CN113215527B - 掩膜板框架、掩膜板组件及其制作方法 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种掩膜板框架、掩膜板组件及其制作方法。所述掩膜板框架包括：框架本体，所述框架本体包括有开口；所述掩膜板框架还包括：沿所述开口的边缘设置的导轨，以及可拆卸的设置于所述导轨的滑块；所述滑块用于固定精密金属掩膜板或支撑掩模板；所述滑块设置有锁定机构，所述锁定机构用于锁定所述滑块与所述导轨的相对位置。本公开实现掩膜板框架循环多次利用，有效的降低了成本，还能够提升更换精密金属掩膜板、支撑掩模板时的处理效率，并能够解决直接焊接固定影响掩膜板框架的平坦度的问题，保证显示效果。

Description

掩膜板框架、掩膜板组件及其制作方法

技术领域

本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板框架、掩膜板组件及其制作方法。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示技术，以其轻薄、自发光、视角广、响应速度快、亮度低、功耗低等优点，被业界公认为新一代显示技术，已经成为显示技术领域的主流发展方向。

目前，OLED显示屏主要通过蒸镀工艺，将发光材料使用掩膜板蒸镀到显示基板上。上述蒸镀工艺造成OLED显示屏制作成本比较高，其中，掩膜板方面的投入较大是造成制作成本高的一个重要因素。此外，掩膜板也会对显示效果产生不良的影响。

发明内容

有鉴于此，本公开的目的在于提出一种掩膜板框架、掩膜板组件及其制作方法。

基于上述目的，本公开提供了一种掩膜板框架，包括：框架本体，所述框架本体包括有开口；所述掩膜板框架还包括：沿所述开口的边缘设置的导轨，以及可拆卸的设置于所述导轨的滑块；所述滑块用于固定精密金属掩膜板或支撑掩模板；所述滑块设置有锁定机构，所述锁定机构用于锁定所述滑块与所述导轨的相对位置。

基于同一发明构思，本公开还提供了一种掩膜板组件，包括：如上任意一项所述的掩膜板框架。

基于同一发明构思，本公开还提供了一种如上任意一项所述的掩膜板组件的制作方法，包括：

根据预定的精密金属掩膜板和支撑掩模板的固定位置，通过锁定机构将若干滑块锁定在导轨的相应位置处；

将张网处理后的支撑掩模板固定至相应的所述滑块；

将张网处理后的精密金属掩膜板固定至相应的所述滑块。

从上面所述可以看出，本公开提供的掩膜板框架、掩膜板组件及其制作方法，在掩膜板框架的框架本体上设置带有滑块的导轨，基于导轨限定出的位移路径，可以将滑块调节至精密金属掩膜板或支撑掩模板的安装位置并通过锁定机构锁定，并通过滑块与精密金属掩膜板或支撑掩模板进行固定，实现精密金属掩膜板、支撑掩模板与掩膜板框架的固定连接。滑块与导轨间为可拆卸连接，对于不同显示屏的，只需根据其规格要求更换不同规格的滑块，并调节锁定滑块在导轨上的锁定位置即可实现掩膜板框架循环多次利用，有效的降低了成本。此外，精密金属掩膜板、支撑掩模板均与滑块固定连接，不再与掩膜板框架直接焊接固定，这能够提升更换精密金属掩膜板、支撑掩模板时的处理效率，并能够解决直接焊接固定影响掩膜板框架的平坦度的问题，保证显示效果。

附图说明

为了更清楚地说明本公开或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本公开实施例的掩膜板框架结构示意图；

图2为本公开实施例的掩膜板框架制作的掩膜板组件结构示意图；

图3为本公开实施例滑块和导轨的结构示意图；

图4为本公开实施例滑块和导轨的截面结构示意图；

图5为本公开实施例装配式结构的滑块示意图；

图6为本公开实施例一种可选的带有磁吸部件的滑块结构示意图；

图7为本公开实施例另一种可选的带有磁吸部件的滑块结构示意图；

图8为本公开实施例又一种可选的带有磁吸部件的滑块结构示意图；

图9为本公开实施例一种可选的带有凹槽的滑块结构示意图；

图10为图9所示的滑块的使用状态示意图；

图11为本公开实施例另一种可选的带有凹槽的滑块结构示意图；

图12为图11所示的滑块的使用状态示意图；

图13为本公开实施例的掩膜板组件的制作方法流程图。

具体实施方式

为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开进一步详细说明。

需要说明的是，除非另外定义，本公开实施例使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开实施例中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

