KR20130033722A - 도금 차폐 기구 및 이를 구비한 도금 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 도금 차폐 기구는 구멍이 형성된 차폐 부재; 및 상기 차폐 부재에 회전 가능하게 설치되어, 상기 구멍의 크기를 조절하는 개폐 수단;을 포함할 수 있다.
아울러, 본 발명의 도금 장치는 도금 대상물이 수용되는 도금 욕조; 구멍이 형성된 차폐 부재과 상기 차폐 부재에 회전 가능하게 설치되어 상기 구멍의 크기를 조절하는 개폐 수단을 포함하고, 상기 도금 욕조에 설치되는 도금 차폐 기구; 및 도금 대상물의 크기에 따라 상기 구멍의 크기가 조절될 수 있도록, 상기 개폐 수단을 제어하는 제어수단;을 포함할 수 있다.

Description

도금 차폐 기구 및 이를 구비한 도금 장치{Shielding apparatus and plating device including the same}

본 발명은 도금 차폐 기구 및 이를 구비한 도금 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 도금대상물의 크기에 따라 차폐크기를 조절할 수 있는 도금 차폐 기구 및 이를 구비한 도금 장치에 관한 것이다.

프로브 카드(probe card)는 반도체의 양불 여부를 검사하기 위하여 반도체 칩과 테스트 장비를 연결하는 장치이다. 프로브 카드는 다수의 프로브 바늘을 포함하며, 프로브 바늘을 통해 웨이퍼와 접촉하여 불량 반도체 칩의 양부를 검사한다.

프로브 카드는 일반적으로 저온 동시 소성 세라믹(LTCC, Low Temperature Co-fired Ceramics)으로 제작되며, 도금 장치에 의해 도금된다.

일반적으로 프로브 카드의 도금은 도금조에 프로브 카드를 담근 상태에서, 양극 부재로부터 프로브 카드로 전류를 흘려보내 프로브 카드의 표면에 도금층을 형성하는 방식으로 이루어진다.

여기서, 프로브 카드에 형성되는 도금층은 전류밀도에 따라 다르게 형성될 수 있다. 때문에, 통상적인 도금 공정에서는 프로브 카드와 양극 부재 사이에 차폐 부재가 설치된다.

그런데 프로브 카드는 웨이퍼의 종류, 회로 구성, 적용 범위 등에 따라 각각 다른 크기로 제작되므로, 도금 공정에서 사용되는 차폐판도 프로브 카드의 종류(도금 패턴) 및 크기에 따라 달라져야 하고, 각각의 프로브 카드에 맞는 차폐판을 별도로 제작하여야 한다.

그러나 차폐판을 프로브 카드에 따라 개별적으로 제작하면 프로브 카드의 제작 원가가 상승할 뿐만 아니라 차폐 부재의 교체작업을 위한 별도의 시간이 소요되므로 프로브 카드의 생산효율이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 도금 대상물에 일정한 두께의 도금층을 형성할 수 있는 도금 차폐 기구 및 이를 구비한 도금 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

