KR20110088612A - 마스크 프레임 - Google Patents

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KR20110088612A
KR20110088612A KR1020100008182A KR20100008182A KR20110088612A KR 20110088612 A KR20110088612 A KR 20110088612A KR 1020100008182 A KR1020100008182 A KR 1020100008182A KR 20100008182 A KR20100008182 A KR 20100008182A KR 20110088612 A KR20110088612 A KR 20110088612A
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이일현
김태형
박종현
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엘지디스플레이 주식회사
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks

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Abstract

본 발명은 경량화된 프레임을 구비하여 취급과 이송이 용이한 마스크 프레임에 관한 것으로, 본 발명에 따른 마스크 프레임은 중앙에 개구 영역을 가지고, 상기 개구 영역을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 베이스 프레임 및 상기 베이스 프레임과 결합하며 다수의 중공 구조를 가지는 지지 프레임을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

마스크 프레임 {MASK FRAME}
본 발명은 마스크 프레임에 관한 것으로, 특히 경량화된 프레임을 구비하여 취급과 이송이 용이한 마스크 프레임에 관한 것이다.
근래에는 화상을 표시하는데 있어 종래의 브라운관, 즉 CRT(cathode ray tube, 음극선관)를 대체하는 다양한 평판 표시 장치가 사용되고 있다. 이러한 평판 표시 장치는 발광 형태에 따라 자발광형(emissive)과 비자발광형(non-emissive)으로 분류될 수 있다.
자발광형 표시 장치에는 평면 브라운관, 플라즈마 표시 장치(plasma display panel device), 진공 형광 표시 장치(vacuum fluorescent display device), 전계 방출 표시 장치(field emission display device), 전계 발광 표시 장치(electro-luminescent display device) 등이 있고, 비자발광형 표시 장치에는 액정 표시 장치(liquid crystal display device)가 있다.
이 중에서 전계 발광 표시 장치, 특히 유기 전계 발광 표시 장치는 유기물 박막에 음극과 양극을 통하여 주입된 전자와 정공(hole)이 재결합하여 형성된 여기자(exiton)로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생하는 현상을 이용하는 자발광형 표시 장치이다. 이러한 유기 전계 발광 소자 표시 장치는 저전압으로 구동이 가능하고, 경량의 박형이고, 시야각이 넓을 뿐만 아니라, 응답 속도 또한 빠르다는 장점을 구비한다.
일반적인 유기 발광 표시 장치의 유기전계 발광소자는 기판 상에 적층되는 양극, 유기 발광층 및 음극으로 구성된다. 유기 발광층은 여러 유기 물질로 형성될 수도 있고, 발광 효율을 향상시키기 위하여 형광 색소 또는 인광 색소가 도핑될 수도 있다.
유기 발광층은 발광층(EL, emitting layer)을 구비하는데, 이 발광층에서 정공과 전자가 재결합하여 여기자를 형성하고 빛이 발생한다. 발광층은 통상 챔버 내에서 증착이 요구되는 유기 물질을 포함하는 소스를 가열로 증발시켜, 기화된 유기 물질이 소스의 상부에 위치하는 제조 중인 표시 장치의 절연 기판 상의 증착이 요구되는 부분에 증착되어 형성된다.
화학 증기 증착 방법에 의해 발광층을 형성시키기 위해서는 소스와 절연 기판 사이에 새도우(shadow) 마스크가 위치하게 되는데 이러한 새도우 마스크의 지지를 위해서 새도우 마스크의 가장자리를 따라 마스크 프레임이 위치하게 된다. 이러한 마스크 프레임은 일정한 두께를 갖는 금속의 판 형상으로, 즉 단면이 채워진 솔리드(solid) 형태로 가공된 후 새도우 마스크의 가장자리 부분만을 지지할 수 있도록 중앙 부분을 제거하는 제조방법을 통해 완성된다.
