JP2013205709A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】露光に必要な移動機構を利用して、洗浄機構をマスクに対して相対的に移動可能な構成とすることで、簡易な構成(工程)でマスクの洗浄を可能とする。
【解決手段】本発明の露光装置は、基板を支持するチャック10と、マスク2を保持するマスクホルダ20とを備え、マスク2と基板との間にギャップを設けて、マスク2のパターンを基板へ転写する露光装置である。この露光装置は、チャック10をX方向およびY方向へ移動させる移動機構(Xガイド4、Yガイド6)と、チャック10に連結されたマスク洗浄機構100と、を有する。上記移動機構(Xガイド4、Yガイド6)によりマスク洗浄機構をチャック10とともにマスク2に対して相対的に移動させることによりマスク2を洗浄する。
【選択図】図6
【解決手段】本発明の露光装置は、基板を支持するチャック10と、マスク2を保持するマスクホルダ20とを備え、マスク2と基板との間にギャップを設けて、マスク2のパターンを基板へ転写する露光装置である。この露光装置は、チャック10をX方向およびY方向へ移動させる移動機構(Xガイド4、Yガイド6)と、チャック10に連結されたマスク洗浄機構100と、を有する。上記移動機構(Xガイド4、Yガイド6)によりマスク洗浄機構をチャック10とともにマスク2に対して相対的に移動させることによりマスク2を洗浄する。
【選択図】図6
Description
本発明は、露光装置、特に、プロキシミティ方式を用いて基板の露光を行うプロキシミティ露光装置に適用して有効な技術に関するものである。
表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のTFT(Thin Film Transistor)基板やカラーフィルタ基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。また、表示用パネルとして用いられるプラズマディスプレイパネル用基板や有機EL(Electroluminescence)表示パネル用基板等の製造も、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。
露光装置としては、レンズまたは鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙(プロキシミティギャップ)を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。
プロキシミティ露光装置は、感光樹脂材料(フォトレジスト)が塗布された基板を支持するチャックと、パターンが形成されたマスクを保持するマスクホルダとを備えている。そして、マスクホルダに保持されたマスクとチャックに支持された基板とを、数百μm程度の距離まで近接させて、露光を行う。
基板に塗布された感光樹脂材料には、染料や顔料、有機溶剤等が含まれており、露光光を照射すると、これらの染料や顔料、有機溶剤等から昇華物が発生する。プロキシミティ露光装置では、この昇華物が、マスクと基板との間に浮遊して、マスクに付着する。これにより、照度低下や焼付けムラが発生することがあった。このため、メンテナンスとしてマスクの洗浄を行っている。マスク洗浄としては、マスクをマスクホルダから取り外して露光装置とは別の設備でマスク洗浄を行うという手法がある。
また、下記特許文献1(特開2004−327487号公報)には、ゴミをマスクにダメージを与えることなく除去するため、従来の露光装置に検査、清掃、乾燥までの一連の自動システムを追加構成した露光装置が開示されている。清掃方式としては、インクジェットノズルによる清掃方式を採用している。
前述したように露光装置において、上記昇華物がマスクに付着すると、正確にマスクのパターンを基板上に転写できず、作製されたTFT基板やカラーフィルタ基板などが不良となってしまう。そこで、定期的にマスクの洗浄を行う(例えば、作製基板のロット毎にマスクの洗浄を行う)。または、インライン検査装置において複数の基板について同じ位置に同様の欠陥が確認された場合などにマスク洗浄を行っていた。
この際、マスクをマスクホルダから取り外して露光装置とは別の設備でマスク洗浄を行う場合には、露光処理の中断時間が長くなり、生産性が大幅に低下する。
これに対し、上記特許文献1に記載のように、露光装置内において、洗浄を行うことができれば、露光処理の中断時間を短縮でき、露光処理の再開までの時間を抑制することができる。
しかしながら、上記特許文献1に記載のように、露光装置内に、検査、清掃および乾燥を行う洗浄システムを追加する構成では、装置の内部構成が複雑となってしまう。
そこで、プロキシミティ露光装置において、洗浄機構(洗浄ツール)を内蔵させ、できるだけ簡易な構成(工程)で洗浄を可能とすることが望ましい。
