KR102618083B1 - 증착 마스크 스틱 중간체 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착하고자 하는 형상에 대응하는 패턴부를 갖는 마스크 본체부, 상기 마스크 본체부의 양 단부에 제공된 파지부, 및 상기 파지부로부터 외측으로 연장 형성되되 후속 공정에서 제거 가능한 더미부를 포함하는 증착 마스크 스틱 중간체에 관한 것이다.

Description

증착 마스크 스틱 중간체{Deposition mask stick intermediate}
본 발명은 증착 마스크 스틱 중간체에 관한 것으로 상세하게는 유기 발광 소자 제조용 미세 금속 증착 마스크 스틱 중간체에 관한 것이다.
유기 발광 디스플레이를 제조하는 공정에 있어서, 화소를 형성하기 위해 박막의 금속 마스크를 기판에 밀착시켜서 원하는 위치에 유기물을 증착하는 공정이 수행된다.
여기서, 박막의 금속 마스크는 내부에 증착을 위한 개구를 가지며 일 방향으로 길게 연장된 형상의 증착 마스크 스틱(deposition metal mask stick)의 형태로 제조된다. 스틱은 복수 개로 마련되어 세정을 거쳐 프레임에 용접됨으로써 증착 마스크가 제조된다.
상기 증착 마스크 스틱을 프레임에 용접할 때, 양쪽 끝을 잡아서 당기며 프레임에 고정한 후 용접이 수행된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 세정 과정에서 이물에 의한 오염이 최소화된 증착 마스크 스틱을 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱 중간체는 증착하고자 하는 형상에 대응하는 패턴부를 갖는 마스크 본체부, 상기 마스크 본체부의 양 단부에 제공된 파지부, 및 상기 파지부로부터 외측으로 연장 형성되되 후속 공정에서 제거 가능한 더미부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 더미부는 상기 파지부로부터 연장되어 형성되며, 상기 더미부와 상기 파지부의 사이에는 상기 파지부의 가장자리를 따라 복수 개의 슬릿이 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 서로 인접한 두 슬릿 사이에는 상기 더미부와 상기 파지부를 잇는 브릿지가 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 브릿지의 상면은 상기 더미부 또는 상기 파지부의 상면으로부터 함몰된 위치에 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 더미부는 상기 파지부로부터 연장되어 형성되며, 상기 더미부와 상기 파지부의 사이에는 상기 파지부의 가장자리를 따라 상기 브릿지의 상면은 상기 더미부 또는 상기 파지부의 상면으로부터 함몰된 적어도 하나의 그루브가 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 더미부와 상기 파지부 사이에는 상기 파지부와 상기 더미부를 연결하는 브릿지들이 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 더미부는 상기 본체부의 길이 방향을 따라 상기 파지부로부터 연장될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 더미부는 상기 본체부의 길이 방향을 따라 상기 파지부로부터 연장되되 상기 본체부로부터 멀어지는 방향으로 폭이 증가할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 더미부에 있어서, 상기 한 쌍의 블레이드 사이에 상기 더미부의 일부가 제거된 공동이 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 더미부에 인접한 상기 각 블레이드의 꼭지점에 대응하여, 상기 더미부는 상기 꼭지점을 상기 더미부와 이격되도록 그 일부가 제거된 홀을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 파지부는 상기 마스크 본체부의 양 단부에 제공되되 상기 본체부 외측 방향으로 연장된 한쌍의 블레이드를 가지며, 상기 블레이드 및 상기 더미부의 적어도 하나의 일면에 미끄럼 방지 패턴을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 미끄럼 방지 패턴은 상기 더미부 상에 제공되며, 상기 본체부의 길이 방향을 따라 상기 한쌍의 블레이드에 대응하여 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 미끄럼 방지 패턴은 상기 더미부 상에 제공되며, 상기 미끄럼 방지 패턴은 상기 본체부의 길이 방향을 따라 상기 한쌍의 블레이드에 대응하여 배치되되 상기 한쌍의 블레이드 사이의 간격보다 더 큰 간격으로 폭방향을 따라 이격될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 본체부 및 상기 파지부는 일체로 형성된 판상으로 제공되며, 상기 미끄럼 방지 패턴은 적어도 일면으로부터 돌출되거나 함몰될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 미끄럼 방지 패턴은 적어도 하나의 방향으로 연장되되 상기 일면으로부터 돌출되거나 함몰된 다수 개의 선형 패턴 및 상기 일면으로부터 돌출되거나 함몰되되 닫힌 형상의 돌기 패턴 중 적어도 하나를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 증착하고자 하는 형상은 유기 발광 소자의 화소에 대응할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 증착 마스크 스틱 제조 방법을 포함하며, 증착 마스크 스틱 제조 방법은 증착 마스크 스틱 중간체를 제조하는 단계, 상기 더미부를 파지한 상태로 증착 마스크 스틱 중간체를 세정하는 단계, 및 상기 더미부를 상기 파지부로부터 분리하여 제거하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예는 증착 마스크 제조 방법을 포함하며, 증착 마스크 스틱을 이용한 증착 마스크 제조 방법은 제조된 증착 마스크 스틱을 클램프로 파지하는 단계, 상기 클램프로 파지한 증착 마스크 스틱을 프레임에 배치하고 상기 증착 마스크 스틱을 상기 프레임에 접합하는 단계, 및 상기 파지부를 제거하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 본체부는 상기 패턴부와 상기 파지부 사이에 제공된 접합부를 더 포함하며, 상기 접합부는 상기 프레임에 접합될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 접합하는 단계는 레이저 용접으로 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 세정 과정에서 이물에 의한 오염이 최소화된 증착 마스크 스틱을 제공한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크를 이용하여 대상물에 유기 화합물을 증착하는 증착 장치를 도시한 것이다.
도 2는 증착 마스크를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 제조 방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱 중간체를 도시한 사시도이다.
도 4b는 도 4a의 P1 부분을 확대한 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱 중간체에 있어서 패턴부를 도시한 사시도이다.
도 6는 도 4의 일부를 도시한 평면도이다.
도 7은 도 6의 A-A'선에 따른 단면도이다.
도 8는 기존 발명에 따른 증착 마스크 스틱의 세정 후 모습 중 일부를 도시한 사진이다.
도 9a 내지 도 9d는 각각 본 발명의 일 실시예들에 따른 증착 마스크 스틱 중간체들을 도시한 평면도들이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱 중간체의 세정 후 더미부를 절단한 다음의 모습을 도시한 사시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱 중간체의 일부를 도시한 평면도이다.
도 12a 내지 도 12d은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱에 있어서, 파지부에 형성되는 미끄럼 방지 패턴을 개념적으로 도시한 도면들이다.
도 13은 클램프로 파지한 증착 마스크 스틱을 배치하는 모습을 도시한 사시도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
본 발명은 유기 EL(Electro Luminescence)이나 유기 반도체 소자 등의 제조시, 유기 화합물의 증착 공정에 사용되는 증착 마스크 및 상기 증착 마스크에 사용되는 증착 마스크 스틱에 관한 것이다. 다만, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 및 증착 마스크 스틱은 이와 같은 적용에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 개념에 상충하지 않는 이상 다양한 용도로 사용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크를 이용하여 대상물에 유기 화합물을 증착하는 증착 장치를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 증착 장치는 챔버(13) 내에 배치된 증착 재료(19)가 담긴 용기(17), 및 증착 마스크(10)를 포함할 수 있다.
챔버(13)는 그 내부가 진공으로 제공될 수 있으며, 이 경우, 그 내부의 공기를 외부로 배출하기 위한 펌프와 같은 배기 수단이 장착될 수 있다. 챔버(13) 내에는 증착을 하기 위한 대상물, 예를 들어, 기판(15)이 제공된다.
용기(17)는 유기 화합물과 같은 증착 재료(19)를 수용하는 것으로서 도가니 형태로 제공될 수 있다. 도면에서는 용기(17)만 개시되어 있으나, 용기(17)에는 증착 재료(19)를 용이하게 증착시키기 위한 히터가 장착될 수 있다. 히터는 용기를 가열함으로써 챔버(13) 내로 증착 재료를 증발 시킬 수 있다.
용기(17)는 기판(15)에 대향하도록 배치될 수 있으며 대상물 방향으로 오픈되어 있을 수 있다.
증착 마스크(10)는 프레임(11)과, 프레임(11)에 결합된 다수 개의 증착 마스크 스틱들(100)을 포함할 수 있다. 증착 마스크(10)에는 증발된 증착 재료(19)가 관통할 수 있는 개구들(113)이 형성되어 있다. 증착 마스크(10)는 증착 재료(19)를 부착시키는 대상물인 기판(15)에 대면하도록 증착 챔버(13) 내에 배치되되, 용기(17)와 기판(15) 사이에 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 용기로부터 증발된 증착 재료들은 증착 마스크의 개구를 통해 기판의 표면에 부착된다. 이에 따라 증착 재료를 증착 마스크의 개구의 위치에 대응하는 패턴으로 기판의 표면 상에 성막할 수 있다.
