TW201425606A - 單元遮罩、遮罩組件及製造有機發光二極體顯示器之方法 - Google Patents

單元遮罩、遮罩組件及製造有機發光二極體顯示器之方法 Download PDF

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Abstract

單元遮罩延伸於一方向且藉由包含開口之框架所支撐。單元遮罩包含位於開口中且固定於設置在該方向之框架之一表面之第一固定部件、分隔於第一固定部件且固定於設置在該方向之框架之另一表面之第二固定部件、以及藉由第一固定部件及第二固定部件保持於第一固定部件與第二固定部件之間之遮罩部件。

Description

單元遮罩、遮罩組件及製造有機發光二極體顯示器之方法 【0001】
所述技術一般是關於一種藉由框架支撐之單元遮罩、遮罩組件以及製造有機發光二極體顯示器之方法。
 【0002】
平面顯示器之範例包含有機發光二極體(OLED)顯示器、液晶顯示器(LCD)以及電漿顯示面板(PDP)。
【0003】
為了製造有機發光二極體(OLED)顯示器，通常需要形成特定圖樣之電極及發光層。利用遮罩組件之沉積方法可被用於形成電極及發光層。
【0004】
傳統遮罩組件通常包含具有開口之框架及帶狀之複數個單元遮罩。每一單元遮罩之兩端對應於開口延伸並固定於框架上。單元遮罩可包含對應於有機發光二極體(OLED)顯示器之像素之圖樣化開口，使得有機發光二極體(OLED)顯示器可被製造於母基板上。每單元遮罩之圖樣化開口可對應單一有機發光二極體(OLED)顯示器且形成為對應於要形成於有機發光二極體(OLED)顯示器之電極或發光層之形狀。
【0005】
當需要高解析度之有機發光二極體(OLED)顯示器時，精細的圖樣化開口形成於單元遮罩。為達成這個，單元遮罩必須非常薄(μm)以防止因為沉積製程之特性造成非預期之沉積錯誤。
【0006】
然而，當單元遮罩變得非常薄時，可能難以將單元遮罩之兩端焊接於框架上以將單元遮罩固定於框架。
【0007】
進一步，當單元遮罩非常薄時，由於單元遮罩之兩端延伸且固定於框架上，單元遮罩可能下垂穿過開口，或者單元遮罩可能由於施加於單元遮罩之拉力而變形。
【0008】
上述於背景部分揭露之資訊僅為了加強對所述技術背景之了解，且因此其可包含未形成為本國所屬技術領域中具有通常知識者所知之先前技術之一部分之資訊。
 【0009】
所述技術致力於提供一種單元遮罩及一種遮罩組件，其在製造高解析度有機發光二極體(OLED)顯示器時具有提升沉積可靠性之優勢。
【0010】
本發明之第一種態樣提供一種延伸於一方向且藉由包含開口之框架支撐之單元遮罩，單元遮罩包含位於開口且固定於設置在該方向之框架之一表面之第一固定部件、分隔於第一固定部件且固定於設置在該方向之框架之另一表面之第二固定部件、以及藉由第一固定部件及第二固定部件保持而位於第一固定部件與第二固定部件之間之遮罩部件。
【0011】
遮罩部件在垂直方向上可薄於第一固定部件及第二固定部件。
【0012】
第一固定部件可包含彎曲且向下延伸通過開口之第一彎曲延伸件，第二固定部件可包含彎曲且向下延伸通過開口之第二彎曲延伸件，且遮罩部件可包含延伸於一方向之本體、彎曲且從本體延伸通過該開口而面向第一彎曲延伸件之第一面向部件、以及彎曲且從本體延伸通過開口而面向第二彎曲延伸件之第二面向部件。
【0013】
單元遮罩可進一步包含位於框架與第一彎曲延伸件之間且接觸第一彎曲延伸件之第一區塊、以及面向第一區塊與第一彎曲延伸件且接觸第一面向部件之第二區塊、以及設置於第一區塊與第二區塊之間之第一面向部件。
【0014】
第二區塊在垂直方向上可厚於第一區塊。
【0015】
單元遮罩可進一步包含位於第一彎曲延伸件與第一面向部件之間且接觸第一彎曲延伸件及第一面向部件之第三區塊。
【0016】
