CN103088298A - 镀膜修正板及镀膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
镀膜装置 | 100 |
镀膜室 | 10 |
顶部 | 11 |
底部 | 12 |
承载架 | 20 |
转轴 | 21 |
旋转马达 | 22 |
蒸镀源 | 30 |
镀膜修正板 | 40 |
外轮廓 | 401 |
安装杆 | 41 |
第一端部 | 411 |
螺孔 | 4111 |
第二端部 | 412 |
遮挡片 | 42 |
遮挡面 | 4200 |
子遮挡面 | 420 |
第一侧面 | 421 |
第二侧面 | 422 |
第三侧面 | 423 |
弹性臂 | 424 |
调整元件 | 43 |
螺纹部 | 431 |
头部 | 432 |
操作面 | 4321 |
第一配合面 | 4322 |
第二配合面 | 4323 |
凹槽 | 4324 |
弹性元件 | 44 |
支持杆 | 50 |
镀膜修正板 | 80 |
第一镀膜修正板 | 81 |
第一安装杆 | 811 |
第二镀膜修正板 | 82 |
第二安装杆 | 821 |
螺丝 | 90 |
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