JP7127281B2 - 蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、蒸着マスク準備体、パターンの形成方法、蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、及び有機ｅｌディスプレイの製造方法 - Google Patents

Description

本開示の実施形態は、蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、蒸着マスク準備体、パターンの形成方法、蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、及び有機ＥＬディスプレイの製造方法に関する。

蒸着マスクを用いた蒸着パターンの形成は、通常、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させ、蒸着源から放出された蒸着材を、開口部を通して、蒸着対象物に付着させることにより行われる。

上記蒸着パターンの形成に用いられる蒸着マスクとしては、例えば、蒸着作製するパターンに対応する開口部を有する樹脂マスクと、金属マスク開口部（スリットと称される場合もある）を有する金属マスクとを積層してなる蒸着マスク（例えば、特許文献１～５）等が知られている。

特許第５２８８０７２号公報 特許第５２８８０７３号公報 特許第５２８８０７４号公報 特開２０１４－２１８７３５号公報 特許第６１６３３７６号公報

本開示の実施形態は、高精細な蒸着パターンの形成が可能な蒸着マスク等を提供することを主たる課題とする。

本開示の一実施形態の蒸着マスクは、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、複数画面を形成するために必要な開口部を有する樹脂マスクを含み、前記樹脂マスクが有する前記複数画面を形成するために必要な開口部のうち、１の画面を形成するために必要な開口部の集合体を第１集合体とし、前記第１集合体と隣接する他の１の画面を形成するために必要な開口部の集合体を第２集合体としたときに、前記樹脂マスクの一方の面上の前記第１集合体と前記第２集合体との間に、前記第１集合体から前記第２集合体側に向かって延びる金属層が設けられており、前記第１集合体から前記第２集合体側に向かって延びる金属層が複数ある。
本開示の一実施形態の蒸着マスクは、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、複数画面を形成するために必要な開口部を有する樹脂マスクを含み、前記樹脂マスクが有する前記複数画面を形成するために必要な開口部のうち、１の画面を形成するために必要な開口部の集合体を第１集合体とし、前記第１集合体と隣接する他の１の画面を形成するために必要な開口部の集合体を第２集合体としたときに、前記樹脂マスクの一方の面上の前記第１集合体と前記第２集合体との間に、前記第１集合体から前記第２集合体側に向かって延びる金属層が設けられており、前記第１集合体が、前記樹脂マスクの外周近傍に位置しており、前記樹脂マスクの一方の面上に、前記第１集合体から前記樹脂マスクの外縁側に向かって延びる金属層がさらに設けられている。
本開示の一実施形態の蒸着マスクは、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、複数画面を形成するために必要な開口部を有する樹脂マスクを含み、前記樹脂マスクが有する前記複数画面を形成するために必要な開口部のうち、１の画面を形成するために必要な開口部の集合体を第１集合体とし、前記第１集合体と隣接する他の１の画面を形成するために必要な開口部の集合体を第２集合体としたときに、前記樹脂マスクの一方の面上の前記第１集合体と前記第２集合体との間に、前記第１集合体から前記第２集合体側に向かって延びる金属層が設けられている。

上記の蒸着マスクにおいて、前記第１集合体から前記第２集合体側に向かって延びる金属層が複数あってもよい。

上記の蒸着マスクにおいて、前記第１集合体と隣接する前記第２集合体が複数あり、前記樹脂マスクの一方の面上に、前記第１集合体から前記複数の第２集合体側に向かって延びる前記金属層がそれぞれ設けられていてもよい。

上記の蒸着マスクにおいて、前記第１集合体が、前記樹脂マスクの外周近傍に位置しており、前記樹脂マスクの一方の面上に、前記第１集合体から前記樹脂マスクの外縁側に向かって延びる金属層がさらに設けられていてもよい。

本開示の一実施形態のフレーム付き蒸着マスクは、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクがフレームに固定されてなる。

上記のフレーム付き蒸着マスクにおいて、前記樹脂マスクの前記フレームと重なる領域の一部に前記金属層が設けられており、前記樹脂マスクと前記フレームとが、前記金属層を介して固定されていてもよい。

本開示の一実施形態の蒸着マスク準備体は、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを製造するための蒸着マスク準備体であって、樹脂板と、前記樹脂板上に設けられた金属層とを含む。

また、本開示の一実施形態のパターンの形成方法は、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク、或いはフレーム付き蒸着マスクが用いられる。

また、本開示の一実施形態の蒸着マスクの製造方法は、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを製造するための製造方法であって、前記金属層を、ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、エッチング法、めっき法、印刷法の何れかの方法で形成する。

また、本開示の一実施形態の蒸着マスクの製造方法は、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを製造するための製造方法であって、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク準備体が用いられる。

上記蒸着マスクの製造方法において、レーザーにより前記開口部を形成してもよい。

また、本開示の実施の形態にかかる有機半導体素子の製造方法は、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク、或いはフレーム付き蒸着マスクが用いられる。

また、本開示の実施の形態にかかる有機ＥＬディスプレイの製造方法は、上記本開示の実施の形態にかかる有機半導体素子の製造方法によって製造された有機半導体素子が用いられる。

本開示の蒸着マスクなどによれば、高精細な蒸着パターンを形成することができる。

（ａ）は、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ－Ａ部分での概略断面図である。 （ａ）～（ｄ）は、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 （ａ）～（ｄ）は、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 （ａ）～（ｃ）は、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 金属層を平面視したときの一例を示す正面図である。 （ａ）～（ｄ）は、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを金属層側から平面視したときの一例を示す正面図である。 有機ＥＬディスプレイを有するデバイスの一例を示す図である。

以下、本発明の実施の形態を、図面等を参照しながら説明する。なお、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、以下に例示する実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。また、説明の便宜上、上方または下方などの語句を用いて説明するが、上下方向が逆転してもよい。左右方向についても同様である。

＜蒸着マスク＞
図１（ａ）は、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００を金属層１０側から平面視したときの一例を示す正面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ－Ａ部分での概略断面図である。

