JP2018168429A - フレーム付き蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、有機elディスプレイの製造方法、およびフレーム - Google Patents
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Abstract
Description
図1(a)は、本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクをフレーム側から平面視した時の一例を示す正面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A部分での概略断面図である。なお、図1(b)におけるフレーム付き蒸着マスクの中央付近の一部は省略されている。
図1に示すように、本開示の第1の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスク1におけるフレーム60は、矩形の枠の形状を呈しており、その厚さ方向においてインバー材から構成される第1層61と、前記インバー材よりも比重の軽い材料から構成される第2層62との積層構造を呈している。
フレーム60を構成する第1層61は、インバー材から構成されている。本開示におけるインバー材とは、鉄に36%のニッケルを加えた鉄−ニッケル合金をいい、微量成分としてマンガンやコバルトや炭素などが含まれていてもよい。また、当該インバー材の熱膨張係数は、約20℃以上300℃以下の範囲内で約0.5ppm/℃以上3.0ppm/℃以下である。
フレーム60を構成する第2層62は、前記第1層61を構成するインバー材よりも比重の軽い材料から構成されている。つまり、第1層61を構成するインバー材の比重は約8.0g/cm3であることから、第2層62は、これよりも比重の軽い材料であればよい。具体的には、例えば、比重が約2.7g/cm3のアルミニウムや、比重が約1.7g/cm3のマグネシウムや、比重が約1.7g/cm3の炭素繊維強化プラスチックなどを、第2層62を構成する材料として用いることができる。
図1に示すように、本開示の第1の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスク1にあっては、前記フレーム60に蒸着マスク100が固定されている。本開示の第1の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスク1における蒸着マスク100については、特に限定されることはなく、従来公知の種々の蒸着マスクから適宜選択して用いることができる。
図2に示す蒸着マスク100を構成する樹脂マスク20の材料について限定はなく、レーザー加工等によって高精細な樹脂マスク開口部25の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン−メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、熱膨張係数が16ppm/℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が1.0%以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。この樹脂材料を用いた樹脂マスクとすることで、樹脂マスク開口部25の寸法精度を向上させることができ、かつ熱や経時での寸法変化率や吸湿率を小さくすることができる。
図2(b)に示すように、樹脂マスク20の一方の面上には、金属マスク10が積層されている。金属マスク10は、金属から構成され、縦方向或いは横方向に延びる金属マスク開口部15が配置されている。金属マスク開口部の配置例について特に限定はなく、縦方向、及び横方向に延びる金属マスク開口部が、縦方向、及び横方向に複数列配置されていてもよく、縦方向に延びる金属マスク開口部が、横方向に複数列配置されていてもよく、横方向に延びる金属マスク開口部が縦方向に複数列配置されていてもよい。また、縦方向、或いは横方向に1列のみ配置されていてもよい。なお、本願明細書で言う「縦方向」、「横方向」とは、図面の上下方向、左右方向をさし、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向、幅方向のいずれの方向であってもよい。例えば、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向を「縦方向」としてもよく、幅方向を「縦方向」としてもよい。また、本願明細書では、蒸着マスクを平面視したときの形状が矩形状である場合を例に挙げて説明しているが、これ以外の形状、例えば、円形状や、ひし形状等の多角形状としてもよい。この場合、対角線の長手方向や、径方向、或いは、任意の方向を「長手方向」とし、この「長手方向」に直交する方向を、「幅方向(短手方向と言う場合もある)」とすればよい。
図3(a)は、本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクをフレーム側から平面視した時の別の一例を示す正面図であり、図3(b)は、図3(a)のA−A部分での概略断面図である。なお、図3(b)におけるフレーム付き蒸着マスクの中央付近の一部は省略されている。
図3に示すように、本開示の第2の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスク1におけるフレーム60は、矩形の枠の形状を呈する炭素繊維強化プラスチックによって構成されている。
図3に示すように、本開示の第2の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスク1にあっては、前記フレーム60に蒸着マスク100が固定されている。本開示の第1の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスク1における蒸着マスク100については、特に限定されることはなく、従来公知の種々の蒸着マスクから適宜選択して用いることができ、前記図2で説明した金属マスク10と樹脂マスク20との積層構造を呈する蒸着マスク100を用いてもよい。
上記で説明した本開示のフレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着パターンの形成に用いられる蒸着方法については、特に限定はなく、例えば、反応性スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着法等の物理的気相成長法(Physical Vapor Deposition)、熱CVD、プラズマCVD、光CVD法等の化学気相成長法(Chemical Vapor Deposition)等を挙げること
ができる。また、蒸着パターンの形成は、従来公知の真空蒸着装置などを用いて行うことができる。
次に、本開示の実施の形態にかかる有機半導体素子の製造方法(以下、本開示の有機半導体素子の製造方法と言う)について説明する。本開示の有機半導体素子の製造方法は、フレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、蒸着パターンを形成する工程において、上記で説明した本開示のフレーム付き蒸着マスクが用いられることを特徴としている。
次に、本開示の実施の形態にかかる有機ELディスプレイ(有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ)の製造方法(以下、本開示の有機ELディスプレイの製造方法と言う)について説明する。本開示の有機ELディスプレイの製造方法は、有機ELディスプレイの製造工程において、上記で説明した本開示の有機半導体素子の製造方法により製造された有機半導体素子が用いられる。
10・・・金属マスク
15・・・金属マスク開口部
20・・・樹脂マスク
25・・・樹脂マスク開口部
60・・・フレーム
61・・・フレームの第1層
62・・・フレームの第2層
100・・・蒸着マスク
Claims (8)
- フレームと、前記フレームに固定された蒸着マスクと、を含むフレーム付き蒸着マスクであって、
前記フレームは、インバー材から構成される第1層と、前記インバー材よりも比重の軽い材料から構成される第2層と、を含む、
フレーム付き蒸着マスク。 - 前記蒸着マスクは、前記フレームの第1層に固定されている、
請求項1に記載のフレーム付き蒸着マスク。 - フレームと、前記フレームに固定された蒸着マスクと、を含むフレーム付き蒸着マスクであって、
前記フレームは、炭素繊維強化プラスチックから構成される、
フレーム付き蒸着マスク。 - 前記蒸着マスクが、
蒸着作製するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、金属マスク開口部を有する金属マスクとが、前記樹脂マスク開口部と前記金属マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる蒸着マスクである、
請求項1〜3の何れか一項に記載のフレーム付き蒸着マスク。 - 有機半導体素子の製造方法であって、
フレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する蒸着パターン形成工程を含み、
前記蒸着パターン形成工程で用いられる前記フレーム付き蒸着マスクが、前記請求項1〜4の何れか一項に記載のフレーム付き蒸着マスクである、
有機半導体素子の製造方法。 - 有機ELディスプレイの製造方法であって、
請求項5に記載の有機半導体素子の製造方法によって製造された有機半導体素子が用いられる、
有機ELディスプレイの製造方法。 - 蒸着マスクを固定するために用いられるフレームであって、
インバー材から構成される第1層と、前記インバー材よりも比重の軽い材料から構成される第2層と、を含む、
フレーム。 - 蒸着マスクを固定するために用いられるフレームであって、
炭素繊維強化プラスチックから構成される、
フレーム。
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