KR20130007005A - 패턴 형성용 마스크 및 유기 발광 표시 장치 - Google Patents

패턴 형성용 마스크 및 유기 발광 표시 장치 Download PDF

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KR20130007005A
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Abstract

유기 발광 표시 장치는, 발광 영역과 비발광 영역을 갖는 기판, 발광 영역의 기판 상에 배치되는 제1 전극, 제1 전극 상에 배치되는 제1 유기층 패턴, 제1 유기층 패턴 상에 배치되는 제2 전극, 비발광 영역의 기판 상에 배치되며, 외측 방향으로 실질적으로 감소되는 길이를 갖는 제2 유기층 패턴들 등을 포함할 수 있다. 제2 유기층 패턴들에 의해 제1 유기층 패턴이 균일하면서도 향상된 구조적 안정성을 확보하여 제1 유기층 패턴들의 손상과 변형을 방지할 수 있고, 표시 패널의 불량을 감소시킬 수 있다.

Description

패턴 형성용 마스크 및 유기 발광 표시 장치{MASK FOR FORMING PATTERNS AND ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE}
본 발명은 패턴 형성용 마스크 및 유기 발광 표시(OLED) 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 유기층 패턴을 균일하고 안정적으로 형성할 수 있는 패턴 형성용 마스크 및 이러한 마스크를 이용하여 수득되는 유기 발광 표시 장치에 관한 것이다.
일반적으로 유기 발광 표시 장치에 있어서, 대응되는 전극들 사이에 유기 발광층이 제공되며, 상기 전극들에 전기적인 신호를 인가함에 따라 발생되는 상기 유기 발광층의 발광으로부터 영상을 표시할 수 있다. 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓으며, 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답 시간이 빠르다는 장점을 가지고 있다. 유기 발광 표시 장치의 유기 발광층이 저분자 물질로 구성되는 경우, 통상적으로 진공 증착 공정을 이용하여 상기 유기 발광층을 형성한다. 이러한 진공 증착 공정을 통해, 소정의 형상으로 유기층 패턴을 형성하는 경우, 복수의 슬릿 패턴들을 갖는 마스크가 사용되고 있다. 상기 마스크는 통상적으로 얇은 금속 박막 형태로 제조되기 때문에 복수의 슬릿들을 갖는 마스크의 각 부분에 따라 마스크에 걸리는 장력이 다르게 나타난다.
도 1은 종래의 유기 발광 표시 장치의 유기층을 형성하기 위하여 슬릿들을 구비하는 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 기판의 전체 면적과 대응하는 사이즈를 갖는 마스크(10)에는 상기 기판의 표시 영역에 대응하는 제1 영역(20)에 다수의 슬릿(12)들이 형성되어 있다. 이러한 슬릿(12)들은 일정한 길이와 폭을 가지며, 소정의 간격을 개재하여 서로 나란하게 배치된다. 한편, 상기 표시 영역의 유기층들이 일정한 폭으로 배열되는 여부를 검사하기 위하여, 제1 영역(20)의 양측부인 제2 영역(22)에 더미 슬릿(15)들이 마련된다. 이와 같은 슬릿(12)들과 더미 슬릿(15)들은 마스크(10)의 기재(11)를 관통하여 형성된다. 종래의 유기 발광 표시 장치의 제조 과정에 있어서, 마스크(10)를 유기층 형성 공정에 사용하기에 앞서 마스크(10)에 대한 스트레칭(stretching) 공정, 프레임으로의 부착 공정 등이 수행된다.
마스크(10)는 통상적으로 금속 박막을 사용하여 제조되며, 이에 따라 마스크(10)는 부분적으로 인가되는 장력(tension)이 다르게 나타난다. 이를 방지하기 위하여, 마스크(10)를 잡아당겨 마스크(10)의 전체 영역에 걸쳐 균일한 장력을 갖도록 스트레칭 공정을 수행하고 있다. 상기 스트레칭 공정 후에 절단 예정선(L)을 따라서 절단 공정을 수행하여 슬릿(12)들이 형성되지 않은 기재(11)의 외곽부를 제거한 후에, 상기 표시 기판 상에 유기층들을 형성하는 공정을 진행한다. 전술한 마스크(10)의 스트레칭 공정에 있어서, 마스크(10)의 에지부들은 구동 수단에 연결된 다수의 그립퍼(gripper)(도시되지 않음)가 물려지며, 각 그립퍼는 도 1에 화살표로 도시한 방향으로 마스크(10)를 잡아당기게 된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 마스크(10)를 잡아당기는 경우, 슬릿(12)들과 더미 슬릿(15)들에는 필연적으로 휨, 찌그러짐 등의 변형이 발생한다. 이 때, 마스크(10)의 중심에서 먼 슬릿일수록 변형의 정도가 더 심해지며, 또한 마스크(10)의 코너로 갈수록 슬릿들의 변형이 보다 심각해진다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 더미 슬릿(15)을 마스크(10)에 추가적으로 형성하고 있으나, 더미 슬릿(15)들을 형성하더라도 슬릿(12)들의 변형에 기인하는 표시 기판 상의 유기층들의 형상 변화를 방지하기는 쉽지 않으며, 오히려 표시 기판의 비발광 영역의 면적이 지나치게 증가하여 발광 영역의 면적이 감소되는 문제점이 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 목적은 슬릿들의 변형이나 파손을 방지할 수 있는 구조를 갖는 패턴 형성용 마스크를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 변형이나 파손이 발생하지 않고 균일하고 안정적인 구조를 갖는 유기층 패턴들을 포함하는 유기 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상술한 과제에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 패턴 형성용 마스크는 제1 영역에 배치되어 실질적으로 동일한 길이를 가지는 제1 슬릿들과 제2 영역에 배치되어 외측 방향을 향해 실질적으로 감소되는 길이를 가지는 제2 슬릿들을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 영역은 상기 제1 영역의 양측에 인접할 수 있으며, 상기 마스크는 상기 제1 및 제2 영역의 양측에 인접하는 제3 영역을 추가적으로 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제3 영역에는 실질적으로 동일한 길이를 가지는 제3 슬릿들을 배치될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 슬릿들 및 상기 제2 슬릿들은 각기 실질적으로 라운드진 단부를 가질 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치는, 발광 영역과 비발광 영역을 갖는 기판, 상기 발광 영역의 상기 기판 상에 배치되는 제1 전극, 상기 제1 전극 상에 배치되는 제1 유기층 패턴, 상기 제1 유기층 패턴 상에 배치되는 제2 전극, 그리고 상기 비발광 영역의 상기 기판 상에 배치되며, 상기 기판의 외측 방향으로 실질적으로 감소되는 길이를 갖는 제2 유기층 패턴들을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 유기층 패턴들은 각기 실질적으로 라운드진 단부를 가질 수 있다. 