図１（ａ）、（ｂ）に示すように、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスク１００であって、複数画面を形成するために必要な開口部２５を有する樹脂マスク２０を含み、樹脂マスク２０が有する複数画面を形成するために必要な開口部のうち、１の画面を形成するために必要な開口部の集合体を第１集合体とし、第１集合体と隣接する他の１の画面を形成するために必要な開口部の集合体を第２集合体としたときに、樹脂マスク２０の一方の面上の第１集合体と第２集合体との間に、第１集合体から第２集合体側に向かって延びる金属層１０が設けられている。以下、本願明細書では、１の画面を形成するために必要な開口部の集合体のことを「第１集合体」と称し、第１集合体と隣接する他の１の画面を形成するために必要な開口部の集合体のことを「第２集合体」と称する場合がある。

本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００は、基本部分が樹脂マスク２０によって構成されていることから、従来の金属を用いた蒸着マスクに比べて、その重量を軽量化することができる。また、樹脂マスク２０を形成するにあっては、レーザーなどを用いて蒸着作製するパターンに対応する開口部２５を形成することができるため、複数画面を形成するために必要な開口部２５を高精細化することもできる。

また、蒸着マスクを用いた蒸着パターン（蒸着で作製されるパターン）の形成では、通常、蒸着マスクや、フレームに蒸着マスクを固定したフレーム付き蒸着マスクが用いられる。なお、フレームへの蒸着マスクの固定は、例えば、蒸着マスクの端部に、引張部材（例えば、クランプ）を固定し、当該引張部材を、蒸着マスクの外方に向かって引っ張った状態で行う。また、これ以外の方法で、蒸着マスクを引っ張ることも行われる。

フレームへの蒸着マスクの固定に際しては、フレームに蒸着マスクを位置精度よく固定することが求められている。しかしながら、フレームへの蒸着マスクの固定にあたっては、蒸着マスクの材料や、その構造等に起因して、フレームに蒸着マスクを引っ張った状態で行った場合であっても、フレームに固定された蒸着マスクにシワや、弛みが生じやすく、その位置精度を十分に満足させることはできず、これらが生じた場合には、高精細な蒸着パターンの形成の支障となる。蒸着マスクを、剛性の高い金属材料から構成することで、シワや、弛みの発生の抑制を図ることはできるものの、金属材料から構成した蒸着マスクとした場合には、当該蒸着マスクの伸縮性の低さから、当該蒸着マスクを引っ張っても十分に蒸着マスクを伸ばすことができない。したがって、位置合わせの観点からは、蒸着マスクには、ある程度の柔軟性が要求されることとなる。

一方で、蒸着マスクを樹脂材料から構成した場合には、その柔軟性から、蒸着マスクを引っ張って所望の程度まで伸ばすことができ、一時的に、フレームへの蒸着マスクの位置合わせを正確に行うことができる。しかしながら、樹脂材料から構成される蒸着マスクとした場合には、その伸縮性の高さから、部分的にシワや、弛みが生じやすい。また、樹脂材料から構成される蒸着マスクとした場合には、その剛性の低さから、フレームに蒸着マスクを引っ張って固定するときにシワ等が生じやすい。特に、複数画面を形成するために必要な開口部を有する樹脂マスクのみからなる蒸着マスクとした場合には、各画面を構成する開口部の集合体（「１画面」）の外縁部分、特に角部分（エッジ部分）にシワが生じやすい。なお、各画面を構成する開口部の集合体の外縁部分にシワが生じた場合には、当該１画面を構成する開口部に寸法変動や、位置変動が生じ、高精細な蒸着パターンの形成の妨げとなる。

ここで、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００は、樹脂マスク２０の一方の面上に金属層１０が設けられていることから、樹脂マスク２０の剛性を高くすることができ、その結果、フレームに蒸着マスクを固定する際に、蒸着マスクにシワが発生することを抑制することができる。なお、金属層１０を有しない場合、例えば、樹脂マスクのみからなる蒸着マスクとした場合には、蒸着マスク全体としての剛性を十分に高くすることができず、フレームに当該蒸着マスクを固定したときに、シワや弛みが生じやすくなる。

また、この金属層１０は、第１集合体と、第２集合体との間に設けられていることから、シワの発生が生じやすい、１画面を構成する開口部の周辺領域においても、シワの発生を抑制することができる。

さらに、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００は、第１集合体と、第２集合体との間に設けられている金属層１０が、第１集合体から第２集合体側に向かって延びるように配置されていることから、樹脂マスク２０自体の伸縮性を担保することができ、樹脂マスク２０を引っ張って、第１集合体、及び第２集合体が配置されている樹脂マスク部分を、所望の程度まで伸ばすことができる。つまり、フレームと蒸着マスクとの位置合わせを正確に行うことができる。なお、第１集合体や、第２集合体を囲むように金属層１０を配置した場合には、金属層１０によって取り囲まれた第１集合体や、第２集合体の内部に位置する樹脂マスク部分は、伸縮の自由度が低下し、集合体内部に位置する樹脂マスクを十分に伸ばすことができず、集合体内部の樹脂マスク２０に、つまりは、１画面を構成する開口部２５の周辺にシワが生じやすくなる。

また、樹脂マスクを構成する樹脂材料は、金属材料と比較して、通常、伸縮性が高く、外部環境の変動によって膨張、収縮等が生じ、樹脂マスクが有する開口部に寸法変動等が生じやすい傾向にあるものの、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクでは、第１集合体と第２集合体との間に、金属層１０が配置されていることから、当該金属層１０が、樹脂マスク２０の膨張、収縮を抑制するストッパーとしての役割を果たす。これにより、フレームに固定した後の蒸着マスク１００においても、樹脂マスク２０が有する開口部２５に寸法変動などが生ずることを抑制することができる。

