KR20110001443U - 메탈마스크 표면 이물 및 페턴 자동검사장비 및 분류 리페어 장비발명 - Google Patents

메탈마스크 표면 이물 및 페턴 자동검사장비 및 분류 리페어 장비발명 Download PDF

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Abstract

Metal mask는 SUS또는 기타재질 과 알루미늄 Frame으로 구성되며 PCB의 부품PAD와 동일한 현상의 개구부를 형성하고 있고 Screen Printer에 장착하여 사용되는 장치로서 Fine pitch 가공 및 CAD,CAM에 의한 설계가공으로 제작소요시간을 단축하고 설계 변경 등에 있어 유연하게 대응이 가능하고 각종half 적용사양이 가능하다. 본 발명장치는 Laser가공 후 또는 Chemical etching 이나 Screen에 Resister를 도포하고 노광하여 만든 Mask 그래픽스크린인쇄,PCB Pattern형성,반도체등에 사용되며 한예로 Laser 가공 후에 생기는 직사각 형태 을 유지해야하나 직사각형 hole 형태주변에 생기는 Bur등으로 인해 불량요인이 발생 되는데 이는 사람 눈으로 검사가 안되며 약 20 배율의 현미경으로 검사해야한다. Metal mask 의 결함종류는 Bur, Pattern 누락, 위치이탈,눌림,들뜸 상태, 흠집,스크레치, Pin hole,Dent 등과 홀갯수, 홀센터위치,형상검사 등 다양하다. 본 검사방식의 알고리즘은 기준영상과 입력영상 간의 차를 구하여 입력 영상을 특이값(Singular Value Decomposition)으로 분해한 후 배경성분에 해당하는 특이 값들을 제거하고 재구성하여 격자모양의 배경성분을 제거하고 결함을 검출하였다.본 시스템의 구성은 머신 비전 시스템과 검사 방법 및 검사알고리즘 그리고 불량을 분류하는 시스템으로 구성된다. 하드웨어 시스템의 구성은 크게 기구부, 광학부, 제어반 및 검사 소프트웨어 4개의 모듈로 이루어져 있다. 기구 부 는 Metel Mask을 원활하게 하고 정확한 검사 시스템으로 이송하기 위한 이송 메커니즘, 최적의 검사 환경을 위한 광학 메커니즘 및 조명 제어 를 위한 하우징으로 이루어지며 광학부는 부품의 이미지를 얻기 위한 카메라 및 렌즈, 특수 조명 및 광학 필터로 구성된다. 제어반은 검사 대상의 위치를 보정하기 위한 모션 제어부 및 근접 센서, 조명 제어부, 검사 프로그램을 구동하기 위한 호스트 컴퓨터와 주변 장비에 출력을 주고 불량 부품에 대한 리포트를 담당하는 PLC 및 기타 전기, 전자 시스템으로 이루어져 있다. 본 검사장비는 PCB, BGA 생산공정에서 제일 중요한 Metel Mask의 품질을 무결점에 가깝게 자동으로 검사 및 판별, 분류시키는데 최대 역점을 둔 검사장비로써 제품의 품질을 높이며 생산성을 극대화시키도록 고려해서 설계하였다.