아울러, 본 발명은 프로브 카드의 크기에 따라 도금 차폐 기구의 개방비율을 조절할 수 있는 도금 차폐 기구 및 이를 구비한 도금 장치를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 차폐 기구는 구멍이 형성된 차폐 부재; 및 상기 차폐 부재에 회전 가능하게 설치되어, 상기 구멍의 크기를 조절하는 개폐 수단;을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 상기 개폐 수단은 상기 구멍을 중심으로 원형 배치되는 다수의 개폐 부재일 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 차폐 기구에서 다수의 상기 개폐 부재는 동시에 회전 운동할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 상기 개폐 수단은 다수의 개폐 부재와 상기 개폐 부재를 회전시키는 구동 수단을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 상기 구동수단은 상기 개폐 부재와 각각 결합하는 제1기어; 및 상기 제1기어를 회전시키는 제2기어;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 상기 제1기어는 유성이고, 상기 제2기어는 내접 기어일 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 상기 개폐 수단은 제1방향으로 이동하는 한 벌의 제1개폐 부재; 및 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 이동하는 한 벌의 제2개폐 부재;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 상기 개폐 수단은 상기 제1개폐 부재에는 캠 홈이 형성되고, 상기 제2개폐 부재에는 상기 캠 홈에 끼워지는 돌기가 형성되어, 상기 제1개폐 부재와 상기 제2개폐 부재의 개폐 운동이 일체로 이루어질 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 장치는 도금 대상물이 수용되는 도금 욕조; 구멍이 형성된 차폐 부재과 상기 차폐 부재에 회전 가능하게 설치되어 상기 구멍의 크기를 조절하는 개폐 수단을 포함하고, 상기 도금 욕조에 설치되는 도금 차폐 기구; 및 도금 대상물의 크기에 따라 상기 구멍의 크기가 조절될 수 있도록, 상기 개폐 수단을 제어하는 제어수단;을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 장치는 도금 대상물의 크기를 감지하고, 감지된 신호를 상기 제어수단에 송출하는 감지수단을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 장치의 상기 제어수단은 상기 구멍의 개방비율이 도금 대상물의 표면적에 대해 60 ~ 65%가 되도록 상기 개폐 수단을 제어할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 장치의 상기 제어수단은 상기 구멍의 개방비율이 도금 대상물의 도금 면적에 대해 60 ~ 65%가 되도록 상기 개폐 수단을 제어할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 장치의 상기 개폐 수단은 상기 구멍을 중심으로 원형 배치되는 다수의 개폐 부재일 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 장치에서 다수의 상기 개폐 부재는 동시에 회전 운동할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 장치의 상기 개폐 수단은 다수의 개폐 부재와 상기 개폐 부재를 회전시키는 구동 수단을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 장치의 상기 구동수단은 상기 개폐 부재와 각각 결합하는 제1기어; 및 상기 제1기어를 회전시키는 제2기어;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 장치의 상기 제1기어는 유성이고, 상기 제2기어는 내접 기어일 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 장치의 상기 개폐 수단은 제1방향으로 이동하는 한 벌의 제1개폐 부재; 및 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 이동하는 한 벌의 제2개폐 부재;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 도금 장치의 상기 개폐 수단은 상기 제1개폐 부재에는 캠 홈이 형성되고, 상기 제2개폐 부재에는 상기 캠 홈에 끼워지는 돌기가 형성되어, 상기 제1개폐 부재와 상기 제2개폐 부재의 개폐 운동이 일체로 이루어질 수 있다.

본 발명은 차폐 부재의 개방비율이 프로브 카드에 따라 조절될 수 있다.

따라서, 본 발명에 따르면 프로브 카드의 종류에 따라 별도의 차폐 부재를 제작할 필요가 없으며, 이에 따라 차폐 부재의 제작비용을 절감할 수 있다,

아울러, 본 발명에 따르면 프로브 카드의 종류에 따라 차폐 부재를 교체할 필요가 없으므로, 프로브 카드의 도금공정을 간소화시킬 수 있으며, 이를 통해 프로브 카드의 생산효율을 높일 수 있다.

또한, 본 발명은 프로브 카드의 도금편차를 최소화할 수 있는 개방비율을 제공하므로, 프로브 카드의 도금품질을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 정면도이고,
도 2는 본 발명의 제2실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 정면도이고,
도 3은 도 2에 도시된 도금 차폐 기구의 개폐 수단을 나타낸 사시도이고,
도 4는 도 3에 도시된 개폐 수단의 정면도이고,
도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 개폐 수단의 작동 원리를 나타낸 정면도이고,
도 7은 본 발명의 제3실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 정면도이고,
도 8은 도 7에 도시된 도금 차폐 기구의 개폐 수단을 나타낸 정면도이고,
도 9는 도 7에 도시된 개폐 수단의 작동 원리를 나타낸 정면도이고,
도 10은 본 발명의 한 실시 예에 따른 도금 장치를 나타낸 측면도이고,
도 11은 일반적인 프로브 기판의 형상을 나타낸 정면도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.

