KR20210123611A

KR20210123611A - 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치

Info

Publication number: KR20210123611A
Application number: KR1020200040969A
Authority: KR
Inventors: 선인경
Original assignee: (주)포인텍
Priority date: 2020-04-03
Filing date: 2020-04-03
Publication date: 2021-10-14
Also published as: KR102410787B1

Abstract

본 발명은 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치에 관한 것으로서, 특히 수직으로 배치된 기판이 고정되고 애노드(양극)가 이동하여 기판에 도금층을 형성하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치에 관한 것이다.
본 발명의 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치는, 도금조와; 상기 도금조의 내부에 수직으로 배치된 기판과; 상기 도금조의 내부에서 상기 기판과 대면하면서 수직으로 배치되는 애노드와; 상기 애노드를 수평방향으로 이동시키는 구동부재;를 포함하여 이루어지되, 상기 애노드는 상기 구동부재에 의해 상기 기판의 양측모서리가 배치된 좌우방향으로 수평 이동하면서 상기 기판에 도금이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 한다.

Description

이동형 수직애노드가 장착된 도금장치 { ELECTROLYSIS PLATING APPARATUS HAVING MOVING TYPE VERTICAL ANODE }

본 발명은 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치에 관한 것으로서, 특히 수직으로 배치된 기판이 고정되고 애노드(양극)가 이동하여 기판에 도금층을 형성하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치에 관한 것이다.

인쇄회로기판(Printed Circuit Board; PCB)은 페놀수지 절연판 또는 에폭시 수지 절연판 등 절연재에 형성된 배선 패턴을 통하여 실장된 부품들을 상호 전기적으로 연결하고 전원 등을 공급하는 동시에 부품들을 기계적으로 고정시켜주는 역할을 수행하는 것으로서, 인쇄회로기판에는 절연기판의 한쪽 면에만 배선을 형성한 단면 PCB, 양쪽 면에 배선을 형성한 양면 PCB 및 다층으로 배선한 MLB(다층 인쇄회로기판;Multi Layered Board)가 있다.

이중 양면 PCB나 MLB를 제조하는 공정에 있어서, 양면에 동시에 회로패턴을 형성하거나, 최외층에 형성된 접속패드에 금(Au), 니켈(Ni) 등으로 구성된 보호층을 형성함에 있어서, PCB의 양면에 동시에 도금을 진행하는 공정을 포함할 수 있다.

종래의 양면도금장치에서는, 도금액이 채워진 도금조 내부에 서로 이격된 한 쌍의 양극(애노드)이 배치되고 양극 사이에 기판을 넣고 기판에 음극을 연결하면 기판의 양면에 도금층이 형성된다.

그러나, 종래의 양면 도금장치의 경우 기판의 각 면에 형성되는 도금층의 두께가 균일하지 않거나, 도금층의 두께를 조절하는 어려움이 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위해, 선행기술들에는 양극 또는 기판을 이동시키는 기술이 나타나 있습니다.

그러나, 이러한 선행기술은 기판이 수직으로 배치된 상태에서 양극과 기판의 사이의 간격만을 조절하거나, 기판이 수평으로 배치된 상태에서 양극(애노드)를 이동시키는 기술만 나타나 있었다.

등록특허 제10-1788678호 공개특허 제10-2018-0070173

본 발명은 수직으로 배치된 기판에 대하여 애노드가 좌우방향으로 왕복이동하면서 기판에 균일한 도금층을 형성하도록 할 수 있는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치는, 도금조와; 지그에 의해 상기 도금조의 내부에 수직으로 배치된 기판과; 상기 도금조의 내부에서 상기 기판의 일면 또는 타면과 대면하면서 수직으로 배치되는 애노드와; 상기 애노드를 수평방향으로 이동시키는 구동부재;를 포함하여 이루어지되, 상기 애노드는 상기 구동부재에 의해 상기 기판의 양측모서리가 배치된 좌우방향으로 수평 이동하면서 상기 기판에 도금이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 한다.

상기 애노드는 상기 기판의 일면 및 타면과 대면하도록 상기 기판의 양쪽에 배치되고, 상기 기판의 양쪽에 배치된 한 쌍의 상기 애노드는 상기 구동부재에 의해 상기 기판의 좌우방향으로 함께 수평 이동하면서 상기 기판의 양면에 도금이 이루어지도록 한다.

