种掩膜板安装架及掩膜板组件。

背景技术

有机电致发光(OLED，Organic Light-Emitting Diode)器件具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴的应用技术。在OLED器件的生产过程中，真空蒸镀是一个重要工艺，OLED有机蒸镀是利用高精度掩膜板作为模具，有机材料高温挥发后以材料分子状态透过掩膜板上的有效开口区内的掩膜开口蒸镀到背板玻璃上。其中，掩膜板的平坦度直接影响蒸镀的效果，面板的分辨率越高，所需的掩膜板也就越精细，进而对掩膜板的平坦度要求也就越高。

为了保证掩膜板03的平坦度，相关技术中提供了一种掩膜板03安装架，如图1所示，包括框体01和拉伸单元02，框体01具有开口011，拉伸单元02包括两个均与框体01活动连接的第一子拉伸单元021，在第一方向X上，两个第一子拉伸单元021分别位于开口011的两侧且相对设置，两个第一子拉伸单元021分别与掩膜板03的两端一一对应连接，每个第一子拉伸单元021在第一方向X上相对框体01的位置均可以调节。在蒸镀后，如果掩膜板03出现松弛、下垂，可以通过调节两个第一子拉伸单元021在第一方向X上相对框体01的位置，来使掩膜板03重新张紧，从而可以使掩膜板03与蒸镀基板完全贴合。

掩膜板03在使用一段时间后需要更换，然而，上述掩膜板03安装架不能很好地适应更换不同宽度的掩膜板03，比如当更换后的掩膜板03的宽度较大时，这样使得相邻的两个掩膜板03之间的距离过小，那么相邻的两个掩膜板03的边缘在外力的作用下(比如运送过程中的振动)很容易重叠接触而造成掩膜板03的损坏；当更换后的掩膜板03的宽度较小时，这样使得相邻的两个掩膜板03之间的距离过大，从而使得基板上蒸镀区域减少，使得一块基板所能切割出的显示面板的数量减少，大大降低了基板的面积利用率。

发明内容

本发明实施例提供一种掩膜板安装架及掩膜板组件，用于解决相关技术中的掩膜板安装架不能很好地适应掩膜板的宽度的改变的问题。

为达到上述目的，第一方面，本发明实施例提供了一种掩膜板安装架，包括框体和多个第一固定单元，多个所述第一固定单元均设置于所述框体上并且沿第一方向相隔排布，所述第一方向为与所述框体的厚度方向相垂直的方向，所述框体具有开口，针对每个所述第一固定单元，所述第一固定单元包括两个均与所述框体活动连接的第一子固定单元，在第二方向上，两个所述第一子固定单元分别位于所述开口的两侧并且相对设置，所述第二方向为与所述框体的厚度方向、所述第一方向均相垂直的方向；针对所述第一固定单元中的每个所述第一子固定单元，所述第一子固定单元包括第一本体以及设置于所述第一本体上的第一连接部，所述第一连接部用于与掩膜板相连接，在所述第一方向、所述第二方向上，所述第一连接部相对所述框体的位置均可调节。

进一步地，所述第一子固定单元还包括第一调节螺杆以及第二调节螺杆，所述第一本体在所述第一方向、所述第二方向上均可相对所述框体移动；所述第一调节螺杆沿所述第二方向延伸，并且均与所述框体、所述第一本体可转动连接，当所述第一调节螺杆转动时，所述第一本体可沿所述第二方向相对所述框体运动；所述第二调节螺杆沿所述第一方向延伸，并且均与所述框体、所述第一本体可转动连接，当所述第二调节螺杆转动时，所述第一本体能够沿所述第一方向相对所述框体运动。

更进一步地，所述框体上开设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔沿所述第二方向延伸，所述第一调节螺杆配合穿过所述第一螺纹孔后与所述第一本体可转动卡接，以使所述第一调节螺杆与所述第一本体在所述第二方向上的位置相对固定；所述框体上开设有滑槽，所述滑槽沿所述第二方向延伸，所述第一本体上开设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔沿所述第一方向延伸，所述第二调节螺杆配合穿过所述第二螺纹孔后伸入到所述滑槽中，所述第二调节螺杆与所述滑槽滑动配合并且还与所述滑槽可转动卡接，以使所述第二调节螺杆与所述框体在所述第一方向上的位置相对固定。

进一步地，所述第一连接部为夹紧机构，所述夹紧机构包括第一夹体和第二夹体，所述第一夹体、所述第二夹体均设置于所述第一本体上，在所述框体的厚度方向上，所述第一夹体和所述第二夹体之间可相对移动，以使所述夹紧机构在夹紧状态和松开状态之间切换。

进一步地，在所述框体的厚度方向上，所述第一连接部相对所述框体的位置可调节。

更进一步地，所述第一子固定单元还包括第三调节螺杆，所述第一本体在所述第一方向、所述第二方向上均可相对所述框体移动；所述第一本体包括第一子本体和第二子本体，在所述框体的厚度方向上，所述第一子本体与所述框体的位置相对固定，并且所述第二子本体可相对所述框体移动；所述第一连接部为夹紧机构，所述夹紧机构包括第一夹体和第二夹体，所述第一夹体设置于所述第一子本体上，并且在所述框体的厚度方向上可相对所述第一子本体移动，所述第二夹体固定设置于所述第二子本体上；所述第三调节螺杆包括第一子螺杆和第二子螺杆，所述第一子本体上开设有第三螺纹孔和第四螺纹孔，所述第三螺纹孔、所述第四螺纹孔均沿所述框体的厚度方向延伸，所述第一子螺杆配合穿过所述第三螺纹孔后与所述第一夹体可转动卡接，以使所述第一子螺杆与所述第一夹体在所述框体的厚度方向上的位置相对固定；所述第二子螺杆配合穿过所述第四螺纹孔后与所述第二子本体可转动卡接，以使所述第一子螺杆与所述第二子本体在所述框体的厚度方向上的位置相对固定。