單元遮罩可進一步包含穿過第一彎曲延伸件、第一區塊、第一面向部件及第二區塊以固定第一彎曲延伸件、第一區塊、第一面向部件及第二區塊之第一固定件。
【0017】
接觸第一彎曲延伸件之第一區塊之表面及接觸第一面向部件之第二區塊之表面可具有不平整形狀。
【0018】
接觸第一彎曲延伸件之第一區塊之表面、接觸第一面向部件之第二區塊之表面、以及接觸第一彎曲延伸件及第一面向部件之第三區塊之表面可具有不平整形狀。
【0019】
第二區塊之不平整表面可分隔於遮罩部件之本體。
【0020】
第一彎曲延伸件可具有對應於第一區塊之不平整表面之不平整形狀，且第一面向部件可具有對應於第二區塊之不平整表面之不平整形狀。
【0021】
第一彎曲延伸件可接觸第一面向部件。
【0022】
單元遮罩可進一步包含位於框架與第二彎曲延伸件之間且接觸第二彎曲延伸件之第四區塊、以及面向第四區塊且接觸第二面向部件之第五區塊，且第二面向部件位於第四區塊與第五區塊之間。
【0023】
單元遮罩可進一步包含位於第二彎曲延伸件與第二面向部件之間且接觸第二彎曲延伸件及第二面向部件之第六區塊。
【0024】
單元遮罩可進一步包含穿過第二彎曲延伸件、第四區塊、第二面向部件及第五區塊以固定第二彎曲延伸件、第四區塊、第二面向部件及第五區塊之第二固定件。
【0025】
本發明之第二種態樣提供一種包含含有開口之框架之遮罩組件、以及延伸於一方向且藉由框架支撐之單元遮罩。
【0026】
本發明之第三種態樣提供一種製造有機發光二極體(OLED)顯示器之方法，其包含藉由使用遮罩組件沉積而形成特定圖樣之電極及發光層於基板上。
【0027】
遮罩組件可包含對應於有機發光二極體(OLED)顯示器之像素之圖樣化開口。
【0028】
根據特定實施例，當製造高解析度有機發光二極體(OLED)顯示器時，提供具提升之沉積可靠度之單元遮罩及遮罩組件是可能的。
100．．．框架
110．．．開口
120．．．支架
200．．．單元遮罩
210．．．第一固定部件
211．．．第一彎曲延伸件
220．．．第二固定部件
221．．．第二彎曲延伸件
230．．．遮罩部件
231．．．本體
232．．．第一面向部件
233．．．第二面向部件
241．．．第一區塊
242．．．第二區塊
243．．．第三區塊
244．．．第四區塊
245．．．第五區塊
246．．．第六區塊
250．．．第一固定件
260．．．第二固定件
1000、1002、1003．．．遮罩組件
D1、D2．．．厚度
PO．．．圖樣化開口
【0029】
第1圖 係為根據第一實施例之遮罩組件之剖面圖。
【0030】
第2圖 係為根據第二實施例顯示遮罩組件之一部分之剖面圖。
【0031】
第3圖 係為根據第三實施例顯示遮罩組件之一部分之剖面圖。
 【0032】
下文中將參考附圖對本發明作更完整的描述，其中顯示本發明之特定實施例。此技術領域具有通常知識者將理解的是，所述之實施例可在不違背本發明之精神或範圍下以各種方式修改。
【0033】
圖式及說明係視為本質說明性而非限制性。相似之參考符號在整份說明書中通常指示相似之元件。
【0034】
在揭露之實施例中，相同參考符號將用來指代相同或相似部件。第一實施例被描述為代表性之實施例且其他實施例僅有與第一實施例不同之部分被描述。
【0035】
在圖式中，元件之尺寸及厚度為了清楚起見及便於描述可誇大、省略或示意性的表示。另外，構成元件之尺寸並非完全反映其真實的尺寸。
【0036】
在圖式中，層、膜、面板、區域等之厚度為清楚起見可被誇大。另外，一些層與區域之厚度為了更好了解及更易於說明可被誇大。在下述實施例之說明中，將被理解的是，當元件如層(膜)、區域、圖樣或結構被指在另一元件「上」或「下」時，其可「直接地(directly)」在另一元件上或下，或者可「間接地(indirectly)」形成使得亦存在中間元件。同樣地，用詞如「在…上(on)」或「在…下(under)」應理解成以圖式為基礎。