도 2는 증착 마스크를 도시한 사시도이다.
도 2를 참조하면, 증착 마스크는 프레임(11)과, 프레임(11)에 접합되어 고정된 복수의 증착 마스크 스틱(100)을 포함한다.
프레임(11)은 평면 상에서 볼 때 내부에 빈 공간을 갖는 직사각 형상의 금속 프레임(11)으로 제공될 수 있다. 예를 들어, 프레임(11)은 한 쌍의 서로 평행한 제1 변들과, 한쌍의 서로 평행한 제2 변들을 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 변들과 제2 변들은 서로 수직하게 배치될 수 있으며, 제1 변이 장변, 제2 변이 단변일 수 있다. 프레임(11)은 프레임(11)에 작용하는 압축력 또는 열에 의한 변형을 최소화하기 위해 강성이 큰 금속 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 스테리인리스 스틸 등의 금속으로 이루어질 수 있다. 내부의 빈 공간은 이후 유기 물질 등이 증착될 부분에 대응한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱(100)은 일 방향으로 길게 연장된 막대 형상으로 제공된다. 이하에서, 증착 마스크 스틱(100)이 연장된 방향은 길이 방향(D1)으로 지칭하며, 길이 방향과 수직한 방향은 폭 방향(D2)으로 지칭한다.
증착 마스크 스틱(100)은 프레임(11)의 장변이나 단변 중 하나와 평행한 방향으로 순차적으로 프레임(11) 상에 배치될 수 있으며, 각 단부가 프레임에 접합되어 있다. 이때, 증착 마스크 스틱(100)의 접합부(130)는 프레임(11)과 중첩하는 영역에 대응하여 제공된다. 접합부(130)는 레이저 용접을 통해 프레임(11)과 중첩하는 영역에서 프레임(11)에 접합된다. 증착 마스크 스틱(100)은 프레임(11)에 접합될 수 있으며, 증착 마스크 스틱(100)을 프레임(11)에 접합시키는 공정에서 클램프와 같은 파지 장비(이하에서는 클램프로 칭함)를 이용하여 인장하면서 프레임에 배치한다. 본 발명의 증착 마스크 스틱은 이 때 클램프로부터의 슬립 현상을 감소시키기 위한 것이다.
이하에서는 설명의 편의를 위해 증착 마스크 제조 방법을 설명하고, 이후 증착 마스크 제조시 사용되는 증착 마스크 스틱 중간체 및 증착 마스크 스틱을 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 제조 방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.
도 3을 참조하면, 상술한 증착 마스크는 먼저 증착 마스크 스틱 중간체를 제조 한 다음, 증착 마스크 스틱을 제조하고, 그 증착 마스크 스틱을 이용하여 제조한다. 증착 마스크는 다음과 같은 공정을 통해 제조될 수 있다.
1) 마스크 본체부, 상기 마스크 본체부의 양 단에 제공된 파지부, 및 상기 파지부로부터 외측으로 연장 형성된 더미부를 포함하는 증착 마스크 스틱 중간체를 제조하는 단계(S10);
2) 상기 더미부를 파지한 상태로 증착 마스크 스틱을 세정하는 단계(S20); 및
3) 상기 더미부를 상기 파지부로부터 분리하여 제거하는 단계(S30).
이를 설명하면 먼저 더미부를 포함하는 증착 마스크 스틱 중간체가 제조된다. 증착 마스크 스틱 중간체는 최종적인 증착 마스크 스틱과 유사한 형태를 가지되, 세정시 클램프와 같은 파지 장비에 의해 파지되는 별도의 더미부를 갖는 것을 특징으로 한다.
다음으로 클램프 등의 파지 장치로 더미부를 파지한 상태로 증착 마스크 스틱을 세정한다. 증착 마스크 스틱의 세정이 끝나면, 더미부는 파지부로부터 제거된다. 더미부를 커팅하여 제거하는 단계는 다양한 공정을 이용할 수 있으며, 예를 들어, 레이저를 이용할 수 있다. 더미부를 커팅할 때, 절단 라인을 따라 커팅함으로써 최종적인 증착 마스크 스틱을 제조할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 더미부는 클램프와 같은 파지 장치에 용이하게 파지될 수 있도록 다양한 형상과 크기를 가질 수 있다.
증착 마스크는 상기 증착 마스크 스틱을 이용하여 다음과 같은 공정을 통해 제조될 수 있다. 하기 단계에 대해서는 이후, 도 13을 참조하여 후술한다.
1) 증착 마스크 스틱을 클램프로 파지하며, 클램프로 파지한 증착 마스크 스틱을 프레임에 배치하는 단계(S40);
2) 상기 증착 마스크 스틱을 상기 프레임에 접합하는 단계(S50);
3) 상기 파지부를 증착 마스크 스틱으로부터 제거하는 단계(S60).
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱 중간체를 도시한 사시도이다. 도 4b는 도 4a의 P1 부분을 확대한 평면도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱 중간체(101)는 증착하고자 하는 형상에 대응하는 패턴부(111)를 갖는 마스크 본체부(110), 상기 마스크 본체부(110)의 양 단부에 제공된 파지부(120), 및 상기 파지부(120)로부터 외측으로 연장 형성되되 후속 공정에서 제거 가능한 더미부(140)를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱 중간체(101)는 일 방향(D1)으로 길게 연장된 막대 형상으로 제공되며, 상기 마스크 본체부(110) 또한 일 방향으로 길게 연장된 형상으로 제공된다. 본체부(110), 파지부(120) 및 더미부(140)는 분리되지 않는 일체로 제공될 수 있으며, 전체적으로 얇은 판상로 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 증착 마스크 스틱 중간체(101)는 다양한 재료로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 금속으로 이루어질 수 있다. 상기 증착 마스크 스틱 중간체(101)은 유기 물질 증착 공정 등의 공정 단계에서도 변형이 최소화되는 금속, 예를 들어 열팽창 계수가 낮은 물질, 예를 들어, 열팽창 계수가 낮은 금속으로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 증착 마스크 스틱 중간체(101)의 열팽창 계수는 최대한 낮은 것으로 제공됨에 더해, 증착하고자 하는 대상물의 열팽창 계수와 동일하거나, 동일하지는 않더라도 실질적으로 동일한 것이 바람직하다. 예를 들어, 증착하고자 하는 대상물이 증착하고자 하는 대상이 표시 장치의 기판에 해당하는 경우, 기판의 열팽창 계수와 증착 마스크의 열팽창 계수는 동등한 수준일 수 있다. 이는 증착 마스크 스틱 중간체(101)를 이용하여 최종적으로 제조된 증착 마스크로 증착을 진행할 때 발생할 수 있는 결함을 최소화하기 위한 것이다.
증착 재료를 기판(예를 들어, 디스플레이를 제조하기 위한 유리 기판 등)에 증착하는 공정의 경우 챔버 내에서 고온으로 진행되는 경우가 많으며, 증착 공정이 수행되는 동안 증착 마스크나 기판 모두 가열된다. 이 때, 증착 마스크와 기판은 열팽창 계수에 따라 치수의 변화가 일어날 수 있는 바, 증착 마스크와 기판의 열팽창 계수의 차이가 있는 경우 서로 다른 치수 변화로 인한 형상 변화가 있을 수 있으며, 그 결과 기판 상에 증착 정밀도가 감소할 수 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에서와 같이 기판의 열팽창 계수와 증착 마스크의 열팽창 계수는 동등한 수준일 경우, 이러한 치수 변화로 인한 형상 변화가 최대한 감소되거나 방지된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 열팽창 계수가 낮은 금속으로는 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈-코발트 합금, 스테인레스 스틸(SUS), 인바(Invar) 등이 있을 수 있다. 인바는 철(Fe) 60질량% 내지 68질량%에 니켈(Ni) 32질량% 내지 40질량%, 예를 들어, 철 64질량%에 니켈 36%를 첨가하여 열팽창계수가 매우 작은 합금으로서, 정밀기계 또는 광학기계의 부품, 시계의 부품과 같이 온도 변화에 의해서 치수가 변하면 오차의 원인이 되는 기계에 사용된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 증착 공정에서 증착 마스크나 기판의 온도가 고온에 달하지는 않은 경우에는 증착 마스크의 열팽창 계수와 기판의 계수와 동등한 값으로 하지 않아도 되며, 다양한 형태의 합금 재료를 사용할 수 있다.