更进一步地，所述第一子固定单元还包括第二调节螺杆；所述框体包括框体本体和插板，所述框体本体上开设有插槽，所述插板配合伸入到所述插槽中并且可沿所述框体的厚度方向相对所述插槽移动，所述插板上开设有滑槽，所述滑槽沿所述第二方向延伸；所述第二子本体上开设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔沿所述第一方向延伸，所述第二调节螺杆配合穿过所述第二螺纹孔后伸入到所述滑槽中，所述第二调节螺杆与所述滑槽滑动配合并且还与所述滑槽可转动卡接，以使所述第二调节螺杆与所述插板在所述第一方向上的位置相对固定；其中，所述第一子固定单元与所述框体本体活动连接，并且在所述第一方向、所述第二方向、所述框体的厚度方向上，所述第一连接部相对所述框体本体的位置均可调节。

更进一步地，所述第一子固定单元还包括第一调节螺杆；所述框体上开设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔沿所述第二方向延伸，所述第一调节螺杆配合穿过所述第一螺纹孔后与所述第一子本体可转动卡接，以使所述第一调节螺杆与所述第一子本体在所述第二方向上的位置相对固定。

进一步地，还包括多个第二固定单元和多个第三固定单元，多个所述第二固定单元均设置在所述框体上，并且在所述第一方向上，多个所述第一固定单元与多个所述第二固定单元交错排布；多个所述第三固定单元均设置在所述框体上，并且在所述第二方向上，多个所述第三固定单元相隔排布；针对每个所述第二固定单元，所述第二固定单元包括两个均与所述框体活动连接的第二子固定单元，在所述第二方向上，两个所述第二子固定单元分别位于所述开口的两侧并且相对设置；针对所述第二固定单元的每个所述第二子固定单元，所述第二子固定单元包括第二本体以及设置于所述第二本体上的第二连接部，所述第二连接部用于与平行于所述第二方向的支撑条相连接，在所述

第一方向以及所述第二方向上，所述第二连接部相对所述框体的位置均可调节；针对每个所述第三固定单元，所述第三固定单元包括两个均与所述框体活动连接的第三子固定单元，在所述第一方向上，两个所述第三子固定单元分别位于所述开口的两侧并且相对设置；针对所述第三固定单元的每个所述第三子固定单元，所述第三子固定单元包括第三本体以及设置于所述第三本体上的第三连接部，所述第三连接部用于与平行于所述第一方向的支撑条相连接，在所述第一方向、所述第二方向上，所述第三连接部相对所述框体的位置均可调节。

更进一步地，在所述框体的厚度方向上，所述第二连接部、所述第三连接部相对所述框体的位置均可调节。

第二方面，本发明实施例提供了一种掩膜板组件，包括第一方面中所述的掩膜板安装架和多个掩膜板，针对每个所述第一固定单元，两个所述第一子固定单元的第一连接部分别与对应的所述掩膜板在所述第二方向上的两端一一对应连接。

进一步地，针对每个所述第一子固定单元，所述第一子固定单元的第一连接部与对应的所述掩膜板可拆卸连接。

进一步地，还包括多个第一支撑条和多个第二支撑条，多个所述第一支撑条沿所述第一方向相隔排布，多个所述第二支撑条沿所述第二方向相隔排布；每个所述第一支撑条均沿所述第二方向延伸，并且每个所述第一支撑条的两端分别与位于所述开口的两侧的所述框体一一对应相连接；每个所述第二支撑条均沿所述第一方向延伸，并且每个所述第二支撑条的两端分别与位于所述开口的两侧的所述框体一一对应相连接。

更进一步地，在所述掩膜板安装架还包括第二固定单元和第三固定单元的情况下，针对每个所述第二固定单元，两个所述第二子固定单元的第二连接部分别与对应的所述第一支撑条的两端一一对应相连接；针对每个所述第三固定单元，两个所述第三子固定单元的第二连接部分别与对应的所述第二支撑条的两端一一对应相连接。

本发明实施例提供的掩膜板安装架及掩膜板组件，由于第一连接部用于与掩膜板相连接，并且在第一方向、第二方向上，第一连接部相对框体的位置均可调节，那么，在蒸镀后，如果掩膜板出现松弛、下垂，就可以通过调节第一固定单元中的两个第一子固定单元的第一连接部在第二方向上相对框体的位置，来使掩膜板重新张紧，从而可以保证掩膜板的平坦度，使掩膜板与蒸镀基板完全贴合，进而有利于提高产品的良率；同时，在掩膜板安装在掩膜板安装架上之后，根据掩膜板的宽度以及数量，通过调节第一连接部在第一方向上相对框体的位置，就可以调节在第一方向上相邻的两个第一子固定单元的第一连接部之间的距离，从而就可以调节相邻的两个掩膜板之间的距离，以使两个相邻的两个掩膜板之间的距离既不过大，也不过小，这样不但可以避免相邻两个掩膜板之间的距离过大时所造成的基板面积利用率的降低，也可以避免相邻的两个掩膜板之间过小时两个掩膜板重叠接触所造成掩膜板的损坏，从而可以使该掩膜板安装架较好地适应更换不同宽度的掩膜板。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为相关技术中的一种掩膜板安装架的结构示意图；