상기 구동부재는, 상기 도금조의 외부에서 상기 애노드가 이동하는 좌우방향으로 길게 배치된 제1지지부와; 상기 도금조의 상부에서 상기 제1지지부와 직교되게 배치되고, 일단이 상기 제1지지부에 결합되고 타단에 상기 애노드가 결합된 제2지지부;를 포함하여 이루어지되, 상기 애노드가 장착된 상기 제2지지부는 상기 제1지지부를 따라 좌우방향으로 왕복 이동한다.

상기 제1지지부는, 모터와; 상기 모터에 의해 회전 또는 직선운동하는 액츄에이터;로 이루어지고, 상기 제2지지부는 상기 액츄에이터에 장착되어 상기 액츄에이터의 작동시 상기 액츄에이터를 따라 왕복 이동한다.

상기 제2지지부는 상기 제1지지부와 직교되는 방향으로 그 길이가 가변되어, 상기 애노드와 상기 기판의 간격을 조절한다.

상기 제2지지부는, 일단이 상기 제1지지부에 결합되어 상기 제1지지부를 따라 이동하는 제1슬라이더와; 상기 제1슬라이더의 이동방향과 직교되는 방향으로 상기 제1슬라이더에 이동 가능하게 장착된 제2슬라이더;를 포함하여 이루어지되, 상기 애노드는 상기 제2슬라이더에 장착되고, 상기 제1슬라이더에 대한 상기 제2슬라이더의 이동에 의해 상기 제2지지부의 길이가 가변되어, 상기 제2슬라이더에 장착된 상기 애노드와 상기 기판의 간격이 조절된다.

상기 애노드의 양측에 장착되어 상기 기판에 도금액을 분사하는 노즐부;를 더 포함하여 이루어지되, 상기 노즐부는 상기 애노드와 함께 좌우방향으로 수평 이동한다.

상기 노즐부는, 내부에 상기 도금액이 공급되는 공급로가 상하방향으로 형성되고, 상기 기판이 배치된 전방으로 상기 공급로와 연통되는 다수개의 제1분사공이 형성된 노즐하우징과; 상기 제1분사공과 이격된 상태로 상기 노즐하우징의 전방에 탈착 가능하게 장착되고, 상기 제1분사공과 연통되는 다수개의 제2분사공이 형성된 노즐판;을 포함하여 이루어지되, 상기 제2분사공의 직경은 상기 제1분사공의 직경보다 작다.

상기 도금조에는 도금액이 외부로 배출되는 배출구가 형성되되, 상기 배출구는 상기 기판의 양측단이 배치되는 상기 도금조의 양측에서 상하방향으로 길게 형성된다.

상기 도금조에는 상기 배출구의 양측에 배치되어 결합되는 날개도어가 장착되되, 상기 날개도어는 슬라이딩하여 상기 배출구의 간격을 조절한다.

상기 지그는, 일면을 구성하는 제1프레임부와; 타면을 구성하는 제2프레임부와; 상기 제1프레임부에 결합된 전도성재질의 제1클램프와; 상기 제1클램프와 대면하게 상기 제2프레임부에 결합된 전도성재질의 제2클램프와; 상기 제1프레임부와 제2프레임부 사이에 배치되어, 상기 제1프레임부와 제2프레임부의 통전을 차단하는 절연부재;를 포함하여 이루어지되, 상기 제1클램프와 제2클램프 사이에는 상기 기판이 삽입 배치되어 파지되고, 상기 제1클램프는 상기 기판의 일면과 접하고, 상기 제2클램프는 상기 기판의 타면과 접하며, 상기 제1클램프와 제2클램프에는 서로 다른세기의 전류가 공급된다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명은 기판이 수직으로 배치된 상태에서 애노드를 좌우방향으로 왕복이동시켜 기판에 균일한 도금층을 형성하도록 할 수 있다.