본체부(110)는 길게 연장된 형태로서, 직사각 형상으로 제공될 수 있으며, 증착하고자 하는 형상에 대응하는 패턴부(111) 및 상기 패턴부(111)를 둘러싸는 주변부(113-확인필요)이 제공된다. 패턴부(111)는 본체부의 긴 변을 따라 소정 간격을 두고 복수 개로 제공될 수 있다. 하나의 패턴부(111)는 표시 장치에 있어서의 표시 영역에 대응할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 패턴부(111)가 여러 개 제공됨으로써 다수 개의 표시 영역을 동시에 형성할 수 있다. 그러나, 하나의 패턴부(111)가 하나의 표시 영역에 대응하지 않을 수도 있으며 다수 개의 패턴부(111)가 하나의 표시 영역에 대응할 수도 있음은 물론이다.
파지부(120)은 상기 본체부(110) 길이 방향(D1)의 양 단부로부터 외측 방향에 제공된다. 파지부(120)는 마스크 스틱을 이후 프레임에 접합하는 등의 마스크 스틱을 파지해야 하는 경우, 클램프와 같은 파지 도구를 이용하여 파지되는 부분이다.
파지부(120)는 본체부(110)의 길이 방향(D1)을 따라 일측에 제공된 제1 파지부(120a), 및 타측에 제공된 제2 파지부(120b)를 포함한다.
상기 본체부(110)의 폭과, 제1 및 제2 파지부(120a, 120b)의 폭은, 실시예에 따라, 서로 같을 수도 있고 서로 다를 수도 있다.
본 실시예에 있어서, 제1 및 제2 파지부(120a, 120b)의 폭은 길이 방향(D1)을 따라 서로 동일한 것을 일 예로 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1 및 제2 파지부(120a, 120b) 각각은 본체부(110) 외측 방향으로 연장된 적어도 2개의 블레이드(121)를 갖는다. 제1 파지부(120a)에는 2개의 블레이드(121)가 제공되되 상기 폭 방향(D2)으로 양 단부에 각각 배치될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 상기 블레이드(121)는 상기 폭 방향(D2)으로 양 단부에 2개가 배치되고 폭 방향의 가운데 1개가 배치되는 식으로 3개가 제공될 수도 있다. 제2 파지부(120b) 또한 2개의 블레이드(121)가 제공될 수 있으며, 실시예에 따라 3개 이상의 블레이드(121)가 제공될 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 파지부(120)가 클램프와 같은 장치에 파지되었을 경우, 본체부(110) 양측에서 외측 방향으로 인장력이 동일하게 작용할 수 있도록 제1 및 제2 파지부(120a, 120b)의 형상 및 블레이드(121)의 개수는 본체부(110)의 중심을 기준으로 서로 대칭될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 파지부(120)는 다양한 형상을 가질 수 있으며, 그 형상에 따라 블레이드(121)의 형상 또한 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들어, 파지부(120)의 외측 단부측에 본체부(110) 방향으로 함몰된 오목부(RC)가 형성될 수 있으며, 그 오목부(RC)는 U자 형상으로 이루어질 수 있다. 이 경우, 블레이드(121)는 U자 형의 상부 단부에 대응할 수 있다. 이때, 각 블레이드(121)는 본체부(110)로부터 외측 방향을 향할수록, 즉 본체부(110)의 연장 방향으로부터 멀어지는 방향으로 동일한 폭을 가질 수 있으나, 점점 더 작은 폭을 가질 수도 있다.
더미부(140)는 본 발명의 일 실시예에서는 세정 과정에서 클램프에 의해 파지되되, 세정 후 제거되는 부분이다.
다시 도 4b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면 파지부(120)의 외측 방향으로 더미부(140)가 제공된다. 더미부(140)는 파지부(120)가 연장된 형태로 제공된다. 더미부(140)는 제1 파지부(120a)의 외측으로 연장된 제1 더미부(140a), 및 제2 파지부(120b)의 외측으로 연장된 제2 더미부(140b)를 포함한다.
더미부(140)가 제공된 증착 마스크 스틱 중간체(101)는 최종적인 증착 마스크 스틱이나 증착 마스크 결과물이 아니며, 더미부(140)는 사용한 이후 제거되는 부분에 해당된다. 즉, 증착 마스크 스틱은 더미부(140)가 없는 상태로 제공되며, 더미부(140)가 제공된 증착 마스크 스틱과 더미부가 제거된 최종적인 증착 마스크 스틱를 구분하기 위해, 더미부(140)가 제공된 증착 마스크는 증착 마스크 스틱 중간체(101)로 칭하기로 한다. 증착 마스크 스틱은 이후 증착 마스크로 제조될 때 파지부(120)가 제거될 수 있다.
증착 마스크 스틱 중간체(101)에 있어서, 더미부(140)와 파지부(120)는 실질적으로 분리되지 않는 일체로 제공되며, 더미부(140)와 파지부(120)의 경계에는 이후 절단이 일어나는 가상의 절단 라인(CL)이 위치한다. 여기서 더미부(140)는 증착 마스크 스틱 중간체(101)의 연장 방향을 따라 외측으로 연장된 형태로 제공된다.
가상의 절단 라인(CL)이 위치하는 부분, 즉, 상기 더미부(140)와 상기 파지부(120)의 사이에는 상기 파지부(120)의 가장자리를 따라 복수 개의 슬릿(141)이 제공될 수 있다. 상기 슬릿(141)은 상기 절단 라인(CL)을 따라 형성된다. 즉, 슬릿(141)은 상기 더미부(140)와 상기 파지부(120)가 용이하게 분리될 수 있도록 미리 절단된 부분에 해당한다.
서로 인접한 두 슬릿(141) 사이에는 상기 더미부(140)와 상기 파지부(120)를 잇는 브릿지(143)가 제공될 수 있다. 즉, 더미부(140)는 상기 파지부(120)의 외측에 배치된 더미부(140)와, 상기 파지부(120)와 상기 더미부(140)를 연결하는 브릿지(143)들을 포함할 수 있다.
상기 브릿지(143)는 더미부(140)와 파지부(120)가 서로 분리되지 않도록 연결하는 부분으로서, 슬릿(141)이 형성된 영역에 비해 작은 영역에 대응하여 제공될 수 있다. 예를 들어, 절단 라인의 약 80% 이상, 또는 절단 라인의 약 90% 이상, 또는 절단 라인의 약 95 %이상에 대응하는 위치에 슬릿(141)이 배치될 수 있다. 슬릿(141)은 적어도 하나 이상, 예를 들어, 2개 이상으로 제공되며, 브릿지(143) 또한 적어도 하나 이상, 예를 들어, 2개 이상으로 제공될 수도 있다.
이후 증착 마스크 스틱 중간체(101)의 세정시 클램프는 파지부(120)가 아닌 더미부(140)를 파지하게 된다. 그 이후, 더미부(140)와 파지부(120)는 상기 브릿지(143)만을 절단함으로써 용이하게 서로 분리할 수 있다.
이러한 과정을 통해, 클램프와 더미부(140) 사이에 세정액이나 탈이온수 등의 물질이 남아 이물질이 존재하더라도, 더미부(140)은 이후 제거되는 부분이기 때문에, 최종적인 증착 마스크 스틱 및 증착 마스크의 품질에는 영향을 미치지 않는다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱에 있어서, 패턴부를 개략적으로 나타낸 사시도이다. 도 6는 도 5의 일부를 도시한 평면도이며, 도 7은 도 6의 A-A'선에 따른 단면도이다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 패턴부(111)는 다양한 형상으로 제공될 수 있으나 본 발명의 일 실시에에 따르면 대략적으로 직사각형 형상을 가질 수 있다. 그러나, 패턴부(111)의 형상은 이에 한정되는 것은 아니며, 다른 형상을 가질 수도 있다. 예를 들어, 표시 장치가 원형으로 제공되는 경우 패턴부(111)의 형상도 원형으로 제공될 수도 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 증착 마스크 스틱(100)은 복수의 개구(113)를 포함할 수 있다.
상기 증착하고자 하는 형상은 증착 재료를 증착하고자 하는 대상에 따라 달라질 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 증착 재료를 증착하고자 하는 대상이 표시 장치의 기판에 해당하는 경우, 증착하고자 하는 형상은 화소(PX)의 형상에 대응하여 제공될 수 있다. 이 경우, 패턴부(111)는 증착 재료가 증착되기 위한 다수 개의 개구(113)를 가질 수 있으며 이러한 개구(113)는 화소(PX) 각각의 크기와 위치에 따라 다양하게 대응될 수 있다. 예를 들어, 복수 개의 개구(113)는 행과 열을 따라 규칙적으로 배열될 수 있다. 이러한 개구들(113)의 배열은 증착하고자 하는 대상에 따라 달라질 수 있으며, 화소(PX)가 행과 열을 따라 배열된 경우 이에 대응하는 개구들(113)도 행과 열을 따라 배열될 수 있다. 개구들(113)의 배열에 있어서, 개구들(113)은 화소(PX)의 피치와 실질적으로 일치하는 피치를 가질 수 있다.