图2为本发明实施例中的掩膜板安装架的结构示意图；

图3为本发明实施例中的掩膜板安装架中第一固定单元的结构示意图；

图4为图3的俯视图(第一固定单元拆除第二子本体后)；

图5为图3的主视图；

图6为图3的从另一角度的透视图；

图7为插板的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

第一方面，本发明实施例提供了一种掩膜板安装架，如图2所示，包括框体1(Frame)和多个第一固定单元2，多个第一固定单元2均设置于框体1上并且沿第一方向X相隔排布，第一方向X为与框体1的厚度方向相垂直的方向，框体1具有开口11，针对每个第一固定单元2，第一固定单元2包括两个均与框体1活动连接的第一子固定单元21，在第二方向Y上，两个第一子固定单元21分别位于开口11的两侧并且相对设置，第二方向Y为与框体1的厚度方向、第一方向X均相垂直的方向；针对第一固定单元2中的每个第一子固定单元21，如图3所示，第一子固定单元21包括第一本体211以及设置于第一本体211上的第一连接部212，第一连接部212用于与掩膜板200相连接，在第一方向X、第二方向Y上，第一连接部212相对框体1的位置均可调节。

本发明实施例提供的掩膜板安装架，由于第一连接部212用于与掩膜板200相连接，并且在第一方向X、第二方向Y上，第一连接部212相对框体1的位置均可调节，那么，在蒸镀后，如果掩膜板200出现松弛、下垂，就可以通过调节第一固定单元2中的两个第一子固定单元21的第一连接部212在第二方向Y上相对框体1的位置，来使掩膜板200重新张紧，从而可以保证掩膜板200的平坦度，使掩膜板200与蒸镀基板完全贴合，进而有利于提高产品的良率；同时，在掩膜板200安装在掩膜板安装架上之后，根据掩膜板200的宽度以及数量，通过调节第一连接部212在第一方向X上相对框体1的位置，就可以调节在第一方向X上相邻的两个第一子固定单元21的第一连接部212之间的距离，从而就可以调节相邻的两个掩膜板200之间的距离，以使两个相邻的两个掩膜板200之间的距离既不过大，也不过小，这样不但可以避免相邻两个掩膜板200之间的距离过大时所造成的基板面积利用率的降低，也可以避免相邻的两个掩膜板200之间过小时两个掩膜板200重叠接触所造成掩膜板200的损坏，从而可以使该掩膜板安装架较好地适应更换不同宽度的掩膜板200。

在上述实施例中，在第一方向X、第二方向Y上，第一连接部212相对框体1的位置均可调节的实现方式并不唯一，比如可以让第一本体211在第一方向X、第二方向Y上相对框体1的位置均可调节，以实现第一连接部212在第一方向X、第二方向Y上相对框体1的位置均可调节，具体如图3和图4所示，第一子固定单元21还包括第一调节螺杆213以及第二调节螺杆214，第一本体211在第一方向X、第二方向Y上均可相对框体1移动；第一调节螺杆213沿第二方向Y延伸，并且均与框体1、第一本体211可转动连接，当第一调节螺杆213转动时，第一本体211可沿第二方向Y相对框体1运动；第二调节螺杆214沿第一方向X延伸，并且均与框体1、第一本体211可转动连接，当第二调节螺杆214转动时，第一本体211能够沿第一方向X相对框体1运动。

另外，也可以让第一本体211与框体1的位置相对固定，第一连接部212在第一方向X、第二方向Y上相对第一本体211的位置均可调节，以实现第一连接部212在第一方向X、第二方向Y上相对框体1的位置均可调节，具体如下：第一本体211上可转动设有第一驱动螺杆，第一驱动螺杆沿第一方向X延伸，第一驱动螺杆上螺纹配合有第一设置平台，第一设置平台可转动设有第二驱动螺杆，第二驱动螺杆沿第二方向Y延伸，第二驱动螺杆上螺纹配合有第二设置平台，第一连接部212固定设置在第二设置平台上；这样当第一驱动螺杆转动时，第一设置平台就会带动第一连接部212沿第一方向X相对框体1移动；第二驱动螺杆转动时，第二设置平台就会带动第一连接部212沿第二方向Y相对框体1移动。

在第一本体211在第一方向X、第二方向Y上相对框体1的位置均可调节的实施例中，第一调节螺杆213与框体1、第一本体211可转动连接的方式也不唯一，比如第一调节螺杆213可以与框体1螺纹配合，与第一本体211可转动卡接，具体如图3和图4所示，框体1上开设有第一螺纹孔12，第一螺纹孔12沿第二方向Y延伸，第一调节螺杆213配合穿过第一螺纹孔12后与第一本体211可转动卡接，以使第一调节螺杆213与第一本体211在第二方向Y上的位置相对固定。这样当第一调节螺杆213转动时，第一调节螺杆213就会沿第二方向Y相对框体1移动，从而带动第一本体211沿第二方向Y相对框体1移动，进而实现第一连接部212在第二方向Y上相对框体1的位置调节。

需要说明的是：第一调节螺杆213与第一本体211可转动卡接具体可以是第一本体211上开设有卡孔，第一调节螺杆213伸入到卡孔内，卡孔的内壁上开设有环槽，第一调节螺杆213的侧面上设有凸缘，凸缘配合伸入到环槽内，第一调节螺杆213转动时，凸缘可在环槽内滑动。该可转动卡接结构也适用于其它调节螺杆与所连接的部件之间的可转动卡接。