특히, 기판의 양쪽에 배치된 애노드를 함께 좌우방향으로 이동시켜 기판의 양면에 동일한 두께의 도금층이 형성되도록 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치의 정단면도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치의 평면도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치의 측단면도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치의 작동 과정도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 도금조의 사시도,
도 7은 도 6의 A-A선을 취하여 본 측단면도,
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 지그의 사시도,
도 9는 도 8의 B-B선을 취하여 본 측단면도.

본 발명의 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치는, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 도금조(10)와, 기판(20)과, 애노드(30)와, 노즐부(40)와, 구동부재(50)를 포함하여 이루어진다.

상기 도금조(10)는 상부가 개방되어 있고, 내부에는 도금액이 충진되어 있다.

상기 기판(20)은 피도물로서, 상기 도금조(10)의 내부에 수직으로 배치된다.

상기 기판(20)은 지그에 의해 상기 도금조(10)의 내부에서 지지된다.

본 발명에서 상기 기판(20)은 도금이 이루어지는 과정에서 이동되지 않고 상기 도금조(10)에 일시적으로 고정된 상태로 배치된다.

상기 애노드(30)는 상기 도금조(10)의 내부에서 상기 기판(20)의 일면 또는 타면과 대면하면서 수직으로 배치된다.

상기 애노드(30)는 상기 기판(20)의 어느 한쪽에만 대면하도록 배치될 수도 있지만, 본 발명의 도면에 도시된 바와 같이 상기 기판(20)의 일면 및 타면과 모두 대면하도록 상기 기판(20)의 양쪽에 배치되어 상기 기판(20)의 양면을 모두 도금할 수 있도록 함이 바람직하다.

상기 구동부재(50)는 상기 애노드(30)를 수평방향으로 이동시킨다.

상기 애노드(30)는 상기 구동부재(50)에 의해 상기 기판(20)의 양측모서리가 배치된 좌우방향으로 수평 이동하면서 상기 기판(20)에 도금이 이루어지도록 한다.

본 발명에서 상기 애노드(30)가 이동하는 좌우방향이라 함은, 상기 기판(20)을 기준의 양측모서리가 배치된 방향을 의미한다.

본 실시예에서 상기 애노드(30)는 2개로 이루어져 있기 때문에, 상기 기판(20)의 양쪽에 배치된 한 쌍의 상기 애노드(30)는 상기 구동부재(50)에 의해 상기 기판(20)의 좌우방향으로 함께 수평 이동하면서 상기 기판(20)의 양면에 도금이 이루어지도록 한다.

상기 애노드(30)를 좌우방향으로 이동시키는 상기 구동부재(50)는 다양한 구조로 이루어질 수 있는데, 본 실시예에서 상기 구동부재(50)는 제1지지부(51)와 제2지지부(55)로 이루어진다.

상기 제1지지부(51)는 상기 도금조(10)의 외부에서 상기 애노드(30)가 이동하는 좌우방향으로 길게 배치되어 있다.

상기 제2지지부(55)는 상기 도금조(10)의 상부에서 상기 제1지지부(51)와 직교되게 배치된다.

상기 제2지지부(55)는 일단이 상기 제1지지부(51)에 결합되고, 타단에 상기 애노드(30)가 결합되어 있다.

상기 애노드(30)가 장착된 상기 제2지지부(55)는 상기 제1지지부(51)를 따라 좌우방향으로 왕복 이동한다.

따라서, 상기 제2지지부(55)가 상기 제1지지부(51)를 따라 좌우방향으로 이동하게 되면, 상기 제2지지부(55)에 결합된 상기 애노드(30)도 상기 제2지지부(55)와 함께 상기 제1지지부(51)를 따라 좌우방향으로 이동하게 된다.

상기 제2지지부(55)를 좌우방향으로 이동시키는 상기 제1지지부(51)는 다양한 구조로 이루어질 수 있는데, 본 실시예에서 상기 제1지지부(51)는 모터(52)와 액츄에이터(53)로 이루어져 있다.

상기 모터(52)는 전원이 인가되면 작동되는 것으로서, 상기 도금조(10)의 외부에 배치되어 있다.

상기 액츄에이터(53)는 좌우방향으로 길게 배치되어 있고, 상기 모터(52)에 의해 회전 또는 직선운동하게 된다.

