CN103088298B - 镀膜修正板及镀膜装置 - Google Patents
镀膜修正板及镀膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103088298B CN103088298B CN201110337356.0A CN201110337356A CN103088298B CN 103088298 B CN103088298 B CN 103088298B CN 201110337356 A CN201110337356 A CN 201110337356A CN 103088298 B CN103088298 B CN 103088298B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- film coating
- correction plate
- shielding
- shielding plates
- coating correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
一种镀膜修正板，其包括一个遮挡面、两个相对转动设置的遮挡片及一个活动设置在所述两个遮挡片之间的调整元件。所述两个遮挡片共同配合决定所述遮挡面的外轮廓。所述调整元件用于驱动所述两个遮挡片相对转动以改变所述遮挡面的外轮廓。本发明的镀膜修正板，可通过驱动所述两个遮挡片相对转动改变所述遮挡面的外轮廓，使之适用于多种被镀件，提高通用性。本发明还提供一种具有上述镀膜修正板的镀膜装置。
Description
技术领域
本发明涉及一种镀膜修正板及镀膜装置。
背景技术
现有的蒸镀设备一般包括一个蒸镀源及一个设置于蒸镀源上方用来承载被镀件的伞状的承载架。蒸镀时，由于蒸镀源正上方的蒸发物浓度较高，导致蒸镀源正对的承载架的中间层圈的待镀基材上的膜层较厚，而位于上层圈(靠近承载架中心)的被镀件与位于下层圈(靠近承载架边缘)的被镀件上的膜层较薄。因此，蒸镀设备通常还包括一个设置于承载架与蒸镀源之间的镀膜修正板，用于遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正对的被镀件上的膜层的厚度，从而修正承载架上位于不同层圈的被镀件上的膜层厚度的差异。由于各种被镀件采用的蒸镀源的蒸发速率、蒸镀的沉积速率及被镀件的形状不同，各种被镀件对镀膜修正板的形状的要求也不同。通常一种被镀件采用对应的一种具有固定形状的镀膜修正板，这种镀膜修正板不能适用多种被镀件，通用性差。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种通用性佳的镀膜修正板及使用该镀膜修正板的镀膜装置。
一种镀膜修正板，其包括一个遮挡面、两个相对转动设置的遮挡片及一个活动设置在所述两个遮挡片之间的调整元件。所述两个遮挡片共同配合决定所述遮挡面的外轮廓。所述调整元件用于驱动所述两个遮挡片相对转动以改变所述遮挡面的外轮廓。所述镀膜修正板还包括一个固定在所述两个遮挡片之间的弹性元件，当所述调整元件驱动所述两个遮挡片相对转动时，所述弹性元件提供一个驱使所述两个遮挡片相向运动趋势的拉力。
一种镀膜装置，包括一个中空的镀膜室、一个安装于所述镀膜室的承载架、一个安装于所述镀膜室且与所述承载架相对设置的蒸镀源及至少一个设置于所述承载架与所述蒸镀源之间的镀膜修正板。每个所述镀膜修正板包括一个遮挡面、两个相对转动设置的遮挡片及一个活动设置在所述两个遮挡片之间的调整元件。所述两个遮挡片共同配合决定所述遮挡面的外轮廓。所述调整元件用于驱动所述两个遮挡片相对转动以改变所述遮挡面的外轮廓。所述镀膜修正板还包括一个固定在所述两个遮挡片之间的弹性元件，当所述调整元件驱动所述两个遮挡片相对转动时，所述弹性元件提供一个驱使所述两个遮挡片相向运动趋势的拉力。
本发明的镀膜修正板，可通过驱动所述两个遮挡片相对转动改变所述遮挡面的的外轮廓，使之适用于多种被镀件，提高通用性。
附图说明
图1是本发明第一实施方式的镀膜装置的剖视示意图。
图2是图1的镀膜装置的镀膜修正板的立体分解图。
图3是图2的镀膜修正板的立体组合图。
图4是图3的镀膜修正板的处于第一使用状态的俯视图。
图5是图4的镀膜修正板的处于第二使用状态的俯视图。
图6是本发明第二实施方式的镀膜装置的镀膜修正板的立体组合图。
图7是图6的镀膜修正板的使用状态图。
主要元件符号说明
镀膜装置100
镀膜室10
顶部11
底部12
承载架20
转轴21
旋转马达22
蒸镀源30
镀膜修正板40
外轮廓401
安装杆41
第一端部411
螺孔4111
第二端部412
遮挡片42
遮挡面4200
子遮挡面420
第一侧面421
第二侧面422
第三侧面423
弹性臂424
调整元件43
螺纹部431
头部432
操作面4321
第一配合面4322
第二配合面4323
凹槽4324
弹性元件44
支持杆50
镀膜修正板80
第一镀膜修正板81
第一安装杆811
第二镀膜修正板82
第二安装杆821
螺丝90
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
请参阅图1至图3，为本发明第一实施方式提供的一种镀膜装置100，其包括一个镀膜室10、一个承载架20、一个蒸镀源30及一个镀膜修正板40。