완성된 마스크 프레임에 증착용 새도우 마스크가 인장을 가하여 접합되는데, 마스크에 가해진 인장력에 변화가 생길 경우 절연 기판 상에 증착 물질을 원하는 위치에 증착시킬 수 없다. 즉 열 팽창에 의한 마스크의 처짐 및 휨 등을 억제하기 위하여 마스크 프레임의 재질 및 구조가 형성되는데, 구조적 안정성, 요구 강도 등의 조건에 맞추기 위해서는 마스크 프레임의 무게가 증가된다.
한편, 최근에는 표시 장치의 대형화 경향에 따라 요구하는 패널의 사이즈가 커지면서 사용되는 마스크와 마스크 프레임의 사이즈도 점차 커지고 있고, 마스크 프레임의 사이즈가 커짐에 따라 마스크 프레임의 무게가 증가된다. 마스크 프레임의 무게가 증가함에 따라 재료 비용이 증가하고, 장비 내에서 이송 및 반송 등 취급이 용이하지 않고, 무게로 인해 작업 생산성을 저하시킨다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 경량화된 프레임을 구비하여 취급과 이송이 용이한 마스크 프레임을 제공하는데 목적이 있다.
본 발명에 따른 마스크 프레임은 중앙에 개구 영역을 가지고, 상기 개구 영역을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 베이스 프레임 및 상기 베이스 프레임과 결합하며 다수의 중공 구조를 가지는 지지 프레임을 포함한다.
상기 베이스 프레임은 상기 지지 프레임의 상부면 또는 하부면에서 상기 중공 구조를 폐쇄하는 판 형태로 형성된다.
상기 베이스 프레임과 상기 지지 프레임은 일체로 형성되거나 용접으로 결합된다.
상기 중공 구조는 삼각형, 원형, 육각형, 오각형 또는 사각형 형상으로 형성된다.
상기 중공 구조는 프레스 공정을 거친 요철 구조의 다수의 판들이 서로 용접되어 허니콤 형상으로 형성된다.
상기 중공 구조는 상기 지지 프레임의 상부 표면과 하부 표면 사이를 전부 관통하는 형태로 형성되거나, 상기 지지 프레임의 일부만 관통하는 형태로 형성된다.
상기 다수개의 중공 구조는 상기 마스크 프레임 전체 면적의 50% 이상 80% 이하이다.
상기 다수개의 중공 구조는 서로 다르거나 서로 동일한 형상으로 형성된다.
상기 지지 프레임은 다수개의 부재가 겹쳐져 형성된다.
이때, 상기 다수개의 부재는 각 중공 구조를 구비하고, 상기 다수개 부재의 중공 구조 중 적어도 하나는 서로 다른 형상을 가진다.
본 발명에 따른 마스크 프레임은 다수의 중공 구조를 구비함으로써, 경량화된 마스크 프레임을 구현하여 취급이 용이하고, 증착 장비의 챔버 내에 위치하는 이송장치의 중량 부하를 감소시킬 수 있다.
더욱이 본 발명에 따른 마스크 프레임은 중공 구조를 전체 면적 대비 50% 내지 80% 구비함으로써, 마스크에 가해진 인장력을 유지하여 휨을 방지할 수 있을 정도의 강성을 가짐과 동시에 무게를 경량화시킬 수 있다.
특히, 본 발명은 대면적 표시 장치의 제조에 있어서 마스크 프레임을 경량화시킬 수 있으므로, 작업 성능 및 효율을 증대시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 마스크 프레임은 다수의 부재가 결합되어 형성됨으로써 강성을 더욱 향상시킬 수 있다.