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Description

메탈마스크 표면 이물 및 페턴 자동검사장비 및 분류 리페어 장비발명{The development equipment of auto surface defect,pattern inspection and sort and repair of Metel Mask}
본 검사기술분야는 Metel Mask는 일반적으로 대형 고 정밀도를 요구하기 때문에 생산시에 육안으로는 불량 여부를 식별할 수 없고 공정상에서 흘러가면서 자동검사를 해야한다. 본 검사기술분야는 Laser가공 후 또는 Chemical etching 나 Screen에 Resister를 도포하고 노광하여 만든 Mask 그래픽스크린인쇄,PCB Pattern형성,반도체등에 사용되며 된다. 본 검사장치는 Metel Mask외관의 품질상태를 자동으로 검사하는 중요한 장치로서 정확한 불량검사가 요구되며, 신속 정확하게 처리되는 것이 필요하다. 또한 본 발명 검사장비 구성은 [대표도] 와 같이 크게 구분하면, 제품을 정렬로 비젼부 에 투입하는 Feeder부, Escape 및 transfer 부, 기구부, 검사부 및 조명,광학부, 제어반 및 검사 소프트웨어 부, 구동 motor부로 이루어져 있다. 기구부 는 Metel Mask의 이동 및 정렬을 원활하게 하고 정확한 검사 시스템 위로 이송하기 위한 이송 메커니즘, 최적의 검사 환경을 위한 광학 메커니즘 및 조명 제어를 위한 하우징으로 이루어지며 광학부는 선명한 이미지를 얻기 위한 2Set의 카메라 및 렌즈, 고휘도 LED특수 조명 및 광학 필터로 구성된다. 따라서 Line scan camera 를 사용해야되며 불량 발생시 Metel Mask 의 재생을 목적으로 Review 및 불량부분을 확대해서 볼때에는 1Set의 Area camera를 사용한다. 따라서 본장치는 생산공정상에서 자동화 기술을 채택한 분야의 일환으로써 로봇기술을 이용한 검사장비이며 영상인식처리 기술과 정밀제어기술 그리고 정밀 광학기술,기계설계기술이 필요한 분야이다.
[문헌1] D.A. Belsley,E.kuh,and R.E. Welsch, Regression Diagnosticx, John
Wiley & Sons,1980
[문헌2] Helett-Packard Development company, " understanding pixel defects in
TFT-LCD flat panel monitors," Hewlett - Packard. 2004
[문헌3] Image processing, Craig A.Lindly
[문헌4] FARA MVE-02 Hardware
[문헌5] Laser Focus World ,A PennWell Publication
[문헌6] The design world of motor's parts
[문헌7] Rfael.C conzalez and Richard E. Woods, Digital Image
ProcessingrenticHall 2001.
[문헌8] Simon Haykim, Adaptive Filter Prence Hall 2002.
[문헌9] Tannas. L> E.Jr, " Evolution of flat-panel display.," proceedings of
the IEEE,vol82,no.4,pp499-509,Apr.1994
본 발명품에 대한 종래의 검사방식은 크게 사람이 현미경을 사용하여 Metal mask 의 결함종류인 Bur, Pattern 누락,위치이탈,눌림,들뜸 상태,흠집,스크레치, Pin hole,Dent등과 홀갯수, 홀센터위치,형상을 검사하는 방식이 있는데 이는 사람마다 숙련도가 다르고 사람마다 불량기준처리가 다르므로 오인식 판정처리 하는 문제점이 있으며, 두 번째 방식으로는 일정한 Jig안에 Metel Mask 을 장착한 후에 카메라 및 고배율렌즈만으로 확대만 하여 모니터에 나타낸 후 사람이 모니터를 보고 불량을 골라내는 내는 방식이 있는데 이 역시 사람마다 숙련도가 다르고 사람마다 불량기준처리가 다르므로 오인식 판정처리 하는 문제점이 있다. 본 발명 장치는 카메라를 사용하여 DRC 방식 및 미분방식을 결합하여 표면의 Pattern 형상 상태만 검사하는 방식이 아닌 형상 Pattern 외에도 Pattern의 눌림 혹은 돌출상태까지 검사가 가능토록 설계되었으며 Pattern외에 표면의 Bur, 흠집,스크레치, Pin hole,Dent 등과 홀갯수, 홀센터위치,형상을 검사를 3차원 고휘도 LED 조명 및 Line scan camera 와 불량을 분석한 데이터 그리고 실시간 비교검사 처리 알고리즘을 개발하여 해결하였다. 본 장비의 Specfication 은 다음과 같다.