上記では、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを用いて、フレームに当該蒸着マスクを固定した場合の優位性について説明を行ったが、フレームに、後述する本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク準備体を固定する場合についても、同様の作用効果を奏する。

以下に、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００の構成などについて具体的に説明する。

（樹脂マスク）
本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００は、樹脂マスク２０を含み、樹脂マスク２０は、複数画面を形成するために必要な開口部２５を有している。

本願明細書でいう開口部２５とは、本開示の実施の形態に係る蒸着マスク１００、或いはフレーム付き蒸着マスクを用いて形成しようとする蒸着パターンを意味し、例えば、当該蒸着マスクを有機ＥＬディスプレイにおける有機層の形成に用いる場合には、開口部２５の形状は当該有機層の形状となる。また、「１画面」とは、１つの製品に対応する開口部２５の集合体からなり、当該１つの製品が有機ＥＬディスプレイである場合には、１つの有機ＥＬディスプレイを形成するのに必要な有機層の集合体、つまり、有機層となる開口部２５の集合体が「１画面」となる。

樹脂マスク２０は、少なくとも２以上の画面を形成するために必要な開口部２５を有していればよく、画面数について特に限定はない。例えば、図１～図４、図６、図７に示す形態の蒸着マスク１００は、樹脂マスク２０が、２画面分の蒸着パターンを形成するために必要な開口部２５を有している。また、図８～図１５に示す形態の蒸着マスク１００は、樹脂マスク２０が、３以上の画面分の蒸着パターンを形成するために必要な開口部２５を有している。なお、図２～図４、図６～図１５では、１画面を構成する各開口部２５の記載を省略している。

各図に示す形態では、蒸着マスク１００を金属層１０側から平面視したときの開口部２５の開口形状は、矩形状を呈しているが、その形状について特に限定はなく、蒸着作製するパターンに対応する形状であれば、いかなる形状であってもよい。例えば、開口部２５の開口形状は、ひし形、多角形状であってもよく、円や、楕円等の曲率を有する形状であってもよい。なお、矩形や、多角形状の開口形状は、円や楕円等の曲率を有する開口形状と比較して発光面積を大きくとれる点で、好ましい開口部２５の開口形状であるといえる。

また、図示しないが、樹脂マスク２０は、上記複数画面を形成するために必要な開口部２５とは異なる、開口部（貫通孔）を有していてもよい。換言すれば、樹脂マスク２０は、複数画面の蒸着パターンの形成に寄与しない開口部を有していてもよい。

樹脂マスク２０の材料についても限定はなくいかなる材料をも用いることができる。例えば、レーザー加工等によって高精細な開口部２５の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン－ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン－メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、熱膨張係数が１６ｐｐｍ／℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が１．０％以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。この樹脂材料を用いた樹脂マスクとすることで、開口部２５の寸法精度を向上させることができ、かつ熱や経時での寸法変化率や吸湿率を小さくすることができる。

樹脂マスク２０の厚みについて特も限定はないが、シャドウの発生の抑制効果をさらに向上せしめる場合には、樹脂マスク２０の厚みは、２５μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ未満であることがより好ましい。下限値の好ましい範囲について特に限定はないが、樹脂マスク２０の厚みが３μｍ未満である場合には、ピンホール等の欠陥が生じやすく、また変形等のリスクが高まる。特に、樹脂マスク２０の厚みを、３μｍ以上１０μｍ未満、より好ましくは４μｍ以上８μｍ以下とすることで、４００ｐｐｉを超える高精細パターンを形成する際のシャドウの影響をより効果的に防止することができる。また、樹脂マスク２０と後述する金属層１０とは、直接的に接合されていてもよく、粘着剤層を介して接合されていてもよいが、粘着剤層を介して樹脂マスク２０と金属層１０とが接合される場合には、樹脂マスク２０と粘着剤層との合計の厚みが上記好ましい厚みの範囲内であることが好ましい。なお、シャドウとは、蒸着源から放出された蒸着材の一部が、樹脂マスクの開口部の内壁面に衝突して蒸着対象物へ到達しないことにより、目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる未蒸着部分が生ずる現象のことをいう。

開口部２５の断面形状についても特に限定はなく、開口部２５を形成する樹脂マスクの向かいあう端面同士が略平行であってもよいが、図１（ｂ）に示すように、開口部２５はその断面形状が、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。換言すれば、金属層が形成されている面側に向かって広がりをもつ勾配（テーパーという場合もある）を有していることが好ましい。勾配の角度については、樹脂マスク２０の厚み等を考慮して適宜設定することができるが、開口部２５における下底先端と、同じく開口部における上底先端を結んだ直線と、金属層１０が設けられていない側の面である樹脂マスク底面とのなす角度、換言すれば、開口部２５を構成する内壁面の厚み方向断面において、開口部２５の内壁面と樹脂マスク２０の金属層１０と接しない側の面（図示する形態では、樹脂マスクの下面）とのなす角度は、５°以上８５°以下の範囲内であることが好ましく、１５°以上７５°以下の範囲内であることがより好ましく、２５°以上６５°以下の範囲内であることがさらに好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。また、図示する形態では、開口部２５を形成する端面は直線形状を呈しているが、これに限定されることはなく、外に凸の湾曲形状となっている、つまり開口部２５の全体の形状がお椀形状となっていてもよい。また、その逆、つまり内に凸の湾曲形状となっていてもよい。

（金属層）
図１に示すように、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００は、前記樹脂マスク２０の一方の面上であって、第１集合体と第２集合体との間に、当該第１集合体から第２集合体側に向かって延びる金属層１０が設けられている。