【0037】
另外，除非有明確相反的描述，否則用詞「包含(comprise)」及其變化型如「包含(comprises)」或「包含(comprising)」將理解為表示包含所述之元件但不排除任何其他元件。此外，表述詞「在…上(on)」或「在…下(under)」可被用來在本文中表示一元件與另一元件如圖所示之關係。將被理解的是這表述詞旨在包含元件除了圖式中描述之方向外之不同方向，即包含「在…上(on)」及「在…下(under)」。
【0038】
根據第一實施例之遮罩組件將參考第1圖給予說明。
【0039】
第1圖係為根據第一實施例之遮罩組件之剖面圖。
【0040】
如第1圖所示，根據第一實施例之遮罩組件1000包含框架100及單元遮罩200。
【0041】
框架100固定及支撐單元遮罩200之兩端且包含開口110以露出單元遮罩200。框架100包含在單元遮罩200延伸之一方向(X方向)上互相面對之一對支架120，具有開口110設置於支架120之間、以及在垂直於該方向(X方向)之方向上互相面對之一對其他支架(未圖示)之間，具有開口110設置於其他支架之間。支架120保持單元遮罩200之兩端。在根據第一實施例之遮罩組件1000之框架100中，支架120可形成可具有矩形形狀之框架100之長邊且其他支架(未圖示)可形成框架100之短邊。
【0042】
可替換地，遮罩組件之框架可具有多邊形或圓形形狀。
【0043】
固定於框架100之單元遮罩200在拉力施加於單元遮罩200時藉由框架100支撐。由於壓縮力作用於其中單元遮罩200根據施加於單元遮罩200之拉力而延伸之方向，框架100可由具有高硬度之金屬形成，例如不銹鋼，使單元遮罩200不會因為壓縮力而變形。
【0044】
單元遮罩200延伸於一方向(X方向)及其兩端固定於框架100。單元遮罩200包含對應於有機發光二極體(OLED)顯示器且在沉積製程期間露出將形成有機發光二極體(OLED)顯示器之母基板之圖樣化開口PO。圖樣化開口PO係對應於有機發光二極體(OLED)顯示器之互連線或發光層之開口圖樣。複數個單元遮罩200可被提供，且單元遮罩200可安排於垂直X方向之方向。
【0045】
當單元遮罩200延伸於X方向時，單元遮罩200之兩端固定於框架100。單元遮罩200包含第一固定部件210、第二固定部件220、遮罩部件230、第一區塊241、第二區塊242、第三區塊243、第一固定件250、第四區塊244、第五區塊245、第六區塊246以及第二固定件260。
【0046】
第一固定部件210位於開口110且固定於框架100之支架120中之一之表面，其設置於X方向。第一固定部件210經由如焊接之固定方法固定於框架100之支架120之表面且包含彎曲且從支架120之表面向下延伸通過開口之第一彎曲延伸件211。
【0047】
第二固定部件220分隔於第一固定部件210且固定於框架100之其他支架120之表面，其設置於X方向。第二固定部件220經由如焊接之固定方法固定於框架100之其他支架120之表面且包含彎曲且從其他支架120之表面向下延伸通過該開口110之第二彎曲延伸件221。
【0048】
遮罩部件230藉由第一固定部件210及第二固定部件220維持於第一固定部件210與第二固定部件220之間，且包含具有圖樣化開口PO且延伸於X方向之本體231、從本體231之一端彎曲及向下延伸穿過開口110且面對第一彎曲延伸件211之第一面向部件232、以及從本體231之另一端彎曲而向下延伸穿過開口110且面對第二彎曲延伸件221之第二面向部件233。遮罩部件230之本體231、第一固定部件210及第二固定部件220設置在平整的虛擬直線上。在沉積製程期間將執行沉積於其上之母基板可位於遮罩部件230之本體231上。在此情況中，母基板可接觸本體231、第一固定部件210及第二固定部件220，且由於本體231、第一固定部件210及第二固定部件220設置於平整之虛擬直線上，故單元遮罩200與母基板之間不會產生間隙。這提升了利用遮罩組件1000之沉積之可靠度。