도 1a 내지 도 1f는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크 프레임을 설명하기 위한 사시도, 단면도, 베이스 프레임의 확대도 및 지지 프레임의 확대도를 나타내는 도면들이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크 프레임을 설명하기 위한 사시도 및 지지 프레임의 확대도를 나타내는 도면들이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 마스크 프레임을 설명하기 위한 사시도 및 지지 프레임의 확대도를 나타내는 도면들이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 마스크 프레임을 설명하기 위한 사시도 및 지지 프레임의 확대도를 나타내는 도면들이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 마스크 프레임을 설명하기 위한 사시도 및 지지 프레임의 확대도를 나타내는 도면들이다.
이하, 첨부된 도면을 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
본 발명에 따른 마스크 프레임은 유기전계 발광소자의 발광층을 형성하기 위하여 사용되는 마스크를 용접 등에 의해서 고정 설치하기 위한 부재이다.
도 1a 내지 도 1f를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 마스크 프레임(130)은 중앙에 개구 영역(131)을 가지고, 개구 영역(131)을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 베이스 프레임(132) 및 베이스 프레임(132)과 결합하며 다수의 중공 구조(136)를 가지는 지지 프레임(134)을 포함한다.
마스크 프레임(130) 중앙의 개구 영역(131)은 마스크(미도시)가 배치되는 영역에 대응하는 영역이다. 마스크(미도시)의 가장자리는 베이스 프레임(132)에 레이저 웰딩 방법으로 용접되거나, 접착 필름 또는 고분자 물질로 결합된다.
베이스 프레임(132)은 마스크(미도시)를 인장해서 고정 장착시키는 것으로, 중앙의 개구 영역(131)을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 틀 형태로 형성된다. 베이스 프레임(132)은 스테인리스 합금강 또는 니켈 합금강으로 내부 단면이 채워진 판 형태로 형성된다. 베이스 프레임(132)은 도 1c에 도시된 바와 같이 마스크를 용이하게 인장하기 위해서 상부면에 요철 구조를 구비할 수 있다.
도 1b에서는 베이스 프레임(132)이 지지 프레임(134)의 상부면에 결합되는 것으로 도시되어 있으나, 베이스 프레임(132)은 도 1d 및 도 1e의 단면도에 도시된 바와 같이 지지 프레임(134)의 하부면에 결합될 수 있다.
이때, 베이스 프레임(132)과 지지 프레임(134)은 도 1d에 도시된 바와 같이 레이저 웰딩 방법으로 서로 용접되거나, 접착 필름 또는 고분자 물질로 결합하여질 수 있다. 또는, 도 1e에 도시된 바와 같이 베이스 프레임(132)과 지지 프레임(134)은 일체로 형성될 수 있다.
베이스 프레임(132)과 지지 프레임(134)을 서로 다른 부재로 형성하여 용접함으로써, 마스크 프레임(130)을 구현할 경우 마스크를 지지하는 강성은 더욱 향상된다. 베이스 프레임(132)이 지지 프레임(134)의 상부 또는 하부 일면에 형성되어 지지 프레임(134)의 중공 구조(136)를 폐쇄하므로 중공 구조(136)를 통해 유기 물질이 기판에 증착될 염려는 없다.
지지 프레임(134)은 베이스 프레임(132)에 인장된 마스크(미도시)를 지지시키는 것으로, 중앙의 개구 영역(131)을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 틀 형태로 형성된다. 지지 프레임(134)은 마스크(미도시)에 가해지는 인장력을 견딜 수 있는 강성을 가지도록 스테인리스 합금강 또는 니켈 합금강으로 형성된다.
지지 프레임(134)에는 지지 프레임(134)의 내부를 비우는 다수개의 중공 구조(136)가 형성된다. 중공 구조(136)는 도 1f에 도시된 바와 같이 지지 프레임(134)에 동일한 크기의 육각형이 일정한 간격을 두고 다수개가 형성된 형상 또는 허니콤(honey comb) 형상으로 형성될 수 있다.