여기서, 각 화소(PX)가 복수의 컬러 표시를 위한 것이라면, 증착 재료는 각 화소(PX)의 컬러에 대응하는 유기 물질일 수 있다. 예를 들어, 증착 재료는 적색 유기 발광 재료, 녹색 발광 재료, 및 청색 발광 재료일 수 있다. 이때, 각 컬러의 화소(PX)에 대응하는 마스크는 각각 달리 제공될 수 있으며, 각각의 증착 재료가 차례로 투입되어 각 컬러의 화소(PX)에 대응하는 증착 재료를 기판 상에 형성할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 패턴부(111)의 단면을 살펴보면 개구(113)는 금속 시트의 상면과 하면을 관통하는 형태로 제공된다. 개구(113)는 금속 시트의 패턴 형성 방법에 따라 다양한 형상을 가질 수 있다. 개구(113)는 식각액을 이용한 에칭으로 형성되거나, 레이저를 이용하여 형성되거나, 또는 전기 도금을 이용하여 형성될 수 있다. 각 개구(113)는 형성 방법에 따라 만들어진 측벽을 이루는 단면도 달라질 수 있다. 예를 들어, 식각액을 이용한 에칭으로 개구(113)를 형성하는 경우, 증착 마스크의 법선 방향으로 금속 시트의 일면에 제1 오목부가 에칭에 의해 형성되고, 증착 마스크의 법선 방향으로 타면에 제2 오목부가 형성되되, 제1 및 제2 오목부가 서로 접속되어 연통되도록 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 개구(113)는 레이저를 이용하여 형성될 수 있는 바, 도 7을 참조하면, 개구(113) 각각은 금속 시트의 제1 면(111a)에 제공되는 제1 개구(113a), 금속 시트의 제1 면(111a)과 대향하는 제2 면(111b)에 제공되는 제2 개구(113b), 및 제1 개구(113a)와 제2 개구(113b)를 연결하는 내측면을 포함할 수 있다.
제2 개구(113b)는 금속 시트의 제1 면(111a)과 대향하는 제2 면(111b)에 제공될 수 있으며, 대향하는 제1 개구(113a)와 연통될 수 있다.
예를 들어, 금속 시트의 제1 면(111a)은 레이저 빔이 조사되어 가공이 시작되는 면일 수 있고, 제2 개구(113b)는 레이저 빔에 의해 제1 면(111a)부터 가공이 시작되어 레이저 빔이 금속 시트를 관통하면서 금속 시트의 제2 면(111b)에 형성되는 부분일 수 있다. 또한, 제1 개구(113a)는 증발원으로부터 증착물질(또는 증착가스)이 개구(113)로 진입하는 부분일 수 있고, 제2 개구(113b)는 개구(113) 내에서 상기 증착 물질이 토출되는 부분일 수 있다.
내측면은 제1 개구(113a)와 제2 개구(113b)를 연결할 수 있으며, 제1 개구(113a)와 제2 개구(113b)의 중심 위치 및/또는 크기 차이에 따라 그 경사각(또는 기울기)이 결정될 수 있다. 여기서, 내측면은 금속 시트의 제1 면(111a)과 제2 면(111b)을 연결하여, 개구(113) 내에서 상기 증착 물질의 흐름을 유도할 수 있다.
여기서, 복수의 개구(113)는 내측면이 대칭 또는 비대칭으로 경사진 하나 이상의 비대칭 개구(113)를 포함할 수 있다.
대칭 개구(113)는 내측면이 개구(113)의 중심을 기준으로 대칭으로 경사질 수 있으며 서로 대향하는 내측면의 경사각이 서로 동일할 수 있다.
비대칭 개구(113)는 내측면이 비대칭으로 경사질 수 있으며, 서로 대향하는 내측면이 비대칭일 수 있고, 서로 대향하는 내측면 간에 경사각이 서로 상이할 수 있다. 이를 통해 어느 한 측의 내측면은 증발원과의 거리 차에 따른 섀도우(Shadow) 발생을 방지 또는 억제할 수 있는 완만한 경사각을 가질 수 있으며, 섀도우 발생에 관여하지 않는 측의 내측면은 상대적으로 경사가 급하게 하여 금속 마스크의 체적을 늘릴 수 있고, 이에 따라 금속 마스크의 강성(rigidity)이 확보될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 습식 식각(Wet etching) 방식을 통하여 금속 시트에 개구(113)를 형성하는 경우, 내측면이 대칭을 이룰 수 있다. 또한 레이저를 이용하는 경우에도 내측면이 대칭을 이루도록 형성할 수 있다.
다만, 복수의 개구(113) 간에도 내측면의 경사각이 모두 동일한 경우, 500 PPI(Pixel Per Inch) 이상의 고해상도 패널을 만들기 위한 미세 금속 마스크(FMM)의 경우에 복수의 개구(113) 간의 간격(pitch)이 조밀해질 수 밖에 없고, 가공이 중첩되어 20㎛ 이하로 금속 시트의 두께가 얇아질 수 있으며, 금속 마스크의 강성이 저하될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서와 같이, 개구(113)의 내측면 경사각을 비대칭으로 제조하는 경우, 증발원과의 거리 차에 따라 증발원에 가까운 측의 내측면 경사각을 완만하게 조절할 수 있으며, 나머지 측의 내측면 경사각을 상대적으로 급하게 조절할 수 있다. 이 결과, 증발원과의 거리 차에 따른 섀도우 발생을 방지 또는 억제할 수 있는 동시에 금속 마스크의 체적을 늘려 금속 마스크의 강성을 확보할 수 있다. 이에, 고해상도 패널용 금속 마스크에 있어서도 20 ㎛ 이상으로 금속 시트의 두께를 유지할 수 있고, 금속마스크의 강성을 충분히 확보할 수 있다.
이에 따라, 증착 공정에서 유기물과 같은 증착 물질이 개구(113)를 통해 대상 기판 상에 증착되어 원하는 모양의 박막이 형성될 수 있다. 개구(113)는 형성하고자 하는 화소의 형상에 따라 다양하게 제공될 수 있는 바, 예를 들어, 개구(113)는 평면 상에서 볼 때 직사각형일 수 있다. 그러나, 이러한 개구(113)의 형상은 이에 한정되는 것은 아니며 원형을 비롯하여 다양한 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 개구(113)는 다양한 패터닝 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 개구(113)는 건식 및/또는 습식 식각 공정, 전주도금 공정, 레이저 패터닝 공정 등을 이용하여 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 복수 개의 개구(113)는 대응하는 화소가 어떤 식으로 배치되느냐에 따라 화소들에 대응하여 패턴부(111) 내에 규칙적으로 또는 불규칙적으로 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 본체부(110)는 이후 프레임에 접합되기 위한 접합부(130)가 더 제공된다. 접합부(130)는 본체부(110)의 양 단부, 즉, 파지부(120)에 인접한 부분에 제공된다. 접합부(130)의 위치, 면적, 및 형상은 이후 접합될 프레임의 형상에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
이러한 증착 마스크 스틱 중간체를 제조하는 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
증착 마스크 스틱 중간체를 제조하기 위해서는 먼저 금속 시트를 제조한다. 금속 시트는 상술한 바와 같은 열팽창계수가 작은 금속, 또는 이의 합금으로 제조될 수 있다. 예를 들어, 금속 시트는 니켈을 포함하는 철 합금의 압연재를 이용하여 제조될 수 있다. 압연재는 50㎛, 또는 30㎛ 이하, 또는 그보다 작은 두께를 가질 수도 있다. 압연재는 니켈과 철의 합금일 수 있으며, 그 이외에 코발트 및 불순물 등의 다양한 추가적인 구성 요소를 포함할 수 있다.
압연재를 형성하기 위해서는 먼저 압연재를 구성하는 원재료가 준비되며, 원재료는 필요에 따라서 분쇄된 후, 용해로에서 용해된다. 용해 공정은 아크 방전 등의 기체 방전을 이용하여 각 원재료를 고온(예를 들어, 1500도 이상)에서 용해하여 혼합하는 방식으로 수행될 수 있다. 이러한 용해 공정을 통해 금속 시트를 위한 모재를 얻을 수 있다. 실시예에 따라, 용해 공정은, 탈산, 탈수, 탈질소 등을 위해 알루미늄, 망간, 실리콘 등을 용해로에 투입하는 공정을 추가로 포함할 수 있다. 또한 용해 공정은, 대기압보다도 낮은 저압 상태에서, 아르곤 가스 등의 불활성 가스의 분위기 하에서 실시될 수 있다.
모재는 용해로로부터 취출된 후 연삭 공정이 실시될 수 있다. 연삭 공정을 통해 모재의 산화물 등의 피막이 제거될 수 있다. 연삭 공정은 그라인딩 샌딩, 압입법 등 다양한 방식으로 수행될 수 있으며 이를 통해 모재의 두께가 어느 정도는 일정하게 성형될 수 있다.
