CN110036135A - 靶用遮挡件机构及具备该靶用遮挡件机构的成膜装置 - Google Patents

Abstract

提供将靶(3)的基材相向面(30)开闭的遮挡件机构。遮挡件机构具备具有分别具有第一及第二边缘部(30a、30b)的第一及第二遮挡板(11A、11B)的遮挡件(6)、以第一及第二遮挡板(11A、11B)能够在第一及第二边缘部(30a、30b)重合的闭位置和开位置之间转移的方式使第一及第二遮挡板(11A、11B)绕沿基材相向面(30)的法线方向延伸的第一及第二旋转轴(SA、SB)旋转自如地分别支承的第一及第二旋转支承部(13A、13B)。第一及第二旋转轴(13A、13B)以第一及第二边缘部(30a、30b)在开位置沿着基材相向面(30)的边的方式被隔着第一及第二边缘部(30a、30b)的重叠区域在两侧分开地配置。

Description

靶用遮挡件机构及具备该靶用遮挡件机构的成膜装置

技术领域

本发明涉及用于将溅射所使用的靶开闭自如地覆盖的靶用遮挡件机构及具备该靶用遮挡件机构的成膜装置。

背景技术

在通过溅射进行基材表面的成膜的成膜装置中，使用由互不相同的材料构成的多个靶分别个别地进行成膜处理的情况下，为了抑制从其他靶飞出的颗粒污染不使用的靶的表面，需要具备将该多个靶的每一个个别地覆盖的遮挡件的遮挡件机构。用于这样地覆盖靶的遮挡件机构能够用于预溅射。该预溅射是用于将附着于靶的表面的污垢除去的工序，在使用该靶的成膜处理前进行。为了使向基材的膜附着停留在最小限度，在将靶用遮挡件遮盖的状态下对该靶施加电压来使存在于靶的表面的物质的颗粒放出，由此进行该预溅射。因此，在上述那样的成膜处理或预溅射中，污垢均容易附着于前述遮挡件。

作为搭载于以往的成膜装置的遮挡件机构，已知专利文献1所记载的机构。该遮挡件机构具备旋转轴和遮挡板。前述旋转轴在沿靶的与基材相向的面(以下称作靶面)方向延伸。前述遮挡板通过以前述旋转轴为中心向从靶向基材的方向或向其相反的方向摆动来将前述靶开闭。

在该遮挡件机构中，前述遮挡板向打开方向即接近基材的方向动作时，有附着于该遮挡板的污垢的碎片剥离而附着于基材的可能。这样的污垢向基材的附着成为形成于基材的膜的缺陷、该膜的密接不良的原因。此外，该遮挡件机构在靶和基材之间需要用于将遮挡板开闭的空间，所以难以实现成膜装置的小型化。

作为解决前述的基材的污染的问题及遮挡件机构的设置空间的问题的手段，考虑在沿着靶面的方向上，即与靶面平行地使遮挡板移动来使靶开闭，使得遮挡板不接近基板。

例如，专利文献2公开了搭载于溅射装置的遮挡件机构，前述遮挡件机构具有遮挡件、移动机构，前述遮挡件具有比靶面的面积大的面积，使得其覆盖该靶面的整体，前述移动机构使该遮挡件在该遮挡件覆盖前述靶面的闭位置和该遮挡件从该靶面在沿着该靶面的方向上离开的开位置之间移动。前述移动机构具有旋转轴部和臂，前述旋转轴部在从靶面偏离的位置沿该靶面的法线方向延伸，能够绕该轴旋转，前述臂固定于该旋转轴部的末端，在沿靶面的方向上延伸。该臂具有以前述旋转轴部为中心转动的末端，在该末端固定有前述遮挡件。前述旋转轴部能够沿前述法线方向移动，通过该移动，能够使前述遮挡件向该遮挡件相对于靶面接近的方向或远离的方向直线移动。进而，前述遮挡件及前述臂能够与前述旋转轴部一同以该旋转轴部为中心在沿前述靶面的方向上转动。前述移动机构使处于前述闭位置的前述遮挡件以从前述靶面远离的方式向该靶面的法线方向直线移动，之后，使该遮挡件以前述旋转轴部为中心在沿靶面的方向上转动，由此能够使该遮挡件从前述靶面避让至向侧方离开的开位置。

但是，专利文献2所述的遮挡件机构为了使覆盖靶面的整体的遮挡件从闭位置移动至开位置，使该遮挡件进行向从靶面离开的方向的直线移动和以旋转轴部为中心的转动的双方，所以在前述靶的侧方需要接纳前述遮挡件的避让空间，并且该避让空间必须有比前述靶面的面积大的面积。这妨碍成膜装置的小型化。换言之，成膜装置的小型化难以确保真空腔内部的前述靶的周边的前述避让空间。

此外，前述遮挡件机构为了能够进行前述直线移动及转动的双方而需要复杂的构造。这使得成膜处理时产生的皮膜的碎片等附着于移动机构而产生该遮挡件机构的动作不良的可能性变高。

专利文献1 : 日本特开平5-339725号公报。

专利文献2 : 日本特开2009-155706号公报。

发明内容

本发明的目的在于提供具备将用于溅射的靶开闭自如地覆盖的遮挡件的靶用遮挡件机构，其能够在不需要复杂的构造的情况缩小用于使前述遮挡件从前述靶向开位置避让的避让空间的缩小。