중공 구조(136)는 와이어 커팅 방법으로 형성되거나 프레스 공정을 거친 요철 구조의 다수의 판들을 서로 용접하여 형성될 수 있다. 프레스 공정을 거친 요철 구조의 다수의 판들을 서로 용접함으로써 중공 구조(136)를 형성할 경우 하나의 판에 중공 구조를 형성하는 것보다 강성이 더욱 강해지므로 바람직하다.
중공 구조(136)는 지지 프레임(134)의 상부면으로부터 하부면을 향하여 관통되는 구조이거나 하부면으로부터 상부면을 향하여 관통되는 구조로 형성된다. 이때, 중공 구조(136)는 지지 프레임(134)의 상부 표면과 하부 표면 사이를 전부 관통하는 형태로 형성되거나, 지지 프레임(134)의 일부만 관통하는 형태로 형성될 수 있다.
다수개의 중공 구조(136)가 마스크 프레임(130) 전체 면적의 50% 이하로 형성될 경우 마스크 프레임(130)의 자체 무게가 무거워 쳐질 수 있고, 다수개의 중공 구조(136)가 마스크 프레임(130) 전체 면적의 80% 이상으로 형성될 경우 금속 마스크의 인장을 견디어낼 정도의 강성을 가지지 못하므로, 다수개의 중공 구조(136)는 마스크 프레임(130) 전체 면적의 50% 내지 80%로 형성된다.
이하, 설명하는 본 발명의 제 2 내지 제 5 실시예에 따른 마스크 프레임은 지지 프레임을 제외한 구성이 상술한 제 1 실시예의 구성과 동일하므로 그에 대한 설명은 생략하고 지지 프레임에 대하여 구체적으로 살펴보기로 한다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마스크 프레임(230)은 중앙에 개구 영역(231)을 가지고, 개구 영역(231)을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 베이스 프레임(미도시) 및 베이스 프레임(미도시)과 결합하며 다수의 중공 구조(236)를 가지는 지지 프레임(234)을 포함한다.
지지 프레임(234)은 베이스 프레임에 인장된 마스크를 지지시키는 것으로, 중앙의 개구 영역(231)을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 틀 형태로 형성된다. 지지 프레임(234)은 마스크(미도시)에 가해지는 인장력을 견딜 수 있는 강성을 가지도록 스테인리스 합금강 또는 니켈 합금강으로 형성된다.
지지 프레임(234)에는 지지 프레임(234)의 내부를 비우는 다수개의 중공 구조(236)가 형성된다. 중공 구조(236)는 일정한 각도를 갖는 동일한 크기의 직사각형이 일정한 간격을 두고 사선으로 다수개가 형성된 형상으로 형성될 수 있다.
중공 구조(236)는 지지 프레임(234)의 상부면으로부터 하부면을 향하여 관통되는 구조이거나 하부면으로부터 상부면을 향하여 관통되는 구조로 형성된다. 이때, 중공 구조(236)는 지지 프레임(234)의 상부 표면과 하부 표면 사이를 전부 관통하는 형태로 형성되거나, 지지 프레임(234)의 일부만 관통하는 형태로 형성될 수 있다.
다수개의 중공 구조(236)가 마스크 프레임(230) 전체 면적의 50% 이하로 형성될 경우 마스크 프레임(230)의 자체 무게가 무거워 쳐질 수 있고, 다수개의 중공 구조(236)가 마스크 프레임(230) 전체 면적의 80% 이상으로 형성될 경우 금속 마스크의 인장을 견디어낼 정도의 강성을 가지지 못하므로, 다수개의 중공 구조(236)는 마스크 프레임(230) 전체 면적의 50% 내지 80%로 형성된다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 마스크 프레임(330)은 중앙에 개구 영역(331)을 가지고, 개구 영역(331)을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 베이스 프레임(미도시) 및 베이스 프레임(미도시)과 결합하며 다수의 중공 구조(336)를 가지는 지지 프레임(334)을 포함한다.
