KR101926760B1 - 쏠라셀 웨이퍼 검사장치 - Google Patents

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Abstract

쏠라셀 웨이퍼 검사장치가 개시된다. 실시예에 따르면, 셀 웨이퍼를 검사하는 장치에 있어서, 본체; 본체의 상부에 형성되며 다수의 웨이퍼가 적재되어 보관되는 매거진과, 상기 본체의 상부 일측에 장착되어 선회작동되는 인렛 로봇아암과, 상기 인렛 로봇아암에 형성되며 상기 매거진의 웨이퍼를 흡착하여 인출하는 흡착부로 구성되는 공급부; 본체의 상부에 형성되며 인렛 로붓아암으로부터 이송된 웨이퍼가 안착되고 전원을 공급하는 검사용 프로브장치와, 상기 검사용 프로브장치를 직선방향으로 이동하는 이동레일과, 상기 검사용 프로브장치의 상부에 형성되어 웨이퍼를 촬영하는 카메라로 구성되는 검사부; 검사용 프로브장치의 웨이퍼를 흡착하여 인출하고, 상방으로 반전시켜 검사가 종료된 웨이퍼가 상부에 위치되도록 하는 이송부; 본체의 상부 타측에 장착되어 선회작동되며 상기 이송부의 웨이퍼를 흡착하여 인출하는 흡착부를 구비한 아웃렛 로봇아암과, 상기 본체의 상부 타측에 형성되며 상기 아웃렛 로봇아암에 의해 인출된 웨이퍼를 적층시키는 보관매거진으로 구성되는 배출부;를 포함한다.

Description

쏠라셀 웨이퍼 검사장치{Solar Cell Wafer Inspection Equipment}
개시되는 내용은 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 쏠라셀 웨이퍼의 표면에 형성된 칩핑 또는 오염(stain) 등의 결함의 유무를 검사하는 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에 관한 것이다.
본 명세서에서 달리 표시되지 않는 한, 이 섹션에 설명되는 내용들은 이 출원의 청구항들에 대한 종래 기술이 아니며, 이 섹션에 포함된다고 하여 종래 기술이라고 인정되는 것은 아니다.
웨이퍼는 단결정 실리콘으로 구성된 단결정 웨이퍼(single crystalline wafer)와 다결정 실리콘으로 구성된 다결정 웨이퍼(poly crystalline wafer)으로 분류된다.
단결정 웨이퍼는 주로 반도체용으로 사용되고, 다결정 웨이퍼는 주로 태양광 모듈용으로 사용된다.
쏠라 셀의 제조에 사용되는 태양전지 셀용 웨이퍼는 다결정 실리콘 잉곳을 여러 개의 직육방체로 절단하여 잉곳 부재(이렇게 분할된 잉곳 부재를 브릭(brick) 또는 칼럼(column)이라 함)를 제조하고, 잉곳 부재를 와이어 쏘(wire saw) 절단 방식 등을 이용하여 두께가 얇은 웨이퍼로 슬라이싱함으로써 제조된다.
잉곳 부재를 와이어 쏘 절단 방식을 이용하여 절단할 때 와이어와 잉곳이 만나는 부분에 연마재(abrasive)가 함유된 슬러리(slurry)를 분사하여 잉곳 부재를 얇은 웨이퍼로 슬라이싱하거나, 다이아몬드 미립자와 같은 미세한 연마재가 고착되어 있는 와이어를 이용하여 잉곳 부재를 슬라이싱하는 방식이 사용되고 있다.
이렇게 제조된 웨이퍼는 웨이퍼를 처리하는 각각의 공정 전후로 웨이퍼에 오염물질이 잔류하는지 여부 및 웨이퍼에 칩핑과 같은 결함이 있는지 여부를 검사하는 검사공정을 수행하게 된다.
웨이퍼의 표면에 형성된 칩핑 또는 오염(stain) 등 결함 유무를 검사하기 위해서는 웨이퍼 표면에 전체적으로 균일한 빛을 조사하면서 셀 웨이퍼의 표면을 검사하여 웨이퍼 표면의 검사영역 내에 칩핑 또는 오염(stain) 등의 결함이 존재하는지 여부를 판단하게 된다.