【0049】
遮罩部件230可薄於第一固定部件210及第二固定部件220，且因此精細的圖案化開口PO可形成於薄的遮罩部件230。因此，當高解析度有機發光二極體(OLED)顯示器製造時，非預期沉積錯誤如陰影可被最小化。
【0050】
第一固定部件210及第二固定部件220可厚於遮罩部件230，且因此第一固定部件210及第二固定部件220可利用焊接製程固定於框架100。因此，無論根據圖樣化開口PO之尺寸之遮罩部件230之厚度如何，可藉由焊接牢固地固定單元遮罩200於框架100。
【0051】
亦即，由於用於沉積製程之精細圖案化開口PO形成於遮罩部件230且單元遮罩200藉由焊接第一固定部件210與第二固定部件220於框架100而固定於框架100，當製造高解析度有機發光二極體(OLED)顯示器時，提供具有單元遮罩200經由焊接而牢固地固定於框架100之遮罩組件1000且提升沉積之可靠度是可能的。
【0052】
第一區塊241位於框架100與第一彎曲延伸件211之間且接觸第一彎曲延伸件211。
【0053】
第二區塊242設置相對於第一區塊241，其具有第一彎曲延伸件211及第一面向部件232設置於第一區塊241與第二區塊242之間，且接觸第一面向部件232。第二區塊242之厚度D2大於第一區塊241之厚度D1，由於第二區塊242之厚度D2大於第一區塊241之厚度D1，高度上的差異不會在第一固定部件210之頂面與遮罩部件230之頂面之間產生，且即便在遮罩部件230薄於第一固定部件210時，薄於第一固定部件210之遮罩部件230之強度仍得以加強。
【0054】
第三區塊243位於第一彎曲延伸件211與第一面向部件232之間且接觸第一彎曲延伸件211及第一面向部件232。
【0055】
第一區塊241、第二區塊242及第三區塊234可具有彈性。
【0056】
第一固定件250穿過第一區塊241、第一彎曲延伸件211、第三區塊243、第一面向部件232及第二區塊242，並固定第一區塊241、第一彎曲延伸件211、第三區塊243、第一面向部件232及第二區塊242。第一固定件250可具有螺絲形狀(screw shape)且螺絲螺紋(screw threads)可形成於第一區塊241、第一彎曲延伸件211、第三區塊243、第一面向部件232及第二區塊242，使得第一固定件250藉以螺絲螺紋結合。
【0057】
遮罩部件230根據第一區塊241、第二區塊242、第三區塊243及第一固定件250而藉由第一固定部件210所支持，且因此第一固定部件210及遮罩部件230之強度改善，且同時遮罩部件230牢固地固定於第一固定部件210。
【0058】
第四區塊244位於框架100與第二彎曲延伸件221之間且接觸第二彎曲延伸件221。
【0059】
第五區塊245設置相對於第四區塊244，其具有第二彎曲延伸件221及第二面向部件233設置於第四區塊244與第五區塊245之間，且接觸第二面向部件233。第五區塊245厚於第四區塊244，且因此高度上的差異不會在第二固定部件220之頂面與遮罩部件230之頂面之間產生，且薄於第二固定部件220之遮罩部件230之強度在即使遮罩部件230薄於第二固定部件230下仍得以改善。
【0060】
第六區塊246位於第二彎曲延伸件221與第二面向部件233之間且接觸第二彎曲延伸件221及第二面向部件233。
【0061】
第四區塊244、第五區塊245及第六區塊246可具有彈性。
【0062】