本発明の目的は、露光装置において、洗浄機構を内蔵させることで、露光精度の向上を図ることを目的とする。特に、露光に必要な移動機構を利用して、洗浄機構をマスクに対して相対的に移動可能な構成とすることで、簡易な構成(工程)でマスクの洗浄を可能とすることを目的とする。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
本願において開示される発明のうち、代表的な実施の形態に示される露光装置は、基板を支持する支持部と、マスクを保持するマスク保持機構とを備え、上記マスクと上記基板との間に微小なギャップを設けて、上記マスクのパターンを上記基板へ転写する露光装置であって、上記支持部を第1方向および上記第1方向と交差する第2方向へ移動させる支持部移動機構と、上記支持部に連結されたマスク洗浄機構とを有し、上記支持部移動機構により上記マスク洗浄機構を上記支持部とともに上記マスクに対して相対的に移動させることにより上記マスクを洗浄することを特徴とする。
本願において開示される発明のうち、代表的な実施の形態に示される露光装置は、基板を支持する支持部と、マスクを保持するマスク保持機構とを備え、上記マスクと上記基板との間にギャップを設けて、上記マスクのパターンを上記基板へ転写する露光装置であって、上記マスク保持機構を第1方向および上記第1方向と交差する第2方向へ移動させるマスク移動機構と、上記支持部に連結されたマスク洗浄機構とを有し、上記マスク移動機構により上記マスクを上記マスク洗浄機構に対して相対的に移動させることにより上記マスクを洗浄することを特徴とする。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの一実施の形態によって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
露光装置において、洗浄機構を内蔵させることで、露光精度の向上を図ることができる。また、当該露光装置を用いることで生産性を向上させることができる。特に、露光に必要な移動機構を利用して、洗浄機構をマスクに対して相対的に移動可能な構成とすることで、簡易な構成(工程)でマスクの洗浄を可能とすることができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材または関連する部材には同一または関連する符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、実施の形態では、特に必要な場合を除き、同一または同様な部分の説明を原則として繰り返さない。さらに、実施の形態を説明する図面においては、構成を分かり易くするために、平面図(上面図)であってもハッチングを付す場合や、断面図であってもハッチングを省略する場合がある。
また、断面図、上面図および側面図において、各部位の大きさは実製品と対応するものではなく、図面を分かり易くするため、特定の部位を相対的に大きく表示する場合がある。また、上面図と側面図等が対応する場合においても、各部位の大きさを変えて表示する場合がある。
(実施の形態)
[露光装置の構成]
図1は、本実施の形態のプロキシミティ露光装置の概略構成を示す上面図である。また、図2は、本実施の形態のプロキシミティ露光装置の概略構成を示す側面図である。
[露光装置の構成]
図1は、本実施の形態のプロキシミティ露光装置の概略構成を示す上面図である。また、図2は、本実施の形態のプロキシミティ露光装置の概略構成を示す側面図である。
図1および図2に示すように、プロキシミティ露光装置は、ベース3、Xガイド4、Xステージ5、Yガイド6、Yステージ7、θステージ8、チャック支持台9、チャック10およびマスクホルダ(マスク保持機構)20を含んで構成されている。さらに、プロキシミティ露光装置は、温度調節プレート30、プレート台40、基板搬送ロボット50、ステージ駆動回路60、および主制御装置70を含んで構成されている。なお、図2では、基板搬送ロボット50、ステージ駆動回路60、および主制御装置70が省略されている。
また、プロキシミティ露光装置は、上記構成部材の他に、露光光を照射する照射光学系、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット、各構成部材を囲う筐体等を備えている。
図1に示すベース3の手前には、チャック10へ搬送する前の基板1の温度を調節する温度調節プレート30が設けられている。この温度調節プレート30は、プレート台40に搭載されている。温度調節プレート30の横には、基板搬送ロボット50が配置されている。基板搬送ロボット50は、基板1を図示しない搬送ラインから温度調節プレート30へ搬送する。そして、基板搬送ロボット50は、温度調節プレート30により温度が調節された基板1を温度調節プレート30からチャック10へ搬送し、また露光後の基板1をチャック10から図示しない搬送ラインへ搬送する。
