JP2018172738A - 多面付け蒸着マスクの製造方法、多面付け蒸着マスク - Google Patents
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本開示の第1の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、金属マスク開口部を有する金属マスクと、当該金属マスクの一方の面上に位置する樹脂層と、を含む単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、を含んでいる。以下に、各工程について説明する。
図1(a)は、フレームを準備する工程において準備されたフレームの正面図である。
本開示の第1の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法においては、金属マスク開口部を有する金属マスクと、当該金属マスクの一方の面に位置する樹脂層と、を含む単位蒸着マスク準備体40を準備する工程が行われる。ここで、金属マスクと樹脂層とを含む単位蒸着マスク準備体40の詳細については図4を用いて後述する。
図1(b)は、フレームの一の区画に単位蒸着マスク準備体が固定された状態の正面図であり、図1(c)はフレームのすべての区画に単位蒸着マスク準備体が固定された状態の正面図である。
図1(d)は、単位蒸着マスク準備体を加工して単位蒸着マスクを形成した状態の正面図である。
本開示の第2の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、金属マスク開口部を有する金属マスクと、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクとが、前記金属マスク開口部と前記樹脂マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる単位蒸着マスクを準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、を含んでいる。以下に、各工程について説明する。
図2(a)は、フレームを準備する工程において準備されたフレームの正面図である。当該工程は、上記本開示の第1の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法と同じであるため、ここでの説明は省略する。
本開示の第2の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法においては、金属マスク開口部を有する金属マスクと、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクとが、前記金属マスク開口部と前記樹脂マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる単位蒸着マスク100を準備する工程が行われる。ここで金属マスクと樹脂マスクとを含む単位蒸着マスク100の詳細については図5を用いて後述する。
図1(b)は、フレームの一の区画に単位蒸着マスクが固定された状態の正面図であり、図1(c)はフレームのすべての区画に単位蒸着マスクが固定された状態の正面図である。
本開示の第3の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、樹脂層と、当該樹脂層の一方の面上の一部に位置する金属層と、を含む単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、を含んでいる。
本開示の第4の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、前記樹脂マスクの一方の面上の一部に位置する金属層とが積層されてなる単位蒸着マスクを準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、を含んでいる。
本開示の第5の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、樹脂層から構成される単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、を含んでいる。
本開示の第6の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法は、フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクから構成される単位蒸着マスクを準備する工程と、前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、を含んでいる。
次に、上記第1および第2の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において用いられるフレーム60について説明する。
図4(a)は、上記第1の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体を金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図であり、図4(b)は、(a)のA−A部分での断面図である。なお、図4(b)における単位蒸着マスク準備体の中央付近の一部は省略されている。
金属マスク10は、金属から構成され、縦方向或いは横方向に延びる金属マスク開口部15が配置されている。金属マスク開口部の配置例について特に限定はなく、縦方向、及び横方向に延びる金属マスク開口部が、縦方向、及び横方向に複数列配置されていてもよく、縦方向に延びる金属マスク開口部が、横方向に複数列配置されていてもよく、横方向に延びる金属マスク開口部が縦方向に複数列配置されていてもよい。また、縦方向、或いは横方向に1列のみ配置されていてもよい。なお、本願明細書で言う「縦方向」、「横方向」とは、図面の上下方向、左右方向を意味し、単位蒸着マスク準備体や単位蒸着マスクの長手方向、幅方向の何れの方向であってもよい。例えば、単位蒸着マスク準備体や単位蒸着マスクの長手方向を「縦方向」としてもよく、幅方向を「縦方向」としてもよい。また、本願明細書では、単位蒸着マスク準備体を平面視したときの形状が矩形状である場合を例に挙げて説明しているが、これ以外の形状、例えば、円形状や、ひし形状等の多角形状としてもよい。この場合、対角線の長手方向や、径方向、或いは、任意の方向を「長手方向」とし、この「長手方向」に直交する方向を、「幅方向(短手方向と言う場合もある)」とすればよい。
上記金属マスク10の一方の面、図4(a)および(b)においては下面には、樹脂層21が設けられている。当該樹脂層21は、最終的には蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部が形成されることで樹脂マスクとなるものである。したがって、その詳細については、以下の(樹脂マスク)の部分で説明する。
第3の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体50を構成する樹脂層21は、最終的には蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部が形成されることで樹脂マスクとなるものである。したがって、その詳細については、以下の(樹脂マスク)の部分で説明する。
上記樹脂層21の一方の面上、図5(b)においては上側の面上の一部には、金属層11が位置する。
第6の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク準備体70を構成する樹脂層21は、最終的には蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部が形成されることで樹脂マスクとなるものである。したがって、その詳細については、以下の(樹脂マスク)の部分で説明する。
図7(a)は、上記第2の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの一例を示す正面図であり、図7(b)は、(a)のA−A部分での断面図である。なお、図7(b)における単位蒸着マスクの中央付近の一部は省略されている。