아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.

도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 정면도이다.

제1실시 예에 따른 도금 차폐 기구(100)는 차폐 부재(110)와 개폐 수단(120)을 포함할 수 있다. 또한, 도금 차폐 기구(100)는 개폐 수단(120)을 작동시키는 구동수단과 구동수단을 제어하는 제어수단을 더 포함할 수 있다.

차폐 부재(110)는 도금공정 시 도금액 또는 전류의 흐름을 차단할 수 있는 재질로 제작될 수 있다. 또한, 차폐 부재(110)는 도금액 또는 전류의 흐름이 도금 대상물로 이동하는 것을 효과적으로 차단할 수 있도록, 도금 대상물(예를 들어, 프로브 카드)의 단면 크기보다 넓은 단면 크기를 가질 수 있다.

아울러, 차폐 부재(110)는 내부에 다른 부재들을 수용할 수 있도록 상자 형상일 수 있다. 구체적으로 설명하면, 차폐 부재(110)는 상대적으로 폭(도 1 기준으로 Y축 방향의 길이)이 작은 직육면체 형상일 수 있다. 또한, 차폐 부재(110)는 복수의 부재가 조립되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 차폐 부재(110)는 전면 부재와 후면 부재가 결합하여 이루어지거나 또는 상부 부재와 하부 부재가 결합하여 이루어질 수 있다. 이 같이 차폐 부재(110)가 2개 이상의 부재로 이루어지는 경우에는, 볼트 등과 같은 체결수단에 의해 결합 및 분리가 선택적으로 이루어지도록 형성될 수 있다.

차폐 부재(110)에는 구멍(112)이 형성될 수 있다. 구멍(112)은 차폐 부재(110)의 중심에 형성될 수 있으며, 소정의 크기를 가질 수 있다. 본 실시 예에서 구멍(112)은 반지름 R을 갖는 원형일 수 있다.

개폐 수단(120)은 차폐 부재(110)에 회전 또는 직선 운동이 가능하게 설치될 수 있다. 이와 같이 설치된 개폐 수단(120)은 회전 또는 직선 운동을 통해 구멍(112)을 완전히 폐쇄하거나 완전히 개방시킬 수 있으며, 구멍(112)의 개방면적(또는 개방비율)을 조절할 수 있다. 이를 위해 개폐 수단(120)은 하나 이상의 개폐 부재(130)를 포함할 수 있다. 본 실시 예에서 개폐 수단(120)은 한 쌍의 개폐 부재(130)를 포함할 수 있다.

한 쌍의 개폐 부재(130)는 구멍(112)을 중심으로 대칭되게 배치될 수 있다. 개폐 부재(130)는 얇은 판 형상일 수 있다. 그러나 개폐 부재(130)의 형상은 이에 한정되지 않고, 삼각형, 오각형, 반 원형 등에서 임의로 선택될 수 있다. 한 쌍의 개폐 부재(130)는 구멍(112)을 완전히 폐쇄할 수 있는 제1길이(L1)와 제2길이(L2)를 가질 수 있다. 즉, 개폐 부재(130)의 제1길이(L1)는 구멍(112)의 지름(2×R)보다 클 수 있으며, 제2길이(L2)는 구멍(112)의 반지름(R)보다 클 수 있다. 그러나 구멍(112)의 완전 폐쇄가 불필요한 경우에는, 개폐 부재(130)의 길이(L1, L2)가 위 조건을 만족하지 않을 수도 있다.

이와 같이 구성된 개폐 부재(130)는 작업자의 수작업 또는 별도의 구동수단에 의해 일 방향(도 1 기준으로 X축 방향)으로 이동하여, 구멍(112)의 개방비율을 조절할 수 있다. 예를 들어, 개폐 부재(130)는 실린더 또는 선형 모터 등에 의해 차폐 부재(110)에서 일 방향으로 왕복 이동할 수 있다. 또는 차폐 부재(110)에 가이드 레일이 형성되고 개폐 부재(130)에 롤러 등이 부착되어, 작업자가 개폐 부재(130)를 용이하게 움직일 수 있다.