지지 프레임(334)은 마스크를 지지시키는 것으로, 중앙의 개구 영역(331)을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 틀 형태로 형성된다. 지지 프레임(334)은 마스크(미도시)에 가해지는 인장력을 견딜 수 있는 강성을 가지도록 스테인리스 합금강 또는 니켈 합금강으로 형성된다.
지지 프레임(334)에는 지지 프레임(334)의 내부를 비우는 다수개의 중공 구조(336)가 형성된다. 중공 구조(336)는 크기가 서로 동일하거나 다른 삼각형이 일정한 간격을 두고 다수개가 형성된 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 다수개의 중공 구조(336)는 일정한 간격을 두고 모여 하나의 사각형을 형성할 수 있다.
중공 구조(336)는 지지 프레임(334)의 상부면으로부터 하부면을 향하여 관통되는 구조이거나 하부면으로부터 상부면을 향하여 관통되는 구조로 형성된다. 이때, 중공 구조(336)는 지지 프레임(334)의 상부 표면과 하부 표면 사이를 전부 관통하는 형태로 형성되거나, 지지 프레임(334)의 일부만 관통하는 형태로 형성될 수 있다.
다수개의 중공 구조(336)가 마스크 프레임(330) 전체 면적의 50% 이하로 형성될 경우 마스크 프레임(330)의 자체 무게가 무거워 쳐질 수 있고, 다수개의 중공 구조(336)가 마스크 프레임(330) 전체 면적의 80% 이상으로 형성될 경우 금속 마스크의 인장을 견디어낼 정도의 강성을 가지지 못하므로, 다수개의 중공 구조(336)는 마스크 프레임(330) 전체 면적의 50% 내지 80%로 형성된다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 마스크 프레임(430)은 중앙에 개구 영역(431)을 가지고, 개구 영역(431)을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 베이스 프레임(미도시) 및 베이스 프레임(미도시)과 결합하며 다수의 중공 구조(436)를 가지는 지지 프레임(434)을 포함한다.
지지 프레임(434)은 마스크를 지지시키는 것으로, 중앙의 개구 영역(431)을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 틀 형태로 형성된다. 지지 프레임(434)은 마스크(미도시)에 가해지는 인장력을 견딜 수 있는 강성을 가지도록 스테인리스 합금강 또는 니켈 합금강으로 형성된다.
지지 프레임(434)에는 지지 프레임(434)의 내부를 비우는 다수개의 중공 구조(436)가 형성된다. 중공 구조(436)는 크기가 서로 동일한 삼각형과 사각형이 일정한 간격을 두고 다수개가 형성된 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 다수개의 중공 구조(436)는 일정한 간격을 두고 사선으로 배열된다.
중공 구조(436)는 지지 프레임(434)의 상부면으로부터 하부면을 향하여 관통되는 구조이거나 하부면으로부터 상부면을 향하여 관통되는 구조로 형성된다. 이때, 중공 구조(436)는 지지 프레임(434)의 상부 표면과 하부 표면 사이를 전부 관통하는 형태로 형성되거나, 지지 프레임(434)의 일부만 관통하는 형태로 형성될 수 있다.
다수개의 중공 구조(436)가 마스크 프레임(430) 전체 면적의 50% 이하로 형성될 경우 마스크 프레임(430)의 자체 무게가 무거워 쳐질 수 있고, 다수개의 중공 구조(436)가 마스크 프레임(430) 전체 면적의 80% 이상으로 형성될 경우 금속 마스크의 인장을 견디어낼 정도의 강성을 가지지 못하므로, 다수개의 중공 구조(436)는 마스크 프레임(430) 전체 면적의 50% 내지 80%로 형성된다.
도 5a 내지 도 5d를 참조하면, 본 발명의 제 5 실시예에 따른 마스크 프레임(530)은 중앙에 개구 영역(531)을 가지고, 개구 영역(531)을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 베이스 프레임(미도시) 및 베이스 프레임(미도시)과 결합하며 다수의 중공 구조(536)를 가지는 지지 프레임(534)을 포함한다.