金属マスク10については、上記単位蒸着マスク準備体40における金属マスク10と同じであるため、ここでの説明は省略する。
図7に示す単位蒸着マスク100を構成する樹脂マスク20の主材料となる樹脂材料、つまり、単位蒸着マスク準備体40、50、70における樹脂層21について限定はなく、レーザー加工等によって高精細な樹脂マスク開口部25の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン−メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、熱膨張係数が16ppm/℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が1.0%以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。この樹脂材料を用いた樹脂マスクとすることで、樹脂マスク開口部25の寸法精度を向上させることができ、かつ熱や経時での寸法変化率や吸湿率を小さくすることができる。
上記第4の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク110を構成する金属層11については、上記単位蒸着マスク準備体50における金属層11と同じであるため、ここでの説明は省略する。
上記第4の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク110を構成する樹脂マスク20については、上記蒸着マスク100における樹脂マスク20と同じであるため、ここでの説明は省略する。
上記第6の実施形態にかかる多面付け蒸着マスクの製造方法において準備される単位蒸着マスク120は、樹脂マスク20のみから構成されており、当該樹脂マスク20については、上記蒸着マスク100における樹脂マスク20と同じであるため、ここでの説明は省略する。
以下、単位蒸着マスク準備体40および単位蒸着マスク100の製造方法について一例を挙げて説明する。
以下に、本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクの製造方法の別の態様を説明する。
11・・・金属層
15・・・金属マスク開口部
20・・・樹脂マスク
21・・・樹脂層
25・・・樹脂マスク開口部
40、50、70・・・単位蒸着マスク準備体
60・・・フレーム
61・・・フレーム本体
62・・・補助フレーム
100、110、120・・・単位蒸着マスク
Claims (15)
- フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
金属マスク開口部を有する金属マスクと、当該金属マスクの一方の面上に位置する樹脂層と、を含む単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、
前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。 - フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
金属マスク開口部を有する金属マスクと、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクとが、前記金属マスク開口部と前記樹脂マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる単位蒸着マスクを準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。 - 前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項1または2に記載の多面付け蒸着マスクの製造方法。
- フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクであって、
前記フレームは、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含み、
前記単位蒸着マスクは、金属マスク開口部を有する金属マスクと、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクとが、前記金属マスク開口部と前記樹脂マスク開口部とが重なるようにして積層されてなる、
多面付け蒸着マスク。 - 前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項4に記載の多面付け蒸着マスク。
- フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
樹脂層と、当該樹脂層の一方の面上の一部に位置する金属層と、を含む単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、
前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。 - フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、前記樹脂マスクの一方の面上の一部に位置する金属層とが積層されてなる単位蒸着マスクを準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。 - 前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項6または7に記載の多面付け蒸着マスクの製造方法。
- フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクであって、
前記フレームは、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含み、
前記単位蒸着マスクは、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、前記樹脂マスクの一方の面上の一部に位置する金属層とが積層されてなる、
多面付け蒸着マスク。 - 前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項9に記載の多面付け蒸着マスク。
- フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
樹脂層から構成される単位蒸着マスク準備体を準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスク準備体を固定する工程と、
前記単位蒸着マスク準備体の樹脂層を加工して、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を形成することで、単位蒸着マスクを形成する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。 - フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクの製造方法であって、
フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含むフレームを準備する工程と、
蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクから構成される単位蒸着マスクを準備する工程と、
前記フレームの区画毎に、前記単位蒸着マスクを固定する工程と、
を含む多面付け蒸着マスクの製造方法。 - 前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項11または12に記載の多面付け蒸着マスクの製造方法。
- フレーム内に単位蒸着マスクが複数配置された多面付け蒸着マスクであって、
前記フレームは、フレーム本体と、前記フレーム本体内の開口空間を複数に区画する補助フレームと、を含み、
前記単位蒸着マスクは、蒸着作成するパターンに対応する複数の樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクである、
多面付け蒸着マスク。 - 前記補助フレームが自己吸着性または自己粘着性を有する樹脂である請求項14に記載の多面付け蒸着マスク。
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