위와 같이 이루어진 본 실시 예는 구멍(112)의 개방비율이 개폐 부재(130)에 의해 조절되므로, 차폐 부재(또는 차폐판)를 교체하지 않더라도 크기가 다른 도금 대상물을 도금할 수 있다.

다음에서는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도금 차폐 기구를 설명한다. 도 2는 본 발명의 제2실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 정면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 도금 차폐 기구의 개폐 수단을 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 개폐 수단의 정면도이고, 도 5 및 도 6은 도 4에 도시된 개폐 수단의 작동 원리를 나타낸 정면도이고, 도 7은 본 발명의 제3실시 예에 따른 도금 차폐 기구의 정면도이고, 도 8은 도 7에 도시된 도금 차폐 기구의 개폐 수단을 나타낸 정면도이고, 도 9는 도 7에 도시된 개폐 수단의 작동 원리를 나타낸 정면도이다.

도 2 내지 도 6을 참조하여 제2실시 예에 따른 도금 차폐 기구를 설명한다. 참고로, 본 실시 예에서 제1실시 예와 동일한 구성요소는 동일한 도면부호를 사용하며, 이들 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략한다.

본 실시 예에 따른 도금 차폐 기구(100)는 개폐 수단(120)의 구조에 있어서 제1실시 예와 구별될 수 있다. 제2실시 예에 따른 개폐 수단(120)은 도 2에 도시된 바와 같이 한 쌍의 제1개폐 부재(132)와 한 쌍의 제2개폐 부재(134)를 포함할 수 있다.

제1개폐 부재(132)는 차폐 부재(110)의 가로 방향(도 2 기준으로 X축 방향)으로 이동 가능하게 설치될 수 있고, 제2개폐 부재(134)는 차폐 부재(110)의 세로 방향(도 2 기준으로 Z축 방향)으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 여기서, 제1개폐 부재(132) 또는 제2개폐 부재(134) 또는 제1개폐 부재(132)와 제2개폐 부재(134)는 구멍(112)을 완전히 폐쇄할 수 있는 제1길이(L1, L3)와 제2길이(L2, L4)를 가질 수 있다. 즉, 개폐 부재(132, 134)의 제1길이(L1, L3)는 구멍(112)의 지름(2×R)보다 클 수 있으며, 제2길이(L2, L4)는 구멍(112)의 반지름(R)보다 클 수 있다. 그러나 구멍(112)의 완전 폐쇄가 불필요한 경우에는, 개폐 부재(132, 134)의 길이(L1, L2, L3, L4)가 위 조건을 만족하지 않을 수도 있다.

제1개폐 부재(132)와 제2개폐 부재(134)는 도 3에 도시된 바와 같이 부분적으로 중첩되게 설치될 수 있으며, 상호 연동하여 움직일 수 있다. 예를 들어, 제1개폐 부재(132)는 제2개폐 부재(134)의 상하방향(도 3 기준으로 Z축 방향) 움직임에 의해 수평방향(도 3 기준으로 X축 방향)으로 움직일 수 있다. 또는, 제2개폐 부재(134)는 제1개폐 부재(132)의 좌우방향 움직임에 의해 상하방향으로 움직일 수 있다.

이러한 상호 연동 작동을 위해 도 4에 도시된 바와 같이, 제1개폐 부재(132)는 홈(1322)을 구비할 수 있고, 제2개폐 부재(134)는 돌기(1342)를 구비할 수 있다. 아울러, 제1개폐 부재(132)의 끝 부분과 제2개폐 부재(134)의 끝 부분은 상호 접촉하거나 또는 마주보도록 배치될 수 있다.