提供的是如下遮挡件机构：前述遮挡件机构将靶开闭自如地覆盖，前述靶被用于溅射，具有与通过该溅射成膜的基材相向的基材相向面，前述遮挡件机构具备遮挡件、第一旋转支承部、第二旋转支承部、驱动装置，前述遮挡件具有在前述基材相向面和前述基材之间的位置在沿该基材相向面的方向上能够移动的第一遮挡板及第二遮挡板，该第一遮挡板及该第二遮挡板分别具有在该基材相向面和前述基材之间的位置能够互相接触或接近的第一边缘部及第二边缘部，前述第一旋转支承部以能够绕沿前述基材相向面的法线方向延伸的第一旋转轴旋转的方式支承前述第一遮挡板，前述第二旋转支承部以能够绕沿前述基材相向面的法线方向延伸的第二旋转轴旋转的方式支承前述第二遮挡板，前述驱动装置将前述第一遮挡板及第二遮挡板分别绕前述第一旋转轴及前述第二旋转轴旋转驱动，前述第一旋转支承部及前述第二旋转支承部将该第一遮挡板及该第二遮挡板旋转自如地支承，使得通过前述第一遮挡板及前述第二遮挡板分别绕前述第一旋转轴及绕前述第二旋转轴的旋转，能够在前述基材相向面和前述基材之间的位置处在闭位置和开位置之间转移，前述闭位置为，前述第一边缘部和前述第二边缘部互相接触或接近的状态下该第一遮挡板及该第二遮挡板将前述基材相向面关闭，前述开位置为，通过该第一遮挡板及该第二遮挡板以前述第一边缘部和前述第二边缘部互相离开的方式分别从前述基材相向面和前述基材之间的位置避让来相对于该基材将该基材相向面敞开，前述第一旋转轴及前述第二旋转轴以前述第一边缘部及前述第二边缘部在前述开位置沿着前述基材相向面的外周的边缘的至少一部分的方式，被隔着在前述第一遮挡板及前述第二遮挡板处于前述闭位置时前述第一边缘部及前述第二边缘部互相接触或接近的区域即闭位置边缘部区域的方式在两侧分开地配置。

附图说明

图1是具备本发明的实施方式的靶用遮挡件机构的成膜装置的截面俯视图。

图2是表示沿图1的II-II线的截面的主视图。

图3是表示沿图2的III-III线的截面的侧视图。

图4是将图1所示的前述遮挡件机构的第一及第二遮挡板的第一及第二边缘部互相重叠的状态放大表示的俯视图。

图5是表示前述第一及第二遮挡板相对于具有矩形形状的基材相向面的靶处于闭位置的状态的主视图。

图6是表示前述第一及第二遮挡板相对于前述靶处于闭位置的状态的主视图。

图7是表示相对于前述靶的前述遮挡件机构的第一旋转轴及第二旋转轴的优选的位置的主视图。

图8是表示本发明的第二实施方式的靶用遮挡件机构的主视图。

图9是表示覆盖具有正方形形状的基材相向面的靶的该基材相向面的情况的前述第一实施方式的靶用遮挡件机构的第二旋转轴相对于前述靶的相对位置及与其对应的第二遮挡板的开位置的第一例的主视图。

图10是表示覆盖具有正方形形状的基材相向面的靶的该基材相向面的情况的前述第一实施方式的靶用遮挡件机构的第二旋转轴相对于前述靶的相对位置及与其对应的第二遮挡板的开位置的第二例的主视图。

图11是表示覆盖具有正方形形状的基材相向面的靶的该基材相向面的情况的前述第一实施方式的靶用遮挡件机构的第二旋转轴相对于前述靶的相对位置及与其对应的第二遮挡板的开位置的第三例的主视图。

图12是表示覆盖具有正方形形状的基材相向面的靶的该基材相向面的情况的前述第一实施方式的靶用遮挡件机构的第二旋转轴相对于前述靶的相对位置及与其对应的第二遮挡板的开位置的第四例的主视图。

图13是表示覆盖具有正方形形状的基材相向面的靶的该基材相向面的情况的前述第一实施方式的靶用遮挡件机构的第二旋转轴相对于前述靶的相对位置及与其对应的第二遮挡板的开位置的第5例的主视图。

图14是表示本发明的第三实施方式的靶用遮挡件机构和具有被该靶用遮挡件机构开闭的圆形的基材相向面的靶的主视图。

具体实施方式

参照附图的同时说明本发明的优选的实施方式。

图1至图3表示本发明的第一实施方式的成膜装置1。该成膜装置1是将基材W通过溅射成膜的装置，具备容纳基材W的成膜腔2、多个靶3、向靶3施加溅射用的电压的溅射源4、搭载基材W的基材搭载部5、具有在多个靶3的每一个和基材W之间进行开闭动作的遮挡件6的多个遮挡件机构10。

前述多个靶3分别具有与基材W相向的基材相向面30。在前述成膜装置1中，在前述成膜腔2的内部被减压至接近真空的状态下从前述溅射源4向前述多个靶3的每一个施加电压，由此，靶材料的颗粒被从该靶3的基材相向面30放出而附着于基材W的表面。由此，在基材W的表面生成所希望的材质的膜。

前述多个靶3由互不相同的材料(例如铝、钛等)构成。从各靶3个别地放出前述颗粒，由此，能够进行使用一台成膜装置1的多种材料的成膜。从一个靶3放出颗粒时，设置于其他靶3的遮挡件机构10的遮挡件6关闭来覆盖该其他靶3的基材相向面30，由此，防止由于该颗粒引起的该其他靶3的基材相向面30的污染。此外，关于特定的靶3，在遮挡件6关闭的状态下进行该特定的靶3的预溅射，由此，能够将该特定的靶3的基材相向面30清洁。

以下，对成膜装置1的各结构要素进行详细说明。

前述成膜腔2具有中空箱体的主体2a和多个关闭板2c，前述中空箱体的主体2a具有多个开口2b，前述多个关闭板2c以能够将各开口2b开闭的方式安装于主体2a。关闭板2c可以是相对于主体2a绕沿垂直方向延伸的旋转轴摆动的门板，也可以是相对于主体2a能够装卸的板。在各关闭板2c处安装有前述靶3、前述溅射源4及前述遮挡件机构10。因此，若打开各关闭板2c，则能够容易进行安装于该关闭板2c的靶3以及遮挡件机构10的第一遮挡板11A及第二遮挡板11B的更换、维护。该成膜装置1构成这样地在关闭板2c安装有这些靶3、溅射源4及遮挡件机构10的紧凑的结构，与以往的溅射装置相比较非常小。

基材搭载部5例如是被旋转自如地安装于成膜腔2的内部的旋转台，以搭载于该基材搭载部5的基材W能够以垂直轴为中心自转或公转的方式支承该基材W。

前述多个靶3分别以该靶3的前述基材相向面30朝向基材W的方式设置于成膜腔2。在本实施方式中，在前述关闭板2c分别设置有安装孔2d，在该安装孔2d内设置有前述靶3。但是，该靶3也可以设置于前述成膜腔2的内部的其他的场所。

在本实施方式中，基材相向面30从其法线方向观察具有矩形形状，具有互相相向的一对长边即第一边30a及第二边30b、互相相向的一对短边30s。基材相向面30的形状不被特别限定。将基材相向面30从其法线方向观察的形状例如也可以是图9至10所示的正方形、图14所示的圆形。

