JP6380606B2 - 樹脂層付金属マスク - Google Patents
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Description
また、本開示の一実施形態の樹脂層付金属マスクは、スリットが設けられた金属マスクと、前記金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクを得るための樹脂層付金属マスクであって、スリットが設けられた金属マスクの一方の面上に、樹脂層が設けられ、前記金属マスクの前記スリットの内部にレジスト材が充填されてなり、前記樹脂層の前記金属マスクと接しない側の面上に、耐エッチング性を有する材料を含む耐エッチング層が設けられてなる。
また、一実施形態の樹脂層付き金属マスクは、スリットが設けられた金属マスクと、前記金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクを得るための樹脂層付金属マスクであって、スリットが設けられた金属マスクの一方の面上に、樹脂層が設けられ、前記金属マスクの前記スリットの内部にレジスト材が充填されてなる。
また、一実施形態の樹脂層付金属マスクは、スリットが設けられた金属マスクと、前記金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクを得るための樹脂層付金属マスクであって、スリットが設けられた金属マスクの一方の面上に、樹脂層が設けられ、前記金属マスクの前記スリットの内部にレジスト材が充填され、且つ前記金属マスクの他方の面がレジスト材で覆われてなる。
また、一実施形態の蒸着マスクの製造方法は、スリットが設けられた金属マスクと、前記金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクの製造方法であって、スリットが設けられた金属マスクの一方の面上に、該金属マスクのスリットを覆う樹脂層が設けられた樹脂層付金属マスクを準備する工程と、前記スリット内にレジスト材を充填する工程と、前記レジスト材が充填されたスリット内に、該スリットの開口寸法よりも狭い開口寸法を有する貫通孔を形成する工程と、前記樹脂層上に耐エッチング性を有する材料を含む耐エッチング層を形成する工程と、前記レジスト材及び前記耐エッチング層を耐エッチングマスクとして用いて、前記貫通孔側から前記樹脂層をエッチング加工し、エッチング終了後に前記レジスト材及び前記耐エッチング層を洗浄除去することで、蒸着作製するパターンに対応した開口部が縦横に複数列配置された樹脂マスクを形成する工程と、を備えることを特徴とする。
本工程は、図1(a)に示すように、スリット16が設けられた金属マスク15の一方の面上に、該金属マスク15のスリット16を覆う樹脂層20が設けられた樹脂層付金属マスク5を準備する工程である。
ることができるいかなる方法を用いてもよい。
本工程は、図1(b)に示すように、樹脂層付金属マスク5のスリット16内にレジスト材30を充填する工程である。レジスト材30は、後述する貫通孔32を形成する工程において、レーザー加工法によって除去可能な性質を有する材料、或いはフォトリソグラフィー法によって現像可能な性質を有する材料であるとともに、開口部50を形成するエッチング材に対する耐性を有する材料であればよく、従来公知のレジスト材を適宜選択して用いることができる。
本工程では、図1(c)に示すように、レジスト材30が充填されたスリット16内にスリット16の開口寸法よりも狭い開口寸法を有する貫通孔32を形成する。貫通孔32は、後述する樹脂マスク25をエッチング加工して開口部50を形成する工程において、エッチング材を金属マスク15と接する側の樹脂層20の表面に接触させるための孔である。なお、スリット16の開口寸法よりも狭い開口寸法を有する貫通孔32とは、金属マスク15の樹脂層20と接しない側のスリット16の開口寸法よりも、金属マスク15の樹脂層20と接しない側の貫通孔32の開口寸法が狭く、かつ、金属マスク15の樹脂層20と接する側のスリット16の開口寸法よりも、金属マスク15の樹脂層20と接する側の貫通孔32の開口寸法が狭いことを意味する。