金属層１０を設ける対象となる第１集合体について特に限定はなく、複数画面の中から任意に選択すればよい。例えば、図１～図４、図６、図７に示す形態の蒸着マスク１００は、樹脂マスク２０が、２画面分の蒸着パターンを形成するために必要な開口部２５を有していることから、当該２画面分の蒸着パターンを形成するために必要な開口部２５の集合体の１つが、第１集合体となり、他の１つの集合体が第２集合体となる。一方で、図８、図９に示すように、樹脂マスク２０が、３以上の画面分の蒸着パターンを形成するために必要な開口部２５を有している場合には、これらのうちの任意の１画面を、第１集合体とすればよい。また、全ての１画面が、上記第１集合体と、第２集合体と、金属層１０との関係を満たしていてもよい。なお、図８に示す形態の蒸着マスクは、図中左上の１画面を第１集合体としており、図９に示す形態の蒸着マスクは、図中中央の１画面を第１集合体としている。

また、第１集合体と、第２集合体とが隣接しているとは、必ずしも、第１集合体から最も近くに位置する１画面が、第２集合体となることを意味するものではなく、例えば、任意の第１集合体に対し、当該第１集合体の中心を通り、且つ蒸着マスク１００の辺と平行な軸上に沿って最初に位置する１画面を第２集合体としてもよい。例えば、図８に示す形態の蒸着マスクでは、図中左上の１画面を第１集合体とし、上記軸上に沿って最初に位置する１画面（図中の第１集合体の右、及び下に位置する１画面）を、それぞれ第２集合体（図中の第２集合体Ａ、Ｂ）としている。図９に示す形態の蒸着マスクでは、図中中央の１画面を第１集合体とし、上記軸上に沿って最初に位置する１画面（図中の第１集合体の上下、及び左右に位置する１画面）を、それぞれ第２集合体（図中の第２集合体Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）としている。図１３、図１４に示す形態の蒸着マスクでは、１画面が不規則に配置されており、図１３に示す形態では、図中左上の１画面を第１集合体とし、上記軸上に沿って最初に位置する１画面（図中の右上、及び図中の第１集合体の下に位置する１画面）を、それぞれ第２集合体（図中の第２集合体Ａ、Ｂ）としている。また、図１４に示す形態では、図中中央上に位置する１画面を第１集合体とし、上記軸上に沿って最初に位置する１画面（図中の第１集合体の下に位置する１画面）を第２集合体としている。

上記では、第１集合体の中心を通る蒸着マスク１００の辺と平行な軸上に位置し、当該軸上に沿って、最初に位置する１画面を第２集合体としているが、任意の第１集合体に対し、当該第１集合体の中心を通り、且つ当該第１集合体を構成する何れかの開口部の辺と平行な軸上に沿って、最初に位置する１画面を第２集合体としてもよい。

また、任意の第１集合体に対し、当該第１集合体の中心を通り、１画面領域の辺と平行な軸上に沿って、最初に位置する１画面を第２集合体としてもよい。なお、この場合の１画面領域の辺とは、１画面を構成する開口部を含む矩形状の領域のうち、その面積が最も小さくなる矩形形状領域の辺を意味する。

第１集合体から第２集合体側に向かって延びる金属層１０は、１つであってもよく（図示しない）、図１（ａ）に示すように複数であってもよい。樹脂マスク２０に付与される剛性や、樹脂マスクの伸縮を抑制するストッパーとしての役割を考慮すると、第１集合体から第２集合体側に向かって延びる金属層１０は複数が好ましい。

本願明細書において、第１集合体から第２集合体側に向かって延びる金属層１０とは、金属層１０の第１集合体から第２集合体側の方向の長さが、当該方向に直交する方向の長さよりも長いことを意味する。また、第１集合体から第２集合側に向かう方向とは、第１集合体の中心と、第２集合体の中心を通る軸（以下、第１集合体の中心と、第２集合体の中心を通る軸のことを、基準軸と言う場合がある。）に沿った方向であってもよく、基準軸に沿った方向に対し、所定の角度をもつ方向であってもよい。

図１（ａ）に示す形態の蒸着マスク１００では、上記基準軸に沿って、複数の金属層１０が配置されている。一方、図３（ａ）～（ｄ）に示す形態の蒸着マスク１００では、基準軸に対し所定の角度をもつ軸に沿って、金属層１０が配置されており、図３（ａ）に示す形態の蒸着マスク１００では、第１集合体から第２集合体側に向かって、基準軸に対し、所定の角度をもつ軸に沿って複数の金属層１０が放射状に延びており、図３（ｂ）に示す形態の蒸着マスク１００では、図３（ａ）に示す形態の金属層１０を、１８０°反転させている。図３（ｃ）、（ｄ）に示す形態の蒸着マスク１００では、基準軸に沿った金属層１０と、基準軸に対し所定の角度をもつ軸に沿った金属層１０が配置されている。基準軸に対する角度について特に限定はなく、例えば、４５°未満の範囲である。

基準軸に対して、所定の角度をもつように金属層１０を配置する形態は、蒸着マスク１００を当該蒸着マスクの辺と直交する方向に対して、所定の角度をもつ方向に対して引っ張る場合に好ましい形態である。例えば、蒸着マスク１００を当該蒸着マスクの辺と直交する方向に対して、所定の角度をもつ方向に対して引っ張る場合には、当該引っ張り方向に対し直交する方向に沿って金属層１０を配置することで、蒸着マスク１００を引っ張ったときのシワの発生を効果的に抑制することができる。

各図に示す形態では、第１集合体から第２集合体側に向かって延びる金属層１０の形状は、矩形状となっているが、金属層１０を平面視したときの形状についていかなる限定もされることはない。例えば、三角形状（図４（ａ）～（ｃ））参照）、四角形状以上の多角形状（図５（ａ）参照）、円形状、楕円形状（図５（ｂ）参照）、半円形状、角丸長方形状（図５（ｃ）参照）、ドーナツ形状、アルファベットの「Ｃ」形状、「Ｔ」形状、さらには、「星」形状（図５（ｄ）参照）「十字」形状（図５（ｅ）参照）やなど、あらゆる形状をも採用可能である。また、これ以上の形状であってもよい。例えば、図４（ａ）～（ｃ）では、三角形状の金属層１０を複数配置した例を示しているが、異なる形状の金属層１０を適宜組合せて配置してもよい。