홈(1322)은 제1개폐 부재(132)의 양끝 부분에 길게 형성될 수 있으며, 도 4 기준으로 X축과 Z축에 대해 비스듬하게 형성될 수 있다. 여기서, 제1개폐 부재(132)의 양끝에 형성된 홈(1322)은 제1개폐 부재(132)를 이등분하는 가상의 선(K-K)을 기준으로 상호 대칭 형상일 수 있다. 그리고 서로 다른 제1개폐 부재(132)에 형성된 홈(1322)은 제2개폐 부재(134)를 이등분하는 가상의 선(M-M)을 기준으로 상호 대칭 형상일 수 있다.

돌기(1342)는 제2개폐 부재(134)의 양끝 부분에 형성될 수 있으며 홈(1322)에 끼워질 수 있다. 돌기(1342)는 홈(1322)의 내벽과 선 접촉할 수 있도록 원형의 단면을 가질 수 있다. 여기서, 돌기(1342)의 지름(d)은 홈(1322)의 폭(w)과 동일하거나 홈(1322)의 폭(w)보다 작을 수 있다.

이와 같은 구조로 배치된 제1개폐 부재(132)와 제2개폐 부재(134)는 홈(1322)과 돌기(1342)에 의해 연결되므로, 상호 연동하여 움직일 수 있다.

예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이 한 쌍의 제1개폐 부재(132)가 상호 멀어지는 방향으로 이동하면, 한 쌍의 제2개폐 부재(134)도 상호 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.

이와 달리, 도 6에 도시된 바와 같이 한 쌍의 제1개폐 부재(134)가 상호 근접하는 방향으로 이동하면, 한 쌍의 제2개폐 부재(134)도 상호 근접하는 방향으로 이동할 수 있다.

여기서, 제1개폐 부재(132)의 이동거리와 제2개폐 부재(134)의 이동거리는 비례할 수 있으므로, 제1개폐 부재(132)와 제2개폐 부재(134)가 형성하는 개방면적(S)은 항상 일정한 비율로 축소 또는 확대될 수 있다.

이와 같이 이루어진 본 실시 예는 복수의 개폐 부재(132, 134)를 통해 구멍(112)의 개방비율을 용이하게 조절할 수 있다. 또한, 본 실시 예에 따르면 복수의 개폐 부재(132, 134)가 상호 연동하며 작동하므로, 구동수단 또는 수작업에 의한 개폐 부재(132, 134)의 제어가 용이하다.

도 7 내지 도 9를 참조하여 제3실시 예에 따른 도금 차폐 기구를 설명한다. 참고로, 본 실시 예에서 전술된 실시 예들과 동일한 구성요소는 동일한 도면부호를 사용하며, 이들 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략한다.

제3실시 예에 따른 도금 차폐 기구(100)는 개폐 수단이 다수의 개폐 부재(130)로 구성된 점에서 전술된 실시 예들과 구별될 수 있다.

본 실시 예에서 개폐 수단은 구멍(112)을 중심(O, 반경 중심)으로 원형 배치되는 다수의 개폐 부재(130)를 포함할 수 있다. 여기서, 개폐 부재(130)는 직사각형 또는 정사각형 또는 삼각형 또는 다각형일 수 있다.

본 실시 예는 구동 수단(140)을 더 포함할 수 있다. 구동 수단(140)은 제1기어(142), 제2기어(144), 제3기어(146)를 포함할 수 있다.

제1기어(142)는 차폐 부재(110)에 회전 가능하게 설치될 수 있으며, 각각의 개폐 부재(130)에 결합될 수 있다. 더욱 상세하게는, 제1기어(142)는 개폐 부재(130)에 편심된 위치에 결합될 수 있다. 여기서, 제1기어(142)와 개폐 부재(130)는 일체로 형성될 수 있다. 따라서, 제1기어(142)가 회전하면, 개폐 부재(130)가 제1기어(142)를 중심으로 회전 운동할 수 있다.

