KR20140015861A - 유기 박막 증착용 마스크 - Google Patents

유기 박막 증착용 마스크 Download PDF

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Abstract

유기 박막 증착용 마스크는 증착 챔버 저면에 구비되는 증착원으로부터 상기 증착 챔버 상부에 배치되는 기판 일면으로 증착 물질을 공급하여 상기 기판 일면에 박막을 증착할 때 상기 기판 일면 아래에 면접하도록 구비되는 유기 박막 증착용 마스크에 있어서, 상기 마스크는, 상기 기판 일면의 외곽 주변을 둘러싸도록 구비되는 프레임; 및 상기 프레임에 의해 지지되면서 상기 기판 일면의 스크라이브 라인과 일치하도록 배치되는 마스크-바;를 포함하고, 상기 마스크-바의 폭은 상기 스크라이브 라인의 폭과 동일하도록 구비하고, 상기 마스크-바의 두께는 상기 프레임의 두께의 60 내지 100%를 갖도록 구비하고, 상기 프레임과 상기 마스크-바 사이는 상기 기판 일면으로 상기 증착 물질이 공급되는 각도와 대응되는 각도를 갖는 홀들을 구비하는 스페이서를 포함할 수 있다.

Description

유기 박막 증착용 마스크{Mask for depositing organic thin film}
본 발명은 유기 박막 증착용 마스크에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 증착 챔버 저면에 구비되는 증착원으로부터 증착 챔버 상부에 배치되는 기판 일면으로 증착 물질을 공급하여 기판 일면에 박막을 증착할 때 기판 일면 아래에 면접하도록 구비되는 유기 박막 증착용 마스크에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 박막의 증착에서는 증착 챔버 저면에 증착원을 구비하고, 증착 챔버 상부에 기판을 배치한다. 이에, 증착원으로부터 기화되는 증발 물질을 기판 일면으로 공급됨으로써 기판 일면에 박막이 증착된다. 그리고 박막을 증착할 때 기판 일면에는 마스크가 면접되도록 구비될 수 있다.
언급한 마스크는 주로 프레임 및 마스크-바로 구비된다. 그리고 프레임은 기판 일면의 외곽을 둘러싸도록 구비되고, 마스크-바는 기판 일면의 스크라이브 라인에 대응되도록 구비된다. 아울러, 프레임과 마스크-바 사이는 오픈된 영역을 갖도록 구비됨으로써, 언급한 오픈된 영역으로 노출된 기판 일면에 박막의 증착이 이루어진다.
여기서, 언급한 마스크-바의 두께는 프레임 두께를 기준으로 약 50%의 두께를 갖도록 구비된다. 즉, 마스크-바는 프레임 두께의 약 절반의 두께를 갖도록 구비되는 것이다.
이와 같이, 마스크-바의 두께가 프레임 두께의 약 절반을 갖도록 구비됨으로써 마스크 상부에 놓여지는 기판의 하중으로 인하여 마스크-바가 아래로 처지는 상황이 빈번하게 발생하고, 그 결과 박막을 증착할 때 스크라이브 라인이 오염되는 상황이 발생하고, 기판의 처짐으로 인하여 마스크-바 주변의 기판 일면에 박막이 잘 증착되지 않고, 더불어 마스크와 기판 사이의 얼라인에도 영향을 끼칠 수 있다.
이에, 언급한 바를 해결하기 위하여 마스크-바의 두께를 두껍게 형성할 경우에는 마스크-바의 처짐 현상은 방지할 수 있으나, 마스크-바 주변의 기판 일면에 박막이 증착되지 않는 문제점이 발생하기 때문에 마스크-바의 두께를 두껍게 형성하는 것도 한계가 있다.