第１集合体から第２集合体側に向かって延びる金属層１０を配置する位置や、その長さについても限定はなく、図２（ａ）に示すように、複数の金属層１０の長さを同じ長さとし、これを、基準軸に沿って相互にずらして配置してもよい。また、図２（ｂ）に示すように、複数の金属層１０の長さを異なる長さとしてもよい。また、図２（ｃ）、（ｄ）に示すように、第１集合体から第２集合体側に向かって延びる金属層１０を、同一軸上に沿って分割して配置してもよい。また、これら形態の金属層１０を適宜組合せてもよい。また、これら形態の金属層１０を、基準軸に対し所定の角度をもつ軸に沿って配置してもよい。

第１集合体から第２集合体側に向かって延びる金属層１０の長さについて特に限定はない。一例としては、第１集合体と第２集合体との間の長さを、「１００」としたときに、２０以上や、５０以上とした形態を挙げることができる。なお、第１集合体と第２集合体との間に位置する金属層１０の数が同じであると仮定した場合には、金属層１０の長さを長くしていくにつれ、樹脂マスク２０の剛性は高くなる。また、第１集合体、及び第２集合体の外縁と、金属層１０とは接していてもよく、第１集合体、及び第２集合体の外縁から所定の間隔をあけるようにして、金属層１０を配置してもよい。

金属層１０を平面視したときの、金属層１０の大きさ（面積）についても特に限定はなく、樹脂マスク２０が有する開口部の大きさや、第１集合体と第２集合体との間の長さ等を考慮して適宜設定すればよい。なお、第１集合体と第２集合体との間に位置する金属層１０の数が同じであると仮定した場合には、金属層１０の大きさを大きくしていくにつれ、樹脂マスク２０の剛性は高くなる。一例としての金属層１０は、その大きさが、第１集合体、及び第２集合体を構成する１つの開口部２５の大きさよりも大きく構成されている。

また、樹脂マスク２０の外周近傍に位置する１画面を、第１集合体とする場合には、第１集合体から樹脂マスク２０の外縁側（外縁方向）に向かって延びる金属層１０をさらに設けることが好ましい。この形態の蒸着マスクによれば、樹脂マスク２０に十分な剛性を付与することができ、また、第１集合体から第２集合体側に向かって延びる金属層１０とともに、第１集合体から樹脂マスク２０の外縁方向に向かって延びる金属層１０を設けることで、第１集合体の周囲を、金属層によって補強することができ、第１集合体内、及び、第１集合体の外周近傍において樹脂マスクにシワが生ずることをさらに効果的に抑制することができる。また、第１集合体から樹脂マスク２０の外縁方向に向かって延びる金属層１０を利用して、蒸着マスク１００とフレームとを固定することもできる。

図６に示すように、第１集合体が、樹脂マスクの３つの外周（図示する形態では、上、及び左右の外周）の近傍に位置する場合において、第１集合体から外縁方向に向かって延びる金属層１０は、図６（ａ）～（ｃ）に示すように、一方向にのみ設けてもよいが、樹脂マスク２０に付与される剛性や、シワの発生の抑制を考慮すると、図６（ｄ）に示すように、それぞれの外縁方向に向かって延びる金属層１０を設けることが好ましい。

図１～図４、図６では、蒸着マスク１００が、図中の上下方向を長手方向である蒸着マスクである場合を例に挙げて説明を行ったが、図７に示すように、図中の左右方向を長手方向とした蒸着マスク１００としてもよい。また、正方形状の蒸着マスク１００であってもよい。また、これ以外の形状の蒸着マスクであってもよい。図示する形態以外の形状を呈する蒸着マスクにおいても、本願明細書で例示する、各種の金属層１０の形態を適用することができる。

以下、樹脂マスク２０が、３つ以上の画面分の蒸着パターンを形成するために必要な開口部２５を有する樹脂マスク２０である場合を例に挙げて、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００について説明する。

図８～図１５は、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００を金属層１０側から平面視したときの正面図であり、樹脂マスクが、３つ以上の画面分の蒸着パターンを形成するために必要な開口部２５を有している。上述したように、第１集合体は、複数の画面の中から任意に抽出すればよく、いずれを第１集合体とするかについて限定されることはない。また、図８～図１４に示す形態の蒸着マスク１００では、第１集合体が、樹脂マスクの外周近傍に位置している場合において、第１集合体から樹脂マスク２０の外縁方向に向かって延びる金属層１０を設けていないが、各図に示す形態において、第１集合体から樹脂マスク２０の外縁方向に向かって延びる金属層１０を設けてもよい。また、上述した各種の金属層１０の形態を適宜組合せてもよい。

図８に示す形態の蒸着マスク１００は、樹脂マスク２０が、９画面分の蒸着パターンを形成するために必要な開口部を有しており、図中左上の１画面を、第１集合体としている。図８に示す形態の蒸着マスク１００では、図中の第１集合体の右に位置する１画面を第２集合体Ａとし、図中の第１集合体の下に位置する１画面を第２集合体Ｂとし、第１集合体から第２集合体Ａ、及び第２集合体Ｂに向かって延びる、１つ、又は複数の金属層１０（図示する形態では、各方向に向かってそれぞれ４つの金属層）が設けられている。

なお、第１集合体が、複数の１画面と隣接する場合、例えば、図８に示すように、第１集合体が、第２集合体Ａと、第２集合体Ｂの双方と隣接する場合は、樹脂マスク２０の一方の面上には、第１集合体から、当該第１集合体と隣接する少なくとも１つの第２集合体側に向かって延びる金属層１０が設けられていればよい。例えば、第１集合体と第２集合体Ｂとの間に、金属層１０を設けず、第１集合体から第２集合体Ａ側にのみ向かって延びる金属層１０を設けてもよい。なお、上述したように、第１集合体を構成する開口部や、第１集合体の近傍に位置する樹脂マスクに生じうるシワの抑制の観点からは、第１集合体と隣接する第２集合体が複数ある場合には、第１集合体からそれぞれの第２集合体側に向かって延びる金属層１０を設けることが好ましい。