다음으로, 모재는 압연 공정을 통해 금속 시트로 제조된다. 압연 공정은 적어도 하나의 압연롤(예를 들어, 한쌍의 압연롤 또는 하나의 압연롤과 압연 플레이트) 을 이용하여 수행되며, 모재가 압연 롤에 의해 압연됨으로써 그 두께가 저감된다. 이로써 두께가 저감된 소정 정도의 금속 시트를 얻을 수 있다. 상기 금속 시트는 코어에 권취될 수 있다.
여기서 압연 공정은 열간 압연 공정, 냉간 압연 공정 등을 포함할 수 있다. 열간 압연 공정은 모재를 구성하는 철합금의 결정 배열을 변화시키는 온도 이상의 온도에서 모재를 가공하며, 냉간 압연 공정은 철합금의 결정 배열을 변화시키는 온도 이하의 온도에서 모재를 가공한다.
압연 공정에 있어서는, 압연 롤이 모재에 인가하는 압력의 정도, 압연 속도(예를 들어, 금속 시트의 반송 속도), 압연 롤의 직경 등을 조정함으로써 금속 시트의 두께 및 제조 속도를 조절할 수 있다.
압연이 수행된 후, 압연에 의해 금속 시트 내에 축적된 잔류 응력을 제거하는 공정이 수행된다. 이를 위해, 금속 시트에 열을 가하는 어닐 공정이 수행된다. 어닐 공정은 금속 시트를 반송 방향(긴 변 방향)으로 인장하면서 수행될 수 있으며, 배치식 또는 연속 어닐링 모두 가능하다. 어닐 공정을 실시함으로써, 잔류 왜곡이 어느 정도 제거된 금속 시트를 얻을 수 있다. 어닐 공정은 금속 시트의 두께나 압연 롤의 압력 등에 따라서 설정될 수 있으며, 예를 들어, 500℃ 내지 600℃의 온도 범위에서 30초 내지 90초 정도로 수행될 수 있다. 그러나, 어닐 공정의 온도와 시간은 이에 한정되는 것은 아니며 금속 시트의 상태에 따라 다양한 온도로 설정될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 어닐 공정은, 비환원 분위기나 불활성 가스 분위기에서 실시될 수 있다. 비환원 분위기는 수소 등의 환원성 가스를 포함하지 않는 분위기이며, 환원성 가스를 포함하지 않는다는 의미는 수소 등의 환원성 가스의 농도가 10％ 이하인 경우를 말한다. 불활성 가스분위기란, 아르곤 가스, 헬륨 가스, 질소 가스 등의 불활성 가스의 농도가 90％ 이상인 분위기이다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 비환원 분위기나 불활성 가스 분위기에서 어닐 공정을 실시함으로써, 니켈 수산화물 등의 니켈 화합물이 금속 시트의 표면층에 생성되는 것이 억제될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 어닐 공정 전에, 금속 시트를 세정하는 세정 공정이 실시될 수도 있는 바, 다양한 종류의 세정액, 예를 들어, 예를 들어 탄화수소계의 세정액을 사용할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 어닐 공정은 배치식 또는 권취된 상태에서도 가능하다.
다음으로, 어닐 공정 후 금속 시트의 폭이 소정의 범위 내가 되도록, 압연 공정에 의해 얻어진 금속 시트의 폭 방향에 있어서의 양단을 각각 소정의 범위에 걸쳐 잘라내는 슬릿 공정이 수행될 수 있다. 슬릿 공정은 압연 공정에서 발생할 수 있는 크랙을 제거하기 위한 것이다. 이를 위해 슬릿 공정에서는 금속 시트의 일부를 잘라내게 된다.
본 발명의 일 실시 예에 있어서, 압연 공정, 어닐 공정 및 슬릿 공정 중 적어도 두 공정을 복수 회 반복할 수 있으며, 필요에 따라 그 순서를 일부 바꿀 수도 있다. 예를 들어, 슬릿 공정을 어닐 공정 전에 수행 할 수도 있다.
상기한 방식으로 제조된 금속 시트는 반송 장치에 의해, 가공 장치, 분리 장치로 차례로 반송된다. 가공 장치는 금속 시트를 가공하여 패턴부에 개구를 형성하는 패터닝 공정과 금속 시트를 증착 마스크 스틱 중간체로 절단하는 절단 공정이 수행된다. 절단 공정은 레이저를 이용하여 수행될 수 있으며, 이러한 절단 공정을 통해 증착 마스크 스틱 중간체가 제조된다.
증착 마스크 스틱 중간체는 이물 제거를 위해 세정된다.
도 8는 기존 발명에 따른 증착 마스크 스틱의 세정 후 모습 중 일부를 도시한 사진이다. 도 8에 있어서, 기존 발명에 따른 증착 마스크 스틱은 더미부 없이 파지부를 클램프로 잡은 후 세정한 것으로서, 클램프를 제거한 후 파지부 표면 일부를 촬상한 것이다.
도 8을 참조하면, 도시된 바와 같이, 기존 발명의 증착 마스크 스틱을 사용하는 경우, 클램프와 증착 마스크 스틱의 접촉면에 대응되는 부분에 얼룩 및 이물질이 남는다. 좀더 상세히 설명하면, 세정을 진행할 때, 증착 마스크 스틱의 양 단부, 즉, 증착 마스크 스틱의 파지부를 클램프와 같은 파지 장치를 이용하여 고정한 후 세정을 진행한다. 그러나, 파지부에 세정 과정에서 이물이 남을 수 있으며, 그 이물은 이후 파지부로부터 분리되어 본체부에 부착되어 패턴 결함을 일으킬 수 있다. 좀더 상세히 설명하면, 파지부는 가운데 측에 오목부가 형성된 U자형을 가질 수 있으며, U 자형의 상부 단부(블레이드라고 지칭함) 부분이 클램프에 파지될 수 있다. 그런데 이렇게 기존의 파지부를 클램프로 파지하여 사용하는 경우, 고정을 위한 클램프와 증착 마스크 스틱의 접촉면에 세정액, 탈이온수 등의 액체 성분이 남을 수 있으며, 이렇게 남은 용액이 결국 이물질이 되어 얼룩이 되거나, 증착 마스크 스틱의 패턴 증착 영역에 영향을 주는 등 불량의 원인이 될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는 클램프가 파지되는 더미부를 별도로 형성한 후, 세정을 진행하고, 세정이 끝난 다음 이러한 이물질이 남을 수 있는 더미부 자체를 제거함으로써 이물질이 존재할 수 있는 여지를 없앤다. 이에 따라, 이후 증착 마스크 스틱에 있어서의 이물에 의한 결함을 현저하게 감소시킨다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 더미부는 다양한 형태를 가질 수 있다.
도 9a 내지 도 9d는 각각 본 발명의 일 실시예들에 따른 증착 마스크 스틱들을 도시한 평면도들이다. 각 도면은 실시예들에 따라 도 4a의 P1에 대응하는 부분을 도시한 것이다.
먼저, 도 9a를 참조하면, 더미부(140, 이하에서는 설명의 편의를 위해 제1 더미부(140b)를 더미부로 칭함)의 형상은 파지부(120)의 형상에 대응하여 제공될 수도 있지만 그렇지 않을 수도 있다. 예를 들어, 상술한 실시예에서는 더미부(140b)의 형상이 파지부(120)의 가장자리를 따라 파지부(120)의 외곽 형상에 대응하는 형태로 제공되었다. 그러나, 도 9a의 실시예에서 확인할 수 있는 바와 같이, 더미부(140b)는 그 일부가 제거된 형태로 제공될 수도 있다. 더미부(140b)는 증착 마스크 스틱 중간체를 지지하면서 클램프로 파지할 수 있는 부분이 제공되는 것으로 족하기 때문에 그 외의 영역 중 적어도 일부가 제거될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 한 쌍의 블레이드 사이에 상기 더미부(140b)의 일부가 제거된 공동(OPN)이 제공될 수 있다. 예를 들어, 블레이드의 U자형 양 단부에 위치한 오목부 부분이 제거될 수 있다. 이에 따라, 블레이드의 최 외곽 단부에만 더미부(140b)가 연결되며, 더미부(140b)와 블레이드와 접하는 부분만 제거함으로써 더미부(140b)를 파지부(120)로부터 용이하게 제거할 수 있다.
이렇게 더미부(140b)의 일부가 사전에 제거됨으로써, 더미부(140b)를 파지부(120)로부터 분리할 때 더 용이하게 분리할 수 있다.
도 9b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 있어서, 더미부(140b)와 파지부(120) 사이의 절단이 용이하도록 하는 그루브(145)가 형성될 수 있다.