본 실시예의 도면에서 상기 액츄에이터(53)는 볼스크류로 이루어져 상기 모터(52)에 의해 회전하는 구조로 도시되어 있으나, 상기 액츄에이터(53)는 상기 모터(52)의 작동에 의해 직선운동할 수 있는 구조로 이루어질 수도 있다.

그리고, 상기 제2지지부(55)는 일단이 상기 액츄에이터(53)에 장착되어 있다.

따라서 상기 모터(52)에 의한 상기 액츄에이터(53)의 작동시 상기 제2지지부(55)는 상기 액츄에이터(53)를 따라 왕복 이동하게 된다.

위와 같이 상기 제1지지부(51) 및 제2지지부(55)에 의해 상기 애노드(30)는 고정된 기판(20)에 대하여 상대적으로 수평 이동할 수 있게 된다.

상기 제2지지부(55)를 좌우방향으로 이동시키는 상기 제1지지부(51)는 상술한 볼스트류방식 이외에, 체인방식, 마그넷방식, 타이밍벨트 방식 등 다양한 방식으로 이루어질 수도 있다.

그리고, 상기 제2지지부(55)는 상기 제1지지부(51)와 직교되는 방향으로 그 길이가 가변되어, 상기 애노드(30)와 상기 기판(20)의 간격을 조절한다.

이러한 상기 제2지지부(55)는, 제1슬라이더(56)와 제2슬라이더(57)로 이루어져 있다.

상기 제1슬라이더(56)는 일단이 상기 제1지지부(51)에 자세하게는 상기 액츄에이터(53)에 결합되어 있다.

따라서 상기 액츄에이터(53)의 회전시 상기 제1슬라이더(56)는 상기 제1지지부(51) 자세하게는 상기 액츄에이터(53)를 따라 좌우방향으로 이동하게 된다.

상기 제2슬라이더(57)는 상기 액츄에이터(53)에 의한 상기 제1슬라이더(56)의 이동방향과 직교되는 방향으로 상기 제1슬라이더(56)에 이동 가능하게 장착된다.

상기 제2슬라이더(57)는 상기 제1슬라이더(56)에 대해 수동 또는 자동으로 이동할 수 있게 된다.

상기 제2슬라이더(57)에는 상기 애노드(30)가 장착되어 있다.

상기 제1슬라이더(56)에 대한 상기 제2슬라이더(57)의 이동에 의해 상기 제2지지부(55)의 길이가 가변되고, 이로 인해 상기 제2슬라이더(57)에 장착된 상기 애노드(30)와 상기 기판(20)의 간격이 조절되게 된다.

또한, 본 발명은 상기 애노드(30)의 양측에 장착되어 상기 기판(20)에 도금액을 분사하는 노즐부(40)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 노즐부(40)는 상기 애노드(30)와 함께 좌우방향으로 수평 이동한다.

본 실시예에서 상기 노즐부(40)는, 노즐하우징(41)과 노즐판(44)으로 이루어져 있다.

상기 노즐하우징(41)은 상기 도금조의 내부에 상하방향을 길게 배치되고, 내부에 도금액이 공급되는 공급로(42)가 상하방향으로 형성되어 있으며, 상기 기판이 배치된 전방으로 상기 공급로(42)와 연통되는 다수개의 제1분사공(43)이 형성되어 있다.

상기 노즐판(44)은 상기 제1분사공(43)과 이격된 상태로 상기 노즐하우징(41)의 전방에 탈착 가능하게 장착되고, 상기 제1분사공(43)과 연통되는 다수개의 제2분사공(45)이 형성되어 있다.

위와 같이 상기 노즐판(44)이 상기 노즐하우징(41)에 탈착 가능하게 장착됨으로서, 상기 노즐판(44)이 노후되거나 도금 종류 등에 따라 상기 제2분사공(45)의 크기를 변경하고자 할 경우, 상기 노즐판(44)만으로 교체하면 되기 때문에 교체비용이 절감되고 교체작업도 용이하다.

그리고, 전방에 배치된 상기 제2분사공(45)의 직경이 상기 제1분사공(43)의 직경보다 작다.