第二固定件260穿過第四區塊244、第二彎曲延伸件221、第六區塊246、第二面向部件233及第五區塊245並固定第四區塊244、第二彎曲延伸件221、第六區塊246、第二面向部件233及第五區塊245。第二固定件260可具有螺絲形狀且螺絲螺紋可形成於第四區塊244、第二彎曲延伸件221、第六區塊246、第二面向部件233及第五區塊245，使得穿過第四區塊244、第二彎曲延伸件221、第六區塊246、第二面向部件233及第五區塊245之第二固定件260藉以螺絲螺紋結合。
【0063】
遮罩部件230根據第四區塊244、第五區塊245、第六區塊246及第二固定件260而藉由第二固定部件220所支持，且因此第二固定部件220及遮罩部件230之強度改善，且同時遮罩部件230牢固地藉由第二固定部件220所支持。
【0064】
如上所述，在根據第一實施例之遮罩組件1000中，包含第一固定部件210、第二固定部件220、遮罩部件230、第一區塊241、第二區塊242、第三區塊243、第一固定件250、第四區塊244、第五區塊245、第六區塊246及第二固定件260之單元遮罩200延伸於X方向，且對應於單元遮罩200之兩端之第一固定部件210及第二固定部件220固定於框架100，且因此單元遮罩200經由焊接而牢固地固定於框架100且在製造高解析度有機發光二極體(OLED)顯示器時提升沉積之可靠度。
【0065】
此外，在根據第一實施例之遮罩組件1000中，其中拉力實際施加之單元遮罩200之遮罩部件230之長度較短於單元遮罩200之長度，且因而即便在遮罩部件230很薄下仍得以防止遮罩部件230下垂穿過開口110。也就是說，提供在沉積製程中具有提升之沉積可靠度之遮罩組件1000。
【0066】
此外，由於根據第一實施例之遮罩組件1000架構為具有圖樣化開口PO之遮罩部件230由可具有彈性之第一至第六區塊241-246所支持之形式，在第一固定部件210與第二固定部件220之間，施加於遮罩部件230之拉力藉由第一至第六區塊241-246所分散，且因此防止遮罩部件230根據施加於單元遮罩200之拉力而變形。也就是說，由於拉力所造成之單元遮罩200之變形得以最小化。
【0067】
根據第二實施例之遮罩組件將參考第2圖給予說明。
【0068】
在第一實施例及第二實施例中，相同參考符號將被用於指代相同或相似部件。
【0069】
第2圖係為顯示根據第二實施例之遮罩組件之一部分之剖面圖。
【0070】
如第2圖所示，根據第二實施例之遮罩組件1002之單元遮罩200延伸於X方向且其兩端固定於框架100。單元遮罩200包含第一固定部件210、第二固定部件220、遮罩部件230、第一區塊241、第二區塊242、第三區塊243、第一固定件250、第四區塊244、第五區塊245、第六區塊246及第二固定件260。
【0071】
接觸於第一彎曲延伸件211之第一區塊241之表面、接觸於第一面向部件232之第二區塊242之表面、以及接觸第一彎曲延伸件211及第一面向部件232之第三區塊243之兩個表面具有不平整形狀。第四區塊244、第五區塊245及第六區塊246可具有不平整表面。
【0072】
第一區塊241、第二區塊242及第三區塊243之不平整表面具有鋸齒形狀嚙合於第一彎曲延伸件211及第一面向部件232。
【0073】
由於第一區塊241、第二區塊242及第三區塊243具有不平整表面，第一彎曲延伸件211具有不平整形狀對應於第一區塊241之不平整表面，且第一面向部件232具有不平整形狀對應於第二區塊242之不平整表面。
【0074】
第二區塊242之不平整表面與遮罩部件230之本體231分隔，且第一區塊241之不平整表面與第一固定部件210之頂面分隔。因為第二區塊242之不平整表面與遮罩部件230之本體231分隔，防止遮罩部件230之本體231由於第二區塊242之不平整表面而皺起是可能的。
【0075】