제2기어(144)는 다수의 제1기어(142)와 맞물리도록 배치될 수 있다. 구체적으로는 제2기어(144)는 링 형상일 수 있으며, 내주면과 외주면에 이빨이 형성될 수 있다. 여기서, 내주면에 형성되는 이빨은 제1기어(142)의 이빨과 맞물릴 수 있고, 외주면에 형성되는 이빨은 제3기어(146)의 이빨과 맞물릴 수 있다. 참고로, 제1기어(142)와 제2기어(144)의 결합관계에서, 제1기어(142)는 유성기어일 수 있고, 제2기어(144)는 내접 기어일 수 있다.

제3기어(146)는 차폐 부재(110)에 설치될 수 있으며, 제2기어(144)와 맞물릴 수 있다. 아울러, 제3기어(146)는 별도의 구동모터(도시되지 않음)와 연결될 수 있다. 즉, 제3기어(146)는 구동모터의 구동력을 제2기어(144)로 전달할 수 있다. 따라서, 제3기어(146)가 회전하면 제2기어(144)가 회전하고, 제2기어(144)의 회전에 의해 다수의 제1기어(142)와 다수의 개폐 부재(130)가 일괄적으로 회전할 수 있다. 여기서, 개폐 부재(130)는 제1기어(142)에 의해 회전하면서, 구멍(112)의 차단하거나 또는 개방하며 구멍(112)의 개방비율을 조절할 수 있다.

이와 같이 이루어진 본 실시 예는 상대적으로 많은 수의 개폐 부재(130)가 회전하며 구멍(112)을 개방 또는 폐쇄하므로, 구멍(112)의 개방비율과 구멍(112)의 크기를 더욱 세밀하고 조절할 수 있다.

따라서, 본 실시 예는 도금층을 더욱 균일하게 세밀하게 형성하는데 유용하게 이용될 수 있다.

한편, 전술된 실시 예 3에서는 다수의 개폐 부재(130)를 구동시키는 구동수단이 복수의 기어에 의해 구성되는 것으로 설명되어 있으나, 벨트 또는 실린더 등으로 구성될 수 있다.

다음에서는 본 발명의 한 실시 예에 따른 도금 장치를 설명한다. 도 10은 본 발명의 한 실시 예에 따른 도금 장치를 나타낸 측면도이고, 도 11은 일반적인 프로브 기판의 형상을 나타낸 정면도이다.

본 발명의 한 실시 예에 따른 도금 장치(200)는 도금 차폐 기구(100), 도금욕조(210), 양극 부재(220), 음극 부재(230), 제어수단(240), 감지수단(250)을 포함할 수 있다.

도금 차폐 기구(100)는 도금욕조(210)에 설치될 수 있으며, 도금욕조(210)를 공간적으로 양분할 수 있다. 여기서, 도금 차폐 기구(100)는 도 1 내지 9에 도시된 도금 차폐 기구(100) 중 어느 하나일 수 있다.

도금욕조(210)는 도금대상물(본 실시 예에서는 프로브 카드(300))과 도금 차폐 기구(100)를 수용할 수 있는 크기를 가질 수 있다. 아울러 도금욕조(210)는 도금대상물을 전해 도금하는데 필요한 전해액을 수용할 수 있다.

양극 부재(220)는 도금 차폐 기구(100)를 기준으로 도금대상물의 반대편에 형성될 수 있다. 양극 부재(220)는 봉 형상일 수 있다. 그러나 필요에 따라 도금효율과 도금품질을 높이기 위해 판 형상일 수 있다. 양극 부재(220)는 도금공정 시 양극과 연결될 수 있다.

음극 부재(230)는 도금대상물을 고정시킬 수 있는 고정수단(예를 들어 클립이나 클램프)을 포함할 수 있다. 음극 부재(230)는 도금욕조(210)에서 도금대상물이 일정한 높이로 유지될 수 있도록 도금대상물을 고정시킬 수 있으며, 도금대상물이 음의 극성을 가지게 할 수 있다. 이를 위해 음극 부재(230)는 도금공정 시 음극과 연결될 수 있다.