遮挡件机构10具有相对于基材W将靶3的基材相向面30开闭自如地覆盖的结构。遮挡件机构10具备通过在沿着基材相向面30的方向X上转动来在闭位置和开位置之间移动的第一遮挡板11A及第二遮挡板11B。该遮挡件机构10作为用于使用于让前述第一及第二遮挡板11A、11B分别向开位置避让的避让空间变小的结构，特征在于，该第一及第二遮挡板11A、11B在图6所示的前述开位置以沿靶3的基材相向面30的外周的边缘的方式被旋转自如地支承。

具体地，遮挡件机构10如图1至3所示，除了具有前述第一遮挡板11A及前述第二遮挡板11B的遮挡件6，还具备第一旋转支承部13A、第二旋转支承部13B、驱动装置。

第一遮挡板11A及第二遮挡板11B在成膜腔2的内部处基材相向面30和基材W之间的位置配置成进行在沿该基材相向面30的方向X上移动的开闭动作。

第一遮挡板11A及第二遮挡板11B具有相同的形状，例如具有细长的矩形平板形状。第一遮挡板11A及第二遮挡板11B分别具有作为第一边缘部及第二边缘部的重叠边缘部11a、11b。该重叠边缘部11a、11b是在该基材相向面30和基材W之间的位置能够互相接近的、例如是互相从该基材相向面30的法线方向Y观察能够重合的边缘部。前述重叠边缘部11a、11b如图1及图4所示，是在该遮挡板11A、11B的边缘处具有既定的宽度的部分，以沿法线方向Y互相离开的状态从该法线方向Y观察能够互相重合的方式，从该遮挡板11A、11B的主体部分在法线方向Y上互相向相反的方向突出。该重叠边缘部11a、11b只要是不妨碍第一遮挡板11A及第二遮挡板11B的开闭的程度，则也可以具有在法线方向Y上互相稍接触的状态下在该法线方向Y上互相重合的形状。

第一旋转支承部13A以能够绕沿基材相向面30的法线方向Y延伸的第一旋转轴SA旋转的方式支承前述第一遮挡板11A。第一旋转支承部13A具有轴承13a、主轴13b。主轴13b被固定于前述第一遮挡板11A，且被旋转自如地支承于前述轴承13a。第一旋转支承部13A的主轴13b沿基材相向面30的法线方向Y延伸，被以能够将第一旋转轴SA作为旋转中心旋转的方式沿该第一旋转轴SA配置。

第二旋转支承部13B以能够绕沿基材相向面30的法线方向Y延伸的第二旋转轴SB旋转的方式支承前述第二遮挡板11B。第二旋转支承部13B具有轴承13a、主轴13b。主轴13b被固定于前述第二遮挡板11B，且被旋转自如地支承于前述轴承13a。第二旋转支承部13B的主轴13b沿基材相向面30的法线方向Y延伸，被以能够将第二旋转轴SB作为旋转中心旋转的方式沿该第二旋转轴SB配置。

前述第一旋转支承部13A及第二旋转支承部13B只要将第一遮挡板11A及第二遮挡板11B分别旋转自如地支承即可，能够进行其具体的结构的各种各样的变形。例如，该结构不限于前述主轴13b被分别固定于第一遮挡板11A及第二遮挡板11B。例如，也可以是，前述主轴13b的两端部中的一方的端部被固定于成膜腔2，另一方的端部将第一遮挡板11A及第二遮挡板11B的每一个贯通的同时将该第一遮挡板11A及第二遮挡板11B旋转自如地支承。

前述驱动装置将第一遮挡板11A及第二遮挡板11B分别绕第一旋转轴SA及绕第二旋转轴SB旋转驱动。本实施方式的驱动装置包括用于将固定于第一遮挡板11A及第二遮挡板11B的每一个的主轴13b旋转驱动的第一驱动部14A及第二驱动部14B，该第一及第二驱动部14A、14B配置于成膜腔2的外部。前述驱动装置也可以仅包括前述第一及第二旋转支承部13A、13B的与前述主轴13b共通的单一的驱动源。

第一旋转支承部13A及第二旋转支承部13B以能够通过第一遮挡板11A及第二遮挡板11B分别绕前述第一旋转轴SA及绕第二旋转轴SB旋转来在图5所示的闭位置和图6所示的开位置之间转动的方式将该第一遮挡板11A及第二遮挡板11B分别支承。

前述第一遮挡板11A及第二遮挡板11B在图5所示的闭位置中，在该第一遮挡板11A及第二遮挡板11B的重叠边缘部11a、11b从前述法线方向Y观察在基材相向面30和基材W之间的位置互相重合的状态下，将前述基材相向面30相对于基材W关闭。

另一方面，在图6所示的开位置，第一遮挡板11A及第二遮挡板11B通过该第一遮挡板11A及第二遮挡板11B的重叠边缘部11a、11b互相离开而从基材相向面30和基材W之间的位置向与该基材相向面30平行的方向避让，将前述基材相向面30向基材W敞开。

前述第一旋转轴SA及第二旋转轴SB从前述基材相向面30的法线方向Y观察，被隔着图2及图5所示的闭位置的前述第一遮挡板11A及第二遮挡板11B的各自的重叠边缘部11a、11b互相重合的闭位置边缘部区域20地在两侧分开地配置。进而，该第一旋转轴SA及第二旋转轴SB配置成图6所示的开位置的前述第一遮挡板11A及第二遮挡板11B的各自的重叠边缘部11a、11b沿着基材相向面30的外周的边缘的至少一部分(具体地为图6的基材相向面30的互相相向的一对长边即第一边30a及第二边30b)。

因此，本实施方式的遮挡件机构10的第一遮挡板11A及第二遮挡板11B在图6所示的开位置，配置成各自的重叠边缘部11a、11b分别沿构成基材相向面30的外周的边缘的相向的一对长边即第一边30a及第二边30b分散。这能够缩小为使遮挡件6向靶3的侧方避让所必要的避让空间。即，与以往相比，能够缩小成膜腔2内的遮挡件6的避让空间，由此能够使成膜腔2小型化。