(1) Dimension: 200 x 150 (패턴부위), 510x410(SUS Sheet), 650x550(FRAME)
(크기 및 패턴은 다양함)
(2) Tact Time: 15 sec line scan camera zone
(3) Filed of View: 65mm (pixel size: 8um/pixel)
(4) 두께 : 0.1t
(5) Rosolution: 10um
(6) Detection Capability: 10um defects or larger
검사스펙 : 크기 200 x 150 (패턴부위), 510x410(SUS Sheet), 650x550(FRAME)
(7)검사시간 : 5min/sheet
그리고 3차원 고휘도 LED scan 방식은 다시 몇 가지로 구분되는데 첫째는 사람이 직접 현미경을 사용하여 Metel Mask를 정렬시키는 방법이 있는데 이 방식은 정렬 및 검사속도가 늦으며 검사 정밀도가 낮은 단점이 있다. 또한 검사하는 사람마다 편차가 심하여 오인식처리하는 문제점이 있다. 두 번째 방식은 부분자동화 방식인데 이 역시 검사속도가 늦은 문제점과 사람이 직접 검사를 하기 때문에 사람마다 숙련도가 다르고 사람마다 불량기준처리가 다르므로 오인식 판정처리 하는 문제점이 있으며, Metel Mask을 손으로 들어올려 검사기 앞에 직접 놓아야 하기 때문에 표면 및 Pattern의 눌림 외에 먼지,지문 등 오염물이 제품에 묻는 문제와 제품을 정렬시키는데 많은 어려움이 있다. 본 발명 검사장비는 종래의 방식과는 다르게 auto feeder을 사용하여 제품을 정렬 부 까지 자동이송시키는 무인자동화로 정렬을 자동으로 신속 정확하게 하는 동시에 정렬상태 검사 및 어긋날 경우에는 자동으로 정렬을 시킨 후 불량을 검사하는 시스템이다. 그리고 종래의 문제점인 정렬 및 검사과정에서 오염이 않 되게 설계하였으며 검사속도를 종래방식인 사람이 목 시 검사 및 불량 분류까지의 소요시간 대비 전체 처리 시간을 약 10배 이상 단축시켰으며, 검사정밀도 즉 검사 수율은 기존대비 약 5배 향상시켰다. 본 발명장치는 Metel Mask 제조라인에서 실시 간으로 검사 및 불량률의 원인규명과 품질향상에 기여하며 생산성을 높이도록 고안된 장치이다.
Metel Mask 제조라인에서 검사 장비는 대면적Metel Mask 가 정렬 부에서 3개 근접센서의 on/off 로 센싱한후 PLC에서 Servo motor를 제어 및 Metel Mask를 Vacuum 으로 평탄하게 만든후 정렬시키고 검사영역으로 Metel Mask 를 이송한다. 그런 다음 검사 영역 에서 Line scan camera 전체 F.O.V(Field of view)와 Metel Mask가 정확히 맞추어진 상태에서 Metel Mask를 스케닝 하며 불량인 경우 Re-Inspection Transport Zone에 Metel Mask가 도착한 후 2단계로 Area Camera를 이용하여 최종 불량 유무를 가려내는데 Ripair 가 가능하면 Ripair 시킨후 Metel Mask는 양품의 Buffer에 적재되며, 최종적으로 불량으로 판정이 되면 N/G Buffer에 적재된다.
본 검사장비 는 크게 Metel Mask 공급부, Metel Mask배열부, Metel Mask 표면평탄화부,비젼 검사부, 양부판정 및 분리부, 불량재검사부 등 크게 여섯 단계로 구성되며 그외에 System control 1 unit, Personal Computer2 sets, Logistic System 1 unit,(7) image processing software1 unit으로 각 공정은 자동제어를 통해 최소한의 관리가 필요하도록 생산현장에 최적화 되도록 구성한다. 또한 각 부분은 다음과 같이 구성되었다.