所述镀膜室10为中空圆柱状或长方体状，所述镀膜室10包括一个顶部11及一个与顶部11相对的底部12。
所述承载架20大致为圆锥形，其安装在所述顶部11。具体的，所述承载架20连接至一个转轴21，所述转轴21穿过所述顶部11安装至一个设置于所述镀膜室10外的旋转马达22。所述承载架20用于固定复数个待镀件(图未示)。所述旋转马达22用于带动所述转轴21转动从而带动所述承载架20转动。
所述蒸镀源30设置于所述镀膜室10内的底部12，其装有镀膜材料，该镀膜材料可以通过电阻加热法或电子束加热法而被汽化。
所述镀膜修正板40设置于所述承载架20与所述蒸镀源30之间，所述镀膜修正板40进一步安装至一支持杆50上。所述镀膜修正板40位于蒸镀源30上方且与所述蒸镀源30相对。所述镀膜修正板40包括一个安装杆41、两个遮挡片42、一个调整元件43及一个弹性元件44。
所述安装杆41由金属制成，其大致为方形长条状。所述安装杆41包括一个第一端部411及一个远离所述第一端部411的第二端部412。所述安装杆41在所述第一端部411处开设有一个螺孔4111，所述螺孔4111为一个盲孔。
所述两个遮挡片42形状相同且均由金属制成。每个遮挡片42大致为弓形且为平板状，所述每个遮挡片42包括一个子遮挡面420、一个垂直所述子遮挡面420的第一侧面421、一个第二侧面422及一个第三侧面423。所述子遮挡面420与所述蒸镀源30相对。所述第一侧面421为平面，所述第二侧面422大致为抛物面，所述第二侧面422凸向远离所述第一侧面421的方向。所述第三侧面423大致垂直所述第一侧面421且与所述第一侧面421及第三侧面423相连。所述每个遮挡片42还包括一个自所述第一侧面421与第三侧面423的连接处延伸出的弹性臂424。
所述调整元件43为一个螺丝，其包括一个螺纹部431及一个连接至所述螺纹部431的头部432。所述螺纹部431用于与所述螺孔4111配合。所述头部432为凸轮状，其包括一个操作面4321、一对相平行的第一配合面4322及一对第二配合面4323。所述操作面4321与螺纹部431相垂直的并开设有一个一字形的凹槽4324。每个第一配合面4322垂直于所述操作面4321。每个第二配合面4323为凸弧形，所述每个第二配合面4323垂直于所述操作面4321且连接于所述一对第一配合面4322之间，所述第二配合面4323之间的距离大于所述第一配合面4322之间的距离。
所述弹性元件44为一个弹簧。
组装时，将所述螺纹部431与所述螺孔4111配合，使所述调整元件43安装于所述安装杆41上；将每个遮挡片42的弹性臂424的一端焊接至所述第一端部411，所述两个遮挡片42关于所述安装杆41对称设置，所述两个遮挡片42的两个子遮挡面420共面，所述两个遮挡片42的两个子遮挡面420共同配合决定一个遮挡面4200的外轮廓401，所述两个遮挡片42的两个第一侧面421相对。所述调整元件43活动设置于所述两个遮挡片42之间，所述操作面4321与所述两个第一侧面421垂直；再将所述弹性元件44安装于所述两个遮挡片42之间，具体的，所述弹性元件44两端分别固定至两个第一侧面421远离两个弹性臂424的位置；最后将所述第一端部411连接至所述支持杆50上。
请参阅图4及图5，使用时，通过螺丝刀(图未示)等工具转动所述调整元件43，当所述两个第一侧面421与所述一对第一配合面4322平行时，所述两个弹性臂424均为自然状态不发生变形，所述两个第一侧面421之间的距离对应于(略大于)所述两个第一配合面4322之间的距离，此时所述弹性元件44也处于自然状态；继续旋转所述调整元件43，使每个第二配合面4323分别与对应一个第一侧面421相抵靠，所述两个弹性臂424均发生变形，所述两个遮挡片42相对转动，此时，所述外轮廓401的形状被改变(图5相对于图4)，此时，所述两个弹性臂424及所述弹性元件44均处于变形状态并提供一个使所述两个遮挡片42相向运动趋势的拉力，所述弹性元件44用于防止所述两个遮挡片晃动，所述调整元件43旋转至任意位置时，所述弹性元件44都可以保持所述镀膜修正板40形状稳定。在镀膜时，可以根据蒸镀源30的蒸发速率、蒸镀的沉积速率及被镀件的形状不同，调整所述两个遮挡片42以改变所述外轮廓401的形状，以适用于多种被镀件，提高通用性。
在其他实施方式中，所述两个遮挡片42也可以为矩形、圆形或其他任意形状。每个遮挡片42也可以不包括弹性臂424，每个遮挡片42可通过螺栓或铰链的方式转动连接至所述安装杆41。
请参阅图6及图7，为本发明第二实施方式提供的镀膜修正板80，所述镀膜修正板80包括第一镀膜修正板81及第二镀膜修正板82。
所述第一镀膜修正板81包括一个第一安装杆811。所述第一镀膜修正板81与第一实施方式中的镀膜修正板40结构基本相同，区别仅在于所述第一安装杆811还开设有一个通孔(图未示)。
所述第二镀膜修正板82包括一个第二安装杆821。所述第二镀膜修正板82与第一实施方式中的镀膜修正板40结构基本相同，区别仅在于所述第二安装杆821还开设有一个与所述第一安装杆811的通孔对应的通孔(图未示)。
所述第一安装杆811与所述第二安装杆821的通孔相对应，并通过一个螺丝90将所述第一安装杆811与所述第二安装杆821连接在一起，从而将所述第一镀膜修正板81与所述第二镀膜修正板82层叠连接在一起。如此，可以分别调整所述第一镀膜修正板81与所述第二镀膜修正板82的形状，从而使所述第一镀膜修正板81与所述第二镀膜修正板82可以叠加出不同形状(如图7所示)。