쏠라셀의 검사 및 측정방식은 E/L 방법(Electro luminescence Inspection)과 IV(Electric current & Voltage) 방법이 있다.
E/L방법은 암실내에서 쏠라셀에 저 전류를 인가하면 근적외선 파장의 발광하는 빛을 이용하여 셀 패턴의 단락, 미세 균열, 오염 등을 검사하게 된다.
IV방법은 쏠라셀에 빛을 인가한 후 발생된 전류와 전압량을 측정하여 효율을 검사하는 방식이다.
이외에 암실내에서 쏠라셀에 일정량의 조명을 비춰 셀의 색상 별로 구분하는 것으로 모듈 제작시 같은 색상의 셀로 조합할 수 있는 색상 검사법이 있다.
또한 쏠라셀에 저전류를 인가하고 주파수에 맞는 레이저 값을 인가하여 검사하는 P/L 방법이 있다.
한국 공개특허 10-2013-0030530호.
개시되는 내용은 자동화시스템을 이용하여 쏠라셀 웨이퍼를 정밀하면서 신속하게 검사하여 처리 효율을 월등히 향상시킬 수 있도록 한 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에 관련된다.
실시예의 목적은, 셀 웨이퍼를 검사하는 장치에 있어서, 본체; 본체의 상부에 형성되며 다수의 웨이퍼가 적재되어 보관되는 매거진과, 상기 본체의 상부 일측에 장착되어 선회작동되는 인렛 로봇아암과, 상기 인렛 로봇아암에 형성되며 상기 매거진의 웨이퍼를 흡착하여 인출하는 흡착부로 구성되는 공급부; 본체의 상부에 형성되며 인렛 로붓아암으로부터 이송된 웨이퍼가 안착되고 전원을 공급하는 검사용 프로브장치와, 상기 검사용 프로브장치를 직선방향으로 이동하는 이동레일과, 상기 검사용 프로브장치의 상부에 형성되어 웨이퍼를 촬영하는 카메라로 구성되는 검사부; 검사용 프로브장치의 웨이퍼를 흡착하여 인출하고, 상방으로 반전시켜 검사가 종료된 웨이퍼가 상부에 위치되도록 하는 이송부; 본체의 상부 타측에 장착되어 선회작동되며 상기 이송부의 웨이퍼를 흡착하여 인출하는 흡착부를 구비한 아웃렛 로봇아암과, 상기 본체의 상부 타측에 형성되며 상기 아웃렛 로봇아암에 의해 인출된 웨이퍼를 적층시키는 보관매거진으로 구성되는 배출부;를 포함하는 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에 의해 달성될 수 있다.
개시된 실시예에 따르면, 태양광 전지 셀 웨이퍼에 대한 EL(Electro luminance)검사를 신속하게 수행할 수 있고, 검사 정확도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 실시예에 따른 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에 대한 정면도,
도 2는 실시예에 따른 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에 대한 평면도,
도 3은 실시예에 따른 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에서 '공급부'에 대한 사시도,
도 4는 실시예에 따른 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에서 '검사부'에 대한 사시도,
도 5는 실시예에 따른 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에서 '이송부'에 대한 사시도,
도 6은 실시예에 따른 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에서 '검사용 프로브장치'를 나타낸 사시도,
도 7는 실시예에 따른 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에서 '검사용 프로브장치'를 나타낸 분해사시도,
도 8은 실시예에 따른 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에서 '검사용 프로브장치'에 대한 부분 절개 사시도,
도 9는 실시예에 따른 쏠라셀 웨이퍼 검사장치에서 '검사용 프로브장치'에 대한 단면도.
이하 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.
하기에서 설명될 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.