另外，第一调节螺杆213也可以与第一本体211螺纹配合，与框体1可转动卡接，具体如下：第一本体211上开设有第一螺纹孔12，第一螺纹孔12沿第二方向Y延伸，第一调节螺杆213配合穿过第一螺纹孔12后与框体1可转动卡接，以使第一调节螺杆213与框体1在第二方向Y上的位置相对固定。这样，当第一调节螺杆213转动时，第一本体211就会沿第一调节螺杆213运动，从而实现第一连接部212在第二方向Y上相对框体1的位置调节。

在第一本体211在第一方向X、第二方向Y上相对框体1的位置均可调节的实施例中，第二调节螺杆214与框体1、第一本体211可转动连接的方式也不唯一，比如第二调节螺杆214可以与框体1可转动卡接，与第一本体211螺纹配合，具体如图3和图7所示，框体1上开设有滑槽13，滑槽13沿第二方向Y延伸，第一本体211上开设有第二螺纹孔2111，第二螺纹孔2111沿第一方向X延伸，第二调节螺杆214配合穿过第二螺纹孔2111后伸入到滑槽13中，第二调节螺杆214与滑槽13滑动配合并且还与滑槽13可转动卡接，以使第二调节螺杆214与框体1在第一方向X上的位置相对固定。当第二调节螺杆214转动时，第一本体211就会沿第二调节螺杆214运动，从而实现第一连接部212在第一方向X上相对框体1的位置调节；由于框体1上开设有滑槽13，滑槽13沿第二方向Y延伸，这样当第一本体211沿第二方向Y移动时，第二调节螺杆214就会沿滑槽13滑动，从而避免第二调节螺杆214对第一本体211沿第二方向Y运动的阻碍。

需要说明的是：第二调节螺杆214与滑槽13可转动卡接具体可以是第二调节螺杆214上设有卡接凸缘，滑槽13的槽壁上设有避让槽，卡接凸缘伸入到避让槽内，第二调节螺杆214转动时，卡接凸缘可在避让槽内滑动。该可转动卡接结构也适用于其它调节螺杆与所连接的凹槽之间的可转动卡接。

另外，第二调节螺杆214也可以与第一本体211可转动卡接，与框体1螺纹配合，具体如下：第一本体211上开设有滑槽13，滑槽13沿第二方向Y延伸，滑槽13滑动配合有滑块；框体1上开设有第二螺纹孔2111，第二螺纹孔2111沿第一方向X延伸，第二调节螺杆214配合穿过第二螺纹孔2111后与滑块可转动卡接，以使第二调节螺杆214与第一本体211在第一方向X上的位置相对固定。当第二调节螺杆214转动时，第二调节螺杆214就会沿第一方向X运动，从而带动第一本体211在第一方向X上运动，进而实现第一连接部212在第一方向X上相对框体1的位置调节。当第一本体211沿第二方向Y移动时，滑块就会沿滑槽13滑动，从而避免第二调节螺杆214对第一本体211沿第二方向Y运动的阻碍。

在第一子固定单元21中，第一连接部212的结构也不唯一，比如，如图3所示，第一连接部212可以为夹紧机构，夹紧机构包括第一夹体2121和第二夹体2122，第一夹体2121、第二夹体2122均设置于第一本体211上，在框体1的厚度方向上，第一夹体2121和第二夹体2122之间可相对移动，以使夹紧机构在夹紧状态和松开状态之间切换。另外，第一连接部212也可以为可供掩膜板200焊接在其上的焊接部。相比第一连接部212为焊接部的实施例，第一连接部212为夹紧机构的实施例，这样掩膜板200与第一连接部212之间就可以实现可拆卸连接，当掩膜板200需要清洗或者更换时，就可以方便地将掩膜板200从第一连接部212上取下，从而可以避免将第一子固定单元21从框体1上拆下，有利于降低掩膜板200的清洗或者更换成本。

在第一子固定单元21中，第一连接部212可以相对框体1实现三维移动，也就是：如图3和图6所示，在第一方向X、第二方向Y上、框体1的厚度方向上，第一连接部212相对框体1的位置均可调节。另外，第一连接部212也可以相对框体1实现二维移动，也就是：在第一方向X、第二方向Y上，第一连接部212相对框体1的位置均可调节。相比第一连接部212相对框体1实现二维移动的实施例，第一连接部212相对框体1实现三维移动的实施例，就可以通过第一连接部212来调整掩膜板200在框体1的厚度方向上相对框体1的位置，来保证多个掩膜板200均位于同一平面上，从而使多个掩膜板200均与待蒸镀基板紧密贴合，避免出现因掩膜板200与基板贴合不紧密所导致的基板混色不良等。