温度調節プレート30への基板1の搭載および温度調節プレート30からの基板1の取り出しは、温度調節プレート30に設けた図示しない複数の突き上げピンを用いて行われる。突き上げピンは、温度調節プレート30の内部に収納されており、温度調節プレート30の内部から上昇する。そして、基板1を温度調節プレート30に搭載する際、上昇した突き上げピンは、基板搬送ロボット50のハンドリングアーム51から基板1を受け取る。また、基板1を温度調節プレート30から取り出す際、上昇した突き上げピンは、基板搬送ロボット50のハンドリングアーム51へ基板1を受け渡す。
また、チャック10は、基板1のロードおよびアンロードを行うロード/アンロード位置にある。ロード/アンロード位置において、基板搬送ロボット50により、基板1がチャック10へ搬入され、また基板1がチャック10から搬出される。チャック10への基板1のロードおよびチャック10からの基板1のアンロードは、チャック10に設けた図示しない複数の突き上げピンを用いて行われる。突き上げピンは、チャック10の内部に収納されており、チャック10の内部から上昇して、基板1をチャック10にロードする際、基板搬送ロボット50のハンドリングアーム51から基板1を受け取る。また、上昇した突き上げピンは、基板1をチャック10からアンロードする際、基板搬送ロボット50のハンドリングアーム51へ基板1を受け渡す。チャック10は、基板1の裏面を真空吸着して支持する。
図3は、基板1をチャックにロードした状態を示す上面図である。また、図4はチャックを露光位置へ移動した状態を示す上面図、図5はチャックを露光位置へ移動した状態(露光工程)を示す側面図である。なお、図3および図4では、ステージ駆動回路60、および主制御装置70が省略されている。また、図5では、温度調節プレート30、プレート台40、基板搬送ロボット50、ステージ駆動回路60、および主制御装置70が省略されている。
図4および図5において、基板1の露光を行う露光位置の上空には、マスク(フォトマスク)2を保持するマスクホルダ20が設置されている。マスクホルダ20は、マスク2の周辺部を真空吸着して保持する。マスクホルダ20に保持されたマスク2の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。基板1の表面には、感光樹脂材料(フォトレジスト)が塗布されており、露光時、照射光学系からの露光光(例えば、UV光)がマスク2を透過して基板1へ照射される。これにより、マスク2のパターンが基板1の表面に転写され、基板1上にパターンが形成される(露光工程)。
図2および図5において、チャック10は、チャック支持台9を介してθステージ8に搭載されており、θステージ8の下にはYステージ7およびXステージ5が設けられている。Xステージ5は、ベース3に設けられたXガイド4に搭載され、Xガイド4に沿ってX方向(図2および図4の図面横方向、第1方向)へ移動する。Yステージ7は、Xステージ5に設けられたYガイド6に搭載され、Yガイド6に沿ってY方向(図2および図5の図面奥行き方向、第1方向と交差する第2方向)へ移動する。θステージ8は、Yステージ7に搭載され、θ方向へ回転する(図4)。チャック支持台9は、θステージ8に搭載され、チャック10の裏面を複数個所で支持する。Xステージ5、Yステージ7、およびθステージ8には、ボールねじおよびモータや、リニアモータ等の図示しない駆動機構が設けられており、各駆動機構は、図1のステージ駆動回路60により駆動される。
Xステージ5のX方向への移動およびYステージ7のY方向への移動により、チャック10は、ロード/アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード/アンロード位置において、Xステージ5のX方向への移動、Yステージ7のY方向への移動、およびθステージ8のθ方向への回転により、チャック10に搭載された基板1のプリアライメントが行われる。露光位置において、Xステージ5のX方向への移動およびYステージ7のY方向への移動により、チャック10に搭載された基板1のXY方向へのステップ移動が行われる。また、図示しないZ−チルト機構によりマスクホルダ20をZ方向(図5の図面上下方向、第1および第2方向で規定される面と交差する方向)へ移動およびチルトすることにより、マスク2と基板1とのギャップ合わせが行われる。そして、Xステージ5のX方向への移動、Yステージ7のY方向への移動、およびθステージ8のθ方向への回転により、マスク2と基板1との位置合わせが行われる。図1において、主制御装置70は、ステージ駆動回路60を制御して、Xステージ5のX方向への移動、Yステージ7のY方向への移動、およびθステージ8のθ方向へ回転を行う。