제어수단(240)은 도금 차폐 기구(100)와 전기적으로 연결될 수 있으며, 도금 차폐 기구(100)의 개폐 부재(130)를 제어할 수 있다. 아울러, 제어수단(240)은 감지수단(250)과 전기적으로 연결되고, 감지수단(250)으로부터 감지된 감지신호를 토대로 개폐 부재(130)를 작동시킬 수 있다. 더욱 상세하게는, 제어수단(240)은 도금대상물(300)의 크기에 따라 구멍(112)의 크기가 축소 또는 확대되도록 개폐 부재(130)를 제어할 수 있다. 또한, 제어수단(240)은 도금 패턴(310)의 크기에 따라 구멍(112)의 크기가 축소 또는 확대되도록 개폐 부재(130)를 제어할 수 있다.

즉, 도금대상물(300)의 단면크기 또는 도금대상물(300)에 형성된 도금패턴 면적을 100%로 볼 때, 60 ~ 70%에 해당하는 면적만큼 구멍(112)을 개방하는 것이 바람직할 수 있다. 아래 표 1에서 a, b, c, d, e, f, g, h, i는 도 11에 도시된 프로브 기판(300)의 부위를 나타낸 것이다.

본 발명자는 개폐 부재(130)를 완전히 개방한 상태(차폐판 개방비율 100%; 실험 예 1 및 3)와 개폐 부재(130)를 도금패턴 면적비율의 65%로 개방한 상태(실험 예 2 및 4)에서 도금대상물의 도금공정을 수행해 보았다.

그 결과, 실험 예 1 및 3에서는 도금대상물(300)의 부위에 따른 도금편차가 상대적으로 매우 크게 나타났다. 즉, 실험 예 1에서 도금두께가 가장 두꺼운 부위(e, 10.9 ㎜)와 도금두께가 가장 얇은 부위(d, 5.4 ㎜) 간의 편차는 5.5 ㎜였다. 이와 유사하게 실험 예 3에서도, 도금두께가 가장 두꺼운 부위(e, 10.8 ㎜)와 도금두께가 가장 얇은 부위(d, 5.0 ㎜) 간의 편차는 5.8 ㎜였다.

반면, 실험 예 2 및 4에서는 도금대상물(300)의 부위에 따른 도금편차가 상대적으로 작게 나타났다. 즉, 실험 예 2에서 도금두께가 가장 두꺼운 부위(h, 8.8 ㎜)와 도금두께가 가장 얇은 부위(f, 7.2 ㎜) 간의 편차는 1.6 ㎜였다. 이와 유사하게 실험 예 4에서도, 도금두께가 가장 두꺼운 부위(b, 8.4 ㎜)와 도금두께가 가장 얇은 부위(g, 7.1 ㎜) 간의 편차는 1.3 ㎜였다.

따라서, 구멍(112)의 개방비율은 도금대상물(300)의 단면크기 또는 도금대상물(300)에 형성된 도금패턴 면적의 60 ~ 70%로 유지하는 것이 바람직할 것이다.

한편, 구멍(112)을 50% 이하로 개방할 수 있으나, 이 경우 도금대상물(300)을 도금하는데 많은 시간이 소요될 뿐만 아니라 도금대상물(300)에 원하는 두께의 도금층을 형성할 수 없을 것이다.

본 발명은 이상에서 설명되는 실시 예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 얼마든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있을 것이다.

100 도금 차폐 기구
110 차폐 부재 112 구멍
120 개폐 수단 130 개폐 부재
132 제1개폐 부재 134 제2개폐 부재
140 구동 수단 142 제1기어(또는 유성 기어)
144 제2기어(또는 내접 기어) 146 제3기어(또는 구동 기어)
200 도금 장치
210 도금 욕조 220 양극 부재(또는 양극 판)
230 음극 부재(또는 음극 판) 240 제어수단
250 감지수단 300 프로브 기판

Claims (19)