상술한 실시예에서는 더미부(140b)와 파지부(120) 사이에 절단 라인을 따라, 단면상에서 볼 때 금속 시트의 상면으로부터 하면을 관통하는 형태의 슬릿이 형성된 것을 도시하였다. 이와 달리 본 실시예에서는 그루브(145)가 금속 시트의 상면으로부터 하면을 관통하는 형태가 아니라, 금속 시트의 상면 또는 하면으로부터 관통은 아니되 함몰된 그루브(145)로 제공될 수 있다.
여기서, 도 9b에서는 슬릿 없이 절단 라인을 따라 그루브(145)가 형성된 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 도 9a에서와 같이 슬릿과 브릿지(143)가 형성된 부분에서는 브릿지(143)에 이러한 그루브(145)가 형성될 수도 있다. 이 경우, 그루브(145)는 파지부(120)의 가장자리를 따라 브릿지(143)의 상면이 더미부(140b) 또는 파지부(120)의 상면으로부터 함몰된다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 더미부(140b)와 파지부(120) 사이의 분리를 더욱 용이하게 하기 위해, 평면 상에서 볼 때 절단 라인의 단부 근처에는 절단 라인의 위치를 표시함과 동시에 절단 라인에 따른 절단이 용이하도록 더미부(140b) 및/또는 파지부(120)의 모서리가 모따기(TR)될 수도 있다. 도 9b에서는 더미부(140b)가 모따기(TR)된 것을 표시하였으나, 이에 한정된 것은 아니다.
더미부(140b)는 본체부의 길이 방향을 따라 연장되되, 폭은 다양하게 설정될 수도 있다.
도 9c 및 도 9d를 참조하면, 더미부(140b)는 상기 본체부의 길이 방향을 따라 상기 파지부(120)로부터 연장되되, 본체부(110)의 길이 방향을 따라 본체부로부터 멀어지는 방향으로 폭이 증가할 수 있다.
더미부(140b)의 폭이 외측으로 갈수록 넓어짐으로써 클램프 등으로 더미부(140b)를 파지할 수 있는 영역이 넓어질 수 있다.
본 실시예에 따른 더미부(140b)는 본체부(110)의 연장 방향에 대해 소정 각도로 경사지게 연장될 수 있다. 상기 각도는 약 0도 내지 약 45°일 수 있다.
상세하게는 더미부(140b) 가 본체부(110)의 길이 방향(D1)과 평행한 방향으로 연장되는 것이 아니라, 본체부(110)의 연장 방향에 외측으로 경사진 방향으로 연장된다. 이에 따라, 더미부(140b)의 폭은 외측으로 갈수록 더 크다. 예를 들어, 더미부(140b)에 있어서, 본체부로부터 더 먼 위치에의 폭(W2)은 상대적으로 더 가까운 위치에서의 폭(W1)보다 크다.
본 실시예에 있어서, 클램프(CLP)가 더미부(140b)를 파지한 상태에서 인장력을 가할 때 인장력 또한 본체부(110)의 연장 방향이 아니라 본체부(110)의 길이 방향과 경사진 방향으로 가해질 수 있다. 이에 따라, 증착 마스크 스틱(100)의 길이 방향뿐만 아니라 폭 방향으로 인장력이 작용하여 증착 마스크 스틱(100)에서 일어날 수 있는 웨이브의 발생을 억제시킬 수 있다.
또한, 더미부(140b)의 일부가 본체부와 비스듬한 방향으로 연장될 때 비스듬한 경사면과 본체부가 만나는 지점에서의 분리가 용이해지도록, 비스듬한 경사면과 본체부가 만나는 지점 근처에서의 더미부(140b) 일부가 모따기(TR)될 수 있다.
도 9d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 있어서, 더미부(140b)와 파지부(120) 사이의 분리를 더욱 용이하게 하며, 더미부(140b)나 파지부(120)의 파손이 최대한 감소하도록, 더미부(140b)에 인접한 각 블레이드의 꼭지점에 대응하여 꼭지점을 상기 더미부(140b)와 이격되도록 그 일부가 제거된 홀(HL)을 가질 수도 있다.
상기한 형태를 갖는 다양한 실시예의 증착 마스크 스틱 중간체는 클램프로 파지된 상태에서 세정되며, 세정 후 더미부가 제거된다. 더미부는 다양한 방법으로 제거될 수 있으며, 예를 들어, 레이저 공정으로 제거될 수 있다. 구체적으로 절단 라인을 따라 더미부(140b)와 파지부 사이에 레이저를 인가하여 브릿지 부분을 절단하거나, 그루브 부분을 절단할 수 있다. 또는 외부에서 물리적인 힘을 가하여 잡아 당기는 방식으로 절단할 수도 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 세정 후 더미부를 절단한 다음의 모습의 증착 마스크 스틱을 도시한 사시도이다.
도 10을 참조하면, 증착 마스크 스틱(100)의 양 단부에는 파지부(120)만 남아 있으며, 절단 라인을 따라 더미부가 제거되었다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 클램프를 이용하여 증착 마스크 스틱 중간체 및 증착 마스크 스틱을 파지하여 다양한 공정을 수행한다. 예를 들어, 증착 마스크 스틱 중간체는 클램프에 의해 파지되어 세정이 수행되며, 증착 마스크 스틱의 경우 클램프에 의해 파지되어 프레임에 접합되는 공정이 수행된다. 본 발명의 실시예에 따르면 클램프에 의해 파지될 때 증착 마스크 스틱 중간체 및/또는 증착 마스크 스틱이 미끄러지지 않도록 미끄럼 방지 패턴이 제공될 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱 중간체의 일부를 도시한 평면도이다.
도 11을 참조하면, 블레이드 및 더미부(140)의 적어도 하나의 일면에 미끄럼 방지 패턴(123)을 가질 수 있다. 즉, 미끄럼 방지 패턴(123)은 블레이드에만 형성될 수도 있고, 더미부(140)에만 형성될 수도 있고, 블레이드와 더미부(140) 모두에도 형성될 수 있다.
미끄럼 방지 패턴(123)이 더미부(140) 상에 제공되는 경우, 본체부의 길이 방향을 따라 한쌍의 블레이드에 대응하여 배치될 수 있다. 여기서, 미끄럼 방지 패턴(123)은 상기 본체부의 길이 방향을 따라 상기 한쌍의 블레이드에 대응하여 배치되되 상기 한쌍의 블레이드 사이의 간격보다 더 큰 간격으로 폭방향을 따라 이격될 수도 있다.
여기서, 미끄럼 방지 패턴(123)은 적어도 일면으로부터 돌출되거나 함몰된된 패턴일 수 있다. 또는, 미끄럼 방지 패턴(123)은 적어도 하나의 방향으로 연장되되 상기 일면으로부터 돌출되거나 함몰된 다수 개의 선형 패턴 및 상기 일면으로부터 돌출되거나 함몰되되 닫힌 형상의 돌기 패턴 중 적어도 하나일 수 있다.
미끄럼 방지 패턴(123)은 클램프(CLP)와의 접촉 면적에 대응하여 더미부(140) 및/또는 파지부(120)의 적어도 일부에 제공될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 더미부(140) 및/또는 파지부(120)의 전체를 커버하도록 형성할 수 있다.
미끄럼 방지 패턴(123)은 클램프(CLP)에 충분한 마찰력를 제공할 수 있는 한도 내에서 다양한 위치에 제공될 수 있다. 상기 미끄럼 방지 패턴(123)은 클램프(CLP)로 파지되는 부분은 물론이며, 그 인접한 부분에도 일부 형성될 수 있다.
미끄럼 방지 패턴(123)은 마찰력을 증대시키기 위한 것으로 적어도 일면으로부터 돌출되거나 함몰된 요철부 형태로 제공될 수 있다. 이러한 요철부는 클램프(CLP)와 더미부(140) 및/또는 파지부(120) 사이의 마찰력을 높임으로써 최대한 미끄럼을 방지할 수 있는 한도 내에서 다양한 크기를 가질 수 있다. 예를 들어, 요부와 철부의 표면으로부터의 높이 차이는 미세한 마이크로미터 수준부터 수 밀리미터 스케일까지 다양하게 설정될 수 있다. 또한 요철부는 규칙적으로 제공될 수도 있고 불규칙적으로 제공될 수도 있다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시예에 있어서, 미끄럼 방지 패턴(123)은 마찰력을 증대시키기 위한 것으로서 거칠기를 증가시킴으로써 달성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 요철부의 형상은 다양하게 형성될 수 있다. 예를 들어, 요철부는 일 방향으로 길게 형성된 그루브형으로 제공될 수도 있으며, 평면 상에서 볼 때 원형, 타원형, 기타 유사한 닫힌 도형 형상을 갖는 돌기형으로 제공될 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 미끄럼 방지 패턴(123)은 적어도 하나의 방향으로 연장되되 상기 일면으로부터 돌출되거나 함몰된 다수 개의 선형 패턴 및 상기 일면으로부터 돌출되거나 함몰되되 닫힌 형상의 도형 패턴 중 적어도 하나를 가질 수 있다.