如背景技术所述，相关技术中通过蒸镀工艺将发光材料蒸镀到显示基板上以制作OLED显示屏。其中，进行蒸镀时会使用掩膜板组件(Mask Frame Assembly，MFA)。该掩膜板组件包括掩膜板框架(Frame)、精密金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)和用于遮挡非蒸镀区和支撑FMM的支撑掩模板F-Mask。其中，精密金属掩膜板和支撑掩模板经过张网后分别焊接固定在掩膜板框架上。在实现本公开的过程中，申请人发现相关技术中造成掩膜板组件的成本较高、影响显示效果的原因在于：相关技术中的掩膜板框架只能应用于单一规格的精密金属掩膜板和支撑掩模板；对于不同的显示屏，其需要根据其规格要求提供专用的掩膜板框架，这造成了掩膜板框架几乎无法循环多次利用，造成了制作成本的提高。另一方面，焊接固定的方式会对降低掩膜板框架的表面平坦度，这会影响精密金属掩膜板和支撑掩模板张网后的精度，进而影响显示效果。此外，当掩膜板框架上的部分精密金属掩膜板需要更换时，需要撕掉待更换的精密金属掩膜板，并打磨掩膜板框架上的焊接位置，更换处理的效率很低且打磨的后的平坦度不佳；而打磨过程中若掩膜板框架表面出现损坏，则整个掩膜板框架均无法继续使用。

针对于上述相关技术存在的问题，本公开相应的提供了一种掩膜板框架、掩膜板组件及其制作方法，在掩膜板框架的框架本体上设置带有滑块的导轨，基于导轨限定出的位移路径，可以将滑块调节至精密金属掩膜板或支撑掩模板的安装位置并通过锁定机构锁定，并通过滑块与精密金属掩膜板或支撑掩模板进行固定，实现精密金属掩膜板、支撑掩模板与掩膜板框架的固定连接。滑块与导轨间为可拆卸连接，对于不同显示屏的，只需根据其规格要求更换不同规格的滑块，并调节锁定滑块在导轨上的锁定位置即可实现掩膜板框架循环多次利用，有效的降低了成本。此外，精密金属掩膜板、支撑掩模板均与滑块固定连接，不再与掩膜板框架直接焊接固定，这能够提升更换精密金属掩膜板、支撑掩模板时的处理效率，并能够解决直接焊接固定影响掩膜板框架的平坦度的问题，保证显示效果。

以下，通过具体的实施例进一步详细说明本公开的方案。

首先，本公开实施例提供了一种掩膜板框架，参考图1，该掩膜板框架包括：框架本体1、导轨2和滑块3。其中，框架本体1为掩膜板框架的主体结构，其用于承载固定待安装的精密金属掩膜板和支撑掩模板。具体的，框架本体1包括有开口101，该开口101为全镂空结构，用于与精密金属掩膜板和支撑掩模板配合成蒸镀区域。

导轨2设置于框架本体1上，其用于限定出滑块3的可移动路径，以使得滑块3滑动配合设置于导轨2上后，能够沿着导轨2滑动来调节其在框架本体1上的位置，从而来适应不同规格的显示屏的制作需求。进一步的，为更好的满足不同规格的显示屏的制作需求，导轨2可以是沿着开口101的边缘设置的，这样可以基于开口101的位置方便的调整滑块3的位置。例如，参考图1，开口101的形状可以为矩形，则导轨2可以设置有四条，且分别沿着矩形的开口101的四条边设置。当然，根据制作需求，开口101也可以设置为其他形状，相应的，将导轨2沿开口101的边缘设置即可；此外，导轨2的数量也可以根据开口101的形状或边缘数量而相应设定。

