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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Spaltblendensystem mit mindestens zwei benachbart zueinander angeordneten Spaltblenden sowie eine Beschichtungsanlage mit einer Spaltblende.
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Spaltblenden finden in unterschiedlichen technischen Gebieten Verwendung und kommen beispielsweise im Bereich von Beschichtungsanlagen zum Einsatz. So werden beispielsweise bei der physikalischen Abscheidung von Schichtsystemen unter Verwendung unterschiedlicher Sputterkathoden und Targets die jeweils nicht aktiven Targets mithilfe von geschlossenen Blenden gegen eine Verschmutzung geschützt. In diesem Fall dienen die verwendeten Spaltblenden als Shutter. Spaltblenden kommen aber auch mit variablem Blendenspalt zum Einsatz, um beispielsweise gezielt Schichtdickenprofile beeinflussen zu können (vgl. beispielsweise
EP 3 663 431 A1 ).
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Verschiedene Blendensysteme zur Verwendung in Sputter-Anlagen sind beispielsweise aus
JP H03- 202 466 A ,
US 2013 / 0 299 345 A1 ,
DE 10 2016 116 568 A1 ,
EP 3 556 902 A1 und
EP 3 587 619 A1 bekannt. Auch in anderem technischen Kontext können Spaltblenden zum Einsatz kommen, vgl. bspw.
US 2014 / 0 079 179 A1 ,
US 2011 / 0 038 466 A1 ,
JP H05- 76 523 A ,
US 2001 / 0 005 409 A1 und
WO 2016/ 128 581 A1 .
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Allerdings weisen bekannte Spaltblenden unterschiedliche Nachteile auf. So sind beispielsweise Zahnstangenantriebe und Aktuatoren relativ kostspielig und erstere haben häufig mechanische Probleme. So können diese bspw. leicht verklemmen oder verkanten. Die in der
EP 3 556 902 A1 beschriebene Anordnung dahingegen beansprucht relativ viel Platz. Wegen des Betriebs im Vakuum sind häufig Membranbälge erforderlich, die jedoch fehleranfällig und daher wartungsintensiv sind. Ferner haben Membranbälge eine begrenzte Lebensdauer bzw. überdauern nur eine begrenzte Anzahl an Lastwechseln. Viele der relativ komplexen Lösungen beinhalten eine Reihe von Verschleißteilen, welche sich nachteilig auf die Betriebssicherheit, insbesondere im Hinblick auf die Vakuumdichtigkeit, auswirken können.
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Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine verbesserte Spaltblende, insbesondere zur Verwendung in Beschichtungsanlagen, bereitzustellen, die den oben genannten Nachteilen Rechnung trägt. Diese Aufgabe wird mit einem Spaltblendensystem gemäß Anspruch 1 bzw. 2 sowie einer Beschichtungsanlage gemäß Anspruch 3 bzw. 4 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben.
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Demnach richtet sich die vorliegende Erfindung auf ein Spaltblendensystem mit mindestens zwei benachbart zueinander angeordneten Spaltblenden, wobei jede Spaltblende zwei beweglich gelagerte, längliche Blendenelemente mit jeweils ersten und zweiten Längsenden aufweist, wobei zwischen den länglichen Blendenelementen ein länglicher Blendenspalt variabler Breite ausgebildet wird, wobei die beiden ersten Längsenden mit einer rotatorischen Antriebseinheit verbunden sind und wobei die beiden zweiten Längsenden miteinander gekoppelt sind; wobei die zwei benachbart zueinander angeordneten Spaltblenden derart angeordnet und eingerichtet sind, dass ein Blendenelement einer ersten Spaltblende in deren vollständig geöffneten Zustand eine Fläche abdeckt, die von einem Blendenelement einer zweiten Spaltblende in deren vollständig geöffneten Zustand zumindest teilweise ebenfalls abgedeckt wird.