1. Metel Mask 검사부
(1) Area scan CCD camera, 8K ----------2 sets
(2) magnification lens-----------------2 sets
(3) Front Ring LED light --------------2 units
(4) frame grabber board ---------------2 sets
(5) fixtures for camera and light------2 units
2. Metel Mask 재 검사부
(1) Area scan CCD camera, 1K ----------1 set
(2) magnification lens(x39)------------1 set
(3) light -----------------------------1 unit
(4) frame grabber board ---------------1 set
(5) fixtures for camera and light------1 unit
3. Vaccum부:--------------------------- 1Set
(1) PLC get the information of the air pressure.
(2) The hole diameter of Floating bar is 0.8mm~1mm( Regular air pressure generation)
(3) Subject of Discussion :Ring Blower Noise and Particles
(4) Align Moving Type : Servo + LM System
(5) Align Type : 3-Way Centering
(6) Driving Type : The same type as Magnet Roller Conveyor
(7) Frame : Aluminum Profile
4. System control unit
(1) MCU Part
(2) RS-232C 시리얼 통신으로 PC 에서 제어
(3) Camera Trigger Signal 발생
(4) PC에 Image를 전달
(5) PC에서 Vision system과 logistic system, sensor 등을 통합
제어
5. Personal Computer
(1) PC for bur inspection----------2 sets
master PC
(2) PC for Reinspection------------1 set
6. Logistic System
(1) frame--------------------------1 unit
(2) aligning unit------------------1 unit
(3) 불량 main 검출용 컨베이어------1 unit
(4) Extra 컨베이어-----------------1 unit
(5) 불량 제품 분리 장치------------1 식
(6) 기타 불량 제품 분리 장치-------1 식
(7) sensors------------------------1 unit
7. Image processing software
(1) image processing algorithm-----2 units
(2) GUI -----------------1 unit
8. General
1.Descriptions of Objects to Be Inspected
(1) Objects : Defect for Metel Mask
(2) Dimension: 200 x 150 (패턴부위), 510x410(SUS Sheet), 650x550(FRAME)
(크기 및 패턴은 다양함)
(3) Capabilities
(4) Conveyor Line Speed: 6 meter/min
(5) Tact Time: 15 sec line scan camera zone
(6) Filed of View: 65mm (pixel size: 8um/pixel)
(7) 두께 : 0.1t
(8) Rosolution: 10um
(9) Detection Capability: 10um defects or larger
검사스펙 : 크기 200 x 150 (패턴부위), 510x410(SUS Sheet), 650x550(FRAME)
(10)검사시간 : 5min/sheet
이상의 시스템구성에 있어 본 발명품은 전체의 검사속도를 최대로 빠르게 설계 하였으며 기존에 검출이 안 되던 결점도 검출되도록 검사 알고리즘을 개발했으며 또한 무진동의 벨트 컨베이어,로봇시스템 등으로 설계하였고 MMI를 채택하여 일일,주간별,월별 장비상태 및 Metel Mask Lot별 생산이력(불량,양품 구분외)등이 되도 록 설계했으며 자동제어를 통해 최소한의 관리로 생산현장에 최적화 되도록 구성한다.