なお、本実施の形態では、マスクホルダ20をZ方向へ移動およびチルトすることにより、マスク2と基板1とのギャップ合わせを行っている。これに対し、チャック支持台9にZ−チルト機構を設けて、チャック10をZ方向へ移動およびチルトすることにより、マスク2と基板1とのギャップ合わせを行ってもよい。また、本実施の形態では、Xステージ5およびYステージ7によりチャック10をXY方向へ移動することにより、マスク2と基板1との位置合わせを行っている。これに対し、マスクホルダ20をXY方向へ移動する移動機構(マスク移動機構)を設けて、マスクホルダ20をXY方向へ移動することにより、マスク2と基板1との位置合わせを行ってもよい。
[洗浄機構の説明]
ここで、本実施の形態においては、前述の図1〜図5および図6に示すように、チャック(支持部)10に洗浄機構(洗浄ツール、洗浄部、洗浄装置、洗浄手段)100が連結(接続、固定)されている。図6は、洗浄機構によるマスクの洗浄工程を示す側面図である。
ここで、本実施の形態においては、前述の図1〜図5および図6に示すように、チャック(支持部)10に洗浄機構(洗浄ツール、洗浄部、洗浄装置、洗浄手段)100が連結(接続、固定)されている。図6は、洗浄機構によるマスクの洗浄工程を示す側面図である。
この洗浄機構100は、チャック10に連結されているため、チャック10の移動機構(移動装置)であるXステージ5およびYステージ7によりチャック10とともにXY方向へ移動させることができる。即ち、洗浄機構100を、Xステージ5およびYステージ7により、マスク2に対して相対的に移動させることができる。
また、この洗浄機構100は、チャック10に昇降可能(Z方向に移動可能)に連結されている。即ち、図5に示す露光工程(マスクのパターンの基板へ転写時)においては、洗浄機構100の上部(上面、表面)がチャック10の上部(上面、表面、基板の搭載面)と同じ、または、チャック10の上部(上面、表面)より低い位置に配置される。これにより、洗浄機構100がマスク2に近接または接触するなどして、パターンの転写に支障をきたすことなく露光処理を行うことができる。
また、図6に示すように、洗浄工程においては、洗浄機構100の上面(表面)をチャック10の上面(表面)より上昇(突出)させる。このように、洗浄機構100の上面(表面)を上昇させた状態で、Xステージ5およびYステージ7により、マスク2に対して相対的に移動させることにより、マスク2の全面を洗浄することができる。例えば、図6においては、図面の右側から左側へX方向に移動させることにより、マスク2の全面を洗浄することができる。
なお、図6等においては、チャック10に洗浄機構100を連結したが、Xステージ5およびYステージ7によりXY方向へ移動する部位、例えば、チャック支持台9やθステージ8等に洗浄機構100を連結してもよい。言い換えれば、XY方向へ移動可能であって、基板1を直接または間接的に支持する部材(支持部)のいずれかに洗浄機構100を連結すればよい。
洗浄機構100としては、ワイパー洗浄機構またはエアー洗浄機構(ガス洗浄機構)を用いることができる。また、洗浄機構100としてイオナイザーを用いてもよい。
図7は、ワイパー洗浄機構の一例を示す斜視図である。図7の洗浄機構(ワイパー洗浄機構)100は、チャック10に連結された枠体(連結部)100Aとその上部のワイパー(ワイパー部)100Bとを有する。
ワイパー100Bは、ゴム(ラバー)のような樹脂よりなる。このワイパー100Bを上昇させマスク2と接触させた状態で、チャック10の移動機構(Xステージ5およびYステージ7、図1、図2参照)により、マスク2に対して相対的に移動させることにより、マスク2を洗浄(クリーニング)することができる。
また、ワイパー100Bに洗浄液を付着させてもよい。例えば、ワイパー100Bとしてスポンジのような多孔質の樹脂を用い、純水や感光樹脂材料(フォトレジスト)の現像液(エッチング液、剥離液)などの洗浄液を含浸させる。この状態でワイパー100Bをマスク2に対して相対的に移動させることにより、マスク2に付着した汚れを拭き取ることができる。
図8は、エアー洗浄機構の一例を示す斜視図である。図8の洗浄機構(エアー洗浄機構)100は、チャック10に連結された枠体(連結部)100Aとその上部のガス吹き出し用の孔gを有する管100Cとを有する。
この管100Cの内部にエアー(空気)を導入し、孔gから噴射させながら、チャック10の移動機構(Xステージ5およびYステージ7、図1、図2参照)により、管100Cをマスク2に対して相対的に移動させる。これにより、マスク2の付着した汚れを吹き飛ばすことができる。この際、露光装置の筐体の下部に吸気口を設け、装置内部を吸気(減圧)することにより、吹き飛ばされた異物(汚れ)を除去してもよい。
上記エアー(空気)の他、窒素(N2)やアルゴン(Ar)などの不活性ガスを洗浄ガスとして用いてもよい。また、感光樹脂材料(フォトレジスト)のエッチングガスなどを洗浄ガスとして用いてもよい。また、これらの気体(ガス)を混合して用いてもよい。図9は、エアー洗浄工程の一例を示す断面図である。図9に示すように、洗浄機構100の移動方向(水平方向)に対してガスの噴射角度aが90°未満となるように孔gを傾け、エアーなどの上記ガスをマスク2に対して斜めに噴射させてもよい。