위와 같이, 상기 제1분사공(43)과 제2분사공(45)이 상호 이격되고, 상기 제1분사공(43) 보다 전방에 배치된 상기 제2분사공(45)의 크기를 작게 형성됨으로서, 상기 공급로(42)에서 공급된 도금액이 상기 제1분사공(43)과 상기 제2분사공(45)을 거치면서 분사되는 유량을 안정적이게 할 수 있다.

이하, 상술한 구성으로 이루어진 본 발명의 작동방법에 대하여 살펴본다.

먼저, 상기 기판(20)을 상기 도금조(10)에 고정시킨다.

도 5에서는 설명의 편의성을 위해 상기 기판(20)만을 도시하였지만, 실제 상기 기판(20)은 지그 등을 통해 도금조(10)에 고정 설치된다.

상기 기판(20)에 도금층을 형성하기 위해 도 5(a)에 도시된 바와 같이 상기 제1지지부(51)의 모터(52)를 작동시킨다.

상기 모터(52)가 작동함에 따라 상기 액츄에이터(53)가 회전하게 되고, 상기 액츄에이터(53)가 회전하게 되면 상기 액츄에이터(53)에 장착된 상기 제2지지부(55)가 상기 액츄에이터(53)를 따라 좌우방향으로 이동하게 된다.

상기 제2지지부(55)가 상기 액츄에이터(53)가 배치된 제1지지부(51) 방향으로 이동함에 따라, 상기 제2지지부(55)에 결합된 상기 애노드(30)는 상기 제1지지부(51)가 배치된 방향인 좌우방향으로 이동하게 된다.

위와 같이 고정된 상기 기판(20)을 기준으로 상기 애노드(30)가 좌우방향으로 이동하면서 상기 기판(20)의 양면에 균일한 두께의 도금층이 형성되게 된다.

본 발명은 상기 기판(20)이 고정되고 상기 애노드(30)가 이동함으로서, 상기 기판(20)의 표면에 두께가 균일한 도금층을 형성할 수 있다.

그리고, 상기 기판(20)과 애노드(30) 간의 간격을 조절할 필요가 있을 경우에는, 도 5(b)에 도시된 바와 같이 상기 제2지지부(55)를 이용하여 상기 애노드(30)와 상기 기판(20)의 간격을 조절한다.

상기 애노드(30)와 기판(20)의 간격을 조절함으로서, 상기 기판(20)에 도금되는 도금두께 등을 조절할 수 있다.

한편, 본 발명의 도금장치는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같은 도금조(10)로 이루어질 수도 있다.

상기 도금조(10)에는 도금액이 외부로 배출되는 배출구(11)가 양측에 형성되어 있다.

상기 배출구(11)는 상기 기판(20)의 양측단이 배치되는 상기 도금조(10)의 양측에서 상하방향으로 길게 형성된다.

이때, 상기 배출구(11)의 하단은 상기 도금조(10)에 삽입 배치되는 상기 기판(20)의 하단과 동일하거나 약간 크게 또는 약간 작게 형성되도록 함이 바람직하다.

위와 같이 상기 배출구(11)를 상기 기판(20)의 양측단에서 상기 기판(20)의 상하 길이와 거의 동일하게 형성함으로서, 상기 기판(20)의 양면에서 상기 노즐부(40)를 통해 배출되는 도금액이 상기 기판(20)을 거친 후 상기 배출구(11)를 통해 배출되는 시간을 거의 동일하게 할 수 있어, 기판(20)의 전체적인 도금두께를 균일하게 할 수 있다.

종래에는 배출구가 도금조의 상부에만 형성되어 있기 때문에, 노즐을 통해 배출되는 도금액이 기판의 하부에서 상부로 이동하면서 기판의 상부는 도금액과 접하는 시간이 많아지게 되어, 기판의 상부에 도금층이 두꺼워지게 되는 문제가 있었다.

그러나, 본 발명은 도 7에 도시된 바와 같이 상기 노즐부(40)를 통해 배출되는 도금액이 양측에서 상하방향으로 길게 형성된 배출구(11)를 통해 상부에서 하부까지 수평방향으로 일괄적으로 배출되기 때문에, 기판(20) 전체에서 도금액과 접하는 시간이 거의 비슷하여, 기판(20)에 균일한 두께의 도금층을 형성할 수 있는 효과가 있다.