1. 구멍이 형성된 차폐 부재; 및
   상기 차폐 부재에 회전 가능하게 설치되어, 상기 구멍의 크기를 조절하는 개폐 수단;
   을 포함하는 도금 차폐 기구.
2. 제1항에 있어서,
   상기 개폐 수단은 상기 구멍을 중심으로 원형 배치되는 다수의 개폐 부재인 도금 차폐 기구.
3. 제2항에 있어서,
   다수의 상기 개폐 부재는 동시에 회전 운동하는 도금 차폐 기구.
4. 제2항에 있어서,
   상기 개폐 수단은 다수의 개폐 부재와 상기 개폐 부재를 회전시키는 구동 수단을 포함하는 도금 차폐 기구.
5. 제4항에 있어서,
   상기 구동수단은 상기 개폐 부재와 각각 결합하는 제1기어; 및
   상기 제1기어를 회전시키는 제2기어;
   를 포함하는 도금 차폐 기구.
6. 제5항에 있어서,
   상기 제1기어는 유성이고, 상기 제2기어는 내접 기어인 도금 차폐 기구.
7. 제1항에 있어서,
   상기 개폐 수단은 제1방향으로 이동하는 한 벌의 제1개폐 부재; 및
   상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 이동하는 한 벌의 제2개폐 부재;
   를 포함하는 도금 차폐 기구.
8. 제7항에 있어서,
   상기 제1개폐 부재에는 캠 홈이 형성되고,
   상기 제2개폐 부재에는 상기 캠 홈에 끼워지는 돌기가 형성되어,
   상기 제1개폐 부재와 상기 제2개폐 부재의 개폐 운동이 일체로 이루어지는 도금 차폐 기구.
9. 도금 대상물이 수용되는 도금 욕조;
   구멍이 형성된 차폐 부재과 상기 차폐 부재에 회전 가능하게 설치되어 상기 구멍의 크기를 조절하는 개폐 수단을 포함하고, 상기 도금 욕조에 설치되는 도금 차폐 기구; 및
   도금 대상물의 크기에 따라 상기 구멍의 크기가 조절될 수 있도록, 상기 개폐 수단을 제어하는 제어수단;
   을 포함하는 도금 장치.
10. 제9항에 있어서,
    도금 대상물의 크기를 감지하고, 감지된 신호를 상기 제어수단에 송출하는 감지수단을 더 포함하는 도금 장치.
11. 제9항에 있어서,
    상기 제어수단은 상기 구멍의 개방비율이 도금 대상물의 표면적에 대해 60 ~ 70%가 되도록 상기 개폐 수단을 제어하는 도금 장치.
12. 제9항에 있어서,
    상기 제어수단은 상기 구멍의 개방비율이 도금 대상물의 도금 면적에 대해 60 ~ 70%가 되도록 상기 개폐 수단을 제어하는 도금 장치.
13. 제9항에 있어서,
    상기 개폐 수단은 상기 구멍을 중심으로 원형 배치되는 다수의 개폐 부재인 도금 장치.
14. 제13항에 있어서,
    다수의 상기 개폐 부재는 동시에 회전 운동하는 도금 장치.
15. 제13항에 있어서,
    상기 개폐 수단은 다수의 개폐 부재와 상기 개폐 부재를 회전시키는 구동 수단을 포함하는 도금 장치.
16. 제15항에 있어서,
    상기 구동수단은 상기 개폐 부재와 각각 결합하는 제1기어; 및
    상기 제1기어를 회전시키는 제2기어;
    를 포함하는 도금 장치.
17. 제16항에 있어서,
    상기 제1기어는 유성이고, 상기 제2기어는 내접 기어인 도금 장치.
18. 제9항에 있어서,
    상기 개폐 수단은 제1방향으로 이동하는 한 벌의 제1개폐 부재; 및
    상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 이동하는 한 벌의 제2개폐 부재;
    를 포함하는 도금 장치.
19. 제18항에 있어서,
    상기 제1개폐 부재에는 캠 홈이 형성되고,
    상기 제2개폐 부재에는 상기 캠 홈에 끼워지는 돌기가 형성되어,
    상기 제1개폐 부재와 상기 제2개폐 부재의 개폐 운동이 일체로 이루어지는 도금 장치.

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