본 발명의 목적은 마스크-바의 처짐 현상을 방지하도록 마스크-바의 두께를 두껍게 형성함에 불구하고 마스크-바 주변의 기판 일면에도 박막의 증착이 용이한 유기 박막 증착용 마스크를 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 증착용 마스크는 증착 챔버 저면에 구비되는 증착원으로부터 상기 증착 챔버 상부에 배치되는 기판 일면으로 증착 물질을 공급하여 상기 기판 일면에 박막을 증착할 때 상기 기판 일면 아래에 면접하도록 구비되는 유기 박막 증착용 마스크에 있어서, 상기 마스크는, 상기 기판 일면의 외곽 주변을 둘러싸도록 구비되는 프레임; 및 상기 프레임에 의해 지지되면서 상기 기판 일면의 스크라이브 라인과 일치하도록 배치되는 마스크-바;를 포함하고, 상기 마스크-바의 폭은 상기 스크라이브 라인의 폭과 동일하도록 구비하고, 상기 마스크-바의 두께는 상기 프레임의 두께의 60 내지 100%를 갖도록 구비하고, 상기 프레임과 상기 마스크-바 사이는 상기 기판 일면으로 상기 증착 물질이 공급되는 각도와 대응되는 각도를 갖는 홀들을 구비하는 스페이서를 포함할 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 증착용 마스크에서, 상기 마스크-바는 상기 기판 일면으로부터 아래로 갈수록 폭이 좁아지는 역삼각형 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
언급한 본 발명의 유기 박막 증착용 마스크에 따르면 마스크-바의 두께를 프레임의 두께의 60 내지 100%를 갖도록 구비함으로써 그 상부에 기판이 놓여져도 마스크-바가 처지는 현상을 충분하게 방지할 수 있다. 이에, 마스크-바의 처짐 현상을 방지함으로써 박막을 증착할 때 스크라이브 라인이 오염되는 것을 방지할 수 있고, 아울러 기판과 마스크의 얼라인을 보다 정확하게 수행할 수 있다.
또한, 마스크-바의 두께를 보다 두껍게 형성함에도 불구하고, 프레임과 마스크-바 사이에 기판 일면으로 증착 물질이 공급되는 각도와 대응되는 각도를 갖는 홀들을 갖는 스페이서를 구비함으로써 마스크-바 주변의 기판 일면에도 박막의 증착을 보다 용이하게 유도할 수 있다. 즉, 마스크-바의 두께를 두껍게 형성할 경우 마스크-바 주변의 기판 일면에 박막 증착이 잘 이루어지지 않으나, 본 발명에서는 언급한 스페이서를 구비하여 증착 물질을 마스크-바 주변의 기판 일면에도 보다 용이하게 공급되도록 함으로써 마스크-바 주변의 기판 일면으로도 박막의 증착이 잘 이루어질 수 있도록 하는 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 증착용 마스크를 나타내는 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1의 A-A를 자른 단면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 증착용 마스크를 나타내는 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1의 A-A를 자른 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 유기 박막 증착용 마스크(100)(이하, '마스크'라 함)는 프레임(11) 및 마스크-바(13)를 구비한다. 아울러 프레임(11) 및 마스크-바(13) 사이에는 스페이서(15)를 구비한다.
여기서, 언급한 마스크(100)는 증착 챔버 저면에 구비되는 증착원으로부터 증착 챔버 상부에 배치되는 기판(21) 일면으로 증착 물질을 공급하여 기판(21) 일면에 박막을 증착할 때 기판(21) 일면 아래에 면접하도록 구비된다. 즉, 유기 박막의 증착에서는 증착원으로부터 기화에 의해 생성되는 증착 물질을 상부로 공급하여 박막을 증착하기 때문에 언급한 증착원을 증착 챔버 아래에 구비시키고, 그리고 증착원과 마주하는 상부에 기판(21) 일면이 배치되도록 구비시키는 것이다. 그러므로 언급한 바와 같이 기판(21) 일면 아래에 기판(21) 일면과 면접되도록 마스크(100)가 구비되는 것이다.