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Gemäß einem weiteren Aspekt richtet sich die vorliegende Erfindung auf ein Spaltblendensystem mit mindestens zwei benachbart zueinander angeordneten Spaltblenden, wobei jede Spaltblende zwei beweglich gelagerte, längliche Blendenelemente mit jeweils ersten und zweiten Längsenden aufweist, wobei zwischen den länglichen Blendenelementen ein länglicher Blendenspalt variabler Breite ausgebildet wird, wobei die beiden länglichen Blendenelemente derart rotatorisch gelagert sind und derart von einer Antriebseinheit bewegt werden können, dass die Längsausrichtung des länglichen Blendenspalts für unterschiedliche Blendenspaltbreiten konstant bleibt; wobei die zwei benachbart zueinander angeordneten Spaltblenden derart angeordnet und eingerichtet sind, dass ein Blendenelement einer ersten Spaltblende in deren vollständig geöffneten Zustand eine Fläche abdeckt, die von einem Blendenelement einer zweiten Spaltblende in deren vollständig geöffneten Zustand zumindest teilweise ebenfalls abgedeckt wird.
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Offenbart wird ferner eine Spaltblende mit zwei beweglich gelagerten, länglichen Blendenelementen, die jeweils erste und zweite Längsenden aufweisen. Zwischen den länglichen Blendenelementen wird ein länglicher Blendenspalt variabler Breite ausgebildet. Die beiden ersten Längsenden der länglichen Blendenelemente sind mit einer rotatorischen Antriebseinheit verbunden und die beiden zweiten Längsenden der länglichen Blendenelemente sind miteinander gekoppelt.
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Offenbart wird ferner eine Spaltblende mit zwei beweglich gelagerten, länglichen Blendenelementen, die jeweils erste und zweite Längsenden aufweisen, wobei zwischen den länglichen Blendenelementen ein länglicher Blendenspalt variabler Breite ausgebildet wird. Die beiden länglichen Blendenelemente sind derart rotatorisch gelagert und können derart von einer Antriebseinheit bewegt werden, dass die Längsausrichtung des länglichen Blendenspalts für unterschiedliche Blendenspaltbreiten konstant bleibt.
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Mit anderen Worten beruht die vorliegende Erfindung unter anderem auf der Idee, den in vielerlei Hinsicht problematischen Linearantrieb bekannter Spaltblenden durch eine rotatorische Lagerung der Blendenelemente bzw. durch eine rotatorische Antriebseinheit zu ersetzen. Dadurch, dass die beiden ersten Längsenden der Blendenelemente mit der rotatorischen Antriebseinheit verbunden sind und die beiden zweiten Längsenden miteinander gekoppelt sind, lässt sich die Spaltblende mit einer einzigen Antriebseinheit öffnen und schließen. Ferner wird durch die Kopplung sichergestellt, dass die Längsausrichtung des länglichen Blendenspalts für unterschiedliche Blendenspaltbreiten konstant bleibt, was insbesondere dann von Bedeutung ist, wenn die Spaltblende nicht nur als Shutter verwendet wird, sondern beispielsweise eine Beschichtungsanlage bei unterschiedlichen Spaltbreiten arbeiten soll.
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Die erfindungsgemäße rotatorische Antriebseinheit sowie die rotatorische Lagerung der Blendenelemente lässt sich mit einfachen Mitteln und kostengünstig implementieren. Dabei lässt sich der Übergang ins Vakuum mithilfe einer einfachen Drehdurchführung realisieren, so dass auf die problematischen Membranbälge inkl. der Mechanik für eine lineare Bewegung verzichtet werden kann. Schließlich ist die erfindungsgemäße Spaltblende außerordentlich platzsparend, was nachfolgend noch im Detail erläutert werden wird.
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Unter einem länglichen Blendenelement wird erfindungsgemäß ein Blendenelement verstanden, bei dem das Verhältnis von Länge zu Breite mindestens 4, bevorzugt mindestens 6 und besonders bevorzugt mindestens 8beträgt. Das Verhältnis kann auch mindestens 10 oder mindestens 12 betragen. Das Gleiche gilt für das erfindungsgemäße Verständnis von einem länglichen Blendenspalt, wobei hier die Dimensionen bei maximaler Spaltbreite maßgeblich sind.