図９に示す形態の蒸着マスク１００は、図８に示す形態の蒸着マスクにおいて、図中の中央に位置する１画面を第１集合体とした蒸着マスク１００を、金属層１０側から平面視したときの正面図である。同図に示す形態では、第１集合体と隣接する１画面が、図中の第１集合体の上下、及び左右に位置しており（図中の第２集合体Ａ～Ｄ）、それぞれの第２集合体側に向かって延びる金属層１０が設けられている。同図に示す形態においても、金属層１０は、第１集合体から、当該第１集合体と隣接する少なくとも１つの第２集合体側に向かって延びるように設けられていればよい。

図１０に示す形態の蒸着マスク１００は、図８、図９に示す形態の蒸着マスクにおいて、各１画面の何れもが第１集合体であるとして見立てた場合の、金属層１０の配置の例を示している。同図に示す形態では、１画面と、当該１画面と図中の左右方向に向かって隣接する他の１画面との間に、１画面から他の１画面に向かって延びる金属層１０がそれぞれ設けられている。図１１に示す形態の蒸着マスク１００は、図８、図９に示す形態の蒸着マスクにおいて、各１画面の何れもが第１集合体であるとして見立てた場合の、金属層１０の配置の例を示している。同図に示す形態では、１画面と、当該１画面と図中の上下方向に向かって隣接する他の１画面との間に、１画面から他の１画面に向かって延びる金属層１０がそれぞれ設けられている。

図１０、図１１に示す形態の蒸着マスクは、蒸着マスク１００を一方向にのみ引っ張る場合に好適な形態である。また、樹脂マスク２０が長辺と短辺を有する四辺形状である場合には、樹脂マスク２０の伸びや縮みなどの変化量が大きい長辺に沿った軸上に、或いは、当該長辺に沿った軸に対して所定の角度をもつ軸上に沿って金属層１０を配置することが好ましい。

図１２に示す形態の蒸着マスク１００は、図８、図９に示す形態の蒸着マスクにおいて、各１画面の何れもが第１集合体であるとして見立てた場合の、金属層１０の配置の例を示している。同図に示す形態では、全ての１画面のそれぞれにおいて、何れの１画面も、当該１画面と隣接する全ての他の１画面との間に金属層１０が設けられている。図１２に示す形態の蒸着マスク１００によれば、１画面の周辺を金属層１０によって補強することで、樹脂マスク２０に十分な剛性を付与することができ、また、各画面のそれぞれにおいて、シワの発生を効果的に抑制することができる。

図１５に示す形態の蒸着マスクは、蒸着マスクを金属層１０側から平面視したときの一例を示す正面図であり、図１２に示す形態の蒸着マスクにおいて、樹脂マスク２０の外周近傍に位置する１画面と、樹脂マスク２０の外縁の間に、各１画面から樹脂マスク２０の外縁方向に向かって延びる金属層１０を設けた形態となっている。同図に示す形態の蒸着マスクによれば、各画面内、及び各画面周辺において生じうる樹脂マスクのシワをより効果的に抑制することができる。

また、図示しないが、蒸着マスクのフレームと固定される位置に、全ての１画面を囲む枠状の金属層１０を設けてもよい。

本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００を構成する金属層１０の材料については特に限定はなく、例えば、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム合金などの金属材料を挙げることができる。また、これ以外の金属材料を用いてもよい。中でも、鉄ニッケル合金であるインバー材は熱による変形が少ないので好適に用いることができる。また、金属層１０は、金属材料とともに、他の材料を含有していてもよい。例えば、金属材料とともに、樹脂材料を含有する金属層１０としてもよい。なお、金属層１０は、当該金属層１０の総質量に対し、金属材料を５０質量％より多く含有している。つまり、金属層１０は、金属材料を主成分としている。また、金属層１０は、２種以上の金属材料を含んでいてもよい。

金属層１０の厚みについても特に限定はないが、シャドウの発生をより効果的に防止するためには、１００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以下であることがより好ましく、３５μｍ以下であることが特に好ましい。なお、５μｍより薄くした場合、破断や変形のリスクが高まるとともにハンドリングが困難となる傾向にある。

なお、複数の金属層１０が設けられている場合には、金属層１０の全てが同じ材質や同じ厚みである必要はなく、材質や厚みを異ならせてもよい。

以上、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクについて、各種の図面を用いて説明を行ったが、本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクは、図示する形態に限定されるものではなく、各図に示す形態や、本願明細書に記載した構成を適宜組み合わせたものとすることもできる。

＜蒸着マスク準備体＞
本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク準備体は、上記で説明した本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００を製造するための蒸着マスク準備体であって、樹脂板と、当該樹脂板上に設けられた金属層とを含む。

本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク準備体は、複数画面を形成するために必要な開口部を有する樹脂マスク２０が、樹脂板である点を除いて、全て上記で説明した本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクと共通し、ここでの詳細な説明は省略する。

本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク準備体の製造方法について特に限定はなく、樹脂板と金属板との積層体を準備し、この積層体における金属板を加工（例えば、エッチング加工）することで製造することができる。樹脂板と金属板との積層体は、金属板上に、樹脂板の材料となる樹脂を適当な溶媒に分散、或いは溶解した塗工液を、従来公知の塗工方法で塗工、乾燥して樹脂板を形成する方法や、樹脂板上に、金属膜を製膜、或いは金属材料を含む塗工液を塗工、乾燥して金属板を形成する方法や、金属板と樹脂板とを貼り合せる方法等を挙げることができる。これ以外にも、樹脂板に対し、後述する金属層１０の形成方法を適宜選択して製造することもできる。

本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク準備体によれば、樹脂板の所定の領域に複数画面を形成するために必要な開口部を形成するだけで、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを製造することができる。