상기 제2 유기층 패턴들은 상기 제1 유기층 패턴의 폭과 동일하거나 약 50μm 이내의 범위에서 큰 폭을 가질 수 있다. 또한, 상기 제2 유기층 패턴들은 각기 상기 제1 유기층 패턴의 길이 보다 실질적으로 작은 길이를 가질 수 있다. 한편, 상기 제2 유기층 패턴들은 각기 상기 제1 유기층 패턴과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
다른 예시적인 실시예들에 따르면, 상기 비발광 영역에서 상기 제2 유기층 패턴들에 인접하는 제3 유기층 패턴들을 배치될 수 있다. 상기 제3 유기층 패턴들은 각기 상기 제2 유기층 패턴과 실질적으로 동일한 폭을 가질 수 있으며, 상기 제2 유기층 패턴들보다 실질적으로 작은 길이를 가질 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 유기층 패턴 형성용 마스크는 비발광 영역에서 외측으로 갈수록 그 길이가 감소되는 슬릿들을 구비하기 때문에, 비발광 영역의 면적의 증가 없이 스트레칭 공정 시에 마스크의 에지부와 모서리 집중되는 응력을 효과적으로 완화시켜 발광 영역의 슬릿들의 변형이나 파손을 방지할 수 있다. 이러한 마스크를 이용하여 유기 발광 표시 장치를 제조할 경우, 비발광 영역에 외측 방향을 따라 그 길이가 감소되는 유기층 패턴들이 배치되기 때문에, 발광 영역에 균일하고 안정적으로 유기층 패턴들을 형성할 수 있다. 이에 따라 상기 유기 발광 표시 장치의 비발광 영역의 추가적인 면적의 증가 없이 유기층 패턴들의 손상과 변형을 방지할 수 있고, 표시 패널의 불량을 감소시킬 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과로 제한되는 것은 아니며, 상기에서 언급되지 않은 다른 효과들은 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 종래의 유기 발광 표시 장치의 유기층을 형성하기 위한 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 유기층 패턴 형성용 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 유기층 패턴 형성용 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 유기층 패턴들을 나타내는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 유기층 패턴들을 나타내는 평면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 패턴 형성용 마스크 및 유기 발광 표시 장치를 상세하게 설명한다. 본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되는 것은 아니다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면에 있어서, 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사한 구성 요소들에 대해서는 동일하거나 유사한 참조 부호를 사용한다.
제1, 제2, 제3 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들이 상기 용어들에 의해 한정되는 것은 아니다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 또는 제3 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 또는 제3 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 인접하는"과 "~에 직접 인접하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 유기층 패턴을 형성하기 위한 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 2를 참조하면, 표시 기판 상에 유기층 패턴을 형성하기 위한 마스크(50)는 제1 영역(I)에 배치되는 제1 슬릿(slit)(55)들과 제1 영역(I)에 인접하는 제2 영역(II)에 위치하는 제2 슬릿(60,61, 70, 71)들을 포함한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 마스크(50)의 제1 영역(I)은 유기 발광 표시 장치의 발광 영역에 실질적으로 대응될 수 있으며, 제2 영역(II)은 상기 유기 발광 표시 장치의 비발광 영역에 실질적으로 대응될 수 있다. 즉, 마스크(50) 제1 영역(I)에는 상기 유기 발광 표시 장치의 표시 기판의 발광 영역에 제1 유기층 패턴들(도시되지 않음)을 형성하기 위한 복수의 제1 슬릿들(55)이 배치될 수 있다. 마스크(50)의 제2 영역(II)은 제1 영역(I)의 양측에 인접할 수 있다. 예를 들면, 2개의 제2 영역(II)들이 제1 영역(I)의 좌측 및 우측에 인접할 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 있어서, 2개의 제2 영역(II)들이 제1 영역(I)의 상측 및 하측에 인접할 수도 있다. 마스크(50)의 제2 영역(II)에는 상기 표시 기판의 비발광 영역에 제2 유기층 패턴(도시되지 않음)들을 형성하기 위한 복수의 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)이 배치된다. 이 경우, 상기 제2 유기층 패턴들은 상기 유기 발광 표시 장치의 비발광 영역에 배치되는 더미 패턴(dummy pattern)들에 해당될 수 있다. 또 다른 예시적인 실시예들에 따르면, 마스크(50)의 제2 영역(II)은 제1 영역(I)의 좌측, 우측. 상측 및 하측에 인접하여 배치될 수도 있다. 예를 들면, 마스크(50)는 4개의 제2 영역(II)들이 제1 영역(I)을 실질적으로 둘러싸는 구성을 가질 수도 있다.