在第一连接部212相对框体1实现三维移动，并且第一连接部212为夹紧机构的实施例中，第一连接部212在框体1的厚度方向上相对框体1的位置可调节的方式也不唯一，比如可以通过以下方式实现：如图3和图6所示，第一子固定单元21还包括第三调节螺杆215，第一本体211在第一方向X、第二方向Y上均可相对框体1移动；第一本体211包括第一子本体2112和第二子本体2113，在框体1的厚度方向上，第一子本体2112与框体1的位置相对固定，并且第二子本体2113可相对框体1移动；第一夹体2121设置于第一子本体2112上，并且在框体1的厚度方向上可相对第一子本体2112移动，第二夹体2122固定设置于第二子本体2113上；第三调节螺杆215包括第一子螺杆2151和第二子螺杆2152，如图6所示，第一子本体2112上开设有第三螺纹孔216和第四螺纹孔217，第三螺纹孔216、第四螺纹孔217均沿框体1的厚度方向延伸，第一子螺杆2151配合穿过第三螺纹孔216后与第一夹体2121可转动卡接，以使第一子螺杆2151与第一夹体2121在框体1的厚度方向上的位置相对固定；第二子螺杆2152配合穿过第四螺纹孔217后与第二子本体2113可转动卡接，以使第一子螺杆2151与第二子本体2113在框体1的厚度方向上的位置相对固定。这样，当第一子螺杆2151旋转时，第一子螺杆2151就可以沿框体1的厚度方向相对第一子本体2112移动，从而带动第二子本体2113沿框体1的厚度方向相对第一子本体2112移动，进而带动第二夹体2122沿框体1的厚度方向相对第一子本体2112移动；在第一子螺杆2151旋转的同时，旋转第二子螺杆2152，第二子螺杆2152就可以沿框体1的厚度方向相对第一子本体2112移动，从而带动第一夹体2121沿框体1的厚度方向相对第一子本体2112移动，以实现夹紧机构在夹紧状态和放松状态的切换。通过旋转第一子螺杆2151、第二子螺杆2152就可以分别调节第一夹体2121、第二夹体2122在框体1的厚度方向上相对第一子本体2112的位置，进而可以实现第一连接部212在框体1的厚度方向上相对框体1的位置的调节。

另外，还可以通过以下方式实现第一连接部212在框体1的厚度方向上相对框体1的位置的调节：第一本体211活动设有安装板，安装板在框体1的厚度方向上相对框体1的位置可调节，第一连接部212设置于安装板上，第一本体211上开设有第三螺纹孔216，第三螺纹孔216沿框体1的厚度方向延伸，第三调节螺杆215配合穿过第三螺纹孔216后与安装板可转动卡接，以使第三调节螺杆215在框体1的厚度方向上与安装板的位置相对固定。这样，旋转第三调节螺杆215时，第三调节螺杆215就可以沿框体1的厚度方向相对第一本体211移动，以带动安装板沿框体1的厚度方向相对第一本体211移动，从而实现第一连接部212在框体1的厚度方向上相对框体1的位置的调节。

在第一本体211包括第一子本体2112和第二子本体2113的实施例中，第二调节螺杆214与第一本体211的连接关系也不唯一，比如第二调节螺杆214可以与第二子本体2113相连接，具体如图3和图5所示，框体1包括框体本体14和插板15，框体本体14上开设有插槽16，插板15配合伸入到插槽16中并且可沿框体1的厚度方向相对插槽16移动，插板15上开设有滑槽13，滑槽13沿第二方向Y延伸；第二子本体2113上开设有第二螺纹孔2111，第二螺纹孔2111沿第一方向X延伸，第二调节螺杆214配合穿过第二螺纹孔2111后伸入到滑槽13中，第二调节螺杆214与滑槽13滑动配合并且还与滑槽13可转动卡接，以使第二调节螺杆214与插板15在第一方向X上的位置相对固定；其中，第一子固定单元21与框体本体14活动连接，并且在第一方向X、第二方向Y、框体1的厚度方向上，第一连接部212相对框体本体14的位置均可调节。

另外，第二调节螺杆214也可以与第一子本体2112相连接，具体如下：第二螺纹孔2111开设于第一子本体2112上，第二调节螺杆214配合穿过第二螺纹孔2111后与框体1可转动卡接，以使第二调节螺杆214与第一子本体2112在第一方向X上的位置相对固定。

在第一本体211包括第一子本体2112和第二子本体2113的实施例中，第一调节螺杆213与第一本体211的连接关系也不唯一，比如第一调节螺杆213可以与第一子本体2112相连接，具体如图3和图4所示，框体1上开设有第一螺纹孔12，第一螺纹孔12沿第二方向Y延伸，第一调节螺杆213配合穿过第一螺纹孔12后与第一子本体2112可转动卡接，以使第一调节螺杆213与第一子本体2112在第二方向Y上的位置相对固定。

另外，第一调节螺杆213也可以与第二子本体2113相连接，具体如下：框体1上开设有滑动槽，滑动槽沿框体1的厚度方向延伸，滑动槽滑动配合有固定块，固定块上开设有第一螺纹孔12，第一螺纹孔12沿第二方向Y延伸，第一调节螺杆213配合穿过第一螺纹孔12后与第二子本体2113可转动卡接，以使第一调节螺杆213与第二子本体2113在第二方向Y上的位置相对固定。相比第一调节螺杆213与第二子本体2113相连接的实施例，第一调节螺杆213与第一子本体2112相连接的实施例(如图3和图4所示)，由于第一子本体2112在框体1的厚度方向上与框体1的位置相对固定，这样在第二子本体2113在框体1的厚度方向上相对第一子本体2112移动的时候，框体1上就无需设置使第一调节螺杆213能够沿框体1的厚度方向上相对框体1移动的结构，从而大大简化了第一子固定单元21的结构。

如图2所示，本发明实施例提供的掩膜板安装架还包括多个第二固定单元3和多个第三固定单元4，多个第二固定单元3均设置在框体1上，并且在第一方向X上，多个第一固定单元2与多个第二固定单元3交错排布；多个第三固定单元4均设置在框体1上，并且在第二方向Y上，多个第三固定单元4相隔排布；