＜蒸着マスクの製造方法＞
本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクの製造方法は、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクを製造する方法であって、金属層１０を、ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、エッチング法、めっき法、印刷法の何れかの方法で形成している。

ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、電子ビーム蒸着法等を挙げることができる。ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法としては、プラズマＣＶＤ法、熱ＣＶＤ等を挙げることができる。

めっき法としては、電解めっき法や、無電解めっき法等を挙げることができる。例えば、樹脂板の一方の面上の、最終的に金属層１０が配置される位置に、無電解めっき用触媒を含む触媒層を形成し、次いで、めっき液を用いて該触媒層上に無電解めっきを選択的に析出・成長させることで、樹脂板と、当該樹脂板上に設けられた金属層とを含む蒸着マスク準備体を得ることができる。

印刷法としては、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、グラビア版を用いたリバースコーティング法等により、金属を含む塗工液を塗布・乾燥して形成する方法や、金属を含む転写層を、サーマルヘッド等による加熱デバイスや、ホットスタンプ法、ヒートロール法等を用いて、転写する方法等を挙げることができる。

また、上記各種の方法を組み合わせて金属層１０を形成することもできる。例えば、上記ＰＶＤ法、ＣＶＤ法、或いは印刷法等を用いて、樹脂板上に金属膜を形成（製膜）し、エッチング法により、形成された金属膜をパターニングして金属層１０を形成することもできる。つまり、金属層付き樹脂板を得ることもできる。また、樹脂板の金属層１０が配される以外の部分をマスクキングし、マスキングがされていない部分に対し、上記ＰＶＤ法、ＣＶＤ法、或いは印刷法等を用いて、選択的に、金属層１０を形成することもできる。

金属層１０の形成は、（ｉ）樹脂板に複数画面を形成するために必要な開口部を形成した後の樹脂板に対して行ってもよく、（ｉｉ）樹脂板に複数画面を形成するために必要な開口部を形成する前の樹脂板に対して行ってもよい。なお、後者（ｉｉ）の場合には、金属層１０を形成するときに、既に樹脂板に形成されている開口部２５に寸法や、位置の変動が生ずることを抑制することができる点で好ましい。また、フレームに固定された樹脂板に対して、金属層１０の形成を行ってもよい。

一例としての蒸着マスクの製造方法は、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク準備体を準備工程と、蒸着マスク準備体の樹脂板に、複数画面を形成するために必要な開口部を形成する開口部形成工程とを含む。

開口部の形成は、上記で準備した蒸着マスク準備体（金属層付き樹脂板）に対し、樹脂板にレーザー光を照射し、樹脂板に複数画面を形成するために必要な開口部を形成する工程である。開口部の形成は、レーザー加工が好適である。レーザー加工に用いられるレーザー装置については特に限定されることはなく、従来公知のレーザー装置を用いればよい。

本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法では、樹脂板に複数画面を形成するために必要な開口部を形成する任意の工程間、或いは工程後に、蒸着マスク準備体をフレームに固定する工程を備えていてもよい。本工程は、本発明の蒸着マスクの製造方法における任意の工程であるが、レーザー光を照射して、樹脂板に開口部２５を形成する前の段階で、蒸着マスク準備体を予めフレームに固定しておくことで、樹脂板に形成された開口部に寸法変動や、位置変動が生ずることをより効果的に抑制することができる。また、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスクをフレームに固定したときの同様の作用効果を奏する。

フレームと蒸着マスク準備体との固定は、フレームの表面において行ってもよく、フレームの側面において行ってもよい。また、蒸着マスク準備体の、フレームとの固定箇所に金属層１０を設け、この金属層１０を介して、蒸着マスク準備体とフレーム、例えば、金属フレームとを溶接固定することができる。

＜フレーム付き蒸着マスク＞
本開示の実施の形態にかかるフレーム付き蒸着マスクは、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００がフレームに固定されてなる。フレームに固定される蒸着マスクは、上記本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００を適宜選択して用いればよく、ここでの詳細な説明は省略する。以下にフレームを中心に説明する。

（フレーム）
本開示の実施の形態にかかるフレーム付き蒸着マスクを構成するフレームについては特に限定されることはなく、従来公知のフレームから適宜選択して用いることができる。例えば、フレームは、略矩形形状の枠部材であり、その材料としては、金属材料や、ガラス材料、セラミック材料等を用いても良い。また、フレームの厚さについても特に限定はないが、剛性等の点から１０ｍｍ以上１００ｍｍ以下の範囲であることが好ましい。フレームの開口の内周端面と、フレームの外周端面間の幅は、当該フレームと、蒸着マスクの金属層１０とを固定することができる幅であれば特に限定はなく、例えば、１０ｍｍ以上３００ｍｍ以下の範囲の幅を例示することができる。

このようなフレームへの蒸着マスク１００の固定方法についても特に限定されることはないが、フレームが金属材料によって構成されている場合であって、例えば、図１５に示すように、蒸着マスク１００のフレームとの固定位置に金属層１０が設けられている場合には、蒸着マスク１００における金属層１０と当該フレームとを溶接することにより固定してもよい。また、金属層１０とフレームとを溶接し、金属層が設けられていない樹脂マスク２０とフレームとを接着剤等により接着することで、蒸着マスク１００とフレームとを固定してもよい。

一方で、図１２に示す蒸着マスク１００のように金属層１０が、フレームとの固定位置に設けられていない場合には、樹脂マスク２０とフレームとを接着剤などを用いて接着することで、蒸着マスク１００とフレームとを固定してもよい。