进而，在本实施方式的遮挡件机构10中，如图2及图5至6所示，以在第一旋转轴SA及第二旋转轴SB之间隔着基材相向面30的方式在该基材相向面30的两侧配置该第一旋转轴SA及第二旋转轴SB，但在如图6所示的开位置，能够以第一遮挡板11A及第二遮挡板11B的重叠边缘部11a分别沿着靶3的基材相向面30的外周的边缘的互相相向的长边即第一边30a及第二边30b的方式分散地配置该第一遮挡板11A及第二遮挡板11B。这能够缩小第一遮挡板11A及第二遮挡板11B为从闭位置向开位置移动所必要的旋转角度，由此，能够使遮挡件6的避让空间更小。

进而，在本实施方式的遮挡件机构10中，如图5所示，从前述基材相向面30的法线方向Y观察，靶3的基材相向面30具有矩形形状的情况下，闭位置的第一及第二遮挡板11A、11B的第一边缘部及第二边缘部即重叠边缘部11a、11b互相重合的闭位置边缘部区域20沿着从该基材相向面30的两个对角线之中选的一个特定对角线L，第一旋转轴SA及第二旋转轴SB被在前述特定对角线L的两侧分开地配置。该配置使得第一遮挡板11A及第二遮挡板11B从图5所示的闭位置向图6所示的开位置转移时前述重叠边缘部11a、11b分别沿靶3的矩形形状的基材相向面30的外周的边缘的互相相向的一对长边即第一边30a及第二边30b以互相平行地延伸的状态分散地配置成为可能。这能够缩小第一遮挡板11A及第二遮挡板11B为从闭位置向开位置移动所必要的旋转角度，由此，能够缩小在具有矩形形状的基材相向面30的靶3的周边所必要的遮挡件6的避让空间。

前述第一旋转轴SA及第二旋转轴SB如前所述，从前述法线方向Y观察，配置成重叠边缘部11a、11b重合的闭位置边缘部区域20沿着矩形形状的前述基材相向面30的前述特定对角线L，但是，进而，优选的是，如图7所示，前述特定对角线L在以该第一及第二旋转轴SA、SB作为旋转中心旋转时，该特定对角线L处于与互相相向的一对长边的每一个一致的那样的位置。

具体地，从前述基材相向面30的法线方向Y观察，如图7所示，优选的是，前述第一旋转轴SA配置于半直线HLa之上，第二旋转轴SB配置于半直线HLb之上。前述半直线HLa为，将前述基材相向面30的外周的边缘的互相相向的一对长边中的第一边30a与来自前述特定对角线L和前述第一边30a的交点(在图7中为左上的角部)的该特定对角线L的延长线即第一延长线La所成的角度二等分的线，前述半直线HLb为，将前述一对长边中的第二边30b与来自前述特定对角线L和前述第二边30b的交点(在图7中为右下的角部)的前述特定对角线L的延长线即第二延长线Lb所成的角度二等分的线。该第一及第二旋转轴SA、SB的配置使得在分别以前述第一旋转轴SA及第二旋转轴SB作为旋转中心使前述特定对角线L旋转时，该特定对角线L能够与前述第一边30a及前述第二边30b分别重合。这切实地保证，第一遮挡板11A及第二遮挡板11B处于图6所示的开位置时，各自的重叠边缘部11a、11b位于沿靶3的基材相向面30的外周的边缘的互相相向的两个长边即第一边30a及第二边30b平行地延伸的位置。这能够在具有矩形形状的基材相向面30的靶3的周边使必要的遮挡件6的避让空间变小，由此，容易设计遮挡件机构10。

本发明的遮挡件机构不限于像前述遮挡件机构10那样地仅具有一对遮挡板11A、11B。本发明的遮挡件机构所包括的多个遮挡板的具体的张数不被限定。图8表示具备4张遮挡板的遮挡件机构的例子的本发明的第二实施方式的遮挡件机构。

前述第二实施方式的遮挡件机构具备图8所示的遮挡件6。该遮挡件6具有第一遮挡板11A、第二遮挡板11B、第三遮挡板11C及第四遮挡板11D，该第一至第四遮挡板11A、11B、11C及11D协同动作，将靶3的细长的矩形形状的基材相向面30开闭自如地覆盖。

第一遮挡板11A、第二遮挡板11B具有与图1至3所示的上述的第一遮挡板11A及第二遮挡板11B等同的结构，所以省略其说明。

第三遮挡板11C及第四遮挡板11D与前述第一遮挡板11A及第二遮挡板11B相同地，在基材相向面30和基材W之间的位置能够在沿着该基材相向面30的方向X(参照图1)上移动，分别具有能够在该基材相向面30与基材W之间的位置互相接近的例如在该基材相向面30的法线方向Y上能够互相重合的第三边缘部及第四边缘部即重叠边缘部11c、11d。

第三遮挡板11C及第四遮挡板11D在基材相向面30和基材W之间的位置相对于前述第一遮挡板11A及第二遮挡板11B配置于在沿前述基材相向面30的方向(具体地为图8的下方)上偏离的位置。

图8所示的遮挡件机构除了上述的第一旋转支承部13A及第二旋转支承部13B还具备第三旋转支承部13C及第四旋转支承部13D。

第三旋转支承部13C以绕沿着基材相向面30的法线方向延伸的第三旋转轴SC能够旋转的方式将前述第三遮挡板11C支承。第四旋转支承部13D以绕沿着基材相向面30的法线方向延伸的第四旋转轴SD能够旋转的方式将前述第四遮挡板11D支承。前述第三旋转支承部13C及第四旋转支承部13D分别与前述第一旋转支承部13A及第二旋转支承部13B相同地具有主轴13b、将其能够旋转地支承的图中未示出的轴承，前述第三旋转支承部13C的主轴13b固定于前述第三遮挡板11C，前述第四旋转支承部13D的主轴13b固定于前述第四遮挡板11D。

第二实施方式的遮挡件机构具备用于将前述第一至第四遮挡板11A至11D分别向开闭方向旋转驱的驱动装置。该驱动装置除了与第一实施方式相同地具有将第一遮挡板11A绕第一旋转轴SA旋转驱动的第一驱动部及将第二遮挡板11B绕第二旋转轴SB旋转驱动的第二驱动部，还具有将第三遮挡板11C绕第三旋转轴SC旋转驱动的第三驱动部及将第四遮挡板11D绕第四旋转轴SD旋转驱动的第四驱动部。