지지 프레임(534)은 마스크를 지지시키는 것으로, 중앙의 개구 영역(531)을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 틀 형태의 제 1 지지 프레임(534a), 제 2 지지 프레임(534b) 및 제 3 지지 프레임(534c)의 결합으로 형성된다. 도면에서는 3개의 부재가 결합된 형태만을 도시하고 있으나, 지지 프레임은 2개 또는 그 이상의 다수개의 부재가 겹쳐져 형성될 수 있다.
제 1 지지 프레임(534a), 제 2 지지 프레임(534b) 및 제 3 지지 프레임(534c)은 마스크(미도시)에 가해지는 인장력을 견딜 수 있는 강성을 가지도록 스테인리스 합금강 또는 니켈 합금강으로 형성된다. 제 1 지지 프레임(534a), 제 2 지지 프레임(534b) 및 제 3 지지 프레임(534c)은 서로 레이저 웰딩 방법으로 용접되거나, 접착 필름 또는 고분자 물질로 결합된다. 지지 프레임(534)을 다수의 판들을 서로 용접함으로써 형성할 경우 프레임의 강성은 더욱 향상된다.
지지 프레임(534)에는 지지 프레임(534)의 내부를 비우는 다수개의 중공 구조(536)가 형성되는데, 제 1 지지 프레임(534a)에는 제 1 중공 구조(536a)이 형성되고, 제 2 지지 프레임(534b)에는 제 2 중공 구조(536b)가 형성되고, 제 3 지지 프레임(534c)에는 제 3 중공 구조(536c)가 형성된다. 제 1 중공 구조(536a), 제 2 중공 구조(536b) 및 제 3 중공 구조(536c) 중 적어도 하나는 서로 다른 형상으로 형성될 수 있다.
예로, 제 1 중공 구조(536a)와 제 3 중공 구조(536c)는 서로 동일한 크기와각도를 갖는 사각형이 사선으로 형성되고, 제 2 중공 구조(536b)는 제 1 중공 구조(536a) 및 제 3 중공 구조(536c)와 서로 동일한 사각형이 서로 다른 각도를 갖아 어긋나게 배치되도록 형성될 수 있다.
제 1 중공 구조(536a)는 제 1 지지 프레임(534a)의 상부면으로부터 하부면을 향하여 관통되는 구조이거나 하부면으로부터 상부면을 향하여 관통되는 구조로 형성된다. 이때, 제 1 중공 구조(536a)는 제 1 지지 프레임(534a)의 상부 표면과 하부 표면 사이를 전부 관통하는 형태로 형성되거나, 제 1 지지 프레임(534a)의 일부만 관통하는 형태로 형성될 수 있다.
제 2 중공 구조(536b)는 제 2 지지 프레임(534b)의 상부면으로부터 하부면을 향하여 관통되는 구조이거나 하부면으로부터 상부면을 향하여 관통되는 구조로 형성된다. 이때, 제 2 중공 구조(536b)는 제 2 지지 프레임(534b)의 상부 표면과 하부 표면 사이를 전부 관통하는 형태로 형성되거나, 제 2 지지 프레임(534b)의 일부만 관통하는 형태로 형성될 수 있다.
제 3 중공 구조(536c)는 제 3 지지 프레임(534c)의 상부면으로부터 하부면을 향하여 관통되는 구조이거나 하부면으로부터 상부면을 향하여 관통되는 구조로 형성된다. 이때, 제 3 중공 구조(536c)는 제 3 지지 프레임(534c)의 상부 표면과 하부 표면 사이를 전부 관통하는 형태로 형성되거나, 제 3 지지 프레임(534c)의 일부만 관통하는 형태로 형성될 수 있다.