第一區塊241、第二區塊242及第三區塊243具有不平整表面且第一彎曲延伸件211及第一面向部件232具有不平整形狀接觸於第一區塊241、第二區塊242及第三區塊243，且因此當拉力施加於單元遮罩200時，防止第一固定部件210及遮罩部件230自第一區塊241及第二區塊242分離。
【0076】
也就是說，遮罩組件1002之沉積可靠度提升。
【0077】
根據第三實施例之遮罩組件將參考第3圖給予說明。
【0078】
在第一實施例及第三實施例中，相同參考符號將被用於指代相同或相似部件。
【0079】
第3圖係為顯示根據第三實施例之遮罩組件之一部分之剖面圖。
【0080】
如第3圖所示，根據第三實施例之遮罩組件1003之單元遮罩200延伸於X方向且其兩端固定於框架100。單元遮罩200包含第一固定部件210、第二固定部件220、遮罩部件230、第一區塊241、第二區塊242、第一固定件250、第四區塊244、第五區塊245及第二固定件260。
【0081】
接觸於第一彎曲延伸件211之第一區塊241之表面、及接觸於第一面向部件232之第二區塊242之表面具有不平整形狀。
【0082】
第一彎曲延伸件211可接觸第一面向部件232且第二彎曲延伸件221可接觸第二面向部件233。
【0083】
第一區塊241及第二區塊242之不平整表面具有鋸齒形狀嚙合於第一彎曲延伸件211及第一面向部件232。
【0084】
由於第一區塊241及第二區塊242具有不平整表面，第一彎曲延伸件211具有不平整形狀對應於第一區塊241之不平整表面，且第一面向部件232具有不平整形狀對應於第二區塊242之不平整表面。
【0085】
第二區塊242之不平整表面與遮罩部件230之本體231分隔，且第一區塊241之不平整表面與第一固定部件210之頂面分隔。由於第二區塊242之不平整表面分隔於遮罩部件230之本體231，防止了遮罩部件230之本體231由於第二區塊242之不平整表面而皺起。
【0086】
第一區塊241及第二區塊242具有不平整表面且第一彎曲延伸件211及第一面向部件232具有互相接觸之不平整形狀，且因此施加於單元遮罩200之拉力輕易地從第一固定部件210及第二固定部件220傳送至遮罩部件230。
【0087】
亦即，遮罩組件1003之沉積可靠度提升。
【0088】
雖然本揭露已搭配特定實施例加以描述，應理解的是本發明不局限於揭露之實施例，而是相反的，旨在涵蓋包含於所附申請專利範圍之精神與範疇內之各種修改及等效配置。
100．．．框架
110．．．開口
120．．．支架
200．．．單元遮罩
210．．．第一固定部件
211．．．第一彎曲延伸件
220．．．第二固定部件
221．．．第二彎曲延伸件
230．．．遮罩部件
231．．．本體
232．．．第一面向部件
233．．．第二面向部件
241．．．第一區塊
242．．．第二區塊
243．．．第三區塊
244．．．第四區塊
245．．．第五區塊
246．．．第六區塊
250．．．第一固定件
260．．．第二固定件
1000．．．遮罩組件
D1、D2．．．厚度
PO．．．圖樣化開口

Claims (18)

  1. 【第1項】
    一種延伸於一方向且藉由包含一開口之一框架支撐之單元遮罩，該單元遮罩包含：
    一第一固定部件，係位於該開口且固定於設置在該方向之該框架之一表面；
    一第二固定部件，係分隔於該第一固定部件且固定於設置在該方向之該框架之另一表面；以及
    一遮罩部件，係藉由該第一固定部件及該第二固定部件維持而位於該第一固定部件與該第二固定部件之間。
  2. 【第2項】
    如申請專利範圍第1項所述之單元遮罩，其中該遮罩部件在一垂直方向上薄於該第一固定部件及該第二固定部件。
  3. 【第3項】