なお、フレームに対して固定される本開示の実施の形態にかかる蒸着マスク１００は、１つであってもよく、複数であってもよい。

また、複数の蒸着マスクをフレームに固定する場合、それぞれの蒸着マスクを、隙間をあけて配置してもよく、複数の蒸着マスク１００を隙間なく並べて配置してもよい。

＜蒸着マスクを用いた蒸着方法（蒸着で作製されるパターンの形成方法）＞
上記で説明した本開示の蒸着マスク１００、及びフレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着パターンの形成に用いられる蒸着方法については、特に限定はなく、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、電子ビーム蒸着法等のＰＶＤ法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、光ＣＶＤ法等のＣＶＤ法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等を挙げることができる。また、蒸着パターンの形成は、従来公知の真空蒸着装置などを用いて行うことができる。

＜有機半導体素子の製造方法＞
次に、本開示の実施の形態にかかる有機半導体素子の製造方法（以下、本開示の有機半導体素子の製造方法と言う）について説明する。本開示の有機半導体素子の製造方法は、蒸着マスク、又はフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、蒸着パターンを形成する工程において、上記で説明した本開示の蒸着マスク、又はフレーム付き蒸着マスクが用いられることを特徴としている。

蒸着マスク、又はフレーム付き蒸着マスクを用いた蒸着方法により蒸着パターンを形成する工程について特に限定はなく、基板上に電極を形成する電極形成工程、有機層形成工程、対向電極形成工程、封止層形成工程等を有し、各任意の工程において、蒸着パターン形成方法を用いて、蒸着パターンが形成される。例えば、有機ＥＬデバイスのＲ（レッド），Ｇ（グリーン），Ｂ（ブルー）各色の発光層形成工程に、蒸着パターンの形成方法をそれぞれ適用する場合には、基板上に各色発光層の蒸着パターンが形成される。なお、本開示の有機半導体素子の製造方法は、これらの工程に限定されるものではなく、従来公知の有機半導体素子の製造における任意の工程に適用可能である。

以上説明した本開示の有機半導体素子の製造方法によれば、フレーム付き蒸着マスクと蒸着対象物とを隙間なく密着させた状態で、有機半導体素子を形成する蒸着を行うことができ、高精細な有機半導体素子を製造することができる。本開示の有機半導体素子の製造方法で製造される有機半導体素子としては、例えば、有機ＥＬ素子の有機層、発光層や、カソード電極等を挙げることができる。特に、本開示の有機半導体素子の製造方法は、高精細なパターン精度が要求される有機ＥＬ素子のＲ（レッド），Ｇ（グリーン），Ｂ（ブルー）発光層の製造に好適に用いることができる。

＜有機ＥＬディスプレイの製造方法＞
次に、本開示の実施の形態にかかる有機ＥＬディスプレイ（有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ）の製造方法（以下、本開示の有機ＥＬディスプレイの製造方法と言う）について説明する。本開示の有機ＥＬディスプレイの製造方法は、有機ＥＬディスプレイの製造工程において、上記で説明した本開示の有機半導体素子の製造方法により製造された有機半導体素子が用いられる。

上記本開示の有機半導体素子の製造方法により製造された有機半導体素子が用いられた有機ＥＬディスプレイとしては、例えば、ノートパソコン（図１６（ａ）参照）、タブレット端末（図１６（ｂ）参照）、携帯電話（図１６（ｃ）参照）、スマートフォン（図１６（ｄ）参照）、ビデオカメラ（図１６（ｅ）参照）、デジタルカメラ（図１６（ｆ）参照）、スマートウォッチ（図１６（ｇ）参照）等に用いられる有機ＥＬディスプレイを挙げることができる。

１０・・・金属層
２０・・・樹脂マスク
２５・・・開口部
１００・・・蒸着マスク

Claims (10)

1. 複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、
   複数画面を形成するために必要な開口部を有する樹脂マスクを含み、
   前記樹脂マスクが有する前記複数画面を形成するために必要な開口部のうち、１の画面を形成するために必要な開口部の集合体を第１集合体とし、前記第１集合体と隣接する他の１の画面を形成するために必要な開口部の集合体を第２集合体としたときに、
   前記樹脂マスクの一方の面上の前記第１集合体と前記第２集合体との間に、前記第１集合体から前記第２集合体側に向かって延びる金属層が設けられており、
   前記第１集合体から前記第２集合体側に向かって延びる金属層が複数ある、蒸着マスク。
2. 前記第１集合体が、前記樹脂マスクの外周近傍に位置しており、
   前記樹脂マスクの一方の面上に、前記第１集合体から前記樹脂マスクの外縁側に向かって延びる金属層がさらに設けられている、請求項１に記載の蒸着マスク。
3. 前記第１集合体と隣接する前記第２集合体が複数あり、
   前記樹脂マスクの一方の面上に、前記第１集合体から前記複数の第２集合体側に向かって延びる前記金属層がそれぞれ設けられている、
   請求項１又は２に記載の蒸着マスク。
4. 請求項１乃至３の何れか１項に記載の蒸着マスクが、フレームに固定されてなるフレーム付き蒸着マスク。
5. 前記樹脂マスクの前記フレームと重なる領域の一部に金属層が設けられており、
   前記樹脂マスクと前記フレームとが、前記金属層を介して固定されてなる、請求項４に記載のフレーム付き蒸着マスク。
6. 蒸着で作製されるパターンの形成方法であって、
   請求項１乃至３の何れか１項に記載の蒸着マスク、或いは請求項４又は５に記載のフレーム付き蒸着マスクを使用する、パターンの形成方法。
7. 請求項１乃至３の何れか１項に記載の蒸着マスクを製造するための蒸着マスクの製造方法であって、
   前記金属層を、ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、エッチング法、めっき法、印刷法の何れかの方法で形成する、蒸着マスクの製造方法。
8. レーザーにより前記開口部を形成する、請求項７に記載の蒸着マスクの製造方法。
9. 有機半導体素子の製造方法であって、
   請求項１乃至３の何れか１項に記載の蒸着マスク、或いは請求項４又は５に記載のフレーム付き蒸着マスクを使用する、有機半導体素子の製造方法。
10. 有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、
    請求項９に記載の有機半導体素子の製造方法によって製造された有機半導体素子を用いる、有機ＥＬディスプレイの製造方法。

Images