第三旋转支承部13C及第四旋转支承部13D以通过第三遮挡板11C及第四遮挡板11D分别绕前述第三旋转轴SC及绕第四旋转轴SD旋转而能够在图8中由双点划线所示的闭位置和由实线所示的开位置之间转动的方式，将该第三遮挡板11C及第四遮挡板11D分别支承。前述第三遮挡板11C及该第四遮挡板11D在各自的闭位置，在前述基材相向面30和基材W之间的位置(参照图1)以该第三遮挡板11C及该第四遮挡板11D的重叠边缘部11c、11d互相重合的状态将基材相向面30相对于基材W关闭，在各自的开位置以前述重叠边缘部11c、11d互相离开的方式从前述基材相向面30和基材W之间的位置向沿着该基材相向面的方向避让。

第三旋转轴SC及第四旋转轴SD以第三遮挡板11C及第四遮挡板11D分别处于开位置时前述重叠边缘部11c、11d沿着基材相向面30的外周的边缘的至少一部分(具体地，图8所示的相向的一对长边即第一30a及第二边30b)的方式，在闭位置隔着重叠边缘部11c、11d互相重合的闭位置边缘部区域40地在两侧被分开地配置。

根据图8所示的遮挡件机构，具有在特定方向上较长的形状(例如细长的矩形形状)的靶3的基材相向面30也能够将遮挡件6所包括的第一至第四遮挡板11A、11B、11C、11D无间隙地关闭。具体地，第一遮挡板11A及第二遮挡板11B通过在将基材相向面30斜向横截的前述闭位置边缘部区域20互相重合来覆盖前述基材相向面30的一方的半部(图8中为上半部)，同样地。第三遮挡板11C及第四遮挡板11D在沿基材相向面30的方向从前述区域20离开的位置通过在将该基材相向面30斜向横截的前述闭位置边缘部区域40互相重合来将前述基材相向面30的另一方的半部(图8中为下半部)。进而，若第二遮挡板11B及位于其下方的第三遮挡板11C在各自的闭位置互相重合，则能够将基材相向面30不仅在前述区域20、40也在第二及第三遮挡板11B、11C之间的区域无间隙地关闭。

在图8所示的遮挡件6中，在第一至第四遮挡板11A、11B、11C、11D的各自的开位置，第一及第三遮挡板11A、11C的第一及第三边缘部即重叠边缘部11a、11c沿着基材相向面30的外周的边缘的一方，具体地沿着一对长边中的第一边30a，第二及第四遮挡板11B、11D的第二及第四边缘部即重叠边缘部11b、11d沿着基材相向面30的外周的边缘的另一方，具体地沿着一对长边中的第二边30b，能够被分散地配置。这使得尽管前述遮挡件6具有四张遮挡板11A、11B、11C、11D也能够缩小遮挡件6的避让空间。

在图8所示的遮挡件6中，在第一至第四遮挡板11A至11D的各自的开位置，从前述基材相向面30的法线方向Y观察，第一遮挡板11A的一部分及位于其下方的第三遮挡板11C的一部分互相重合，同样地，第二遮挡板11B的一部分及位于其下方的第四遮挡板11D的一部分互相重合。这样的第一遮挡板11A和第三遮挡板11C的部分的重合及第二遮挡板11B和第四遮挡板11D的部分的重合，能够使得从前述法线方向Y观察的前述遮挡件6的避让空间的总面积比前述第一至第四遮挡板11A、11B、11C、11D的总面积小。

前述靶3的基材相向面30例如也可以是图9至图13所示的正方形形状。该情况下，把其中第二遮挡板11B的第二旋转轴SB的位置作为焦点，来如下所述地考察使遮挡件6的避让空间最小的第一及第二遮挡板的旋转轴的位置。

在图9至图13所示的例子中，前述第二遮挡板11B具有与将正方形形状的基材相向面30以其一对对角线的中的一个特定对角线L分割的区域的形状相同的形状，即，具有直角等腰三角形的形状的部分。第二遮挡板11B在闭位置具有与前述特定对角线L一致的第二边缘部即重叠边缘部11b。此外，为了将第二遮挡板11B旋转自如地支承而固定于该第二遮挡板11B的第二旋转支承部的主轴13b具有与前述第二旋转轴SB一致的中心。在图9至图13所示的例子中，包括基材相向面30的第二边30b的四边均具有100mm的长度的。

图9表示如下状态：在第二旋转轴SB位于特定对角线L的第二延长线La上的情况下，第二遮挡板11B到达绕该第二旋转轴SB旋转而从基材相向面30避让的开位置，即，从基材相向面30的法线方向Y观察与第二遮挡板11B的重叠边缘部11b对应的直线穿过基材相向面30的右上的角部30c的位置。该状态下的第二遮挡板11B的重叠边缘部11b与特定对角线L所成的旋转角为36.4568度，第二遮挡板11B中从最从前述基材相向面30离开的部位(图9中为右端的角部)至前述基材相向面30的角部30c的水平距离，即避让距离为73.3855mm。

图10及图11表示前述第二旋转轴SB处于从特定对角线L的第二延长线Lb向其上侧即接近前述第二遮挡板11B的一侧离开位置的情况。具体地，从前述法线方向Y观察，在图10中，前述第二旋转轴SB位于前述第二延长线Lb和正方形形状的基材相向面30的下边30e的延长线即来自右下的角部30d的延长线(图9至图13所示的例子中为水平线)即基准线H之间，在图11中，前述第二旋转轴SB位于前述基准线H上。这些情况下，该第二旋转轴SB越从该第二延长线Lb离开，开闭所必要的旋转角越变大，但避让距离变小。前述避让距离相当于遮挡件6的避让空间的宽度，所以考虑在图9至图11所示的范围中第二旋转轴SB越从第二延长线Lb远离则遮挡件6的避让空间越小。

图12表示前述第二旋转轴SB与前述基准线H相比位于更上侧的情况且连结该第二旋转轴SB和前述右下的角部30d的线Ls和该基准线H所成的角度为22.5度的情况。该情况下，前述特定对角线L从前述法线方向Y观察以前述第二旋转轴SB为中心沿顺时针旋转的方向(即接近基材相向面30的第二边30b的方向)旋转45度，由此到达与前述第二边30b一致的位置。因此，第二遮挡板11B绕前述第二旋转轴SB旋转45度旋转，由此，该第二遮挡板11B的重叠边缘部11b能够从与基材相向面30的特定对角线L一致的闭位置移动至该重叠边缘部11b沿着前述第二边30a的开位置。该情况下的前述第二遮挡板11B的避让距离为70.7107mm，比图9至图11所示的情况的避让距离小。