또한, 상기 도금조(10)에는 상기 배출구(11)의 양측에 배치되어 결합되는 날개도어(12)가 장착될 수 있다.

상기 날개도어(12)는 상기 도금조(10)에 자동 또는 수동으로 슬라이딩 가능하게 장착되어, 상기 배출구(11)의 간격을 조절할 수 있다.

이를 통해 상기 배출구(11)를 통해 배출되는 도금액의 양을 조절할 수 있다.

한편, 본 발명의 기판을 파지하여 지지하는 지그(60)가 도 8 및 도 9와 같은 구조로 이루어질 수도 있다.

상기 지그(60)는, 제1프레임부(61)와, 제2프레임부(62)와, 절연부재(65)와, 제1클램프(63)와, 제2클램프(64)를 포함하여 이루어진다.

상기 제1프레임부(61)는 상기 지그(60)의 일면을 구성하고, 상기 제2프레임부(62)는 상기 지그(60)의 타면을 구성한다.

상기 절연부재(65)는 상기 제1프레임부(61)와 제2프레임부(62) 사이에 배치되어, 상기 제1프레임부(61)와 제2프레임부(62)의 통전을 차단한다.

상기 제1프레임부(61)와 제2프레임부(62)와 절연부재(65)는 적층된 상태에서 절연볼트 등을 통해 상호 결합되고, 상기 제1프레임부(61)와 제2프레임부(62)는 그 사이에 배치된 상기 절연부재(65)에 의해 상호 전류가 통하는 것이 차단되게 된다.

상기 제1클램프(63)는 전도성재질로 이루어져 상기 제1프레임부(61)에 결합되어 있다.

상기 제2클램프(64)는 전도성재질로 이루어져 상기 제2프레임부(62)에 결합되어 있다.

상기 제1클램프(63)와 제2클램프(64)는 상호 대면하게 배치되고, 상기 기판은 상기 제1클램프(63)와 제2클램프(64) 사이에 삽입 배치되어 파지된다.

따라서, 상기 제1클램프(63)는 상기 기판의 일면과 접하고, 상기 제2클램프(64)는 상기 기판의 타면과 접하게 된다.

그리고, 상기 제1클램프(63)와 제2클램프(64)에는 서로 다른세기의 전류가 공급된다.

이로 인해, 상기 제1클램프(63)와 접하는 상기 기판의 일면에 형성된 도금층의 두께와 상기 제2클램프(64)와 접하는 상기 기판의 타면에 형성된 도금층의 두께를 서로 다르게 할 수도 있다.

물론 경우에 따라 상기 제1클램프(63)와 제2클램프(64)에 서로 동일한 세기의 전류를 공급할 수도 있다.

본 발명인 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.

10 : 도금조, 11 : 배출구, 12 : 날개도어,
20 : 기판,
30 : 애노드,
40 : 노즐부, 41 : 노즐하우징, 42 : 공급로, 43 : 제1분사공, 44 : 노즐판, 45 : 제2분사공,
50 : 구동부재, 51 : 제1지지부, 52 : 모터, 53 : 액츄에이터, 55 : 제2지지부, 56 : 제1슬라이더, 57 : 제2슬라이더.
60 : 지그, 61 : 제1프레임부, 62 : 제2프레임부, 63 : 제1클램프, 64 : 제2클램프, 65 : 절연부재.