滑块3设置在导轨2上。可以理解的是，滑块3与导轨2之间为滑动配合关系，即滑块3可以在导轨2上沿着导轨2滑动。滑块3用于固定精密金属掩膜板或支撑掩模板。例如，滑块远离导轨2一侧的表面可以用于与精密金属掩膜板或支撑掩模板固定，具体的固定方式可以是焊接、键合、卡接等。此外，滑块3与导轨2之间还设置为可拆卸连接关系，其间具体的可拆卸连接方式，可以根据制作需要而相应选择。为实现滑块3滑动调节位置后的固定，滑块3上还设置有锁定机构；锁定机构在锁定状态下，能够锁定滑块3与导轨2的相对位置，使滑块3固定在导轨2上，不再能够沿导轨2滑动，从而将滑块3固定在预定的位置，以设置精密金属掩膜板或支撑掩模板。当解除锁定状态后，滑块3恢复与导轨2的滑动配合。锁定机构的具体实现方式可以根据制作需要而相应选择，例如可以是螺纹结构、销结构、磁吸结构等。

例如，参考图1和图2，在开口101两个长边侧的两条导轨2上，相应的分别设置两个滑块3，并通过将该两个滑块3滑动至对应的位置并锁定后，便可以将一个精密金属掩膜板001的两端固定，从而实现将精密金属掩膜板001固定在框架本体1上。对于更多的精密金属掩膜板001，只需相应的在长边侧的两条导轨2上设置滑块3即可。参考图1和图2，在开口101两个短边侧的两条导轨2上，相应的分别设置两个滑块3，并通过将该两个滑块3滑动至对应的位置并锁定后，便可以将一个支撑掩模板002的两端固定，从而实现将支撑掩模板002固定在框架本体1上。

其中，由于精密金属掩膜板001和支撑掩模板002的材料和工艺区别，二者的厚度会存在差别。故在本实施例的掩膜板框架中，可以通过设置滑块3的高度来消除上述厚度差别。具体的，支撑掩模板002会厚于精密金属掩膜板001，则相应的根据二者的厚度差值，相应的将固定精密金属掩膜板001的滑块3的固定面设置为高于固定支撑掩模板的滑块3的固定面预定距离；其中，固定面是指滑块3用于与掩模板固定的表面。上述预定距离根据精密金属掩膜板001和支撑掩模板002的厚度差值确定。例如，对于常见的精密金属掩膜板001和支撑掩模板002，二者的厚度差为10微米左右，上述预定距离即可设置为10微米。

可以理解的是，图1和图2所示的导轨2、滑块3、精密金属掩膜板001、支撑掩模板002的数量均为示例，在其他实施例中，上述部件的数量均可以根据实际的制作需要而相应设置。

在本实施例中，由于导轨2与滑块3之间为可拆卸连接，在制作不同规格尺寸的显示屏时，只需要根据制作需要，适应的更换导轨2上的滑块3即可用于安装不同规格尺寸的掩膜板(精密金属掩膜板或支撑掩模板)，框架本体1和导轨2可以循环多次利用，无需如相关技术中一般重新制作全新的掩膜板框架，有效的降低了掩膜板组件的制作成本。类似的，当个别掩膜板需要更换时，也仅需更换对应的滑块即可，无需整个掩膜板组件全部更换。此外，掩膜板组件使用一段时间后，掩膜板与掩膜板框架之间会出现松动，通过滑块、导轨安装掩膜板的方式，也能够通过滑动掩膜板来微调掩膜板的位置，以消除松动带来的位置误差。最后，精密金属掩膜板或支撑掩模板是与滑块3固定连接的，而非直接与框架本体1连接，这样可以避免更换时损坏框架本体1，保证框架本体1表面的平坦度和精密金属掩膜板、支撑掩模板张网后的精度，有助于提升显示效果。

在一些实施例中，参考图3和图4，导轨2包括有凸部201；相对应的，滑块3包括有凹部301。滑块3通过其凹部301结构配合的设置在导轨2的凸部201上，从而实现滑块3与导轨2的滑动配合。具体的，导轨2可以通过螺钉或是焊接的方式固定在框架本体上，其上的凹部301朝远离框架本体的方向凸出，实现对滑块3的支撑，并限定出滑动的路径。滑块3通过其凹部301配合的扣合在凹部301上，实现滑块3与导轨2面滑动的连接。推动滑块3，即能够使滑块3沿导轨2滑动，以调节滑块3在导轨2上的位置。