또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 함을 밝혀둔다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 실시예에 따른 셀 웨이퍼를 검사하는 장치는, 지면에 설치되는 본체(2); 본체(2)의 상부 일측에 형성되어 웨이퍼(W)를 공급하는 공급부(3); 본체(2)의 중간에 형성되어 셀 웨이퍼(W)에 대한 EL 검사를 수행하는 검사부(4); 웨이퍼(W)를 이송하는 이송부(5); 웨이퍼(W)를 최종 배출하는 배출부(6);를 포함하여 구성된다.
상기 공급부(3)는 상기 본체(2)의 상부에 형성되며 다수의 웨이퍼(W)가 적재되어 보관되는 매거진(31)과, 상기 본체(2)의 상부 일측에 장착되어 선회작동되는 인렛 로봇아암(32)과, 상기 인렛 로봇아암(32)에 형성되며 상기 매거진(31)의 웨이퍼(W)를 흡착하여 인출하는 흡착부(33)로 구성된다.
매거진(31)은 4변에 수직한 벽이 형성되고 상부는 개방된 형상이며 다수의 웨이퍼(W)가 내주면에 삽입되어 적재될 수 있고, 하부에는 항상 웨이퍼(W)를 상부로 밀어올리도록 상승장치(30)가 형성된다.
상승장치(30)는 스프링의 탄성력에 의해 미는 힘이 작용하는 로드와, 로드의 상단에 형성되어 웨이퍼가 안착되는 판재로 구성된다.
또한 상기 공급부(3)는 상기 매거진(31)의 웨이퍼(W)를 1개씩 흡착하여 상승한 후 뒤집어서 웨이퍼가 상면에 노출되도록 하는 취출패드(34)와, 상기 취출패드(34)에 결합되는 취출아암(35)과, 상기 취출아암(35)을 뒤집도록 회전시키는 반전장치(36)와, 상기 반전장치(36) 및 취출아암(35)을 상승 또는 하강시키는 승강로드(372)와 승강로드(372)의 출몰작동시키도록 하는 승강유닛(37)을 포함하여 구성된다.
취출패드(34)에는 진공펌프로부터 흡착력이 발생될 수 있어 웨이퍼(W)를 흡착할 수 있다.
웨이퍼(W)를 흡착한 후 매거진(31)으로부터 상승한 다음 반전장치(36)가 취출아암(35)을 뒤집어서 웨이퍼가 상부로 노출되도록 한다.
노출된 웨이퍼를 인렛 로봇아암(32)이 흡착하여 이송시키게 된다.
인렛 로봇아암(32)은 대략 90~120도의 선회반경을 가지며, 이 선회반경 내에서 회전하면서 공급부(3)로부터 웨이퍼를 흡착하여 검사부(4)로 이송시키는 역할을 한다.
반전장치(36)로부터 웨이퍼를 전달받은 인렛 로봇아암(32)은 1차적으로 광발생기(39)에 웨이퍼(W)를 정렬시켜 광 조사에 의해 예열하게 된다.
광발생기(39)는 열을 가할 수 있도록 적외선을 방사하게 된다.
한편 검사부(4)는 상기 본체(2)의 상부에 형성되며 인렛 로붓아암(32)으로부터 이송된 웨이퍼가 안착되고 전원을 공급하는 검사용 프로브장치(T)와, 상기 검사용 프로브장치(T)를 직선방향으로 이동하는 이동레일(42)과, 상기 검사용 프로브장치(T)의 상부에 형성되어 웨이퍼를 촬영하는 카메라(44)로 구성된다.
카메라(44) 및 검사용 프로브장치(T)는 이동레일(42)을 따라 암실(45) 내에서 EL 광을 촬영하여 EL 이미지를 생성시킨다.
카메라(44)가 다결정의 셀 웨이퍼(W)로부터 방출되는 EL 광을 상온과 예열을 가한 후를 각각 구별하여 촬영함에 따라, 셀 웨이퍼(W)에 존재하는 결정립 또는 결정립계가 온도 가열식, 고주파유도 가열식, 핫에어 주입식, 난방 가열식 및 오븐 가열식 중 선택된 어느 하나로부터 발생된 예열에 의해 제거된다.