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Erfindungsgemäß wird unter den ersten und zweiten Längsenden der länglichen Blendenelemente nicht nur das exakte Ende angesehen, sondern jeweilige Bereiche, die sich an gegenüberliegenden Enden der Blendenelemente befinden. Die Länge der jeweiligen Längsenden kann dabei jeweils bis zu 20% der Länge der Blendenelemente betragen.
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Erfindungsgemäß kann die Kopplung zwischen den beiden zweiten Längsenden der länglichen Blendenelemente eine Relativbewegung der beiden zweiten Längsenden zueinander zulassen, um so die Breite des länglichen Blendenspalts variieren zu können. Besonders bevorzugt sind die beiden zweiten Längsenden über eine rotatorische Lagerung miteinander gekoppelt.
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Bevorzugt können die beiden länglichen Blendenelemente derart von einer einzigen Antriebseinheit bewegt werden, dass die Längsausrichtung des länglichen Blendenspalts für unterschiedliche Blendenspaltbreiten konstant bleibt. Die Längsausrichtung des länglichen Blendenspalts kann dabei beispielsweise durch die Ausrichtung der Mittelachse des länglichen Blendenspalts definiert werden. Es ist ferner bevorzugt, dass die Breite des Blendenspalts entlang der Länge des Blendenspalts im Wesentlichen konstant ist.
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Bevorzugt werden die unterschiedlichen Blendenspaltbreiten dadurch erzielt, dass sich alle Längsenden der Blendenelemente auf Kreisbahnen bewegen. Bevorzugt haben diese Kreisbahnen alle denselben Radius, was zur Folge hat, dass die länglichen Blendenelemente für unterschiedliche Blendenspaltbreiten jeweils parallel zueinander und parallel zu einer konstanten Längsachse des Spalts bleiben.
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Hierfür sind die ersten Längsenden der beiden Blendenelemente, bevorzugt werkzeugfrei lösbar, an einem ersten rotatorisch gelagerten Element angebracht und die zweiten Längsenden der beiden Blendenelemente, bevorzugt werkzeugfrei lösbar, an einem zweiten rotatorisch gelagerten Element angebracht. Das erste Element kann dabei bevorzugt mit einer Antriebseinheit um eine Achse gedreht werden, die sich senkrecht zur Längsausrichtung des länglichen Blendenspalts erstreckt. Das zweite Element kann sich bevorzugt um eine hierzu parallele Achse drehen, ohne dabei mit einer Antriebseinheit verbunden zu sein. Vielmehr wird die Drehung des zweiten Elements über die Relativbewegung der beiden Blendenelemente zueinander, wenn diese angetrieben werden, vermittelt.
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Bei den ersten und zweiten Elementen kann es sich um erste und zweite Arme handeln, wobei der erste Arm und der zweite Arm jeweils mittig rotatorisch gelagert ist und/oder wobei die ersten bzw. zweiten Längsenden der beiden Blendenelemente jeweils an gegenüberliegenden Enden des ersten bzw. zweiten Arms angebracht sind. Anstelle von derartigen Armen können aber auch Kreisscheiben oder andere rotatorisch gelagerte Elemente zum Einsatz kommen. Um mit einer möglichst kleinen Drehbewegung eine möglichst große Variabilität in der Blendenspaltbreite erzielen zu können, ist es dabei bevorzugt, beide längliche Blendenelemente im selben Abstand von der Drehachse der rotatorisch gelagerten Elemente anzubringen.