如图2所示，针对每个第二固定单元3，第二固定单元3包括两个均与框体1活动连接的第二子固定单元31，在第二方向Y上，两个第二子固定单元31分别位于开口11的两侧并且相对设置；针对第二固定单元3的每个第二子固定单元31，第二子固定单元31包括第二本体以及设置于第二本体上的第二连接部，第二连接部用于与平行于第二方向Y的支撑条相连接，在第一方向X以及第二方向Y上，第二连接部相对框体1的位置均可调节；由于在第二方向Y上，第二连接部相对框体1的位置可调节，这样当第一支撑条300出现松弛、下垂，就可以通过调节第二固定单元3中的两个第二子固定单元31的第二连接部在第二方向Y上相对框体1的位置，来使第一支撑条300重新张紧，从而可以保证对掩膜板200的很好的支撑；由于在第一方向X上，第二连接部相对框体1的位置可调节，这样可以更好地适应掩膜板200之间位置关系的变动，以对掩膜板200进行更好地支撑。

如图2所示，针对每个第三固定单元4，第三固定单元4包括两个均与框体1活动连接的第三子固定单元41，在第一方向X上，两个第三子固定单元41分别位于开口11的两侧并且相对设置；针对第三固定单元4的每个第三子固定单元41，第三子固定单元41包括第三本体以及设置于第三本体上的第三连接部，第三连接部用于与平行于第一方向X的支撑条相连接，在第一方向X、第二方向Y上，第三连接部相对框体1的位置均可调节。由于在第一方向X上，第三连接部相对框体1的位置可调节，这样当第二支撑条400出现松弛、下垂，就可以通过调节第三固定单元4中的两个第三子固定单元41的第三连接部在第一方向X上相对框体1的位置，来使第二支撑条400重新张紧，从而可以保证对掩膜板200的很好的支撑；由于在第二方向Y上，第三连接部相对框体1的位置可调节，这样可以更好地适应掩膜板200之间位置关系的变动，以对掩膜板200进行更好地支撑。

为了更好地对掩膜板200进行支撑，在框体1的厚度方向上，第二连接部、第三连接部相对框体1的位置均可调节。这样，当掩膜板200在框体1的厚度方向上相对框体1的位置发生变化时，通过第二连接部、第三连接部就可以对第一支撑条300、第二支撑条400在框体1的厚度方向上相对框体1的位置进行调节，以适应掩膜板200位置的变化，从而有利于对掩膜板200进行更好地支撑。

第一子固定单元21在框体1上的设置位置也不唯一，比如第一子固定单元21可以设置在框体1的表面上；另外，如图3所示，开口11的边缘处开设有第一缺口17，第一子固定单元21有一部分(也可以是全部)可位于第一缺口17内。这样，将第一子固定单元21的至少一部分设置在第一缺口17内，就可以防止相邻的第一子固定单元21发生干涉。

如图5所示，第一子固定单元21还包括导向结构218，在第一本体211沿第一方向X相对框体1移动时，导向结构218用于对第一本体211进行导向。

其中，如图5所示，导向结构218可以为导向柱，导向柱沿第一方向X延伸，导向柱的两端均与第一缺口17的内壁相连接，第一本体211上开设有导向孔，导向柱与导向孔滑动配合。

第二子固定单元31在框体1上的设置位置也不唯一，比如第二子固定单元31可以设置在框体1的表面上；另外，如图4所示，开口11的边缘处开设有第二缺口18，第二子固定单元31有一部分(也可以是全部)可位于第一缺口17内。这样，将第二子固定单元31的至少一部分设置在第二缺口18内，就可以防止相邻的第二子固定单元31发生干涉。

第三子固定单元41在框体1上的设置位置也不唯一，比如第三子固定单元41可以设置在框体1的表面上；另外，开口11的边缘处开设有第三缺口，第三子固定单元41有一部分(也可以是全部)可位于第三缺口内。这样，将第三子固定单元41的至少一部分设置在第三缺口内，就可以防止相邻的第三子固定单元41发生干涉。

在本发明实施例提供的掩膜板安装架中，第二子固定单元31、第三子固定单元41的具体结构可以与第一子固定单元21的结构相类似，具体可参照第一子固定单元21中结构的描述，在此不再赘述。

在本发明实施例提供的掩膜板安装架中，相邻的第二子固定单元31和第一子固定单元21可以共用一个插板15，也可以各自均对应一个插板15，在此不做具体限定；第一调节螺杆213、第二调节螺杆214、第三调节螺杆215可以手动驱动，也可以由其它旋转装置驱动，比如电机，在此也不做具体限定。

第二方面，本发明实施例提供了一种掩膜板组件，如图2所示，包括第一方面中所述的掩膜板安装架100和多个掩膜板200(Sheet)，针对每个第一固定单元2，两个第一子固定单元21的第一连接部212分别与对应的掩膜板200在第二方向Y上的两端一一对应连接。

本发明实施例所提供的掩膜板组件所解决的技术问题以及取得的技术效果，与第一方面中掩膜板安装架100掩膜板安装架100所解决的技术问题以及取得的技术效果相同，在此不再赘述。