在其他实施方式中，所述第一镀膜修正板81及第二镀膜修正板82可以与第一实施方式中的镀膜修正板40结构完全相同，所述第一安装杆811及所述第二安装杆821通过焊接方式连接在一起，从而将所述第一镀膜修正板81与所述第二镀膜修正板82层叠连接在一起。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (9)
1.一种镀膜修正板，其包括一个遮挡面、两个相对转动设置的遮挡片及一个活动设置在所述两个遮挡片之间的调整元件；所述两个遮挡片共同配合决定所述遮挡面的外轮廓；所述调整元件用于驱动所述两个遮挡片相对转动以改变所述遮挡面的外轮廓；所述镀膜修正板还包括一个固定在所述两个遮挡片之间的弹性元件，当所述调整元件驱动所述两个遮挡片相对转动时，所述弹性元件提供一个驱使所述两个遮挡片相向运动趋势的拉力。
2.如权利要求1所述的镀膜修正板，其特征在于：所述镀膜修正板还包括一个安装杆，所述安装杆呈长条状并包括一个第一端部；所述两个遮挡片安装在所述第一端部上。
3.如权利要求2所述的镀膜修正板，其特征在于：所述第一端部开设有一个螺孔，所述调整元件为一个螺丝，所述调整元件包括一个与所述螺孔对应的螺纹部及连接至所述螺纹部的凸轮状的头部，所述调整元件旋转时，所述头部与所述两个遮挡片相抵靠以驱动所述两个遮挡片相对转动。
4.如权利要求3所述的镀膜修正板，其特征在于：所述安装杆及两个遮挡片均由金属制成，每个遮挡片均延伸设有一个弹性臂，所述每个遮挡片的弹性臂焊接至所述第一端部。
5.如权利要求4所述的镀膜修正板，其特征在于：每个遮挡片还包括一个平面状的第一侧面，所述两个遮挡片的两个第一侧面相对；所述头部包括一个与所述两个第一侧面垂直的操作面、一对平面状的且垂直于所述操作面的第一配合面及一对弧形的连接于所述一对第一配合面之间的第二配合面；所述第二配合面之间的距离大于所述第一配合面之间的距离；当旋转所述头部使所述两个第一侧面平行于所述一对第一配合面时，所述两个第一侧面之间的距离对应于所述一对第一配合面之间的距离，所述两个遮挡片的弹性臂处于自然状态不发生变形。
6.如权利要求2所述的镀膜修正板，其特征在于：所述每个遮挡片为平板状的弓形且包括一个子遮挡面，所述两个遮挡片的两个子遮挡面共面且共同配合决定所述遮挡面的外轮廓；所述调整元件安装于所述安装杆上用于驱动所述两个遮挡片沿平行所述两个遮挡片各自的遮挡面的方向相对转动。
7.一种镀膜装置，包括一个中空的镀膜室、一个安装于所述镀膜室的承载架、一个安装于所述镀膜室且与所述承载架相对设置的蒸镀源及至少一个设置于所述承载架与所述蒸镀源之间的镀膜修正板；每个所述镀膜修正板包括一个遮挡面、两个相对转动设置的遮挡片及一个活动设置在所述两个遮挡片之间的调整元件；所述两个遮挡片共同配合决定所述遮挡面的外轮廓；所述调整元件用于驱动所述两个遮挡片相对转动以改变所述遮挡面的外轮廓；所述镀膜修正板还包括一个固定在所述两个遮挡片之间的弹性元件，当所述调整元件驱动所述两个遮挡片相对转动时，所述弹性元件提供一个驱使所述两个遮挡片相向运动趋势的拉力。
8.如权利要求7所述的镀膜装置，其特征在于：所述至少一个镀膜修正板还包括一个安装杆，所述安装杆呈长条状并包括一个第一端部，所述第一端部开设有一个螺孔；所述每个遮挡片包括一个与所述蒸镀源相对的子遮挡面，所述两个遮挡片安装在所述第一端部上且所述两个遮挡片的两个子遮挡面共面；所述调整元件为一个螺丝，所述调整元件包括一个与所述螺孔对应的螺纹部及连接至所述螺纹部的凸轮状的头部，所述调整元件旋转时，所述头部与所述两个遮挡片相抵靠以驱动所述两个遮挡片相对转动。
9.如权利要求8所述的镀膜装置，其特征在于：所述镀膜装置包括两个镀膜修正板，所述两个镀膜修正板为第一镀膜修正板及第二镀膜修正板，所述第一镀膜修正板包括一个第一安装杆，所述第二镀膜修正板包括一个第二安装杆，所述第一安装杆与所述第二安装杆固定连接，使所述第一镀膜修正板及第二镀膜修正板层叠连接在一起。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110337356.0A CN103088298B (zh) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 镀膜修正板及镀膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110337356.0A CN103088298B (zh) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 镀膜修正板及镀膜装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103088298A CN103088298A (zh) | 2013-05-08 |
| CN103088298B true CN103088298B (zh) | 2016-05-11 |
Family