其中，导轨2的两端为开放式结构，滑块3在滑动至导轨2的端部能够相应的从导轨2的端部脱出，使滑块3与导轨2相互分离，以实现将滑块3从导轨2上卸下。相应的，在导轨2的端部，将滑块3的凹部301与导轨2的凸部201对齐后推入导轨2，则可以实现将滑块3安装在导轨2上。上述结构和拆卸、安装方式，实现了滑块3与导轨2之间的可拆卸连接。

其中，参考图4，用于锁定滑块3与导轨2的相对位置的锁定机构包括：设置于滑块3的螺纹孔，以及螺纹配合设置于该螺纹孔内的锁定螺钉303。螺纹孔朝向导轨2的方向延伸，锁定螺钉303螺纹配合设置于该螺纹孔内后，能够沿该螺纹孔朝向导轨2旋进，并最终将滑块3顶紧至导轨2，从而锁定滑块3与导轨2的相对位置。在实施过程中，在导轨2上滑动滑块3至预定的位置后，旋紧锁定螺钉303，将滑块3在导轨2上的位置锁定，即可以继续进行后续固定精密金属掩膜板或支撑掩模板的处理工序。

在一些实施例中，参考图5，在图4所示实施例的基础上，滑块3可以为装配式结构。具体的，滑块3包括：可拆卸连接的第一子块31和第二子块32。第一子块31和第二子块32通过螺纹连接、卡接或磁吸的方式相互连接，连接后的第一子块31和第二子块32共同构成滑块3，并相应的形成凹部301。参考图3和图5，基于该装配式结构的滑块3，仅需将滑块3拆卸为分离的第一子块31和第二子块32后，即能够实现将滑块3从导轨2上卸下；相应的，在向导轨2上安装滑块3时，对应于导轨2的凸部201，将第一子块31和第二子块32分别从凸部201的两侧对应的连接成为滑块3后，即完成滑块3的安装。本实施例中装配式结构的滑块3能够实现方便快捷的拆装，同时当滑块3出现损坏需要更换时，仅需将损坏的子块更换即可，能够一定程度上节约成本。

在一些实施例中，滑块包括有用于与精密金属掩膜板或支撑掩模板相接触的固定面。一般来说，该固定面为滑块远离导轨一侧的平坦表面；精密金属掩膜板或支撑掩模板通过焊接、键合、卡接等方式固定在该固定面上，以实现其与滑块的固定连接。由于工艺问题，精密金属掩膜板或支撑掩模板固定在滑块的固定面后会存在褶皱。相应的，滑块内还设置有位置与固定面相对应的磁吸部件，该磁吸部件用于吸附精密金属掩膜板以展平精密金属掩膜板的褶皱。

作为一个可选的实施方式，参考图6，所述的磁吸部件可以为永磁体304。滑块3远离导轨2一侧的平坦表面为所述的固定面305。精密金属掩膜板001通过焊接方式固定于固定面305。永磁体304设置在滑块3内，其用于在对应固定面305的区域形成均匀磁场。为形成均匀磁场，永磁体304的形状可以设置为均匀的长条形结构。图6中的箭头示出了在永磁体304形成的磁场作用下，精密金属掩膜板001收到的磁场力的方向。在该磁场力的作用下，固定面305上褶皱的精密金属掩膜板001被拉向固定面305，同时基于固定面305的支撑，实现褶皱的展平。展平的精密金属掩膜板001能够在后续张网处理时，提升张网后的掩膜板质量，防止褶皱形成的间隙带来的掩膜板质量下降问题。

作为一个可选的实施方式，参考图7，所述的磁吸部件可以为永磁体304’。滑块3远离导轨2一侧的平坦表面为所述的固定面305。精密金属掩膜板001通过焊接方式固定于固定面305。焊接后精密金属掩膜板001存在褶皱，且一般情况下，该褶皱在中部位置的幅度较大，在边缘位置的幅度较小。针对于此，将永磁体304’设置在滑块3内，其用于在对应固定面305的区域形成非均匀磁场。该非均匀磁场在对应固定面305中部的位置较大，在对应固定面305边缘的位置较小。为形成非均匀磁场，永磁体304’可以设置为弧面型结构，该弧面型结构的弧面朝向固定面305设置，使得其形成的磁场在固定面305中部的位置较大、边缘位置较小。图6中的箭头示出了在永磁体304形成的磁场作用下，精密金属掩膜板001收到的磁场力的方向。在该磁场力的作用下，固定面305上褶皱的精密金属掩膜板001被拉向固定面305，同时基于固定面305的支撑，实现褶皱的展平。其中，精密金属掩膜板001中部收到的磁场力较大，能够将中部幅度较大的褶皱更好的展平，从而避免褶皱带来的掩膜板质量下降问题。