본 발명시스템은 Metel Mask을 자동으로 전수검사를 위한 머신 비전 시스템의 구성과 검사 방법 그리고 사양 및 그 사용법에 관한 것이다. 본 검사장비는 최적의 검사 환경을 위한 광학 메커니즘 및 조명 제어를 위한 하우징 으 로 이루어지며 조명과 카메라가 아래에 위치한 정밀Stage가 X-Y축으로 자동이동하며 이미지를 얻게 되고 이를 메인 컴퓨터에서 전송받아 검사를 수행하여 정확하게 Ber, Pattern 누락,위치이탈,눌림,들뜸 상태 및 표면의 Scratch, Pinhoe, Dent등의 불량이 존재하는지를 판단하게 된다. 본 발명품은 종래의 문제점인 정렬 및 검사과정에서 오염이 안 되게 설계하였으며 검사속도를 종래방식인 사람이 Metel Mask를 손으로 잡고 현미경을 사용한 목시불량검사 및 불량 분류까지의 소요시간 대비 전체 처리 시간을 약 10배 이상 단축시켰으며, 검사정밀도 즉 검사 수율은 기존대비 약 5배 향상시켰고 다음과 같이 개발되었다. 1).얼라인 마크를 클릭하지 않고 자동 인식하도록 함으로써 사용자에 의한 오류 발생을 최소화함. 2).기준위치에 16 x 16 크기의 렉트를 추가하여 얼라인 마크 200미크론에 대한 이미지 확인 작업 편의성 향상시킴. 3).이미지상 어라인 반복성을 1~2픽셀 이내로 줄임(30미크론 미만). 또한 자동으로 정렬 및 불량을 검사하며 제조라인에서 품질을 실시간으로 검사하고 불량률의 원인규명과 품질향상에 기여하며 생산성을 높이는 효과가 있으며, 사용자는 필요 시 검사 설정에 관한 매개변수를 변경하거나 검사 정도를 조절할 수 있도록 개발되어 종래 의 단순 기능대비 훨씬 유연하고 편리하도록 설계되어 궁극적으로는 불량률을 감소시켜 품질향상과 생산성 향상에 기여되도록 개발되었다.
Figure 112009047787309-UTM00002
본 발명품은 종래의 문제점인 정렬 및 검사과정에서 오염이 않 되게 설계하였으며 검사속도를 종래방식인 사람이 Metel Mask을 잡고 불량검사 Ber, Pattern 누락,위치이탈,눌림,들뜸,scratch, sent,pin hole등 상태불량 분류까지의 소요시간 대비 전체 처리 시간을 약 10배 이상 단축시켰고, 검사정밀도 즉 검사 수율은 기존대비 약 5배 향상시켰으며 다음과 같이 개발되었다.
1).얼라인 마크를 클릭하지 않고 자동 인식하도록 함으로써 사용자에 의한 오류발
생을 최소화함.
2).기준위치에 16 x 16 크기의 렉트를 추가하여 얼라인 마크 200미크론에 대한 이
미지 확인 작업 편의성 향상시킴.
3).이미지상 어라인 반복성을 1~2픽셀 이내로 줄임(30미크론 미만).
본 개발장비는 Metel Mask을 자동으로 정렬시키고 전수검사하며 검사 결과를 사용자에게 리포트 한 후 불량품을 분리해 내기 위한 머신 비전 시스템의 구성과 검사 방법 그리고 사양 및 그 사용법에 관한 것이다.
Figure 112009047787309-UTM00003
상기 그림은 캘리브레이션 완료 이미지이며 작동방법은 다음과 같다.
1.영상 시작 버튼을 클릭한다.
2.네모안에 (Align Point) 들어오게 카메라 조정한다.
3.영상 멈춤 버튼을 클릭한다.
4.Align Point 화면을 클릭한다.
(Point 화면에 빨간색 네모 생성 )
5. 캘리브레이션 버튼 클릭.
(완료시 하얀네모 생성)
6. 영상 확인 버튼을 클릭한다.
7. 얼라인 시작 버튼 클릭.
* 다른 Sheet 작업 시 네모 안에 들어오게 Sheet를 배치하고 얼라 인 시작 버
튼 클릭하여 반복 작업을 한다.
* 새로운 Sheet를 Align할 경우에는 처음부터 시작 한다.
그리고 아래 그림은 Align 완료 이미지 를 나타낸다.
Figure 112009047787309-UTM00004
본 정렬장비는 종래에 사용하던 방식을 다음과 같이 성능을 개선했다.
1.얼라인 마크를 클릭하지 않고 자동 인식하도록 함으로써 사용자에 의한 오류발생을 최소화함.