但是，如图13所示，处于旋转轴S处于比图12所示的位置更靠上侧的位置，具体地，处于连结该第二旋转轴SB和前述右下的角部30d的线Ls从前述基准线H向上侧离开30度的位置的情况下，第二遮挡板11B即使如图13所示，打开至在从前述法线方向Y观察其重叠边缘部11b与基材相向面30的右上的角部30c重合的位置，第二遮挡板11B的一部分也与基材相向面30重合。因此，为了将前述基材相向面30完全敞开，第二遮挡板11B需要进一步从基材相向面30向远离的方向绕第二旋转轴S旋转，这妨碍遮挡件6的避让空间的缩小。

以上的考察得到如下结论。即，关于将从法线方向Y观察具有正方形形状的基材相向面30开闭的遮挡件6，第二旋转轴SB处于图12所示的位置，即处于连结该第二旋转轴SB和前述右下的角部30d的线Ls和前述基准线H所成的角度为22.5度的位置能够使该遮挡件6的避让空间最小。

图12所示的第二旋转轴SB的位置与图7所示的那样的用于将具有纵长矩形形状的基材相向面30开闭的第二旋转轴SB的位置同样地，相当于从前述法线方向Y观察将特定对角线L的第二延长线Lb和基材相向面30的第二边30b所成的角度二等分的半直线的上的位置。同样地，关于第一旋转轴SA的位置，从前述法线方向Y观察，该第一旋转轴SA位于将特定对角线L的第一延长线La和基材相向面30的第一边30a所成的角度二等分的半直线上，由此，遮挡件6的避让空间最小。

从前述靶3的基材相向面30的法线方向观察的具体的形状不被限定。该形状也可以是如图14所示那样的圆形。这样的圆形的基材相向面30例如使用遮挡件6，前述遮挡件6如图14所示从基材相向面30的法线方向观察，具有将与该基材相向面30的圆形的轮廓外切的正方形用其对角线二分的直角等腰三角形所成的遮挡板11，但如图12所示，与基材相向面30构成正方形形状的情况同样地，能够缩小遮挡件6的避让空间。

在以上的实施方式中，处于闭位置的第一遮挡板11A及第二遮挡板11B的第一及第二边缘部，即在靶3的基材相向面30和基材W之间的位置互相接近的边缘部为在基材相向面30和基材W之间的位置互相在基材相向面30的法线方向Y上重合的重叠边缘部11a、11b，但本发明不限于此。

本发明还包括，处于闭位置的前述第一遮挡板11A及第二遮挡板11B的相向面(端面)彼此在基材相向面30和基材W之间的位置互相接触的方式。这样的方式的遮挡件机构也能够以简单的结构缩小遮挡件的避让空间来实现成膜装置的成膜腔的小型化。

与上述相同地，如图8所示，在除了第一遮挡板11A及第二遮挡板11B还具备第三遮挡板11C及第四遮挡板11D的遮挡件机构中，处于闭位置的第三遮挡板11C及第四遮挡板11D的第三及第四边缘部的相向面(端面)彼此也可以在基材相向面30和基材W之间的位置互相接触。该情况也能够实现与上述实施方式相同的效果。

如以上所述，提供具备将用于溅射的靶开闭自如地覆盖的遮挡件的靶用遮挡件机构，其能够在不需要复杂的构造的情况缩小用于使前述遮挡件从前述靶向开位置避让的避让空间的缩小。

提供的是如下遮挡件机构，前述遮挡件机构将靶开闭自如地覆盖，前述靶被用于溅射，具有与通过该溅射成膜的基材相向的基材相向面，前述遮挡件机构具备遮挡件、第一旋转支承部、第二旋转支承部、驱动装置，前述遮挡件在前述基材相向面和前述基材之间的位置具有在沿该基材相向面的方向上能够移动的第一遮挡板及第二遮挡板，该第一遮挡板及该第二遮挡板分别具有在该基材相向面和前述基材之间的位置能够互相接触或接近的第一边缘部及第二边缘部，前述第一旋转支承部以能够绕沿前述基材相向面的法线方向延伸的第一旋转轴旋转的方式支承前述第一遮挡板，前述第二旋转支承部以能够绕沿前述基材相向面的法线方向延伸的第二旋转轴旋转的方式支承前述第二遮挡板，前述驱动装置将前述第一遮挡板及第二遮挡板分别绕前述第一旋转轴及绕前述第二旋转轴旋转驱动，前述第一旋转支承部及前述第二旋转支承部将该第一遮挡板及该第二遮挡板旋转自如地支承，使得前述第一遮挡板及前述第二遮挡板通过分别绕前述第一旋转轴及绕前述第二旋转轴的旋转，能够在前述基材相向面和前述基材之间的位置处在前述第一边缘部和前述第二边缘部互相接触或接近的状态下该第一遮挡板及该第二遮挡板将前述基材相向面关闭的闭位置、通过该第一遮挡板及该第二遮挡板以前述第一边缘部和前述第二边缘部互相离开的方式分别从前述基材相向面和前述基材之间的位置避让来相对于该基材将该基材相向面敞开的开位置之间转移，前述第一旋转轴及前述第二旋转轴以前述第一边缘部及前述第二边缘部在前述开位置沿着前述基材相向面的外周的边缘的至少一部分的方式，被配置成隔着在前述第一遮挡板及前述第二遮挡板处于前述闭位置时前述第一边缘部及前述第二边缘部互相接触或接近的区域即闭位置边缘部区域在两侧分开地配置。

在该遮挡件机构中，构成前述遮挡件的前述第一及第二遮挡板通过沿前述靶的基材相向面的方向的转动这样的简单的动作相对于前述基材将前述基材相向面开闭，并且在分别处于开位置时被以第一及第二边缘部沿着靶的基材相向面的外周的边缘的方式分散地配置。即，该第一及第二遮挡板通过承接驱动部的旋转驱动力来绕第一旋转轴及第二旋转轴在沿着基材相向面的方向上转动，来在前述第一及第二边缘部互相接触或接近的闭位置和从靶的基材相向面避让的开位置之间转移。