언급한 마스크(100)에서, 프레임(11)은 기판(21) 일면의 외곽 주변을 둘러싸도록 구비될 수 있다. 즉, 프레임(11)은 기판(21) 일면에 직접적으로 면접하는 것이 아니라 기판(21) 일면의 외곽 주변을 둘러싸도록 구비되는 것으로 이해할 수 있다. 다시 말해, 프레임(11)은 그 내측면을 기준으로 프레임(11) 내측면에 박막 증착을 위한 기판(21)이 놓여지도록 구비될 수 있다.
언급한 마스크(100)에서, 마스크-바(13)는 프레임(11)에 의해 지지되도록 구비될 수 있다. 즉, 마스크-바(13)는 서로 마주하는 프레임(11) 양측을 연결하도록 구비될 수 있는 것이다. 특히, 마스크-바(13)는 기판(21) 일면과 일치하도록 배치될 수 있다. 다시 말해, 마스크-바(13)는 기판(21) 일면에 형성되는 스크라이브 라인과 일치되게 배치되도록 구비하는 것이다. 따라서 본 발명에서의 마스크-바(13)는 프레임(11)에 의해 지지되면서 기판(21) 일면의 스크라이브 라인과 일치하도록 배치될 수 있다.
여기서, 마스크-바(13)는 언급한 바와 같이 스크라이브 라인과 일치하도록 구비하기 때문에 마스크-바(13)의 폭은 스크라이브 라인의 폭과 일치하도록 구비할 수 있다.
그리고 마스크-바(13)의 두께가 프레임(11) 두께를 기준으로 약 60% 미만이면 마스크(100) 상부에 놓여지는 기판(21)의 하중으로 인하여 마스크-바(13)가 아래로 처지기 때문에 바람직하지 않고, 약 100%를 초과하면 프레임(11)으로부터 돌출되는 구조를 갖기 때문에 바람직하지 않다. 이에, 본 발명에서는 언급한 마스크-바(13)의 두께를 프레임(11)의 두께의 약 60 내지 100%를 갖도록 구비할 수 있다.
언급한 바와 같이, 마스크-바(13)의 두께를 프레임(11)의 두께의 약 60 내지 100%를 갖도록 구비할 경우에는 마스크-바(13)의 처짐 현상은 방지할 수 있으나, 마스크-바(13) 주변의 기판(21) 일면에 박막 증착이 잘 이루어지지 않을 수 있다. 따라서 본 발명에서는 스페이서(15)를 구비함으로써 마스크-바(13)의 두께가 프레임(11)의 두께의 약 60 내지 100%를 갖도록 구비함에도 불구하고 마스크-바(13) 주변의 기판(21) 일면에도 박막 증착이 잘 이루어지도록 할 수 있다.
언급한 스페이서(15)는 프레임(11)과 마스크-바(13) 사이의 오픈된 영역에 구비되는 것으로써, 기판(21) 일면으로 증착 물질이 공급되는 각도와 대응되는 각도를 갖는 홀(17)들을 구비할 수 있다. 즉, 스페이서(15)는 프레임(11)과 마스크-바(13) 사이에 다수개의 홀(17)로 이루어지는 것으로써, 홀(17)들 각각이 기판(21) 일면으로 증착 물질이 공급되는 각도와 대응되는 각도를 갖도록 구비되는 것이다.
이에, 언급한 스페이서(15)의 홀(17)들을 구비함으로써 스페이서(15)의 홀(17)들을 통하여 증착 물질이 기판(21) 일면으로 보다 용이하게 유도 및 공급됨으로써 마스크-바(13) 주변의 기판(21) 일면에도 박막 증착이 잘 이루어질 수 있는 것이다. 즉, 스페이서(15)가 없이 프레임(11)과 마스크-바(13) 사이가 오픈된 영역만으로 이루어지고, 마스크-바(13)의 두께가 프레임(11)의 두께를 기준으로 약 60 내지 100%를 갖도록 구비될 경우에는 마스크-바(13)가 마스크-바(13) 주변의 기판(21) 일면으로의 증착 물질의 공급을 방해할 수 있지만, 언급한 바와 같이 스페이서(15)를 구비함으로써 스페이서(15)의 홀(17)들 각각이 기판(21) 일면으로의 증착 물질의 공급을 보다 용이하게 유도할 수 있기 때문으로 마스크-바(13) 주변의 기판(21) 일면으로도 증착 물질의 공급을 보다 용이하게 유도함에 의해 마스크-바(13)의 두께가 프레임(11)의 두께를 기준으로 약 60 내지 100%를 갖도록 구비함에도 불구하고 마스크-바(13) 주변의 기판(21) 일면에도 박막 증착이 잘 이루어질 수 있는 것이다. 