도 12a 내지 도 12d은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱에 있어서, 파지부에 형성되는 미끄럼 방지 패턴을 개념적으로 도시한 도면들이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 미끄럼 방지 패턴(123)은 소정 방향으로 연장되되 상기 일면으로부터 돌출되거나 함몰된 다수 개의 선형 패턴을 포함할 수 있다.
도 12a은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱에 있어서, 미끄럼 방지 패턴이 선형 패턴으로 형성된 것을 도시한 것이다.
도 12a을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 미끄럼 방지 패턴은 다양한 방향으로 연장된 선형 패턴들((a), (b), (c), 및 (d)), 서로 다른 방향으로 연장되어 교차되는 선형 패턴들의 조합((e) 및 (f)), 등을 포함할 수 있다.
이와 같이, 미끄럼 방지 패턴은 다양한 선형 패턴으로 형성되되, 파지부(120)의 블레이드(121)의 외측 연장 방향을 기준으로 볼 때, 경사지거나, 수직하거나, 수평하거나, 또는 수직/수평하게 교차하는 형태이거나, 경사진 상태로 교차하는 형태 등 다양하게 형성될 수 있다.
도 12b는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱에 있어서, 미끄럼 방지 패턴이 평면상에서 볼 때 닫힌 형상(closed shape)의 도형인 것을 도시한 것이다. 다시 말해, 원, 타원, 다각형, 기타 등의 닫힌 형상을 갖는 요철부로 형성된 것을 도시한 것이다. 여기서, 원, 타원, 다각형, 기타 형상은 파지부의 일 면으로부터 돌출된 것일 수도 있고 일면으로부터 함몰된 것일 수도 있다.
도 12c는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱에 있어서, 미끄럼 방지 패턴이 평면상에서 볼 때 닫힌 형상(closed shape)의 도형이되, 그 크기나 배치가 다양하게 변형된 것을 도시한 것이다.
도 12d를 참조하면, 미끄럼 방지 패턴은 다양한 돌기형으로 형성되되, 크기가 서로 다른 원형이거나, 타원형과 비슷한 형태를 가지거나, 수직 수평 방향으로 행과 열을 따라 규칙적으로 배열되거나, 경사진 방향을 따라 행과 열을 이루며 배열되는 등 다양한 형태로 배열 될 수 있다. 또한 도시하지는 않았으나, 서로 다른 크기의 패턴들이 규칙적으로 또는 불규칙적으로 혼합되어 배치될 수 있음은 물론이다.
도시하지는 않았으나, 본 발명의 미끄럼 방지 패턴은 증착 마스크 스틱의 일면에만 형성될 수도 있으며, 또는 양면 모두에 형성될 수도 있다. 또한, 미끄럼 방지 패턴이 양면 모두에 형성되는 경우, 양면에 형성된 미끄럼 방지 패턴은 서로 동일할 수도 있고 서로 다를 수도 있다. 예를 들어, 상면에 형성된 미끄럼 방지 패턴의 면적은 하면에 형성된 미끄럼 방지 패턴의 면적보다 작거나 클 수 있으며, 또는 동일할 수도 있다. 또한, 다른 예를 들어, 상면에 형성된 미끄럼 방지 패턴의 형상은 그루브형일 수 있으며 하변에 형성된 미끄럼 방지 패턴의 형상은 돌기형일수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 미끄럼 방지 패턴은 상술한 바와 같이, 다양한 크기로 형성될 수 있으며, 이에 더해, 다양한 간격 및/또는 깊이를 가질 수 있다. 이러한 다양한 크기, 다양한 간격, 및/또는 깊이 등은 특정한 값을 가질 수도 있으며, 이 경우 규칙적인 형태의 미끄럼 방지 패턴이 형성될 수 있다. 그러나, 다양한 크기, 다양한 간격, 및/또는 깊이 등은 불규칙적으로 제공될 수도 있다.
이러한 미끄럼 방지 패턴이 파지부에 제공됨으로써 이후 클램프에 의해 파지될 때 클램프로부터 파지부가 미끄러져 파지부를 놓치는 상황이 발생하지 않는다. 또한, 파지부의 미끄러짐이 발생하면서, 증착 마스크 스틱이 변형되는 문제점 또한 방지되거나 감소되며, 이로 인한 용접 품질 악화 또한 방지한다.
상기 미끄럼 방지 패턴은 제조 방법에 따라 여러가지로 구현할 수 있다. 증착 마스크 스틱 제조 방법은, 에칭법, 레이저가공법, 전주법, 하이브리드법(앞의 조합)으로 구현할 수 있는 바, 미끄럼 방지 패턴은 상기 에칭법, 레이저가공법, 전주법, 하이브리드법(앞의 조합)으로 증착 마스크 스틱을 제조할 때 함께 형성될 수 있다. 예를 들어, 미끄럼 방지 패턴은 패턴부의 개구를 형성하는 공정시에 개구와 동일한 방법으로 동시에, 또는 순차적으로 형성될 수 있다. 또는 먼저 미끄럼 방지 패턴이 없는 증착 마스크 스틱을 형성한 후, 파지부에 별도의 공정으로 미끄럼 방지 패턴을 형성할 수 있다. 미끄럼 방지 패턴은 상술한 방법, 에칭, 레이저 가공, 전주, 하이브리드법 등을 이용하여 형성할 수 있다.
상술한 방법으로 제조된 증착 마스크 스틱은 이후 프레임에 배치된 후 용접될 수 있다.
도 13은 클램프로 파지한 증착 마스크 스틱을 배치하는 모습을 도시한 사시도이다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 마스크 스틱(100)을 이용하여 마스크를 제조하는 방법은, 먼저 금속 시트를 준비하고, 상기 금속 시트를 가공하여 증착 마스크 스틱을 제조 한 후, 증착 마스크 스틱(100)을 클램프(CLP)로 파지하고, 클램프(CLP)로 파지한 증착 마스크 스틱(100)을 프레임(11)에 배치하고 상기 증착 마스크 스틱(100)을 상기 프레임(11)에 접합한 후, 상기 파지부(120)를 제거하는 단계를 포함한다.
복수의 증착 마스크 스틱(100)은 프레임(11)에 접합되어 고정된다.
증착 마스크 스틱(100)은 클램프(CLP)에 파지되어 프레임(11) 상에 놓인다. 여기서, 상기 프레임(11)은 다수개의 증착 마스크 스틱(100)이 놓일 수 있는 크기로 제공될 수 있다.
클램프(CLP)는 증착 마스크 스틱(100)의 양면과 접촉하여 증착 마스크 스틱(100)을 파지할 수 있는 형태로서, 설명의 편의를 위해 도면에서는 개략적으로 나타내었다. 클램프(CLP)의 형상은 본 발명의 개념의 한도 내에서 다양한 형태로 변경될 수 있다.
파지부(120)는 클램프(CLP)에 의해 파지되고, 증착 마스크 스틱(100)의 길이 방향으로 인장력이 작용한다. 이때, 본체부(110)보다 넓은 폭을 갖는 파지부(120)에 의해 증착 마스크 스틱(100)의 길이 방향으로 인장력이 작용하며, 실시예에 따라, 폭 방향으로도 인장력이 작용할 수 있다. 이에 따라, 증착 마스크 스틱(100)에 발생하는 웨이브의 발생을 억제시킬 수 있다.
증착 마스크 스틱(100)은 상기한 방식으로 프레임(11)의 장변이나 단변 중 하나와 평행한 방향으로 순차적으로 프레임(11) 상에 놓인 후 접합된다. 여기서, 웨이브 발생이 최소화된 상태에서 접합부(130)를 프레임(11)에 접합한다. 이때, 증착 마스크 스틱(100)의 접합부(130)는 프레임(11)과 중첩하는 영역에 대응하여 제공된다. 접합부(130)는 레이저 용접을 통해 프레임(11)과 중첩하는 영역에서 프레임(11)에 접합된다.
용접 공정 시 레이저를 이용하여 접합부를 프레임에 접합시킬 수 있다. 레이저를 이용시 레이저는 YAG 레이저일 수 있으며, 이때 레이저 광의 스폿 직영은 0.05㎜ 내지 0.4㎜ 이하일 수 있다.
YAG 레이저 장치로는 YAG(이트륨 알루미늄 가닛)에 Nd(네오디뮴)를 첨가한 결정을 발진용 매질로서 구비한 것을 사용할 수 있다. 이 경우, YAG 레이저 장치에서 기본적으로 생성된 기본파에 더해 비선형 광학 결정에 순차적으로 통과시켜 생성된 고조파들을 이용하여 접합부를 접합할 수 있다. 증착 마스크 스틱(100)이 접합된 후 각 증착 마스크 스틱(100)의 파지부(120)가 제거된다.