这里，前述第一及第二旋转轴以第一遮挡板及第二遮挡板处于前述开位置时前述第一边缘部及前述第二边缘部沿着基材相向面的外周的边缘的至少一部分的方式，隔着前述闭位置边缘部区域在两侧被分开地配置，由此，第一遮挡板及第二遮挡板在前述开位置，各自的边缘部能够以沿基材相向面的外周的边缘的状态被分散地配置。这使得无需为了使遮挡件向靶的侧方的开位置避让而确保较大的空间。即，能够缩小遮挡件的避让空间。

优选的是，前述第一旋转轴及前述第二旋转轴以前述开位置处的前述第一遮挡板及第二遮挡板的前述第一边缘部及前述第二边缘部分别沿着前述靶的基材相向面的外周的边缘的互相相向的部分的方式，在该第一旋转轴及该第二旋转轴之间隔着前述基材相向面配置于该基材相向面的两侧。

前述第一及第二旋转轴的配置能够使前述第一遮挡板及第二遮挡板从闭位置向开位置的旋转角度变小，由此，能够进一步缩小遮挡件的避让空间。

具体地，优选的是，前述靶的前述基材相向面具有矩形形状，前述第一遮挡板及前述第二遮挡板被配置成，从前述基材相向面的法线方向观察，前述闭位置边缘部区域沿着从前述基材相向面的两个对角线之中选的特定对角线，前述第一旋转轴及前述第二旋转轴分开配置于前述特定对角线的两侧。

这样配置的前述第一及第二遮挡板能够仅通过在前述第一及前述第二边缘部在沿着前述靶的矩形形状的基材相向面的特定对角线的前述闭位置边缘部区域互相接触或接近的闭位置和前述第一及前述第二边缘部以沿着前述基材相向面的外周的边缘的互相相向的两个边平行地延伸的方式被配置的开位置之间转动来将前述基材相向面开闭。这能够缩小前述第一遮挡板及第二遮挡板的闭位置和开位置之间的转动角度，能够进一步缩小靶的周边的遮挡件的避让空间。

优选的是，前述第一旋转轴从前述基材相向面的法线方向观察，配置于将前述特定对角线的延长线和前述基材相向面的外周的边缘的互相相向的两个边中的第一边所成角度二等分的半直线之上，前述第二旋转轴配置于将前述特定的一个对角线的延长线和前述基材相向面的外周的边缘的互相相向的两个边的与前述第一边相反的第二边所成的角度二等分的半直线之上。

前述第一旋转轴及第二旋转轴的配置在以该第一及第二旋转轴为中心使前述特定对角线旋转时呈该特定对角线与前述第一边及前述第二边分别重合的位置关系。因此，该配置使得该第一及第二边缘部切实地位于如下位置：使得在前述第一遮挡板及前述第二遮挡板处于前述开位置时，前述第一及第二边缘部分别沿前述第一及第二边互相平行地延伸。由此，该配置能够容易且切实地得到在具有矩形形状的基材相向面的靶的周边使遮挡件的避让空间进一步变小的遮挡件机构，使遮挡件机构的设计容易。

优选的是，前述遮挡件还具有在前述基材相向面和前述基材之间的位置能够在沿该基材相向面的方向上移动的第三遮挡板及第四遮挡板，前述第三遮挡板及第四遮挡板分别具有能够在该基材相向面和前述基材之间的位置互相接触或接近的第三边缘部及第四边缘部，前述第三遮挡板及前述第四遮挡板相对于前述第一遮挡板及前述第二遮挡板在前述基材相向面和前述基材之间的位置配置于在沿前述基材相向面的方向上偏离的位置，以借助前述第一遮挡板、前述第二遮挡板、前述第三遮挡板及前述第四遮挡板将前述基材相向面和前述基材之间开闭的方式构成前述遮挡件，前述遮挡件机构还具备以绕沿前述基材相向面的法线方向延伸的第三旋转轴能够旋转的方式支承前述第三遮挡板的第三旋转支承部、以绕沿前述基材相向面的法线方向延伸的第四旋转轴能够旋转的方式支承前述第四遮挡板的第四旋转支承部，前述驱动部将前述第三遮挡板及第四遮挡板分别绕前述第三旋转轴及绕前述第四旋转轴旋转驱动，前述第三旋转支承部及前述第四旋转支承部将该第三遮挡板及该第四遮挡板旋转自如地支承，使得通过前述第三遮挡板及前述第四遮挡板分别绕前述第三旋转轴及绕前述第四旋转轴的旋转，能够在前述基材相向面和前述基材之间的位置在前述第三边缘部和前述第四边缘部互相接触或接近的状态下该第三遮挡板及该第四遮挡板将前述基材相向面关闭的闭位置、该第三遮挡板及该第四遮挡板以前述第三边缘部和前述第四边缘部互相离开的方式分别从前述基材相向面和前述基材之间的位置避让的开位置之间转移，前述第三旋转轴及前述第四旋转轴以前述第三边缘部及前述第四边缘部在前述开位置处沿着前述基材相向面的外周的边缘的至少一部分的方式，在前述闭位置处隔着前述第三边缘部及前述第四边缘部互相接触或接近的区域分开地配置于两侧。

前述遮挡件通过具备前述第一至第四遮挡板，在靶的基材相向面是特定方向较长的形状(例如细长的矩形形状)的情况下，也能够有效地关闭基材相向面。并且，第一至第四遮挡板能够分散地配置成在各自的开位置前述第一至第四边缘部分别沿着基材相向面的外周的边缘。即，前述遮挡件机构在具备第一至第四遮挡板的同时能够缩小遮挡件的避让空间。

此外，提供一种成膜装置，前述成膜装置具备成膜腔、前述靶、前述遮挡件机构，前述成膜腔容纳基材，前述靶具有基材相向面，以该基材相向面朝向前述基材的方式设置于前述成膜腔，前述遮挡件机构相对于前述基材将前述基材相向面开闭，该遮挡件机构的前述第一遮挡板及前述第二遮挡板在前述成膜腔的内部被开闭自如地配置于前述基材相向面和前述基材之间的位置。

前述成膜装置的前述第一遮挡板及前述第二遮挡板尽管在前述成膜腔的内部在前述基材相向面和前述基材之间的位置被开闭自如地配置，也能够在前述开位置，前述第一及第二边缘部被沿着前述基材相向面的外周的边缘分散地配置。这能够缩小成膜腔内部的遮挡件的避让空间，由此，能够使成膜腔小型化。