다시 말해, 프레임(11)과 마스크-바(13) 사이가 오프된 구조를 가질 경우에는 마스크-바(13) 자체가 마스크-바(13) 주변의 기판(21) 일면으로의 증착 물질의 공급을 방해할 수 있지만, 본 발명에서와 같이 프레임(11)과 마스크-바(13) 사이에 스페이서(15)를 구비함으로써 스페이서(15)의 홀(17)들을 통하여 기판(21) 일면으로의 증착 물질을 보다 용이하게 공급되도록 유도할 수 있기 때문에 언급한 같이 마스크-바(13)의 두께가 프레임(11)의 두께를 기준으로 약 60 내지 100%를 갖도록 구비함에도 불구하고 마스크-바(13) 주변의 기판(21) 일면에도 박막 증착이 잘 이루어질 수 있는 것이다.
언급한 바에 따르면, 본 발명의 마스크(100)는 마스크-바(13)의 두께를 프레임(11)의 두께의 60 내지 100%를 갖도록 구비함으로써 그 상부에 기판(21)이 놓여져도 마스크-바(13)가 처지는 현상을 충분하게 방지할 수 있다. 이에, 마스크-바(13)의 처짐 현상을 방지함으로써 박막을 증착할 때 스크라이브 라인이 오염되는 것을 방지할 수 있고, 아울러 기판(21)과 마스크(100)의 얼라인을 보다 정확하게 수행할 수 있다. 또한, 마스크-바(13)의 두께를 보다 두껍게 형성함에도 불구하고, 스페이서(15)를 구비함으로써 마스크-바(13) 주변의 기판(21) 일면에도 박막의 증착을 보다 용이하게 유도할 수 있다.
아울러, 언급한 마스크-바(13)는 기판(21) 일면으로부터 아래로 갈수록 폭이 좁아지는 역삼각형 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 특히, 마스크-바(13)가 역삼각형의 구조를 가질 경우 역삼각형의 각도 또한 기판(21) 일면으로 증착 물질이 공급되는 각도와 대응되는 각도를 갖도록 구비할 수 있다.
본 발명의 유기 박막 증착용 마스크는 마스크-바의 처짐 현상을 방지함으로써 박막을 증착할 때 스크라이브 라인이 오염되는 것을 방지할 수 있고, 아울러 기판과 마스크의 얼라인을 보다 정확하게 수행할 수 있고, 또한 스페이서를 구비함에 의해 마스크-바 주변의 기판 일면에도 박막의 증착을 보다 용이하게 유도할 수 있기 때문에 평판 디스플레이 제조에 따른 신뢰성의 향상을 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 프레임 13 : 마스크-바
15 : 스페이서 17 : 홀
21 : 기판 100 : 마스크

Claims (2)

  1. 증착 챔버 저면에 구비되는 증착원으로부터 상기 증착 챔버 상부에 배치되는 기판 일면으로 증착 물질을 공급하여 상기 기판 일면에 박막을 증착할 때 상기 기판 일면 아래에 면접하도록 구비되는 유기 박막 증착용 마스크에 있어서,
    상기 마스크는, 상기 기판 일면의 외곽 주변을 둘러싸도록 구비되는 프레임; 및 상기 프레임에 의해 지지되면서 상기 기판 일면의 스크라이브 라인과 일치하도록 배치되는 마스크-바;를 포함하고,
    상기 마스크-바의 폭은 상기 스크라이브 라인의 폭과 동일하도록 구비하고, 상기 마스크-바의 두께는 상기 프레임의 두께의 60 내지 100%를 갖도록 구비하고, 상기 프레임과 상기 마스크-바 사이는 상기 기판 일면으로 상기 증착 물질이 공급되는 각도와 대응되는 각도를 갖는 홀들을 구비하는 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착용 마스크.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 마스크-바는 상기 기판 일면으로부터 아래로 갈수록 폭이 좁아지는 역삼각형 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착용 마스크.
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