JP2016166413A - 蒸着マスク、蒸着マスク装置、及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 - Google Patents
蒸着マスク、蒸着マスク装置、及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】スリット15が設けられた金属マスク10と、金属マスク10又は樹脂マスク20から剥離可能な粘着剤層と、蒸着作製するパターンに対応した開口部25が縦横に複数列配置された樹脂マスク20とがこの順で積層された構成をとっている蒸着マスクであり、スリット15は、開口部25と重なっており、前記蒸着マスクがフレーム上に固定して用いられる蒸着マスク。
【選択図】図1
Description
樹脂マスク20は、樹脂から構成され、図1、2に示すように、蒸着作製するパターンに対応した開口部25が縦横に複数列配置されている。なお、本願明細書において蒸着作製するパターンとは、当該蒸着マスクを用いて作製しようとするパターンを意味し、例えば、当該蒸着マスクを有機EL素子の有機層の形成に用いる場合には、当該有機層の形状である。
本発明の蒸着マスク100は、金属マスク10と樹脂マスク20とを組み合わせて用いられるが、金属マスク10と比較して樹脂マスク20はその寿命が短い。換言すれば劣化の速度が速い。このとき、樹脂マスク20から金属マスク10を剥離できない場合には、樹脂マスク20とともに金属マスク10も併せて交換する必要がある。
金属マスク10は、金属から構成され、該金属マスク10の正面からみたときに、樹脂マスク20に配置された全ての開口部25がみえる位置に、縦方向或いは横方向に延びるスリット15が複数列配置されている。なお、図1、2では、金属マスク10の縦方向に延びるスリット15が横方向に連続して配置されている。
次に、本発明の蒸着マスク100の形成方法の一例について説明する。なお、本発明の蒸着マスクはこの例に何ら限定されるものではない。
次に、本発明の蒸着マスク100が、フレームに固定されてなる蒸着マスク装置の製造方法について説明する。
10…金属マスク
15…スリット
20…樹脂マスク
25…開口部
30…粘着剤層
Claims (8)
- 蒸着マスクであって、
前記蒸着マスクは、スリットが設けられた金属マスクと、粘着剤層と、蒸着作製するパターンに対応した開口部が配置された樹脂マスクとが、この順で積層された構成をとり、
前記蒸着マスクは、フレーム上に固定して用いられるものであり、
前記スリットは、前記開口部と重なっており、
前記粘着剤層が、前記金属マスク又は前記樹脂マスクから剥離可能な粘着剤層であることを特徴とする蒸着マスク。 - 前記粘着剤層と前記樹脂マスクとの粘着性が、前記粘着剤層と前記金属マスクとの粘着性よりも高いことを特徴とする請求項1に記載の蒸着マスク。
- 前記金属マスクが、磁性体であることを特徴とする請求項1又は2に記載の蒸着マスク。
- 前記開口部の断面形状が、蒸着源方向に向かって広がりをもつことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の蒸着マスク。
- 前記樹脂マスクの前記開口部を形成する端面にバリア層が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の蒸着マスク。
- 前記樹脂マスクの厚みが5μm〜25μmであることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の蒸着マスク。
- フレーム上に蒸着マスクが固定されてなる蒸着マスク装置であって、
前記蒸着マスクが、
スリットが設けられた金属マスクと、粘着剤層と、蒸着作製するパターンに対応した開口部が配置された樹脂マスクとが、この順で積層された構成をとり、
前記スリットは、前記開口部と重なっており、
前記粘着剤層が、前記金属マスク又は前記樹脂マスクから剥離可能な粘着剤層であることを特徴とする蒸着マスク装置。 - 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
フレーム上に蒸着マスクが固定されてなる蒸着マスク装置を用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、
前記フレーム上に固定される前記蒸着マスクが、スリットが設けられた金属マスクと、粘着剤層と、蒸着作製するパターンに対応した開口部が配置された樹脂マスクとが、この順で積層された構成をとり、前記スリットは、前記開口部と重なっており、前記粘着剤層が、前記金属マスク又は前記樹脂マスクから剥離可能な粘着剤層であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
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