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Bevorzugt kann der längliche Blendenspalt variabler Breite mithilfe der Antriebseinheit von einem vollständig geschlossenen Zustand in einen vollständig geöffneten Zustand überführt werden. Im vollständig geschlossenen Zustand überlappen die beiden Blendenelemente einander bevorzugt. Dieser Überlapp beträgt bevorzugt mindestens 1 mm, stärker bevorzugt mindestens 3 mm und besonders bevorzugt mindestens 5 mm. Im vollständig geöffneten Zustand haben die beiden Blendenelemente bevorzugt einen Abstand von mindestens 5 cm, stärker bevorzugt von mindestens 8 cm und besonders bevorzugt von mindestens 10 cm voneinander. Der Abstand der beiden Blendenelemente zueinander wird dabei erfindungsgemäß als der Abstand der beiden Kanten, die einander gegenüberliegen, zueinander definiert, so dass der Abstand der beiden Blendenelemente der Spaltbreite des länglichen Blendenspalts entspricht. Bevorzugt können die beiden Blendenelemente mehrere, bevorzugt stufenlose, Zwischenzustände zwischen dem vollständig geschlossenen Zustand und dem vollständig geöffneten Zustand einnehmen.
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Die beiden Blendenelemente weisen bevorzugt eine Länge von mindestens 50 cm, stärker bevorzugt mindestens 75 cm und besonders bevorzugt mindestens 100 cm auf.
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Die Erfindung richtet sich ferner auf ein Spaltblendensystem mit mindestens zwei benachbart zueinander angeordneten Spaltblenden wie oben beschrieben. Dabei sind die zwei benachbart zueinander angeordneten Spaltblenden derart angeordnet und eingerichtet, dass ein Blendenelement einer ersten Spaltblende in deren vollständig geöffneten Zustand eine Fläche abdeckt, die von einem Blendenelement einer zweiten Spaltblende in deren vollständig geöffneten Zustand mindestens teilweise ebenfalls abgedeckt wird. Die Breite der von beiden Blendenelementen abgedeckte Fläche entspricht dabei bevorzugt mindestens 75%, stärker bevorzugt mindestens 85% und besonders bevorzugt mindestens 95% der Breite eines Blendenelements.
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Ferner richtet sich die vorliegende Erfindung auf ein Spaltblendensystem mit mindestens zwei benachbart zueinander angeordneten Spaltblenden wie oben beschrieben, wobei die zwei benachbart zueinander angeordneten Spaltblenden derart angeordnet und eingerichtet sind, dass ein Blendenelement einer ersten Spaltblende in deren vollständig geöffneten Zustand im Wesentlichen direkt an ein Blendenelement einer zweiten Spaltblende in deren vollständig geschlossenen Zustand angrenzt. Der Abstand der beiden Blendenelemente in diesem Zustand entspricht dabei bevorzugt höchstens 20%, stärker bevorzugt höchstens 10% und besonders bevorzugt höchstens 5% der Breite eines Blendenelements. Bevorzugt beträgt der Abstand der beiden Blendenelemente in diesem Zustand höchstens 5 mm, stärker bevorzugt höchstens 3 mm und besonders bevorzugt höchstens 1 mm.
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Mit anderen Worten erlaubt die erfindungsgemäße Lösung der rotatorischen Lagerung bzw. des rotatorischen Antriebs eine ausgesprochen platzsparende Anordnung. Dies kommt insbesondere dann zum Tragen, wenn zwei oder mehr Spaltblenden benachbart zueinander angeordnet werden, wie dies beispielsweise erforderlich ist, wenn mithilfe unterschiedlicher Sputterkathoden und unterschiedlicher Targets ein Mehrschichtsystem abgeschieden werden soll. Da bei einer solchen Anlage zwei benachbarte Blenden niemals gleichzeitig vollständig geöffnet sind, können hier benachbarte Spaltblenden direkt aneinander angrenzend montiert werden. Dies wäre mit herkömmlichen Spaltblenden unter Verwendung beispielsweise eines Zahnstangenantriebs und der eingangs diskutierten Membranbälge für die Vakuumdurchführung nicht oder nur mit sehr großem Aufwand möglich.