Claims (6)

1.一种靶用遮挡件机构，前述靶用遮挡件机构将靶开闭自如地覆盖，前述靶被用于溅射，具有与通过该溅射成膜的基材相向的基材相向面，其特征在于，

具备遮挡件、第一旋转支承部、第二旋转支承部、驱动装置，

前述遮挡件具有在前述基材相向面和前述基材之间的位置在沿该基材相向面的方向上能够移动的第一遮挡板及第二遮挡板，该第一遮挡板及该第二遮挡板分别具有在该基材相向面和前述基材之间的位置能够互相接触或接近的第一边缘部及第二边缘部，

前述第一旋转支承部以能够绕沿前述基材相向面的法线方向延伸的第一旋转轴旋转的方式支承前述第一遮挡板，

前述第二旋转支承部以能够绕沿前述基材相向面的法线方向延伸的第二旋转轴旋转的方式支承前述第二遮挡板，

前述驱动装置将前述第一遮挡板及第二遮挡板分别绕前述第一旋转轴及绕前述第二旋转轴旋转驱动，

前述第一旋转支承部及前述第二旋转支承部将该第一遮挡板及该第二遮挡板旋转自如地支承，使得前述第一遮挡板及前述第二遮挡板通过绕前述第一旋转轴及绕前述第二旋转轴的各自的旋转，能够在闭位置和开位置之间转移，在前述闭位置，在前述基材相向面和前述基材之间的位置，在前述第一边缘部和前述第二边缘部互相接触或接近的状态下该第一遮挡板及该第二遮挡板将前述基材相向面关闭，在前述开位置，通过该第一遮挡板及该第二遮挡板以前述第一边缘部和前述第二边缘部互相离开的方式分别从前述基材相向面和前述基材之间的位置避让，相对于该基材将该基材相向面敞开，

前述第一旋转轴及前述第二旋转轴被配置成，以前述第一边缘部及前述第二边缘部在前述开位置沿着前述基材相向面的外周的边缘的至少一部分的方式，隔着在前述第一遮挡板及前述第二遮挡板处于前述闭位置时前述第一边缘部及前述第二边缘部互相接触或接近的区域即闭位置边缘部区域在两侧分开。

2.如权利要求1所述的靶用遮挡件机构，其特征在于，

前述第一旋转轴及前述第二旋转轴以前述开位置处的前述第一遮挡板及第二遮挡板的前述第一边缘部及前述第二边缘部分别沿着前述靶的基材相向面的外周的边缘的互相相向的部分的方式，在该第一旋转轴及该第二旋转轴之间隔着前述基材相向面地配置于该基材相向面的两侧。

3.如权利要求2所述的靶用遮挡件机构，其特征在于，

前述靶的前述基材相向面具有矩形形状，前述第一遮挡板及前述第二遮挡板被配置成，从前述基材相向面的法线方向观察，前述闭位置边缘部区域沿着从前述基材相向面的两个对角线之中选的特定对角线，前述第一旋转轴及前述第二旋转轴分开配置于前述特定对角线的两侧。

4.如权利要求3所述的靶用遮挡件机构，其特征在于，

前述第一旋转轴从前述基材相向面的法线方向观察，配置于将前述特定对角线的延长线和前述基材相向面的外周的边缘的互相相向的两个边中的第一边所成的角度二等分的半直线之上，前述第二旋转轴配置于将前述特定的一个对角线的延长线和前述基材相向面的外周的边缘的互相相向的两个边中的与前述第一边相反的第二边所成的角度二等分的半直线之上。

5.如权利要求1所述的靶用遮挡件机构，其特征在于，

前述遮挡件还具有在前述基材相向面和前述基材之间的位置能够在沿该基材相向面的方向上移动的第三遮挡板及第四遮挡板，前述第三遮挡板及第四遮挡板分别具有能够在该基材相向面和前述基材之间的位置互相接触或接近的第三边缘部及第四边缘部，

前述第三遮挡板及前述第四遮挡板相对于前述第一遮挡板及前述第二遮挡板在前述基材相向面和前述基材之间的位置配置于在沿前述基材相向面的方向上偏离的位置，以借助前述第一遮挡板、前述第二遮挡板、前述第三遮挡板及前述第四遮挡板将前述基材相向面和前述基材之间开闭的方式构成前述遮挡件，

前述遮挡件机构还具备以绕沿前述基材相向面的法线方向延伸的第三旋转轴能够旋转的方式支承前述第三遮挡板的第三旋转支承部、以绕沿前述基材相向面的法线方向延伸的第四旋转轴能够旋转的方式支承前述第四遮挡板的第四旋转支承部，

前述驱动部将前述第三遮挡板及第四遮挡板分别绕前述第三旋转轴及绕前述第四旋转轴旋转驱动，

前述第三旋转支承部及前述第四旋转支承部将该第三遮挡板及该第四遮挡板旋转自如地支承，使得前述第三遮挡板及前述第四遮挡板通过绕前述第三旋转轴及绕前述第四旋转轴的各自的旋转，能够在闭位置和开位置之间转移，在前述闭位置，在前述基材相向面和前述基材之间的位置，在前述第三边缘部和前述第四边缘部互相接触或接近的状态下，该第三遮挡板及该第四遮挡板将前述基材相向面关闭，在前述开位置，该第三遮挡板及该第四遮挡板以前述第三边缘部和前述第四边缘部互相离开的方式分别从前述基材相向面和前述基材之间的位置避让，

前述第三旋转轴及前述第四旋转轴被配置成，以前述第三边缘部及前述第四边缘部在前述开位置沿着前述基材相向面的外周的边缘的至少一部分的方式，隔着在前述闭位置处前述第三边缘部及前述第四边缘部互相接触或接近的区域在两侧分开。

6.一种成膜装置，其特征在于，

具备成膜腔、前述靶、权利要求1至5中任一项所述的靶用遮挡件机构，

前述成膜腔容纳基材，

前述靶具有基材相向面，以该基材相向面朝向前述基材的方式设置于前述成膜腔，

前述权利要求1至5中任一项所述的靶用遮挡件机构相对于前述基材将前述基材相向面开闭，

前述遮挡件机构的前述第一遮挡板及前述第二遮挡板在前述成膜腔的内部被开闭自如地配置于前述基材相向面和前述基材之间的位置。