また、洗浄機構100としてイオナイザーを用いてもよい。例えば、上記管100Cに接続されるガス供給管にイオナイザー(ガスイオン化装置)100Dを設けてもよい。図10は、イオナイザーを用いたエアー洗浄機構の一例を示す斜視図である。イオナイザー100Dとしては、軟X線イオナイザー、コロナ放電イオナイザー、またはUV光照射型イオナイザーなどを用いることができる。
例えば、供給ガスに対して軟X線を照射することにより、供給ガス成分から電子が飛び出して陽イオンが生成する。一方、陽イオンと同量の陰イオンも生成する。よって、マスク2の汚れ、特に静電気などによりマスク2に付着している異物(パーティクル)のうち、プラス電荷を帯びた異物がイオン化ガスの陰イオンと結合することにより除電され、マスク2からはがれ落ちる。また、マイナス電荷を帯びた異物は、イオン化ガスの陽イオンと結合して除電され、マスク2からはがれ落ちる。このように、異物の静電気を中和して清掃することができる。この場合、孔gから噴射させる上記供給ガスの噴射圧は図8に示すエアー洗浄機構の場合より低くてもよく、イオン化ガス(イオン化されたガス)がマスク2の表面に供給される程度の噴射圧でよい。
洗浄機構100の配置位置や移動方向としては、種々の応用が可能である。例えば、図6においては、略矩形のチャック10の第1端側(図中右側)に洗浄機構100を配置し、第1端側から第2端側(図中左側)に移動させることによりマスク2を洗浄した。図11は、洗浄機構の配置位置や移動方向の他の例を示す上面図である。図11(A)に示すように、例えば、略矩形のチャック10の第2端側(図中左側)に洗浄機構100を配置し、第1端側から第2端側(図中左側)に移動させることによりマスク2を洗浄してもよい。また、図11(B)に示すように、略矩形のチャック10の交差する2つの辺にそれぞれ洗浄機構100を配置し、それぞれの辺と交差する方向に移動させてもよい。また、これらを異なる種類の洗浄機構100としてもよい。例えば、一方の洗浄機構100をイオナイザーを用いたエアー洗浄機構とし、他方の洗浄機構100をワイパー洗浄機構としてもよい。
また、洗浄機構100の上面とマスク2との距離は、洗浄機構100の昇降(Z方向への移動、図6、図7参照)の他、前述のマスクホルダ20のZ−チルト機構を用いて調整してもよい。このように洗浄機構100の上面とマスク2との距離を調整することで、各種洗浄機構に適した距離を確保することができる。なお、チャック支持台9のZ−チルト機構を利用して、洗浄機構100の上面とマスク2との距離を調整してもよい。
洗浄工程(メンテナンス)を行うタイミングとしては、例えば、所定の処理枚数毎、また、所定の稼働時間経過毎に行うことができる。また、作製基板のロット毎に行ってもよい。
また、露光装置の内部に異物検出カメラを設置し、異物が検出された場合に、洗浄処理を行ってもよい。図12は、異物検出カメラを有するプロキシミティ露光装置の概略構成を示す上面図である。また、図13は、異物検出工程の一例を示す斜視図である。
図12に示すように、マスク2(マスクホルダ20)の下部に異物検出カメラ200が設置されている。異物検出カメラ200は、例えば、中心部に位置するXガイド4の脇にチャック10の移動に支障をきたさないように配置する。なお、図12において、異物検出カメラ200以外の構成は図1と同様であるためその説明を省略する。
図13に示すように、チャック10をマスク2の直下から移動させる。例えば、チャック10を、基板1のロードおよびアンロードを行うロード/アンロード位置に移動する。これにより、マスク2の状態を異物検出カメラ200で検出可能となる。この際、照明210を点灯し、異物検出カメラ200によりマスク2の表面(下面)の異物を検出する(異物検出工程)。ここで、図12に示す主制御装置70には、マスク2に描かれたパターンデータが格納されており、このパターンデータと異物検出カメラ200により検出された画像データを照合することにより、異物の有無を容易に判断することができる。
上記異物検出工程により異物が認められた場合は、クリーニングモードに入りマスク2の洗浄処理を行う。
このように、本実施の形態においては、プロキシミティ露光装置に、洗浄機構を内蔵させたので、露光装置内でのマスクの洗浄処理が可能となる。この洗浄により、露光精度を向上させることができる。また、マスクホルダへのマスクの着脱回数を低減することができ、各種基板の生産性を向上させることができる。
また、異物検出カメラによりマスクの異物の有無を確認することで、効果的なタイミングで洗浄処理を行うことができ、各種基板の生産性を向上させることができる。