상온에서 검출 또는 검사하기 어려운 어두운 영역(Dark Area) 상의 마이크로크랙이 결정립 또는 결정립계가 제거되어 EL 이미지를 통해 명확히 드러내 불량 셀 웨이퍼를 명확히 구별 및 검출할 수 있다.
상기 검사용 프로브장치(T)는, 2대가 병렬 배치되며, 설명의 편의상 제1검사용 프로브장치(T) 및 제2검사용 프로브장치(T')로 명명한다.
도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 검사용 프로브장치(T)는, 진공흡입홀이 상부에 다수 형성되고 일측에 진공흡입포트(120)가 형성되어 외부로부터 진공흡입력이 발생되어 진공흡입홀을 통해 진공흡입되도록 하는 진공홀더(100); 진공홀더(100)의 상부에 부착되는 피씨비(200); 피씨비(200)의 상면 및 하면의 가장자리에 부착되어 진공 영역을 형성하는 패킹(300); 피씨비(200)의 상부에 결합되며 셀 웨이퍼(W)가 안착되는 진공블럭(400);을 포함하여 구성된다.
상기 진공홀더(100)는 대략 사각형으로 형성되며, 측면에 다수의 진공흡입포트(120)가 형성되어 이 진공흡입포트(120)에 외부의 진공발생장치(미도시)의 호스가 연결되도록 하고, 내부에는 진공흡입관(미도시)이 배열되며, 상면에는 다수의 진공흡입홀이 형성된다.
따라서 진공흡입력이 발생되면 다수의 진공흡입홀에 균일하게 흡입압이 발생됨으로써 그 상부의 셀 웨이퍼(W)를 하방으로 당기면서 흡착하게 된다.
진공 홀더(100)의 상면에는 복수의 정렬 핀(150)이 수직하게 형성된다. 정렬 핀(150)은 후술될 프레임(600)이 관통 결합되며 정확한 위치를 잡을 수 있게 보조하게 된다.
상기 피씨비(200)는 상면에 연속적으로 교호 형성되는 양극 전원이 공급되는 양극 핑거와 음극 전원이 공급되는 음극 핑거; 양극 핑거에 한쌍으로 형성되는 양극 전압핀홀더과 양극 전류핀홀더; 음극 핑거에 한쌍으로 형성되는 음극 전압핀홀더과 음극 전류핀홀더를 포함한다.
도 9를 참조하면, 진공블럭(400)은 피씨비(200)의 형상과 동일한 사각형으로 형성되고, 바람직하게는 피씨비(200)의 면적 보다 약간 크게 형성된다.
진공블럭(400)에는 상하 관통되는 다수의 핀홀더(430)가 형성되고, 각각의 핀홀더(430)에는 접속핀(500)이 삽입되어 결합된다.
핀홀더(430)는 진공블럭(400)에 수직하게 결합되며 상하 관통 형성된 파이프(432)와, 파이프(432)의 상부 내측으로 삽입되는 캡(434)으로 구성된다.
파이프(432)의 내부에 접속핀(500)이 삽입되고, 캡(434)의 내측에 탐침(520)이 삽입되며, 캡(434)은 파이프(432) 보다 직경이 작게 형성되어 상하로 슬라이딩될 수 있다.
바람직하게는 핀홀더(430)의 상부 일부분이 진공블럭(400)의 상면으로 돌출되어 노출되도록 하고, 접속핀(500)의 상단이 핀홀더(430)의 상단으로부터 상부로 돌출되어 셀 웨이퍼(W)를 지지하도록 하고, 상기 접속핀(500)의 하단이 피씨비(200)에 연결되도록 한다.
상기 접속핀(500)은, 핀홀더(430)에 삽입되는 판상부(540)와, 상기 판상부(540)의 상부에 가늘게 형성되는 탐침(520)과, 상기 판상부(540)의 하부에 가늘게 형성되는 연결바(560)와, 상기 연결바(560)의 하부에 형성되어 피씨비(200)에 접촉되는 하단바(580)로 이루어진다.