ID=48201415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201110337356.0A Expired - Fee Related CN103088298B (zh) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 镀膜修正板及镀膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103088298B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4198162A1 (en) * | 2021-12-16 | 2023-06-21 | Essilor International | Physical vapor deposition machine with a shutter having at least one intermediate position |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN205295446U (zh) * | 2016-01-18 | 2016-06-08 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种真空蒸发镀膜设备 |
| JP6698509B2 (ja) * | 2016-12-14 | 2020-05-27 | 株式会社神戸製鋼所 | ターゲット用シャッタ機構およびそれを備えた成膜装置 |
| CN107630188A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-26 | 安徽富芯微电子有限公司 | 一种用于提高金属层镀膜均匀性的镀膜机构及其使用方法 |
| CN108642453B (zh) * | 2018-06-25 | 2020-03-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 真空蒸镀腔室及真空蒸镀设备 |
| CN109457221B (zh) * | 2019-01-23 | 2023-09-01 | 广州北辰工业自动化有限公司 | 可调节的镀膜修正板机构 |
| CN111752301B (zh) * | 2019-12-31 | 2024-06-07 | 广州极飞科技股份有限公司 | 无人设备定位检测装置、方法及无人设备 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58131129A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-04 | Ulvac Corp | プラネタリ−式成膜装置における膜厚修正装置 |
| CN201212059Y (zh) * | 2008-06-27 | 2009-03-25 | 贵州振华云科电子有限公司 | 溅射薄膜的厚度均匀性修正装置 |
| CN101457349A (zh) * | 2007-12-10 | 2009-06-17 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镀膜修正板 |
| CN102086505A (zh) * | 2009-12-03 | 2011-06-08 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镀膜修正板 |
-
2011
- 2011-10-31 CN CN201110337356.0A patent/CN103088298B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58131129A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-04 | Ulvac Corp | プラネタリ−式成膜装置における膜厚修正装置 |
| CN101457349A (zh) * | 2007-12-10 | 2009-06-17 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镀膜修正板 |
| CN201212059Y (zh) * | 2008-06-27 | 2009-03-25 | 贵州振华云科电子有限公司 | 溅射薄膜的厚度均匀性修正装置 |
| CN102086505A (zh) * | 2009-12-03 | 2011-06-08 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 镀膜修正板 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4198162A1 (en) * | 2021-12-16 | 2023-06-21 | Essilor International | Physical vapor deposition machine with a shutter having at least one intermediate position |