다시 도 2를 참조하면, 마스크(50)의 제1 영역(I)에 위치하는 제1 슬릿들(55)은 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사한 길이, 폭 등의 치수(dimension)를 가질 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 제1 슬릿들(55)은 실질적으로 동일한 간격으로 이격될 수 있으며, 이러한 제1 슬릿들(55) 사이의 간격은 상기 발광 영역에 배치되는 화소들(pixels) 사이의 간격에 실질적으로 대응될 수 있다. 또한, 제1 슬릿들(55)은 각기 실질적으로 반원의 형상, 실질적으로 반타원의 형상, 실질적으로 트랙의 형상 등과 같이 라운드진(rounded) 형상의 단부를 구비할 수 있다. 그러나 각 제1 슬릿들(55)의 단부의 형상은 상기 유기 발광 표시 장치의 제1 유기층 패턴들의 형상에 따라 변화될 수 있다.
마스크(50)의 제2 영역(II)에 있어서, 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)은 각기 제1 슬릿들(55)에 비하여 실질적으로 작은 길이를 가질 수 있다. 또한, 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)은 각기 제1 슬릿들(55)에 비하여 실질적으로 넓은 간격으로 이격될 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)은 마스크(50)의 외측 방향을 향하여 점차 감소되는 길이를 가질 수 있다. 도 2에 있어서는 설명의 편의를 위하여 제2 영역(II)에 배치되는 4개의 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)을 도시하였으나, 실질적으로 복수의 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)이 제2 영역(II)에 위치할 수 있다. 이 경우, 제1 영역(I)에 인접하는 제2 슬릿들(60, 70)로부터 이들에 인접하는 제2 슬릿들(61, 71)이 점차 감소되는 길이를 가질 수 있다. 예를 들면, 제1 영역(I)의 좌측에 위치하는 좌측 제2 슬릿들(60, 61)은 좌측 방향으로 갈수록 그 길이가 실질적으로 감소될 수 있고, 제1 영역(I)의 우측에 위치하는 우측 제2 슬릿들(70, 71)은 우측 방향으로 갈수록 실질적으로 그 길이가 감소될 수 있다.
전술한 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)의 길이 변화에 따라 상기 유기 발광 표시 장치의 비발광 영역에 형성되는 상기 제2 유기층 패턴들도 실질적으로 서로 상이한 길이를 가질 수 있다. 또한, 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)도 각기 실질적으로 반원의 형상, 실질적으로 반타원의 형상, 실질적으로 트랙의 형상 등과 같이 라운드진 형상의 단부를 구비할 수 있다. 그러나 이러한 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)의 단부들의 형상들은 상기 제2 유기층 패턴들의 형상에 따라 변화될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 상기 표시 기판의 비발광 영역에 해당되는 제2 영역(II)의 외측에 인접할수록 그 길이가 감소되는 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)을 구비하는 마스크(50)를 이용하여 상기 표시 기판 상에 제1 및 제2 유기층 패턴들을 형성할 경우, 상기 비발광 영역의 추가적인 면적의 증가 없이 스트레칭 공정 시에 마스크(50)의 모서리들에 집중되는 응력으로 인하여 마스크(50)의 에지부가 변형되는 것을 최소화할 수 있으므로, 제1 및 제2 슬릿들(55, 60, 61, 70, 71)의 형상 변화를 방지할 수 있다. 이에 따라, 상기 발광 영역 및 상기 비발광 영역에 형성되는 상기 제1 및 제2 유기층 패턴들의 변형을 방지할 수 있으므로, 상기 유기 발광 표시 장치의 화소들의 사이즈의 균일성을 확보할 수 있으며, 인접하는 화소 영역들 사이에서 발생되는 혼색 불량을 방지할 수 있다. 즉, 제1 및 제2 슬릿들(55, 60, 61, 70, 71)을 구비하는 마스크(50)를 사용하여 상기 표시 기판 상에 상기 제1 및 제2 유기층 패턴들을 형성할 경우에는, 스트레칭 과정에서 발생하는 마스크(50)의 찌그러짐, 휨 등의 변형이 보상될 수 있으며, 이에 따라 상기 제1 및 제2 유기층 패턴들이 상기 표시 기판 상에 정확하고 균일하게 형성될 수 있다. 이러한 구성을 갖는 마스크(50)를 이용하여 특히 대면적을 갖는 유기 발광 표시 장치를 보다 용이하게 제조할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 유기층 패턴들을 형성하기 위한 마스크를 나타내는 평면도이다.
도 3을 참조하면, 유기층 패턴 형성용 마스크(100)는 제1 영역(III), 제2 영역(IV) 및 제3 영역(V)을 포함할 수 있다. 마스크(100)의 제1 영역(III)은 유기 발광 표시 장치의 발광 영역에 실질적으로 대응될 수 있으며, 마스크(100)의 제2 영역(IV) 및 제3 영역(V)은 상기 유기 발광 표시 장치의 비발광 영역에 실질적으로 대응될 수 있다. 예시적인 실시예들에 따른 마스크(100)에 있어서, 제2 및 제3 영역(IV, V)이 제1 영역(I)을 실질적으로 둘러싸는 구성을 가질 수 있다. 예를 들면, 제1 영역(I)의 좌측 및 우측에 2개의 제2 영역(II)이 배치될 수 있고, 제1 영역(I)의 상측 및 하측에 2개의 제3 영역(III)이 위치할 수 있다.