Claims

도금조와;
지그에 의해 상기 도금조의 내부에 수직으로 배치된 기판과;
상기 도금조의 내부에서 상기 기판의 일면 또는 타면과 대면하면서 수직으로 배치되는 애노드와;
상기 애노드를 수평방향으로 이동시키는 구동부재;를 포함하여 이루어지되,
상기 애노드는 상기 구동부재에 의해 상기 기판의 양측모서리가 배치된 좌우방향으로 수평 이동하면서 상기 기판에 도금이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치.
청구항1에 있어서,
상기 애노드는 상기 기판의 일면 및 타면과 대면하도록 상기 기판의 양쪽에 배치되고,
상기 기판의 양쪽에 배치된 한 쌍의 상기 애노드는 상기 구동부재에 의해 상기 기판의 좌우방향으로 함께 수평 이동하면서 상기 기판의 양면에 도금이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치.
청구항1에 있어서,
상기 구동부재는,
상기 도금조의 외부에서 상기 애노드가 이동하는 좌우방향으로 길게 배치된 제1지지부와;
상기 도금조의 상부에서 상기 제1지지부와 직교되게 배치되고, 일단이 상기 제1지지부에 결합되고 타단에 상기 애노드가 결합된 제2지지부;를 포함하여 이루어지되,
상기 애노드가 장착된 상기 제2지지부는 상기 제1지지부를 따라 좌우방향으로 왕복 이동하는 것을 특징으로 하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치.
청구항3에 있어서,
상기 제1지지부는,
모터와; 상기 모터에 의해 회전 또는 직선운동하는 액츄에이터;로 이루어지고,
상기 제2지지부는 상기 액츄에이터에 장착되어 상기 액츄에이터의 작동시 상기 액츄에이터를 따라 왕복 이동하는 것을 특징으로 하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치.
청구항3에 있어서,
상기 제2지지부는 상기 제1지지부와 직교되는 방향으로 그 길이가 가변되어, 상기 애노드와 상기 기판의 간격을 조절하는 것을 특징으로 하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치.
청구항5에 있어서,
상기 제2지지부는,
일단이 상기 제1지지부에 결합되어 상기 제1지지부를 따라 이동하는 제1슬라이더와;
상기 제1슬라이더의 이동방향과 직교되는 방향으로 상기 제1슬라이더에 이동 가능하게 장착된 제2슬라이더;를 포함하여 이루어지되,
상기 애노드는 상기 제2슬라이더에 장착되고,
상기 제1슬라이더에 대한 상기 제2슬라이더의 이동에 의해 상기 제2지지부의 길이가 가변되어, 상기 제2슬라이더에 장착된 상기 애노드와 상기 기판의 간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치.
청구항1에 있어서,
상기 애노드의 양측에 장착되어 상기 기판에 도금액을 분사하는 노즐부;를 더 포함하여 이루어지되,
상기 노즐부는 상기 애노드와 함께 좌우방향으로 수평 이동하는 것을 특징으로 하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치.
청구항7에 있어서,
상기 노즐부는,
내부에 상기 도금액이 공급되는 공급로가 상하방향으로 형성되고, 상기 기판이 배치된 전방으로 상기 공급로와 연통되는 다수개의 제1분사공이 형성된 노즐하우징과;
상기 제1분사공과 이격된 상태로 상기 노즐하우징의 전방에 탈착 가능하게 장착되고, 상기 제1분사공과 연통되는 다수개의 제2분사공이 형성된 노즐판;을 포함하여 이루어지되,
상기 제2분사공의 직경은 상기 제1분사공의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치.
청구항1에 있어서,
상기 도금조에는 도금액이 외부로 배출되는 배출구가 형성되되,
상기 배출구는 상기 기판의 양측단이 배치되는 상기 도금조의 양측에서 상하방향으로 길게 형성된 것을 특징으로 하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치.
청구항9에 있어서,
상기 도금조에는 상기 배출구의 양측에 배치되어 결합되는 날개도어가 장착되되,
상기 날개도어는 슬라이딩하여 상기 배출구의 간격을 조절하는 것을 특징으로 하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치.
청구항1에 있어서,
상기 지그는,
일면을 구성하는 제1프레임부와;
타면을 구성하는 제2프레임부와;
상기 제1프레임부에 결합된 전도성재질의 제1클램프와;
상기 제1클램프와 대면하게 상기 제2프레임부에 결합된 전도성재질의 제2클램프와;
상기 제1프레임부와 제2프레임부 사이에 배치되어, 상기 제1프레임부와 제2프레임부의 통전을 차단하는 절연부재;를 포함하여 이루어지되,
상기 제1클램프와 제2클램프 사이에는 상기 기판이 삽입 배치되어 파지되고,
상기 제1클램프는 상기 기판의 일면과 접하고, 상기 제2클램프는 상기 기판의 타면과 접하며,
상기 제1클램프와 제2클램프에는 서로 다른세기의 전류가 공급되는 것을 특징으로 하는 이동형 수직애노드가 장착된 도금장치.