本実施の形態において説明したプロキシミティ露光装置の適用プロセスに制限はないが、例えば、以下に示すTFT基板の製造工程やカラーフィルタ基板の製造工程に用いることができる。
図14は、液晶ディスプレイ装置のTFT基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。薄膜形成工程(ステップS101)では、スパッタ法やプラズマ化学気相成長(CVD)法等により、ガラス基板上に液晶駆動用の透明電極となる導電体膜や絶縁体膜等の薄膜を形成する。レジスト塗布工程(ステップS102)では、ロール塗布法等により感光樹脂材料(フォトレジスト)を塗布して、薄膜形成工程(ステップS101)で形成した薄膜上にフォトレジスト膜を形成する。露光工程(ステップS103)では、プロキシミティ露光装置や投影露光装置等を用いて、マスクのパターンをフォトレジスト膜に転写する。現像工程(ステップS104)では、シャワー現像法等により現像液をフォトレジスト膜上に供給して、フォトレジスト膜の不要部分を除去する。エッチング工程(ステップS105)では、ウエットエッチングにより、薄膜形成工程(ステップS101)で形成した薄膜の内、フォトレジスト膜でマスクされていない部分を除去する。剥離工程(ステップS106)では、エッチング工程(ステップS105)でのマスクの役目を終えたフォトレジスト膜を、剥離液によって剥離する。これらの各工程の前または後には、必要に応じて、ガラス基板の洗浄/乾燥工程が実施される。これらの工程を数回繰り返して、ガラス基板上にTFTアレイが形成される。
また、図15は、液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタ基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。ブラックマトリクス形成工程(ステップS201)では、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、剥離等の処理により、ガラス基板上にブラックマトリクスを形成する。着色パターン形成工程(ステップS202)では、染色法、顔料分散法、印刷法、電着法等により、ガラス基板上に着色パターンを形成する。この工程を、R(Red、赤)、G(Green、緑)、B(Blue、青)の着色パターンについて繰り返す。保護膜形成工程(ステップS203)では、着色パターンの上に保護膜を形成し、透明電極膜形成工程(ステップS204)では、保護膜の上に透明電極膜を形成する。これらの各工程の前、途中または後には、必要に応じて、ガラス基板の洗浄/乾燥工程が実施される。
図14に示したTFT基板の製造工程では、露光工程(ステップS103)において、本発明のプロキシミティ露光装置を適用することができる。また、図15に示したカラーフィルタ基板の製造工程では、ブラックマトリクス形成工程(ステップS201)および着色パターン形成工程(ステップS202)の露光処理において、本発明のプロキシミティ露光装置を適用することができる。また、これらの露光工程または露光処理の前、途中または後において、必要に応じてマスクの洗浄処理を行うことができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
例えば、図6においては、Xステージ5およびYステージ7によりチャック10に連結した洗浄機構を、マスク2に対して相対的に移動させることにより洗浄を行った。これに対し、チャック10およびそれに連結した洗浄機構は静止した状態で、マスク2を保持したマスクホルダ20をXY方向へ移動させることにより洗浄を行ってもよい。言い換えれば、マスクホルダ20をXY方向へ移動する移動機構(マスク移動機構)によりマスク2を洗浄機構に対して相対的に移動させることにより洗浄を行ってもよい。
本発明は、露光装置に広く適用することができる。
1 基板
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 チャック支持台
10 チャック
20 マスクホルダ
30 温度調節プレート
40 プレート台
50 基板搬送ロボット
51 ハンドリングアーム
60 ステージ駆動回路
70 主制御装置
100 洗浄機構
100A 枠体
100B ワイパー
100C 管
100D イオナイザー
200 異物検出カメラ
210 照明
S101 ステップ
S102 ステップ
S103 ステップ
S104 ステップ
S105 ステップ
S106 ステップ
S201 ステップ
S202 ステップ
S203 ステップ
S204 ステップ
a 噴射角度
g 孔
2 マスク
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
9 チャック支持台
10 チャック
20 マスクホルダ
30 温度調節プレート
40 プレート台
50 基板搬送ロボット