마스크(100)의 제1 영역(I)에는 복수의 제1 슬릿들(105)이 위치할 수 있다. 여기서, 제1 슬릿들(105)은 도 1을 참조하여 설명한 제1 슬릿들(55)과 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사한 치수, 형상, 배열 간격 등을 가질 수 있다. 이러한 제1 슬릿들(105)에 의해 상기 유기 발광 표시 장치의 기판의 발광 영역에는 상에는 복수의 제1 유기층 패턴들이 형성될 수 있다.
마스크(100)의 제2 영역(IV)에 배치되는 복수의 제2 슬릿들(110, 111, 120, 121)은 도 1을 참조하여 설명한 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)과 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사한 형상, 치수, 배열 간격 등을 가질 수 있다. 제2 슬릿들(110, 111, 120, 121)에 의해서 상기 기판의 비발광 영역의 일측에 복수의 제2 유기층 패턴들이 형성될 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 유기층 패턴들은 상기 기판의 일측 상에 잔류하는 제1 더미 패턴들에 해당될 수 있다.
마스크(100)의 제3 영역(VI)에 있어서, 복수의 제3 슬릿들(130)이 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사한 형상을 가지면서 소정의 간격으로 배열될 수 있다. 이와 같은 제3 슬릿들(130)에 의해 상기 기판의 비발광 영역의 타측에는 복수의 제3 유기층 패턴들이 형성될 수 있다. 예시적인 실시예들에 따르면, 상기 제3 유기층 패턴들은 상기 기판의 타측 상에 잔류하는 제2 더미 패턴들에 해당될 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 따르면, 상기 제3 유기층 패턴들은 상기 기판으로부터 제거될 수도 있다. 제3 슬릿들(130)은 각기 제1 슬릿들(105) 및/또는 제2 슬릿들(110, 111, 120, 121) 보다 실질적으로 작은 치수를 가질 수 있다. 또한, 제3 슬릿들(130)은 각기 실질적으로 반원형의 단부, 실질적으로 반타원형의 단부, 실질적으로 트랙 형상의 단부 등과 같이 라운드진 형상의 단부를 가질 수 있다. 전술한 바와 같이, 제3 슬릿들(130)의 단부들의 형상들은 상기 제3 유기층 패턴들의 형상에 따라 달라질 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 마스크(100)의 제3 영역(V)은 제1 및 제2 영역(III, IV)의 상측 및 하측에 각기 위치할 수 있다. 예를 들면, 마스크(100)는 하나의 제1 영역(III), 2개의 제2 영역(IV)들 및 2개의 제3 영역(V)들을 포함할 수 있다. 이 경우, 제3 영역(V)들은 제1 및 제2 영역(III, IV)의 일측들과 제1 및 제2 영역(III, IV)의 타측들에 인접할 수 있다. 마스크(100)의 제3 영역(III)에 배치되는 제3 슬릿들(130)은 상기 기판 상에 형성되는 상기 제1 유기층 패턴들의 사이즈를 검사하기 위한 모니터링 유기층 패턴들을 형성하기 위하여 제공될 수 있다. 또한, 제3 영역(V)의 제3 슬릿들(130)로부터 마스크(100)의 상부 및/또는 하부에 인가되는 스트레스를 차단하기 위하여 상기 기판 상에 제2 더미 유기층 패턴들이 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 제2 더미 유기층 패턴들은 상기 기판 상에 잔류할 수도 있지만, 상기 기판으로부터 제거될 수도 있다.
도 4는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4를 참조하면, 상기 유기 발광 표시 장치는 기판(150) 상에 복수의 화소들(155)이 매트릭스 형상으로 배열된 구성을 가질 수 있다. 예시적인 실시예들에 따라, 상기 유기 발광 표시 장치가 수동형 발광 방식을 가질 경우에는 화소들(155)은 각기 기판(150) 상에 배치되는 제1 전극(도시되지 않음), 유기층 패턴들(도시되지 않음), 제2 전극(도시되지 않음) 등을 포함할 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 따라 상기 유기 발광 표시 장치가 능동형 발광 방식을 가지는 경우, 기판(150) 상에는 화소들(155)에 전기적으로 연결되는 스위칭 소자가 추가적으로 제공될 수 있다. 예를 들면, 상기 스위칭 소자는 산화물 반도체 소자, 박막 트랜지스터(TFT) 등을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 박막 트랜지스터는 게이트 전극, 게이트 절연막, 액티브층, 소스 전극, 드레인 전극 등을 포함할 수 있으며, 각 화소들(155)의 제1 전극은 상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극에 전기적으로 접속될 수 있다.