作为一个可选的实施方式，参考图8，滑块3远离导轨2一侧的平坦表面为所述的固定面305。精密金属掩膜板001通过焊接方式固定于固定面305。由于采用焊接方式，固定面305上会存在有与精密金属掩膜板001固定的连接点3051(即焊点)。基于上述结构，焊接后相邻两个连接点3051之间的精密金属掩膜板001会形成凸起结构，大量形成的该凸起结构也即构成了精密金属掩膜板001上的褶皱。相应的，所述的磁吸部件可以为紧贴固定面305设置的若干永磁体块304”。若干个永磁体块304”的具体设置方式为：在任意相邻两个连接点3051之间均设置一个永磁体块304”。通过紧贴固定面305设置的方式，使永磁体块304”能够准确对应于相邻两个连接点3051之间的位置，并通过磁场力的作用，将相邻两个连接点3051之间的精密金属掩膜板001拉平，整体上实现将精密金属掩膜板001的褶皱展平的效果。

在一些实施例中，提供了通过键合压紧的方式固定精密金属掩膜板的方案。具体的，滑块包括有用于与精密金属掩膜板或支撑掩模板相接触的固定面。一般来说，该固定面为滑块远离导轨一侧的平坦表面；固定面设置有凹槽，凹槽内配合的设置有压紧键；该压紧键与凹槽能够相互配合将精密金属掩膜板压紧固定于固定面。

作为一个可选的实施方式，参考图9和图10，滑块3远离导轨一侧的平坦表面为所述的固定面305。固定面305上设置有凹槽3052，该凹槽3052为三角形凹槽，即凹槽3052的截面形状为三角形。相配合的，凹槽3052内可以设置压紧键306。由于精密金属掩膜板001为纤薄金属条且具有延展性，则将精密金属掩膜板001置于固定面305后，将压紧键306压入凹槽3052，通过压紧键306与凹槽3052的键合压紧，便能够简单稳定的将精密金属掩膜板001固定至滑块3。通过上述方式固定精密金属掩膜板001能够避免焊接方式对于精密金属掩膜板001和滑块3的损失，有助于延长使用寿命。

作为一个可选的实施方式，参考图11和图12，滑块3远离导轨一侧的平坦表面为所述的固定面305。固定面305上设置有凹槽3052’，该凹槽3052’为梯形凹槽，即凹槽3052’的截面形状为梯形。相配合的，凹槽3052’内可以设置压紧键306’。为进一步增强压紧键306’与凹槽3052’压合后对于其间的精密金属掩膜板001固定的稳固度，凹槽3052’的槽底还设置有锯齿状结构3053，相应的，压紧键306’与槽底相接触的表面上也配合的设置有锯齿状结构。通过压紧键306’压紧精密金属掩膜板001后，上述锯齿状结构能够使压紧键306’与凹槽3052’压合的紧密程度，实现对精密金属掩膜板001更加稳固的固定，也能够方式精密金属掩膜板001被拉伸时产生位移。

基于同一发明构思，本公开实施例还提供了一种掩膜板组件，包括：如上任意一所述所述的掩膜板框架。

本实施例的掩膜板组件由于使用了上述实施例的掩膜板框架，使得其具有上述实施例的掩膜板框架所带来的有益效果，此处不再赘述。

基于同一发明构思，本公开实施例还提供了一种掩膜板组件的制作方法。参考图13，所述掩膜板组件的制作方法，包括以下步骤：

步骤S1301、根据预定的精密金属掩膜板和支撑掩模板的固定位置，通过锁定机构将若干滑块锁定在导轨的相应位置处；

步骤S1302、将张网处理后的支撑掩模板固定至相应的所述滑块；

步骤S1303、将张网处理后的精密金属掩膜板固定至相应的所述滑块。

其中，对于上述滑块、导轨等特征的选材、规格、设置方式，以及相应技术效果等内容，在前述显示背板的实施例中已有相关说明，上述各特征的实施方式可以参照前述掩膜板框架的实施例。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本公开的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本公开实施例的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。