2.기준위치에 16 x 16 크기의 렉트를 추가하여 얼라인 마크 200미크론에 대한 이미지 확인 작업 편의성 향상시킴.
3.이미지상 얼라인 반복성을 1~2픽셀 이내로 줄임(30미크론 미만).
다음으로 장비 각 세부구성에 대한 것은 다음과 같다. 본 시스템은 [대표도]와 같 이 Metel Mask를 정렬로 비젼부 에 투입하는 Feeder부, transfer부, 기구부, 검사부 및 조명 및 광학부, 제어반 및 검사 소프트웨어부, 구동 motor부 로 이루어져 있다. 우선 Feeder부는 적재된 Metel mask 하나하나를 60PPM이상으로 정열 하여 Escape에 공급한다. 그런 다음 Transfer 는 Escape에 정열된 Metel Mask를 air suction으로 소재를 흡착하여 비젼부 의 stage에 올려놓는 역할을 하며, vacuum으로 Metel Mask를 평편하게 유지시키는 역할을 한다. 또한 기구부 는 Metel Mask의 흐름을 원활하게 하고 정확한 검사 시스템 위로 이송하기 위한 이송 메커니즘, 최적의 검사 환경을 위한 광학 메커니즘 및 조명 제어를 위한 하우징 으 로 이루어지며, 조명 및 광학부는 Metel Mask의 이미지를 얻기 위한 2Set의 카메라 및 렌즈, 고휘도 LED특수 조명 및 광학 필터로 구성된다. 제어파트는 모션 제어부 및 근접 센서, 조명 제어부, 검사 프로그램을 구동하기 위한 호스트 컴퓨터와 주변 장비에 출력을 주고 불량 부품에 대한 리포트를 담당하는 PLC 및 기타 전기, 전자 시스템으로 개발 되였으며 아래 그림은 제어보드 블록도와 흐름도를 나타낸 것으로 그 기능에 관한 것을 나타냈다.
Figure 112009047787309-UTM00005
1. 전원 단자, 2. 카메라 펄스 단자, 3. 조명 펄스 단자
4. 모터 드라이버 단자, 5. Limit 센서 단자
그러면 단자별 기능에 대해 간략히 요약하면 다음과 같다.
1) MCU : PC와 시리얼 통신을 해서 받은 명령을 실행 하는 매개체.
2) 전원부 : 전자 부품에 필요한 전압, 전류를 인가하는 회로.
3) 모터 구동부 및 조명 :모터를 구동하기 위한 펄스와 구동 방향 신호를
만들어 주는 회로 및 조명 신호 인가.
4) 펄스 생성부 : X-Y Stage가 이동하면서 검사 물을 찍을 수 있게 카메라에
펄스를 주는 회로.
5) 센서 구동부 : 검사 물의 유무 판정하는 회로.
Figure 112009047787309-UTM00006
소프트웨어 파트는 [도1]의 도식과 같이 검사 프로그램의 Metel Mask를 이미지를 얻기 위한 프레임 그래버, PLC에 검사 결과 신호를 보내주는 디지털 I/O와 같은 하드웨어 인터페이스 모듈과 사용자와의 인터페이스 및 검사 상태를 디스플레이 하기 위한 UI 모듈, 검사 항목의 선택 및 검사 환경 설정을 위한 검사 설정 모듈, 이미지의 분석 및 처리, 계측 등을 담당하는 커널 모듈로 개발됐다. 다음은 각 도면 등에 관한 것인데 우선 [도 3]은 본 개발장비 개념도로 X-Y 정밀Stage를 조정하여 정렬 를 맞추고 Metel Mask를 평편하게 tension을 유지시켜 제대로 검사가 되도록 하는 장티를 나타낸것이며. [도 4]는 전체 화면을 나타낸 것으로 장비의 디스플레이 Data 및 제어를 하는 UI이며, [도 5]는 비젼시스템 의 카메라,조명, 광학계 등의 Calibration 완료 화면이다, 그리고 [도 6]은 Metel Mask 검사 장비 외관 모습 이며, [도 7]은 제어보드 흐름도를 나타낸 것이며, [도 8]은 검사방법을 Flow chart로 나타낸 것이다. [도 9]은 측정기의 각도 조절위치 등을 나타낸 것이 이며, [도 10]은 전체장비 사진 및 각 파트부 을 나타낸 것이다. [도 11]은 자체 개발한 Auto X-Y-Z motorized Stage부 이며, [도 12]은 자체 개발한 Auto X-Y-Z motorized Stage부의 정면도,측면도이다. [도 13]은 자체 개발한 Auto X-Y-Z motorized Stage부의 평면도이며, [도 14]는 전체장비 도면 및 정면도,평면도,측면도,입면도를 나타낸 것이다.