화소들(155)은 각기 상기 유기 발광층 패턴에 따라 적색(R) 화소, 녹색(G) 화소, 청색(B) 화소 등으로 구분될 수 있다. 복수의 화소들(155)에 의해 상기 유기 발광 표시 장치의 표시 영역(160)이 정의되며, 이러한 표시 영역(160)의 외측에 비표시 영역(165)이 정의된다. 예를 들면, 기판(150)의 중앙부가 표시 영역(160)에 대응될 수 있으며, 기판(150)의 주변부는 비표시 영역(165)에 대응될 수 있다. 또한, 기판(150)의 표시 영역(160)은 발광 영역과 비발광 영역으로 구분될 수 있다. 상술한 바와 같이, 기판(150)의 발광 영역에는 제1 유기층 패턴들(도시되지 않음)이 배치될 수 있으며, 기판(150)의 비발광 영역에는 제2 유기층 패턴들(도시되지 않음)이 위치할 수 있다. 또한, 상기 비발광 영역에는 제3 유기층 패턴들(제2 더미 패턴들)(도시되지 않음)이 추가적으로 배치될 수도 있다. 이러한 제1 내지 제3 유기층 패턴들은 도 2를 참조하여 설명한 마스크(50) 또는 도 3을 참조하여 설명한 마스크(100)를 이용하여, 상기 발광 영역 및 상기 비발광 영역에서 변형 또는 형상의 불균일성이 없이 정확한 형상을 가지면서 균일하게 형성될 수 있다.
상기 유기 발광 표시 장치의 화소(155)들에 구동 신호가 인가될 경우, 화소들(155)은 각기 해당하는 색광을 방출할 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 상기 유기 발광 표시 장치는 상기 제1 유기층 패턴들과 상기 제2 유기층 패턴들(제1 더미 패턴들)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 유기층 패턴들이 색광들을 방출할 수 있으며, 상기 제2 유기층 패턴들은 발광에 관여하지 않을 수 있다. 다른 예시적인 실시예들에 따르면, 상기 유기 발광 표시 장치는, 상기 제1 유기층 패턴들, 상기 제2 유기층 패턴들 및 제3 유기층 패턴들(제2 더미 패턴들)을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 제2 및 제3 유기층 패턴들은 발광에 관여하지 않을 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타내는 단면도이다. 예를 들면, 도 4를 참조하여 설명한 유기 발광 표시 장치를 VII-VIII 선을 따라 절단할 경우에 도 5에 도시한 유기 발광 표시 장치가 얻어질 수 있다.
도 5를 참조하면, 상기 유기 발광 표시 장치는, 기판(200), 기판(200) 상에 형성되는 스위칭 소자, 이와 같은 스위칭 소자에 전기적으로 연결되는 제1 전극(260), 유기 발광층 패턴, 제2 전극(275) 등을 포함한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 유기 발광층 패턴은 제1 유기층 패턴(270)들과 제2 유기층 패턴들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 제1 유기층 패턴(270)들은 기판(200)의 발광 영역에 위치하는 제1 전극(260) 상에 배치될 수 있으며, 상기 제2 유기층 패턴들은 기판(200)의 비발광 영역에 위치할 수 있다. 상기 제2 유기층 패턴들은 각기 제1 유기층 패턴(270)들보다 실질적으로 작은 길이를 가질 수 있다. 또한, 상기 제2 유기층 패턴들 사이의 이격 거리는 제1 유기층 패턴들(270) 사이의 이격 거리 보다 실질적으로 클 수 있다. 이러한 제1 유기층 패턴들(270) 및 상기 제2 유기층 패턴들의 구성에 대해서는 후술한다.
상기 스위칭 소자는 박막 트랜지스터를 포함할 수 있다. 이 때, 상기 박막 트랜지스터는 기판(200) 상에 배치되는 버퍼층(205) 상에 제공될 수 있다. 예시적인 실시예들에 있어서, 상기 박막 트랜지스터는, 반도체층, 게이트 절연막(225), 게이트 전극(230), 층간 절연막(235), 소스 전극(240), 드레인 전극(245) 등을 포함한다. 상기 반도체층은 소스 영역(210), 드레인 영역(215) 및 채널 영역(220)을 포함한다.
상기 반도체층은 버퍼층(205) 상에 배치된다. 상기 반도체층은 비정질 실리콘 또는 다결정 실리콘으로 이루어질 수 있다. 불순물들의 주입에 따라 상기 반도체층은 소스 영역(210) 및 드레인 영역(215)으로 구분되며, 이에 따라 채널 영역(220)이 정의된다. 게이트 절연막(225)은 상기 반도체층을 커버하며 버퍼층(205) 상에 위치한다. 게이트 절연막(225) 중에서 아래에 채널 영역(220)이 위치하는 부분 상에 게이트 전극(230)이 배치된다.
층간 절연막(235)은 게이트 전극(230)을 덮으며 게이트 절연막(225) 상에 위치한다. 소스 전극(240)과 드레인 전극(245)은 각기 층간 절연막(235)을 관통하여 소스 영역(210)과 드레인 영역(215)에 접속된다. 층간 절연막(235) 상에는 상기 스위칭 소자를 커버하는 보호막(250)이 배치되며, 보호막(250) 상에는 실질적으로 평탄한 상면을 가지는 절연층(255)이 위치한다. 다른 예시적인 실시예들에 따르면, 보호막(250)을 구비하지 않고 절연층(255)이 상기 스위칭 소자를 덮도록 직접 층간 절연막(235) 상에 배치될 수도 있다.
제1 전극(260)은 절연층(255)과 보호층(250)을 관통하여 상기 스위칭 소자의 드레인 전극(245)에 접속된다. 다른 예시적인 실시예들에 있어서, 절연층(255) 및 보호층(250)에 드레인 전극(245)을 노출시키는 홀이 제공될 수 있으며, 이러한 홀을 채우는 콘택 구조물이 배치될 수 있다. 이 경우, 제1 전극(260)은 상기 콘택 구조물을 통해 상기 스위칭 소자에 전기적으로 연결될 수 있다.