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Ferner richtet sich die vorliegende Erfindung auf eine Beschichtungsanlage mit einer Spaltblende wie oben beschrieben oder mit einem Spaltblendensystem wie oben beschrieben. Bevorzugt weist die Beschichtungsanlage eine Sputterkathode und ein Target auf, wobei die Blendenspaltbreite im vollständig geöffneten Zustand bevorzugt mindestens 100%, stärker bevorzugt mindestens 110% und besonders bevorzugt mindestens 120% der Breite des Targets beträgt. Es ist ferner bevorzugt, dass die Blendenspaltbreite variabel zwischen 0% und mindestens 100%, stärker bevorzugt mindestens 110% und besonders bevorzugt mindestens 120% der Breite des Targets eingestellt werden kann.
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Bevorzugt sind die Lagerung der Längsenden der Blendenelemente und die Antriebseinheit in Längsrichtung gesehen jenseits des Beschichtungsbereichs der Beschichtungsanlage angeordnet. Dies ist unter anderem auch deswegen von Vorteil, weil so die Lagerung und die Antriebseinheit nicht mit Beschichtungsmaterial verunreinigt werden können, so dass die Anlage weniger wartungsanfällig wird.
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Wie aus den obigen Ausführungen deutlich geworden sein sollte, ermöglicht die Spaltblende eine Reihe von Vorteilen. So kann auf einen teuren Zahnstangenantrieb verzichtet werden und ein Paar von Blendenelementen mit nur einer einzigen Antriebseinheit betrieben werden. Das von Linearführungen aus dem Stand der Technik bekannte Problem des Verklemmens kann bei der rotatorischen Lagerung nicht auftreten und die teuren und störanfälligen Membranbälge sind nicht weiter erforderlich. Die Spaltblende kann mit einfachen Mitteln und kostengünstig realisiert werden, ist wartungsunanfällig und ausgesprochen platzsparend.
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Nachfolgend sollen bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren näher beschrieben werden. Es zeigen:
- 1 eine perspektivische Ansicht einer Spaltblende zum Einsatz in einer bevorzugten Ausführungsform;
- 2 eine Schnittansicht durch eine Beschichtungsanlage mit einer Spaltblende gemäß 1;
- 3 eine Schnittansicht entlang Z-Z gemäß 2;
- 4 eine Draufsicht auf die Spaltblende gemäß 1;
- 5 eine Ansicht von oben auf die Beschichtungsanlage gemäß 2;
- 6 eine Sicht von oben auf eine alternative Beschichtungsanlage mit zwei Spaltblenden gemäß einer bevorzugten Ausführungsform; und
- 7 eine Schnittansicht entlang X-X gemäß 6.
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1 zeigt eine schematische Ansicht einer Spaltblende, die einem Spaltblendensystem oder einer Beschichtungsanlage gemäß einer bevorzugten Ausführungsform zum Einsatz kommen kann, mit zwei beweglich gelagerten, länglichen Blendenelementen 1, die jeweils erste Längsenden 2 und zweite Längsenden 3 aufweisen, wobei zwischen den länglichen Blendenelementen 1 ein länglicher Blendenspalt 4 variabler Breite ausgebildet wird. Die beiden Längsenden 2 der beiden länglichen Blendenelemente 1 sind mit einer rotatorischen Antriebseinheit 5 verbunden und die beiden zweiten Längsenden 3 der länglichen Blendenelemente 1 sind über einen drehbar gelagerten Arm 6 miteinander gekoppelt. Die rotatorische Antriebseinheit 5 weist einen Antrieb 5a sowie eine Drehdurchführung 5b zur Durchführung der Antriebsbewegung in den Vakuumbereich auf. Dies ist in der schematischen Schnittansicht durch eine Beschichtungsanlage gemäß 2 besonders gut zu erkennen. Wie in 2 zu sehen ist, befinden sich das Substrat 9, das Target 10 sowie die nicht dargestellte Sputterkathode der Beschichtungsanlage zusammen mit der Spaltblende in einem vakuumdichten Bereich oder Kessel 8. Der Antrieb 5a der rotatorischen Antriebseinheit 5 befindet sich dabei außerhalb des Kessels 8 und das von diesem bereitgestellte Drehmoment zum Drehen des Arms 6 wird dabei durch die Drehdurchführung 5b in den Vakuumbereich des Kessels 8 eingeleitet. Hierbei handelt es sich um handelsübliche Drehdurchführungen, die im Hinblick auf Herstellung und Wartung einfach und kostengünstig sind.