本公开实施例旨在涵盖落入所附权利要求的宽泛范围之内的所有这样的替换、修改和变型。因此，凡在本公开实施例的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (13)

1.一种掩膜板框架，包括：框架本体，所述框架本体包括有开口；所述掩膜板框架还包括：沿所述开口的边缘设置的导轨，以及可拆卸的设置于所述导轨的滑块；所述滑块用于固定精密金属掩膜板或支撑掩模板；所述滑块设置有锁定机构，所述锁定机构用于锁定所述滑块与所述导轨的相对位置；

所述滑块包括有用于与精密金属掩膜板或支撑掩模板相接触的固定面；所述固定面设置有凹槽，所述凹槽内配合的设置有压紧键；所述压紧键与所述凹槽能够相互配合将精密金属掩膜板压紧固定于所述固定面。

2.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其中，所述导轨包括有凸部；所述滑块包括有凹部，所述滑块通过所述凹部滑动配合设置于所述凸部，以实现所述滑块在所述导轨上滑动；所述滑块还能够在滑动至所述导轨的端部后由所述导轨的端部脱出。

3.根据权利要求2所述的掩膜板框架，其中，所述滑块包括：可拆卸连接的第一子块和第二子块；所述第一子块和所述第二子块连接后配合形成所述凹部。

4.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其中，所述锁定机构包括：设置于所述滑块的螺纹孔，以及螺纹配合设置于所述螺纹孔内的锁定螺钉；所述锁定螺钉能够将所述滑块顶紧至所述导轨，以实现锁定所述滑块与所述导轨的相对位置。

5.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其中，所述滑块包括有用于与精密金属掩膜板或支撑掩模板相接触的固定面；所述滑块内设置有位置与所述固定面相对应的磁吸部件；所述磁吸部件用于吸附精密金属掩膜板以展平精密金属掩膜板的褶皱。

6.根据权利要求5所述的掩膜板框架，其中，所述磁吸部件为永磁体，所述永磁体设置于所述滑块内，且所述永磁体能够在对应所述固定面的区域形成均匀磁场。

7.根据权利要求5所述的掩膜板框架，其中，所述磁吸部件为永磁体，所述永磁体设置于所述滑块内，且所述永磁体能够在对应所述固定面的区域形成非均匀磁场；其中，所述非均匀磁场在对应所述固定面中部的位置较大，在对应所述固定面边缘的位置较小。

8.根据权利要求5所述的掩膜板框架，其中，所述磁吸部件为紧贴所述固定面设置的若干永磁体块；所述固定面包括有若干用于与精密金属掩膜板固定的连接点；任意相邻两所述连接点之间均设置一所述永磁体块。

9.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其中，所述凹槽和所述压紧键的截面均为三角形。

10.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其中，所述凹槽和所述压紧键的截面均为梯形；其中，所述凹槽的槽底和所述压紧键与所述槽底相接触的表面上还设置有相互配合的锯齿状结构。

11.根据权利要求1所述的掩膜板框架，其中，所述滑块设置有若干个，且每个所述滑块均包括有用于与精密金属掩膜板或支撑掩模板相接触的固定面；若干所述滑块中，部分所述滑块用于固定精密金属掩膜板，其它所述滑块用于固定支撑掩模板；其中，用于固定精密金属掩膜板的所述滑块的所述固定面高出用于固定支撑掩模板的所述滑块的所述固定面预定距离。

12.一种掩膜板组件，包括：如权利要求1至11任意一项所述的掩膜板框架。

13.一种如权利要求12所述的掩膜板组件的制作方法，包括：

根据预定的精密金属掩膜板和支撑掩模板的固定位置，通过锁定机构将若干滑块锁定在导轨的相应位置处；

将张网处理后的支撑掩模板固定至相应的所述滑块；

将张网处理后的精密金属掩膜板固定至相应的所述滑块。

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