제1 전극(260) 상에는 제1 전극(260)을 부분적으로 노출시키는 개구부를 포함하는 화소 정의막(265)이 배치된다. 제1 유기층 패턴(270)은 노출된 제1 전극(260)과 화소 정의막(265) 상에 위치하며, 제1 유기층 패턴(270) 상에는 제2 전극(275)이 배치된다.
예시적인 실시예들에 있어서, 제1 유기층 패턴(270)은 정공 주입층(HIL), 정공 수송층(HTL), 전자 수송층(ETL), 전자 주입층(EIL) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 한편, 기판(200)의 비발광 영역에 배치되는 상기 제2 유기층 패턴은 제1 유기층 패턴(270)과 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사한 구성을 가질 수 있다.
적색(R) 화소, 녹색(G) 화소 및 청색(B) 화소에 따라 제1 유기층 패턴(270)은 적색(R) 유기층 패턴, 녹색(G) 유기층 패턴 및 청색(B) 유기층 패턴으로 구분될 수 있다. 한편, 상기 적색 유기층 패턴, 상기 녹색 유기층 패턴 및 상기 청색 유기층 패턴 중에서 적어도 하나는 인광 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 적색 유기층 패턴이 CBP(carbazole biphenyl) 또는 mCP(1,3-bis(carbazol-9-yl)를 포함하는 호스트 물질 등을 포함할 수 있으며, PIQIr(acac)(bis(1-phenylisoquinoline) acetylacetonate iridium), PQIr(acac)(bis(1-phenylquinoline) acetylacetonate iridium), PQIr(tris(1-phenylquinoline)iridium), PtOEP(octaethylporphyrin platinum) 등을 함유하는 도펀트를 추가적으로 포함하는 인광 물질로 이루어질 수 있다. 상기 녹색 유기층 패턴은 CBP 또는 mCP를 포함하는 호스트 물질을 포함할 수 있으며, Ir(ppy)3(fac tris(2-phenylpyridine)iridium)을 함유하는 도펀트 물질을 포함하는 인광 물질로 구성될 수도 있다. 이와는 달리 상기 녹색 유기층 패턴은 Alq3(tris(8-hydroxyquinolino )aluminum)을 포함하는 형광 물질로 이루어질 수도 있다. 또한, 상기 청색 유기층 패턴이 CBP 또는 mCP를 포함하는 호스트 물질을 포함할 수 있으며, (4,6-F2ppy)2Irpic을 함유하는 도펀트 물질을 포함하는 인광 물질로 구성될 수도 있다. 한편, 상기 청색 유기층 패턴은 spiro-DPVBi, spiro-6P, 디스틸벤젠(DSB), 디스트릴아릴렌(DSA), PFO계 고분자, PPV계 고분자 등을 포함하는 형광 물질로 이루어질 수도 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 제1 유기층 패턴(270)들은 각기 기판(200)의 발광 영역 내에서 라인(line) 또는 바(bar)의 형상으로 연장될 수 있다. 상기 제2 유기층 패턴들은 상기 발광 영역의 양측에 위치하는 비발광 영역에 배치될 수 있으며, 상기 비발광 영역의 외측에 인접될수록 그 길이가 점점 감소되는 라인 형상 또는 바의 형상을 가질 수 있다. 여기서, 상기 제2 유기층 패턴들은 적색광, 녹색광 또는 청색광의 발생에는 관여하지 않는 더미 패턴에 해당될 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 유기층 패턴들은 제1 유기층 패턴(270)들의 좌측 및 우측 또는 상측 및 하측에 인접하여 배치될 수 있다. 기판(200)의 발광 영역 내에서 좌측 영역에 위치하는 상기 제2 유기층 패턴들은 좌측으로 갈수록 그 길이가 감소될 수 있으며, 상기 발광 영역 내에서 우측 영역에 배치되는 상기 제2 유기층 패턴들은 우측으로 갈수록 그 길이가 감소될 수 있다.
도 6은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 유기층 패턴들을 설명하기 위한 평면도이다. 도 6에 도시한 유기층 패턴들은 도 2를 참조하여 설명한 마스크(50)와 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사한 구성을 가지는 마스크를 이용하여 수득될 수 있다.