[도 1]은 영상 획득 및 영상처리 등 Software 내부 구조도 이다.
[도 2]는 전체장비의 작동 흐름 및 부품의 정렬 등의 과정을 도식화했으며 각부의 제어과정도 포함되어있어 이해가 쉽도록 구성하였다.
[도 3]은 전체 장비 구조도 및 구성도이다.
[도 4]은 검사화면 GUI이다.
[도 5]는 비젼시스템 의 카메라,조명, 광학계 등의 Calibration 완료 화면이다.
[도 6]는 전체 장비 외관도 이다.
[도 7]은 제어보드 흐름도를 나타낸 것이다.
[도 8]은 검사방법을 Flow chart로 나타낸 것이다.
[도 9]은 측정기의 각도 조절위치 등을 나타낸 것이다.
[도 10]은 전체장비 외관사진을 나타낸 것이다.
[도 11]은 자체 개발한 Auto X-Y-Z motorized Stage부.
[도 12]은 자체 개발한 Auto X-Y-Z motorized Stage부의 평면도이다.
[도 13]은 자체 개발한 Auto X-Y-Z motorized Stage부의 정면도,측면도이다.
[도 14]은 전체장비 외부도면 및 정면도,측면도,입면도 을 나타낸 것이다.

Claims (17)

  1. Metel mask 자동 검사 장치 및 그 사용법
  2. [도1] 및 영상 획득 및 영상처리 등 Software 내부 구조도
  3. [도 2] 및 전체장비의 작동 흐름 및 정렬 등의 과정을 도식화한 도식도
    각부의 제어과정도 이미지 획득 부의 기구설계도,구조도
  4. [도 3] 및 Metel Mask 전체검사장비의 기구설계도,구조도,기능등
  5. [도 4] 및 화면 구성도,구조도
  6. [도 5] 및 장비 전체외관,외관도.
  7. [도 6]및Metel Mask 비젼시스템 의 사진 및 카메라,조명, 광학계 등의 align원리.
  8. [도 7] 및 제어보드 흐름도, 제어기구설계도,제어구조도,기능
  9. [도 8] 및 시스템작동원리 및 방법
  10. [도 9]및 측정기의 각도 조절위치
  11. [도 10] 및 전체장비 각 부품 및 구성 설계등
  12. 본고에 적용된 Motorised X-Y-Z Stage 설계도 및 Stage조정방법
  13. [도 11] 및 자체 개발한 Auto X-Y-Z motorized Stage부.
  14. [도 12] 및 자체 개발한 Auto X-Y-Z motorized Stage부의 정면도,측면도.
  15. [도 13] 및 자체 개발한 Auto X-Y-Z motorized Stage부의 평면도.
  16. [도 10] 및 전체장비 사진 및 각 구성 및 설계.
  17. [도 14] 및 전체장비 외부도면 및 정면도,측면도,입면도
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KR102304697B1 (ko) * 2020-05-27 2021-09-24 (주)엠시스 메탈 마스크 검사 장치

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