在第一子固定单元21中，第一子固定单元21的第一连接部212与掩膜板200之间的连接关系并不唯一，比如第一子固定单元21的第一连接部212可以与对应的掩膜板200可拆卸连接，比如图3所示，第一连接部212可以为夹紧机构。另外，第一子固定单元21的第一连接部212也可以与对应的掩膜板200不可拆卸连接，比如焊接。相比不可拆卸连接，当第一子固定单元21的第一连接部212与对应的掩膜板200可拆卸连接时，这样当掩膜板200需要清洗或者更换时，就可以方便地将掩膜板200从第一连接部212上取下，从而可以避免将第一子固定单元21从框体1上拆下，有利于降低掩膜板200的清洗或者更换成本。

如图2所示，本发明实施例所提供的掩膜板组件还包括多个第一支撑条300(Cover)和多个第二支撑条400(Howling)，多个第一支撑条300沿第一方向X相隔排布，多个第二支撑条400沿第二方向Y相隔排布；每个第一支撑条300均沿第二方向Y延伸，并且每个第一支撑条300的两端分别与位于开口11的两侧的框体1一一对应相连接；每个第二支撑条400均沿第一方向X延伸，并且每个第二支撑条400的两端分别与位于开口11的两侧的框体1一一对应相连接。通过设置第一支撑条300和第二支撑条400，这样多个第一支撑条300和多个第二支撑条400就可以很好地对较软的掩膜板200进行支撑，可以很好的防止掩膜板200松弛下垂，同时，多个第一支撑条300和多个第二支撑条400交叉形成网状也可以对掩膜板200安装位置起到定位的作用，如图2所示，在垂直于框体1的厚度方向的平面内，掩膜板200可以设置在两个第一支撑条300之间，从而可以限定掩膜板200的安装位置，从而防止相邻的两个掩膜板200之间的距离过小，避免相邻的两个掩膜板200的边缘部分相接触。

其中，第一支撑条300、第二支撑条400与框体1的连接关系也不唯一，比如第一支撑条300、第二支撑条400可以均与框体1直接连接；另外，第一支撑条300、第二支撑条400也可以均与框体1间接连接，比如，第一支撑条300可以通过第二固定单元3与框体1相连接，第二支撑条400可以通过第三固定单元4与框体1相连接，具体如图2所示，针对每个第二固定单元3，两个第二子固定单元31的第二连接部分别与对应的第一支撑条300的两端一一对应相连接；针对每个第三固定单元4，两个第三子固定单元41的第二连接部分别与对应的第二支撑条400的两端一一对应相连接。相比第一支撑条300、第二支撑条400均与框体1直接连接的实施例，图2所示的实施例，当第一支撑条300、第二支撑条400出现松弛、下垂，就可以通过调节第二连接部、第三连接部在第二方向Y上相对框体1的位置，来使第一支撑条300、第二支撑条400重新张紧，从而可以保证对掩膜板200的很好的支撑；同时，这样可以更好地适应掩膜板200之间位置关系的变动，以对掩膜板200进行更好地支撑。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (14)

1.一种掩膜板安装架，其特征在于，包括框体和多个第一固定单元，多个所述第一固定单元均设置于所述框体上并且沿第一方向相隔排布，所述第一方向为与所述框体的厚度方向相垂直的方向，所述框体具有开口，针对每个所述第一固定单元，所述第一固定单元包括两个均与所述框体活动连接的第一子固定单元，在第二方向上，两个所述第一子固定单元分别位于所述开口的两侧并且相对设置，所述第二方向为与所述框体的厚度方向、所述第一方向均相垂直的方向；针对所述第一固定单元中的每个所述第一子固定单元，所述第一子固定单元包括第一本体以及设置于所述第一本体上的第一连接部，所述第一连接部用于与掩膜板相连接，在所述第一方向、所述第二方向上，所述第一连接部相对所述框体的位置均可调节。

2.根据权利要求1所述的掩膜板安装架，其特征在于，所述第一子固定单元还包括第一调节螺杆以及第二调节螺杆，所述第一本体在所述第一方向、所述第二方向上均可相对所述框体移动；

所述第一调节螺杆沿所述第二方向延伸，并且均与所述框体、所述第一本体可转动连接，当所述第一调节螺杆转动时，所述第一本体可沿所述第二方向相对所述框体运动；

所述第二调节螺杆沿所述第一方向延伸，并且均与所述框体、所述第一本体可转动连接，当所述第二调节螺杆转动时，所述第一本体能够沿所述第一方向相对所述框体运动。

3.根据权利要求2所述的掩膜板安装架，其特征在于，所述框体上开设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔沿所述第二方向延伸，所述第一调节螺杆配合穿过所述第一螺纹孔后与所述第一本体可转动卡接，以使所述第一调节螺杆与所述第一本体在所述第二方向上的位置相对固定；

所述框体上开设有滑槽，所述滑槽沿所述第二方向延伸，所述第一本体上开设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔沿所述第一方向延伸，所述第二调节螺杆配合穿过所述第二螺纹孔后伸入到所述滑槽中，所述第二调节螺杆与所述滑槽滑动配合并且还与所述滑槽可转动卡接，以使所述第二调节螺杆与所述框体在所述第一方向上的位置相对固定。

4.根据权利要求1所述的掩膜板安装架，其特征在于，所述第一连接部为夹紧机构，所述夹紧机构包括第一夹体和第二夹体，所述第一夹体、所述第二夹体均设置于所述第一本体上，在所述框体的厚度方向上，所述第一夹体和所述第二夹体之间可相对移动，以使所述夹紧机构在夹紧状态和松开状态之间切换。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的掩膜板安装架，其特征在于，在所述框体的厚度方向上，所述第一连接部相对所述框体的位置可调节。