도 6을 참조하면, 유기 발광 표시 장치의 기판(300) 상에는 제1 유기층 패턴들(305)과 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)이 배치된다. 제1 유기층 패턴들(305)은 기판(300)의 발광 영역(301)에 위치하며, 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)이 배치된다. 기판(300)의 발광 영역(301)에는 도 5를 참조하여 설명한 바와 유사하게 스위칭 소자, 제1 전극, 화소 정의막, 제2 전극 등이 배치될 수 있다. 여기서, 제1 유기층 패턴들(305)은 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 개재될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 제1 유기층 패턴들(305)은 도 2를 참조하여 설명한 마스크(50)의 제1 슬릿들(55)을 이용하여 형성될 수 있으며, 적색 유기층 패턴들, 녹색 유기층 패턴들, 청색 유기층 패턴들 등을 포함할 수 있다. 예를 들면, 제1 유기층 패턴들(305)은 각기 실질적으로 반원형의 형상, 실질적으로 반타원형의 형상, 실질적으로 트랙의 형상 등과 같이 실질적으로 라운드진 형상의 단부를 가질 수 있다. 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)은 도 2를 참조하여 설명한 마스크(50)의 제2 슬릿들(60, 61, 70, 71)을 통해 형성될 수 있다. 예를 들면, 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)은 제1 유기층 패턴들(305)의 좌측 및 우측 방향 또는 상측 및 하측 방향으로 인접하여 배치될 수 있다. 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)은 발광에는 실질적으로 관여하지 않으면서, 제1 유기층 패턴들(305)의 변형 또는 파손을 방지하여 패널의 불량을 개선시킬 수 있는 더미 유기층 패턴들에 해당될 수 있다. 특히, 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)은 기판(300)에 에지 부위 및 모서리에 집중되는 스트레스를 완화시키기 위해 비발광 영역(302)의 외측 방향을 향하여 그 길이가 점점 감소되는 라인의 형상 또는 바의 형상을 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 일측 비발광 영역(302)에 위치하는 제2 유기층 패턴들(310, 311)은 도 2를 참조하여 설명한 마스크(50)의 제2 슬릿들(60, 61)과 실질적으로 대응되는 형상들을 가질 수 있으며, 좌측 방향으로 갈수록 그 길이가 감소할 수 있다. 한편, 타측 발광 영역(302)에 위치하는 제2 유기층 패턴들(320, 321)은 도 2를 참조하여 설명한 마스크(50)의 제2 슬릿들(70, 71)과 실질적으로 대응되는 형상들을 가질 수 있으며, 우측 방향으로 갈수록 그 길이가 감소할 수 있다. 또한, 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)은 각기 실질적으로 반원형의 형상, 실질적으로 반타원형의 형상, 실질적으로 트랙의 형상 등과 같이 실질적으로 라운드진 형상의 단부를 가질 수 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)은 각기 제1 유기층 패턴들(305)과 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사한 구성을 가질 수 있다. 여기서, 각각의 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)은 각 제1 유기층 패턴들(305)과 실질적으로 동일하거나 약 50μm 이내의 범위에서 실질적으로 큰 폭을 가질 수 있는 반면, 제1 유기층 패턴들(305)보다 실질적으로 짧은 길이를 가질 수 있다. 예를 들면, 제1 유기층 패턴들(305)이 적색 유기층 패턴, 녹색 유기층 패턴, 청색 유기층 패턴이 적층된 구조를 가질 경우, 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)은 각기 적색 유기층 패턴, 녹색 유기층 패턴 및/또는 청색 유기층 패턴을 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이, 발광 영역(301)의 제1 유기층 패턴들(305)과 별도로 비발광 영역(302)에 점차적으로 감소되는 길이를 갖는 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)을 구비하는 유기 발광 표시 장치에 있어서, 기판(300)의 에지부와 모서리에 집중되는 응력을 완화시킬 수 있으며, 이에 따라 발광 영역(301)에 변형이 없이 원하는 구조를 갖는 제1 유기층 패턴들(305)을 균일하게 형성할 수 있으며, 비발광 영역(302)의 면적을 증가시키지 않고 패널의 불량을 감소시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치의 유기층 패턴들을 설명하기 위한 평면도이다. 예를 들면, 도 7에 도시한 유기층 패턴들은 도 3을 참조하여 설명한 마스크(100)와 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사한 구성을 가지는 마스크를 사용하여 수득될 수 있다.
도 7에 도시한 바와 같이, 기판(350)은 제1 영역(351), 제2 영역(352) 및 제3 영역(353)으로 구분될 수 있다. 여기서, 제1 영역(351)은 유기 발광 표시 장치의 발광 영역에 해당될 수 있으며, 제2 영역(352)과 제3 영역(353)은 상기 유기 발광 표시 장치의 비발광 영역에 해당될 수 있다.
기판(350)의 제2 영역(352)은 제1 영역(351)의 좌측 및 우측에 인접하여 배치될 수 있으며, 제3 영역(352)은 제1 및 제2 영역(351, 352)의 상측 및 하측에 인접하여 배치될 수 있다. 기판(350)의 제1 영역(351)에는 제1 유기층 패턴들(355)이 배치되고, 제2 영역(352)에는 제2 유기층 패턴들(360, 361, 365, 366)이 위치한다. 또한, 기판(350)의 제3 영역(353)에는 제3 유기층 패턴들(370)이 위치한다.
예시적인 실시예들에 있어서, 제1 유기층 패턴들(355)과 제2 유기층 패턴들(360, 361, 365, 366)은 도 6을 참조하여 설명한 제1 유기층 패턴들(305) 및 제2 유기층 패턴들(310, 311, 320, 321)과 실질적으로 동일하거나 유사한 구성들을 가질 수 있다. 또한, 제1 유기층 패턴들(355)과 제2 유기층 패턴들(360, 361, 365, 366)은 도 3을 참조하여 설명한 마스크(100)의 제1 슬릿들(110) 및 제2 슬릿들(110, 111, 120, 121)을 통해 형성될 수 있다. 제2 유기층 패턴들(360, 361, 365, 366)은 일측 비발광 영역에 위치하며, 발광에 관여하지 않는 제1 더미 패턴들에 해당될 수 있다.
제3 영역(353)에 위치하는 제3 유기층 패턴들(370)은 도 3을 참조하여 설명한 마스크(100)의 제3 슬릿들(130)을 통해 형성될 수 있다. 제3 유기층 패턴들(370)은 타측 비발광 영역에 배치되어, 발광에 실질적으로 관여하지 않는 제2 더미 패턴들에 해당될 수 있다. 따라서, 제3 유기층 패턴들(370)에 의해 기판(350)에 에지부 및 모서리에 집중되는 스트레스를 보다 약화시킬 수 있다. 따라서 보다 균일하면서도 구조적으로 안정한 제1 유기층 패턴들(355)을 수득할 수 있으며, 표시 패널의 불량을 더욱 감소시킬 수 있다. 또한, 제3 유기층 패턴들(370)은 상기 발광 영역 내에 형성되는 제1 유기층 패턴들(355)이 정확한 위치에 형성되었는지 여부, 제1 유기층 패턴들(355)의 사이즈, 배열 간격 등이 정확한지 여부 등을 검사하기 위한 용도로 사용될 수도 있다.