다수개의 제 1 중공 구조(536a), 제 2 중공 구조(536b) 및 제 3 중공 구조(536c)가 마스크 프레임(530) 전체 면적의 50% 이하로 형성될 경우 마스크 프레임(530)의 자체 무게가 무거워 쳐질 수 있다. 다수개의 제 1 중공 구조(536a), 제 2 중공 구조(536b) 및 제 3 중공 구조(536c)가 마스크 프레임(530) 전체 면적의 80% 이상으로 형성될 경우 금속 마스크의 인장을 견디어낼 정도의 강성을 가지지 못한다. 따라서, 다수개의 제 1 중공 구조(536a), 제 2 중공 구조(536b) 및 제 3 중공 구조(536c)는 마스크 프레임(530) 전체 면적의 50% 내지 80%로 형성된다.
본 발명에 따른 중공 구조(136, 236, 336, 436, 536)는 상술한 실시예들의 형태에 한정되지 않고 삼각형, 사각형, 원형, 오각형 등 다양한 형태로 형성될 수 있다. 이때, 중공 구조(136, 236, 336, 436, 536)의 크기 또는 지름은 0.1mm 내지 100mm이다.
본 발명의 제 1 실시예 내지 제 5 실시예에 따른 마스크 프레임은 다수의 중공 구조를 구비함으로써, 경량화된 마스크 프레임을 구현하여 취급이 용이하고, 증착 장비의 챔버 내에 위치하는 이송장치의 중량 부하를 감소시킬 수 있다.
더욱이, 본 발명에 따른 마스크 프레임은 중공 구조를 전체 면적 대비 50% 내지 80% 구비함으로써, 마스크에 가해진 인장력을 유지하여 휨을 방지할 수 있을 정도의 강성을 가짐과 동시에 무게를 경량화시킬 수 있다. 특히, 본 발명은 대면적 표시 장치의 제조에 있어서 마스크 프레임을 경량화시킬 수 있으므로, 작업 성능 및 효율을 증대시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.
이상에서 설명한 기술들은 현재 바람직한 실시예를 나타내는 것이고, 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것은 아니다. 실시예의 변경 및 다른 용도는 당업자들에게는 알 수 있을 것이며, 상기 변경 및 다른 용도는 본 발명의 취지 내에 포함되거나 또는 첨부된 청구범위의 범위에 의해 정의된다.
130, 230, 330, 430, 530: 마스크 프레임
132: 베이스 프레임
134, 234, 334, 434, 534: 지지 프레임
136, 236, 336, 436, 536: 중공 구조

Claims (10)

  1. 중앙에 개구 영역을 가지고, 상기 개구 영역을 둘러싸는 네 변으로 이루어지는 베이스 프레임 및
    상기 베이스 프레임과 결합하며 다수의 중공 구조를 가지는 지지 프레임을 포함하는 마스크 프레임.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스 프레임은 상기 지지 프레임의 상부면 또는 하부면에서 상기 중공 구조를 폐쇄하는 판 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스 프레임과 상기 지지 프레임은 일체로 형성되거나, 용접으로 결합되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 중공 구조는 삼각형, 원형, 육각형, 오각형 또는 사각형 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 중공 구조는 프레스 공정을 거친 요철 구조의 다수의 판들이 서로 용접되어 허니콤 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 중공 구조는 상기 지지 프레임의 상부 표면과 하부 표면 사이를 전부 관통하는 형태로 형성되거나, 상기 지지 프레임의 일부만 관통하는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 다수개의 중공 구조는 상기 마스크 프레임 전체 면적의 50% 이상 80% 이하인 것을 특징으로 하는 마스크 프레임.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 다수개의 중공 구조는 서로 다르거나 서로 동일한 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 지지 프레임은 다수개의 부재가 겹쳐져 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 다수개의 부재는 각 중공 구조를 구비하고, 상기 다수개 부재의 중공 구조 중 적어도 하나는 서로 다른 형상의 중공 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임.
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