    如申請專利範圍第1項所述之單元遮罩，其中該第一固定部件包含彎曲且向下延伸通過該開口之一第一彎曲延伸件，其中該第二固定部件包含彎曲且向下延伸通過該開口之一第二彎曲延伸件，且其中該遮罩部件包含：
    一本體，係延伸於該方向；
    一第一面向部件，係彎曲且從該本體延伸通過該開口並面向該第一彎曲延伸件；以及
    一第二面向部件，係彎曲且從該本體延伸通過該開口並面向該第二彎曲延伸件。
  4. 【第4項】
    如申請專利範圍第3項所述之單元遮罩，其進一步包含：
    一第一區塊，係位於該框架與該第一彎曲延伸件之間且接觸該第一彎曲延伸件；以及
    一第二區塊，係面向該第一區塊且接觸該第一面向部件，且該第一面向部件設置於該第一區塊與該第二區塊之間。
  5. 【第5項】
    如申請專利範圍第4項所述之單元遮罩，其中該第二區塊在一垂直方向上厚於該第一區塊。
  6. 【第6項】
    如申請專利範圍第4項所述之單元遮罩，其進一步包含位於該第一彎曲延伸件與該第一面向部件之間且接觸該第一彎曲延伸件及該第一面向部件之一第三區塊。
  7. 【第7項】
    如申請專利範圍第4項所述之單元遮罩，其進一步包含穿過該第一彎曲延伸件、該第一區塊、該第一面向部件及該第二區塊以固定該第一彎曲延伸件、該第一區塊、該第一面向部件及該第二區塊之一第一固定件。
  8. 【第8項】
    如申請專利範圍第4項所述之單元遮罩，其中接觸該第一彎曲延伸件之該第一區塊之表面及接觸該第一面向部件之該第二區塊之表面具有不平整形狀。
  9. 【第9項】
    如申請專利範圍第6項所述之單元遮罩，其中接觸該第一彎曲延伸件之該第一區塊之表面、接觸該第一面向部件之該第二區塊之表面、以及接觸該第一彎曲延伸件及該第一面向部件之該第三區塊之表面具有不平整形狀。
  10. 【第10項】
    如申請專利範圍第8項所述之單元遮罩，其中該第二區塊之不平整表面分隔於該遮罩部件之該本體。
  11. 【第11項】
    如申請專利範圍第8項所述之單元遮罩，其中該第一彎曲延伸件具有對應於該第一區塊之不平整表面之不平整形狀，且該第一面向部件具有對應於該第二區塊之不平整表面之不平整形狀。
  12. 【第12項】
    如申請專利範圍第8項所述之單元遮罩，其中該第一彎曲延伸件接觸該第一面向部件。
  13. 【第13項】
    如申請專利範圍第4項所述之單元遮罩，其進一步包含：
    一第四區塊，係位於該框架與該第二彎曲延伸件之間且接觸該第二彎曲延伸件；以及
    一第五區塊，係面向該第四區塊且接觸該第二面向部件，該第二面向部件位於該第二彎曲延伸件與該第五區塊之間。
  14. 【第14項】
    如申請專利範圍第13項所述之單元遮罩，其進一步包含位於該第二彎曲延伸件與該第二面向部件之間且接觸該第二彎曲延伸件及該第二面向部件之一第六區塊。
  15. 【第15項】
    如申請專利範圍第13項所述之單元遮罩，其進一步包含穿過該第二彎曲延伸件、該第四區塊、該第二面向部件及該第五區塊以固定該第二彎曲延伸件、該第四區塊、該第二面向部件及該第五區塊之一第二固定件。
  16. 【第16項】
    一種遮罩組件，其包含：
    一框架，係包含一開口；以及
    如申請專利範圍第1項所述之單元遮罩，係延伸於該方向且藉由該框架支撐。
  17. 【第17項】
    一種製造有機發光二極體(OLED)顯示器之方法，其包含：
    藉由使用如申請專利範圍第16項所述之遮罩組件沉積來形成一特定圖樣之一電極以及一發光層於一基板上。
  18. 【第18項】
    如申請專利範圍第17項所述之方法，其中該遮罩組件包含對應於該有機發光二極體(OLED)顯示器之一像素之一圖樣化開口。
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