예시적인 실시예들에 따르면, 제3 유기층 패턴들(370)은 각기 제1 유기층 패턴들(355)과 실질적으로 동일하거나 실질적으로 유사한 구성을 가질 수 있다. 각각의 제3 유기층 패턴들(370)은 제1 유기층 패턴들(355)과 실질적으로 동일하거나 약 50μm 이내의 범위에서 실질적으로 큰 폭을 가질 수 있는 반면, 제1 유기층 패턴들(355)보다 실질적으로 짧은 길이를 가질 수 있다. 제3 유기층 패턴들(370)은 실질적으로 동일한 길이를 가질 수도 있지만, 기판(350)의 외측 방향을 향하여 점차 감소되는 길이를 가질 수도 있다. 또한, 제1 유기층 패턴들(355)이 적색 유기층 패턴, 녹색 유기층 패턴, 청색 유기층 패턴이 적층된 구조를 가질 경우, 제3 유기층 패턴들(370)은 각기 적색 유기층 패턴, 녹색 유기층 패턴 및/또는 청색 유기층 패턴을 포함할 수 있다.
도 7에 있어서는, 발광 영역인 제1 영역(351)의 상측 및 하측의 제3 영역(353)에 제3 유기층 패턴들(370)이 위치하는 것으로 도시하였으나, 제3 유기층 패턴들(370)의 위치가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 비발광 영역인 제2 영역(352)에도 제3 유기층 패턴들(370)이 추가적으로 형성될 수도 있다.
상술한 바에서는, 본 발명의 예시적인 실시예들을 설명하였지만 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치는, 비발광 영역에서 외측 방향을 향해 크기가 감소되는 유기층 패턴들을 구비하기 때문에 발광 영역에서 위치하는 유기층 패턴들이 균일하면서도 향상된 구조적 안정성을 확보할 수 있다. 따라서, 비발광 영역의 추가적인 면적의 증가 없이 발광 영역의 유기층 패턴들의 손상과 변형을 방지할 수 있으며, 표시 패널의 불량을 감소시킬 수 있다. 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 유기 발광 표시 장치는 스마트 폰, 텔레비전, PDA, MP3 플레이어, 노트북 컴퓨터, 데스크 탑 컴퓨터, 디지털 카메라 등에 폭넓게 적용될 수 있다.
50, 100: 마스크 55, 105: 제1 슬릿들
60, 61, 70, 71, 110, 111, 120, 121: 제2 슬릿들
130: 제3 슬릿들 150, 200, 300, 350: 기판
155: 화소들 160: 표시 영역
165: 비표시 영역 205: 버퍼층
210: 소스 영역 215: 드레인 영역
220: 채널 영역 225: 게이트 절연막
230: 게이트 전극 235: 층간 절연막
240: 소스 전극 245: 드레인 전극
250: 보호막 255: 절연층
260: 제1 전극 265: 화소 정의막
270: 제1 유기층 패턴 275: 제2 전극
301: 발광 영역 302: 비발광 영역
305, 355: 제1 유기층 패턴들
310, 311, 320, 321, 360, 361, 365, 366: 제2 유기층 패턴들
370: 제3 유기층 패턴들

Claims (10)

  1. 제1 영역 및 제2 영역을 포함하는 마스크에 있어서,
    상기 제1 영역에 배치되며, 동일한 길이를 가지는 제1 슬릿들; 및
    상기 제2 영역에 배치되며, 외측 방향을 향해 감소되는 길이를 가지는 제2 슬릿들을 포함하는 것을 특징으로 패턴 형성용 마스크.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2 영역은 상기 제1 영역의 양측에 인접하며, 상기 제1 및 제2 영역의 양측에 인접하는 제3 영역을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 마스크.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제3 영역에 배치되며, 동일한 길이를 가지는 제3 슬릿들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 마스크.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 슬릿들 및 상기 제2 슬릿들은 각기 라운드진 단부를 가지는 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 마스크.
  5. 발광 영역과 비발광 영역을 갖는 기판;
    상기 발광 영역의 상기 기판 상에 배치되는 제1 전극;
    상기 제1 전극 상에 배치되는 제1 유기층 패턴;
    상기 제1 유기층 패턴 상에 배치되는 제2 전극; 및
    상기 비발광 영역의 상기 기판 상에 배치되며, 상기 기판의 외측 방향으로 감소되는 길이를 갖는 제2 유기층 패턴들을 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제2 유기층 패턴들은 각기 라운드진 단부를 가지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제2 유기층 패턴들은 상기 제1 유기층 패턴의 폭과 동일하거나 50μm 이내의 범위에서 큰 폭을 가지며, 상기 제1 유기층 패턴의 길이 보다 작은 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 제2 유기층 패턴들은 각기 상기 제1 유기층 패턴과 동일한 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
  9. 제5항에 있어서, 상기 비발광 영역에서 상기 제2 유기층 패턴들에 인접하여 배치되는 제3 유기층 패턴들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제3 유기층 패턴들은 각기 상기 제2 유기층 패턴과 동일한 폭을 가지며, 상기 제2 유기층 패턴들보다 작은 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.
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