다음으로 파지부(120)가 절단되어 제거된다. 파지부(120)는 필요한 증착 마스크 스틱(100)을 프레임(11)에 전부 부착한 후 한꺼번에 제거될 수도 있으나, 하나의 증착 마스크 스틱(100)을 접합한 후 양 단의 파지부(120)를 제거하는 방식으로 매 증착 마스크 스틱(100) 접합시마다 제거될 수도 있다. 특히, 파지부(120)의 폭이 본체부(110)의 폭보다 넓기 때문에 절단되지 않을 경우 다른 증착 마스크 스틱(100)과 서로 간섭될 수 있으므로, 하나의 증착 마스크 스틱(100)을 접합한 후 파지부(120)를 제거하고, 그 다음 증착 마스크 스틱(100)을 접합할 수 있다.
상기한 방식으로 프레임(11)에 다수 개의 증착 마스크 스틱(100)을 접합함으로써 복수의 증착 마스크 스틱(100) 및 프레임(11)으로 이루어진 증착 마스크를 완성한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 디스플레이 장치가 점점 대형화되므로써 일체로 형성된 하나의 증착 마스크를 제조하기가 쉽지 않으며 자중에 의해 처지는 현상이 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위하여 다수개의 증착 마스크 스틱(100)을 제조한 후, 인장력을 인가한 상태에서 프레임(11)에 접합함으로써 마스크가 처지는 현상을 방지한다.
본 실시예에서는 일 방향으로 연장된 막대 형상의 증착 마스크 스틱(100)을 예로 들어 설명하나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 마스크의 폭이 마스크의 인장 방향인 길이보다 작은 크기의 마스크라면, 어느 하나의 크기나, 형상이나, 구조에 한정되는 것은 아니다.
상술한 증착 마스크 스틱을 사용하여 증착 마스크를 제조하는 경우, 패턴부의 결함이 감소함과 동시에 인장 및 용접 공정에 있어서, 파지시의 슬립 현상이 최소화된다. 이에 따라, 슬립이 발생하면서, 스틱의 변형으로 인한 용접 품질 악화를 방지한다. 또한, 이러한 슬립 현상의 방지로 인해 증착 마스크 스틱의 제작 시간 감소 및 제작 정밀도가 향상되는 효과가 있으며 최종적으로는 증착 마스크의 수율이 증가된다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
10 : 증착 마스크 11 : 프레임
13 : 챔버 15 : 기판
17 : 용기 19 : 증착 재료
100 : 증착 마스크 스틱 110 : 본체부
111 : 패턴부 111a : 제1 면
111b : 제2 면 113 : 개구
113a : 제1 개구 113b : 제2 개구
115 : 경사면 119 : 주변부
PX : 화소 120 : 파지부
120a : 제1 파지부 120b : 제2 파지부
121 : 블레이드 123 : 미끄럼 방지 패턴
130 : 접합부 140 : 더미부
140a : 제1 더미부 140b : 제2 더미부
141 : 슬릿 143 : 브릿지
145 : 그루브

Claims (20)

  1. 증착하고자 하는 형상에 대응하는 패턴부를 갖는 마스크 본체부;
    상기 마스크 본체부의 양 단부에 제공되며, 상기 마스크 본체부를 인장하고 프레임에 접합하기 위한 제1 클램프에 의해 파지되는 파지부; 및
    상기 마스크 본체부를 인장하고 상기 프레임에 접합하기 이전에 수행되는 세정 과정에서 상기 제1 클램프와 상이한 제2 클램프에 의해 파지되고, 상기 파지부로부터 외측으로 연장 형성되되 상기 마스크 본체부를 인장하고 상기 프레임에 접합하기 이전에 제거 가능한 더미부를 포함하고,
    상기 세정 과정 이후에, 상기 더미부는 상기 파지부와 상기 더미부의 경계를 절단하여 제거되고,
    상기 마스크 본체부를 상기 프레임에 접합한 이후에, 상기 파지부는 상기 마스크 본체부와의 경계를 절단하여 제거되는 증착 마스크 스틱 중간체.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 더미부는 상기 파지부로부터 연장되어 형성되며,
    상기 더미부와 상기 파지부의 사이에는 상기 파지부의 가장자리를 따라 복수 개의 슬릿이 제공되는 증착 마스크 스틱 중간체.
  3. 제2 항에 있어서,
    서로 인접한 두 슬릿 사이에는 상기 더미부와 상기 파지부를 잇는 브릿지가 제공되는 증착 마스크 스틱 중간체.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 브릿지의 상면은 상기 더미부 또는 상기 파지부의 상면으로부터 함몰된 위치에 제공되는 증착 마스크 스틱 중간체.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 더미부는 상기 파지부로부터 연장되어 형성되며,
    상기 더미부와 상기 파지부의 사이에는 상기 파지부의 가장자리를 따라 상기 브릿지의 상면은 상기 더미부 또는 상기 파지부의 상면으로부터 함몰된 적어도 하나의 그루브가 제공되는 증착 마스크 스틱 중간체.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 더미부와 상기 파지부 사이에는 상기 파지부와 상기 더미부를 연결하는 브릿지들이 제공되는 증착 마스크 스틱 중간체.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 더미부는 상기 본체부의 길이 방향을 따라 상기 파지부로부터 연장된 증착 마스크 스틱 중간체.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 더미부는 상기 본체부의 길이 방향을 따라 상기 파지부로부터 연장되되 상기 본체부로부터 멀어지는 방향으로 폭이 증가하는 증착 마스크 스틱 중간체.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 더미부에 있어서, 상기 파지부에 제공된 한 쌍의 블레이드 사이에 상기 더미부의 일부가 제거된 공동이 제공되는 증착 마스크 스틱 중간체.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 더미부에 인접한 각 블레이드의 꼭지점에 대응하여, 상기 더미부는 상기 꼭지점을 상기 더미부와 이격되도록 그 일부가 제거된 홀을 갖는 증착 마스크 스틱 중간체.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 파지부는 상기 마스크 본체부의 양 단부에 제공되되 상기 본체부 외측 방향으로 연장된 한쌍의 블레이드를 가지며, 상기 블레이드 및 상기 더미부의 적어도 하나의 일면에 미끄럼 방지 패턴을 갖는 증착 마스크 스틱 중간체.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 미끄럼 방지 패턴은 상기 더미부 상에 제공되며, 상기 본체부의 길이 방향을 따라 상기 한쌍의 블레이드에 대응하여 배치된 증착 마스크 스틱 중간체.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 미끄럼 방지 패턴은 상기 더미부 상에 제공되며, 상기 미끄럼 방지 패턴은 상기 본체부의 길이 방향을 따라 상기 한쌍의 블레이드에 대응하여 배치되되 상기 한쌍의 블레이드 사이의 간격보다 더 큰 간격으로 폭방향을 따라 이격된 증착 마스크 스틱 중간체.
  14. 제11 항에 있어서,
    상기 본체부 및 상기 파지부는 일체로 형성된 판상으로 제공되며, 상기 미끄럼 방지 패턴은 적어도 일면으로부터 돌출되거나 함몰된 증착 마스크 스틱 중간체.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 미끄럼 방지 패턴은 적어도 하나의 방향으로 연장되되 상기 일면으로부터 돌출되거나 함몰된 다수 개의 선형 패턴 및 상기 일면으로부터 돌출되거나 함몰되되 닫힌 형상의 돌기 패턴 중 적어도 하나를 갖는 증착 마스크 스틱 중간체.
  16. 제1 항에 있어서,
    상기 증착하고자 하는 형상은 유기 발광 소자의 화소에 대응하는 증착 마스크 스틱 중간체.
  17. 청구항 제1 항 내지 제16 항 중 어느 한 항의 증착 마스크 스틱 중간체를 제조하는 단계;
    상기 더미부를 파지한 상태로 증착 마스크 스틱 중간체를 세정하는 단계; 및
    상기 더미부를 상기 파지부로부터 분리하여 제거하는 단계를 포함하는 증착 마스크 스틱 제조 방법.
  18. 증착 마스크 스틱을 이용한 증착 마스크 제조 방법에 있어서,
    청구항 제17 항의 방법으로 제조된 증착 마스크 스틱을 클램프로 파지하는 단계;
    상기 클램프로 파지한 증착 마스크 스틱을 프레임에 배치하고 상기 증착 마스크 스틱을 상기 프레임에 접합하는 단계; 및
    상기 파지부를 제거하는 단계를 포함하는 증착 마스크 제조 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 본체부는 상기 패턴부와 상기 파지부 사이에 제공된 접합부를 더 포함하며, 상기 접합부는 상기 프레임에 접합되는 증착 마스크 제조 방법.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 접합하는 단계는 레이저 용접으로 수행되는 증착 마스크 제조 방법.
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