| WO2023110807A1 (en) * | 2021-12-16 | 2023-06-22 | Essilor International | Physical vapor deposition machine with a shutter having at least one intermediate position |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103088298A (zh) | 2013-05-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103088298B (zh) | 镀膜修正板及镀膜装置 | |
| JP5334062B2 (ja) | 活物質コーティング装置 | |
| JP6403184B2 (ja) | 蒸着装置及びそれに適用するマスク組立体 | |
| WO2021104237A1 (zh) | 框架及显示设备 | |
| TW201306651A (zh) | 用於製造白色有機電發光二極體面板之蒸鍍與鈍化用的遮罩框架組件及其製造方法和裝置 | |
| US20180080117A1 (en) | Vacuum Evaporation Coating Equipment | |
| KR20150049645A (ko) | 박막 증착 장치 | |
| US20230295791A1 (en) | Mask assemblies and evaporation devices | |
| US20180065143A1 (en) | Division mask | |
| CN106191798A (zh) | 立式磁控溅射真空镀膜防绕镀方法及基片夹具 | |
| KR20130033722A (ko) | 도금 차폐 기구 및 이를 구비한 도금 장치 | |
| KR20160017395A (ko) | 마그넷 플레이트 조립체, 이를 포함하는 증착장치 및 증착방법 | |
| US20220090257A1 (en) | Clamping device | |
| TWI698543B (zh) | 靶材結構 | |
| TW201317372A (zh) | 鍍膜修正板及鍍膜裝置 | |
| CN109536886A (zh) | 一种蒸镀装置及oled面板蒸镀方法 | |
| CN107675128B (zh) | 掩膜版框架 | |
| JP6673590B2 (ja) | スパッタ成膜装置 | |
| US9644256B2 (en) | Mask assembly and thin film deposition method using the same | |
| US20210328147A1 (en) | Carrier for supporting a substrate or a mask | |
| US20210207257A1 (en) | Mask sheet, mask plate and assembling method thereof | |
| KR200480788Y1 (ko) | 높이 조절이 가능한 메탈 마스크용 프레임 | |
| CN209722282U (zh) | 一种镀膜补正装置和用于对曲面基板镀膜的镀膜机 | |
| US8476792B2 (en) | Voice coil motor employing elastic electrode member having two elastic sheets separated from each other | |
| TWI450988B (zh) | 鍍膜修正板 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Wang Tao Inventor after: Yi Lixia Inventor after: Liu Wenming Inventor after: Wang Weiqin Inventor before: Pei Shaokai |
|
| COR | Change of bibliographic data | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20170302 Address after: Zhenjiang city of Zhenjiang province Jiangsu fifteen new Dingmao Road No. 99 building D40 Patentee after: Optical instrument (Zhenjiang) Co., Ltd. Address before: 518109 Guangdong city of Shenzhen province Baoan District Longhua Town Industrial Zone tabulaeformis tenth East Ring Road No. 2 two Patentee before: Hongfujin Precise Industry (Shenzhen) Co., Ltd. Patentee before: Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160511 Termination date: 20171031 |