6.根据权利要求5所述的掩膜板安装架，其特征在于，所述第一子固定单元还包括第三调节螺杆，所述第一本体在所述第一方向、所述第二方向上均可相对所述框体移动；所述第一本体包括第一子本体和第二子本体，在所述框体的厚度方向上，所述第一子本体与所述框体的位置相对固定，并且所述第二子本体可相对所述框体移动；

所述第一连接部为夹紧机构，所述夹紧机构包括第一夹体和第二夹体，所述第一夹体设置于所述第一子本体上，并且在所述框体的厚度方向上可相对所述第一子本体移动，所述第二夹体固定设置于所述第二子本体上；

所述第三调节螺杆包括第一子螺杆和第二子螺杆，所述第一子本体上开设有第三螺纹孔和第四螺纹孔，所述第三螺纹孔、所述第四螺纹孔均沿所述框体的厚度方向延伸，所述第一子螺杆配合穿过所述第三螺纹孔后与所述第一夹体可转动卡接，以使所述第一子螺杆与所述第一夹体在所述框体的厚度方向上的位置相对固定；所述第二子螺杆配合穿过所述第四螺纹孔后与所述第二子本体可转动卡接，以使所述第一子螺杆与所述第二子本体在所述框体的厚度方向上的位置相对固定。

7.根据权利要求6所述的掩膜板安装架，其特征在于，所述第一子固定单元还包括第二调节螺杆；所述框体包括框体本体和插板，所述框体本体上开设有插槽，所述插板配合伸入到所述插槽中并且可沿所述框体的厚度方向相对所述插槽移动，所述插板上开设有滑槽，所述滑槽沿所述第二方向延伸；

所述第二子本体上开设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔沿所述第一方向延伸，所述第二调节螺杆配合穿过所述第二螺纹孔后伸入到所述滑槽中，所述第二调节螺杆与所述滑槽滑动配合并且还与所述滑槽可转动卡接，以使所述第二调节螺杆与所述插板在所述第一方向上的位置相对固定；

其中，所述第一子固定单元与所述框体本体活动连接，并且在所述第一方向、所述第二方向、所述框体的厚度方向上，所述第一连接部相对所述框体本体的位置均可调节。

8.根据权利要求6所述的掩膜板安装架，其特征在于，所述第一子固定单元还包括第一调节螺杆；所述框体上开设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔沿所述第二方向延伸，所述第一调节螺杆配合穿过所述第一螺纹孔后与所述第一子本体可转动卡接，以使所述第一调节螺杆与所述第一子本体在所述第二方向上的位置相对固定。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的掩膜板安装架，其特征在于，还包括多个第二固定单元和多个第三固定单元，多个所述第二固定单元均设置在所述框体上，并且在所述第一方向上，多个所述第一固定单元与多个所述第二固定单元交错排布；多个所述第三固定单元均设置在所述框体上，并且在所述第二方向上，多个所述第三固定单元相隔排布；

针对每个所述第二固定单元，所述第二固定单元包括两个均与所述框体活动连接的第二子固定单元，在所述第二方向上，两个所述第二子固定单元分别位于所述开口的两侧并且相对设置；针对所述第二固定单元的每个所述第二子固定单元，所述第二子固定单元包括第二本体以及设置于所述第二本体上的第二连接部，所述第二连接部用于与平行于所述第二方向的支撑条相连接，在所述第一方向以及所述第二方向上，所述第二连接部相对所述框体的位置均可调节；

针对每个所述第三固定单元，所述第三固定单元包括两个均与所述框体活动连接的第三子固定单元，在所述第一方向上，两个所述第三子固定单元分别位于所述开口的两侧并且相对设置；针对所述第三固定单元的每个所述第三子固定单元，所述第三子固定单元包括第三本体以及设置于所述第三本体上的第三连接部，所述第三连接部用于与平行于所述第一方向的支撑条相连接，在所述第一方向、所述第二方向上，所述第三连接部相对所述框体的位置均可调节。

10.根据权利要求9所述的掩膜板安装架，其特征在于，在所述框体的厚度方向上，所述第二连接部、所述第三连接部相对所述框体的位置均可调节。

11.一种掩膜板组件，其特征在于，包括权利要求1～10中任一项所述的掩膜板安装架和多个掩膜板，针对每个所述第一固定单元，两个所述第一子固定单元的第一连接部分别与对应的所述掩膜板在所述第二方向上的两端一一对应连接。

12.根据权利要求11所述的掩膜板组件，其特征在于，针对每个所述第一子固定单元，所述第一子固定单元的第一连接部与对应的所述掩膜板可拆卸连接。

13.根据权利要求11或12所述的掩膜板组件，其特征在于，还包括多个第一支撑条和多个第二支撑条，多个所述第一支撑条沿所述第一方向相隔排布，多个所述第二支撑条沿所述第二方向相隔排布；

每个所述第一支撑条均沿所述第二方向延伸，并且每个所述第一支撑条的两端分别与位于所述开口的两侧的所述框体一一对应相连接；

每个所述第二支撑条均沿所述第一方向延伸，并且每个所述第二支撑条的两端分别与位于所述开口的两侧的所述框体一一对应相连接。

14.根据权利要求13所述的掩膜板组件，其特征在于，在所述掩膜板安装架还包括第二固定单元和第三固定单元的情况下，

针对每个所述第二固定单元，两个所述第二子固定单元的第二连接部分别与对应的所述第一支撑条的两端一一对应相连接；

针对每个所述第三固定单元，两个所述第三子固定单元的第三连接部分别与对应的所述第二支撑条的两端一一对应相连接。

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