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An den gegenüberliegenden zweiten Enden 3 der länglichen Blendenelemente 1 sind diese über einen Arm 6 mit einer rotatorischen Gegenlagerung 7 gekoppelt, die jedoch keiner Durchführung aus dem Vakuum- in den Außenbereich bedarf (vgl. 2).
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In der in 2 dargestellten erfindungsgemäßen Beschichtungsanlage befindet sich die Spaltblende zwischen dem Substrat 9 und dem Target 10 (wobei die Anordnung auch umgekehrt sein könnte). Im vollständig geöffneten Zustand der Spaltblende, wie er in 1 dargestellt ist, kann das Substrat 9 mit Material aus dem Target 10, welches eine Länge L und eine Breite W aufweist (vgl. 5), durch den länglichen Blendenspalt 4 hindurch beschichtet werden. Wird die Spaltblende jedoch durch Verdrehen des mit der Antriebseinheit 5 verbundenen Arms 6 geschlossen, so ist das Substrat 9 vor aus dem Target 10 emittierten Partikeln geschützt. In diesem Sinne kann die Spaltblende als ein einfacher Shutter betrieben werden. Zusätzlich oder alternativ können die beiden Blendenelemente 1 auch mehrere, bevorzugt stufenlose, Zwischenzustände zwischen dem vollständig geschlossenen Zustand und dem vollständig geöffneten Zustand einnehmen und so als Aperturblende wirken, deren Spaltbreite im Hinblick auf die konkreten Beschichtungsanforderungen variiert werden kann. Die Breite des länglichen Blendenspalts 4 wird dabei durch den Abstand D der einander gegenüberliegenden Seitenkanten der zwei länglichen Blendenelemente 1 definiert, wie dies in 4 angedeutet ist.
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Die Blendenelemente 1 weisen dabei bevorzugt an mindestens einer Seitenkante eine Stufe oder einen gekrümmten Abschnitt 12 auf (vgl. 3 und 4), der sicherstellen soll, dass die beiden Blendenelemente 1 im vollständig geschlossenen Zustand einander überlappen, wie dies in 7 zu sehen ist. Die beiden Arme 6 sind jeweils mittig rotatorisch gelagert und die ersten bzw. zweiten Längsenden der Blendenelemente jeweils an gegenüberliegenden Enden des ersten bzw. zweiten Arms angebracht (vgl. 4). Dabei wird der erste Arm 6 an den ersten Längsenden 2 der länglichen Blendenelemente 1 von der Antriebseinheit 5 um eine erste Achse 13a gedreht (vgl. 4), wohingegen der zweite Arm 6 an den zweiten Längsenden 3 der länglichen Blendenelemente 1 frei beweglich um eine zweite Drehachse 13b drehbar ist (vgl. 5). Wird nun der erste Arm 6 durch die Antriebseinheit 5 gedreht, so wird durch Zug bzw. Schub in den beiden Blendenelementen 1 eine parallele Verdrehung des zweiten Arms 6 bewirkt (vgl. 5), so dass sich alle Längsenden der Blendenelemente 1 auf Kreisbahnen 14 bewegen, die in 5 angedeutet sind. Dabei bleibt die Längsausrichtung des länglichen Blendenspalts unabhängig vom Öffnungsgrad der Blende konstant. D.h. der Winkel α (vgl. 6) zwischen der Längs- bzw. Mittelachse des Blendenspalts und der Breitenrichtung des Targets 10 beträgt bei dieser Ausführungsform immer 90°. Selbstverständlich kann die Ausrichtung des Blendenspalts gegenüber dem Target auch einen beliebigen anderen, aber konstanten Winkel einnehmen.