51 ハンドリングアーム
60 ステージ駆動回路
70 主制御装置
100 洗浄機構
100A 枠体
100B ワイパー
100C 管
100D イオナイザー
200 異物検出カメラ
210 照明
S101 ステップ
S102 ステップ
S103 ステップ
S104 ステップ
S105 ステップ
S106 ステップ
S201 ステップ
S202 ステップ
S203 ステップ
S204 ステップ
a 噴射角度
g 孔
Claims (9)
- 基板を支持する支持部と、マスクを保持するマスク保持機構とを備え、前記マスクと前記基板との間にギャップを設けて、前記マスクのパターンを前記基板へ転写する露光装置であって、
前記支持部を第1方向および前記第1方向と交差する第2方向へ移動させる支持部移動機構と、
前記支持部に連結されたマスク洗浄機構と、を有し、
前記支持部移動機構により前記マスク洗浄機構を前記支持部とともに前記マスクに対して相対的に移動させることにより前記マスクを洗浄することを特徴とする露光装置。 - 基板を支持する支持部と、マスクを保持するマスク保持機構とを備え、前記マスクと前記基板との間にギャップを設けて、前記マスクのパターンを前記基板へ転写する露光装置であって、
前記マスク保持機構を第1方向および前記第1方向と交差する第2方向へ移動させるマスク移動機構と、
前記支持部に連結されたマスク洗浄機構と、を有し、
前記マスク移動機構により前記マスクを前記マスク洗浄機構に対して相対的に移動させることにより前記マスクを洗浄することを特徴とする露光装置。 - 前記マスク洗浄機構は、前記支持部に昇降可能に連結され、
前記マスクの洗浄時には、前記マスク洗浄機構の上部が前記支持部の表面より高い位置に配置され、
前記マスクのパターンの前記基板へ転写時には、前記マスク洗浄機構の上部が前記支持部の表面と同じまたは前記支持部の表面より低い位置に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。 - 前記マスク洗浄機構は、ワイパーを有し、
前記マスクに対して前記ワイパーを接触させるとともに、前記マスクまたは前記ワイパーを相対的に移動させることにより前記マスクを洗浄することを特徴とする請求項3記載の露光装置。 - 前記ワイパーには洗浄液が付着していることを特徴とする請求項4記載の露光装置。
- 前記マスク洗浄機構は、ガス吹き出し孔を有する管を有し、
前記マスクに対して前記ガス吹き出し孔から洗浄ガスを吹き付けながら、前記マスクまたは前記管を相対的に移動させることにより前記マスクを洗浄することを特徴とする請求項3記載の露光装置。 - 前記マスク洗浄機構は、ガス吹き出し孔を有する管および前記管に接続されたイオナイザーを有し、
前記マスクに対して前記ガス吹き出し孔からイオン化されたガスを供給しながら、前記マスクまたは前記管を相対的に移動させることにより前記マスクを洗浄することを特徴とする請求項3記載の露光装置。 - 前記マスク保持機構の下部に配置されたカメラを有し、
前記カメラにより前記マスクの異物を検出することを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。 - 前記カメラによる前記異物の検出時に点灯する照明を有することを特徴とする請求項8記載の露光装置。
Priority Applications (1)
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JP2012076259A JP2013205709A (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | 露光装置 |
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JP2012076259A JP2013205709A (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | 露光装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109891323A (zh) * | 2016-10-24 | 2019-06-14 | Asml荷兰有限公司 | 用于将物体移入和/或移出壳体的设备 |
JP2021019073A (ja) * | 2019-07-19 | 2021-02-15 | キヤノン株式会社 | リソグラフィー装置及びクリーニング方法 |
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2012
- 2012-03-29 JP JP2012076259A patent/JP2013205709A/ja active Pending
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