本工程では、図1(d)に示すように、樹脂層20上に耐エッチング層26を形成する工程である。当該工程によって、後述する樹脂層20をエッチング加工する際に、樹脂層20の金属マスク15と接しない側の表面がエッチング材によって浸食されることを防止している。
本工程では、図1(e)に示すように、上記スリット16内に充填されたレジスト材30及び耐エッチング層26をエッチングマスクとして用いて、貫通孔32を通してエッチング材を樹脂層20に接触させることで、樹脂層20をエッチング加工して、樹脂層20に開口部50が形成されてなる樹脂マスク25を形成する。そして、樹脂マスク25を形成した後に、スリット16内に充填されたレジスト材30及び耐エッチング層26を洗浄除去することで、図1(f)に示すようにスリット16が設けられた金属マスク15と、開口部50が設けられた樹脂マスク25とが積層されてなる蒸着マスク100が得られる。
また、本発明の製造方法においては、上記で説明した工程間、或いは工程後にスリミング工程を行ってもよい。当該工程は、本発明の製造方法における任意の工程であり、金属マスク15の厚みや、樹脂マスク25の厚みを最適化する工程である。金属マスク15や樹脂マスク25の好ましい厚みとしては上記で説明した範囲内で適宜設定すればよく、ここでの詳細な説明は省略する。
5・・・樹脂層付金属マスク
15・・・金属マスク
16・・・スリット
20・・・樹脂層
25・・・樹脂マスク
26・・・耐エッチング層
30・・・レジスト材
32・・・貫通孔
50・・・開口部
Claims (12)
- スリットが設けられた金属マスクと、前記金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクを得るための樹脂層付金属マスクであって、
スリットが設けられた金属マスクの一方の面上に、樹脂層が設けられ、
前記金属マスクの前記スリットの内部にレジスト材が充填されてなり、
前記樹脂層が、熱膨張係数が16ppm/℃以下の樹脂材料を含む、
樹脂層付金属マスク。 - 前記樹脂層の前記金属マスクと接しない側の面上に、耐エッチング性を有する材料を含む耐エッチング層が設けられてなる、
請求項1に記載の樹脂層付金属マスク。 - スリットが設けられた金属マスクと、前記金属マスクの表面に位置し、蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクを得るための樹脂層付金属マスクであって、
スリットが設けられた金属マスクの一方の面上に、樹脂層が設けられ、
前記金属マスクの前記スリットの内部にレジスト材が充填されてなり、
前記樹脂層の前記金属マスクと接しない側の面上に、耐エッチング性を有する材料を含む耐エッチング層が設けられてなる、
樹脂層付金属マスク。 - 前記レジスト材が充填されたスリットの内部に、該スリットの開口寸法よりも狭い開口寸法を有する貫通孔が設けられてなる、
請求項1乃至3の何れか1項に記載の樹脂層付金属マスク。 - 前記金属マスクが、複数のスリットが設けられた金属マスクである、
請求項1乃至4の何れか1項に記載の樹脂層付金属マスク。 - 前記金属マスクの前記スリットを断面視したときの断面形状が、蒸着源側に向かって広がりを持つ形状である、
請求項1乃至5の何れか1項に記載の樹脂層付金属マスク。 - 前記金属マスクの厚みが、5μm以上100μm以下の範囲である、
請求項1乃至6の何れか1項に記載の樹脂層付金属マスク。 - 前記金属マスクが、インバー材を含む、
請求項1乃至7の何れか1項に記載の樹脂層付金属マスク。 - 前記金属マスクが、磁性を有する、
請求項1乃至8の何れか1項に記載の樹脂層付金属マスク。 - 前記樹脂層の厚みが、5μm以上25μm以下の範囲である、
請求項1乃至9の何れか1項に記載の樹脂層付金属マスク。 - 前記樹脂層が、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂の何れかを含む、
請求項1乃至10の何れか1項に記載の樹脂層付金属マスク。 - 前記樹脂層が、吸湿率が1.0%以下の樹脂材料を含む、
請求項1乃至11の何れか1項に記載の樹脂層付金属マスク。
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