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Aus dieser Drehbewegung ergibt sich auch der Versatz zwischen den beiden Blendenelementen 1 (vgl. 1 und 5), der sicherstellen soll, dass die Länge der Blendenelemente 1 möglichst vollständig ausgenutzt wird, da ein Öffnen bzw. Schließen der Blende aufgrund der rotatorischen Lagerung zugleich eine Relativbewegung der Blendenelement entlang der Längsausdehnung des Spalts bewirkt. Dies wird anhand von 6 deutlich, wonach sich der Versatz vom vollständig geöffneten Zustand (links) beim Übergang in den vollständig geschlossenen Zustand (rechts) in sein Gegenteil verkehrt.
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Demnach sind die Begriffe „erstes Längsende“ und „zweites Längsende“ weit auszulegen insofern, dass auch eine Situation, wie in den 1 und 5 gezeigt, so zu verstehen ist, dass die beiden ersten Längsenden 2 mit einer rotatorischen Antriebseinheit 5 verbunden sind.
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Die beiden Blendenelemente 1 können werkzeugfrei lösbar an dem rotatorisch gelagerten Arm 6 angebracht sein, beispielsweise mithilfe einfacher Steckverbindungen, wie dies in 3 angedeutet ist. Dies erleichtert unter anderem die Reinigung und Wartung einer entsprechenden Beschichtungsanlage, da die Blendenelemente mit einem Handgriff entfernt und wieder befestigt werden können.
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Die vorliegende Erfindung richtet sich unter anderem auf ein Spaltblendensystem mit mindestens zwei, bevorzugt mindestens drei, stärker bevorzugt mindestens vier, benachbart zueinander angeordneten Spaltblenden, wie dies in den 6 und 7 schematisch angedeutet ist. Wie bereits erläutert wurde, macht sich hier der Vorteil der besonders platzsparenden Anordnung der Spaltblende besonders bemerkbar.
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In 6 ist ein Spaltblendensystem mit zwei benachbart zueinander angeordneten Spaltblenden gezeigt, bei denen das rechte Blendenelement 1a der linken Spaltblende in deren vollständig geöffneten Zustand (entsprechend 6) im Wesentlichen direkt an das linke Blendenelement 1b der rechten Spaltblende in deren vollständig geschlossenen Zustand angrenzt. In diesem Zustand ist die linke Spaltblende vollständig geöffnet, so dass das linke Target 10a komplett freiliegt, wohingegen das rechte Target 10b durch die vollständig geschlossene rechte Spaltblende vollständig abgedeckt ist.
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Werden nun die beiden Antriebseinheiten jeweils um knapp 90° verdreht, so wird die linke Spaltblende vollständig geschlossen und die rechte Spaltblende vollständig geöffnet. Auch in diesem Zustand werden dann das rechte Blendenelement 1 a der linken Spaltblende und das linke Blendenelement 1b der rechten Spaltblende im Wesentlichen direkt aneinander angrenzen. Der von dem rechten Blendenelement 1a der linken Spaltblende im in 6 gezeigten Zustand abgedeckte Flächenbereich wird dann vom linken Blendenelement 1b der rechten Spaltblende abgedeckt sein.
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Wenn B die maximale Ausdehnung einer Spaltblende in Breitenrichtung beschreibt, so können mit der erfindungsgemäßen Anordnung zwei Spaltblenden auf einer Breitenerstreckung von 1,75B untergebracht werden. Mit anderen Worten beträgt der Abstand der Beschichtungsbereiche, d.h. der Abstand zwischen den Mittelachsen der Beschichtungsbereiche bzw. zwischen den Mittelachsen der Sputterkathoden, dann A = 0,75B (vgl. 6). Die effektive Breite von einem Blendensystem mit zwei Spaltblenden reduziert sich demnach von 2B bei herkömmlichen Systemen auf 1,75B bei erfindungsgemäßen Systemen. Für ein Blendensystem mit n Spaltblenden ergibt sich die effektive Breite zu (0,75 x n + 0,25) B.