판상부(540)와 하단바(580) 사이를 연결하는 연결바(560)는 가늘게 형성됨으로서 탄성력을 발휘할 수 있고, 아울러 탐침(520)도 연결바(560)와 동일 또는 유사하게 가늘게 형성됨으로써 약간의 탄성력을 발휘할 수 있게 된다.
따라서 진공흡입력에 의해 셀 웨이퍼(W)가 하방으로 당겨짐에 따라 탐침 및 연결바(560)가 일시적으로 휘어지면서 탄발력이 생성되고, 진공흡입력이 해제되면 복원력이 작용함에 따라 셀 웨이퍼(W)를 밀어 상승시키게 된다.
상기 피씨비(200)의 외곽에 프레임(600)이 결합된다. 프레임(600)의 일측에는 전압용 커넥터(C3), 양극 커넥터(C2) 및 음극 커넥터(C1)가 삽입되도록 홈이 형성된다.
상기 프레임(600)은 대략 사각형으로 형성되고, 중앙에는 셀 웨이퍼(W)가 삽입되는 공간(620)이 형성되고, 가장자리에는 정렬 핀(150)에 대응되는 통공이 형성된다.
따라서 프레임(600)의 통공에 정렬 핀(150)이 관통하여 결합됨으로써 정확한 위치를 잡아 결합될 수 있게 된다.
따라서 진공홀더(100)의 상부에 피씨비(200)를 부착하고, 피씨비(200)의 상부에 진공블럭(400)을 장착하되, 피씨비(200)의 상,하면 테두리에는 패킹(300)이 삽입되어 진공흡입력이 누설되지 않도록 기밀작업을 한다.
이후 진공블럭(400)의 외주연에 형성된 정렬 핀(150)에 프레임(600)을 결합시켜 정위치에 위치되도록 하고, 프레임(600)의 중앙 공간(620)에 셀 웨이퍼(W)를 삽입하여 진공블럭(400)의 상면에 안착되도록 한다.
안착된 셀 웨이퍼(W)는 접속핀(500)의 상부 탐침(520)에 지지되어 진공블럭(400)의 상면과 이격되어 소정 높이에 위치하게 된다.
이후 진공블럭(400)에 진공흡입력이 작동되면, 진공흡입력에 의해 셀 웨이퍼(W)가 하방으로 당겨짐에 따라 탐침(520) 및 연결바(560)가 일시적으로 만곡지게 휘어지면서 진공블럭(400)의 상면에 근접할때까지 하강하게 된다.
이렇게 셀 웨이퍼(W)가 하강하면서 가압된 접속핀(500)의 하단바가 피씨비(200)에 접촉됨으로써 양극 및 음극 전압과 양극 및 음극 전류가 인가되면서 특성을 검사하게 되고, 불량여부를 판단하게 된다.
이후 진공흡입력이 해제되면 접속핀(500)의 복원력에 의해 셀 웨이퍼(W)를 밀어 상승시킴으로서 접속핀(500)의 하단바가 피씨비(200)와 이격되어 대기 상태에 놓이게 된다.
한편 EL 검사를 마친 셀 웨이퍼(W)를 취출하기 위해 이송부(5)가 작동된다.
상기 이송부(5)는, 검사용 프로브장치(T)의 진공블럭(400)에 안착된 웨이퍼(W)를 흡착하여 인출하고, 상방으로 반전시켜 검사가 종료된 웨이퍼가 상부에 위치되도록 하는 것이다.
상기 이송부(5)는 본체(2)의 상면에 길이방향으로 형성되는 레일(51)과, 상기 레일(51)에 결합되어 레일(51)을 따라 횡방향으로 이동하는 가이드유닛(52); 상기 가이드유닛(52)에 결합된 브라켓(55)에 장착되어 웨이퍼(W)를 흡착하여 저면에 부착시키는 흡착유닛(53); 상기 흡착유닛(53)과 이격되어 브라켓(55)에 장착되고 웨이퍼(W)를 흡착한 후 뒤집어서 상부로 노출되도록 하는 반전유닛(54);을 포함하여 구성된다.
상기 반전유닛(54)은 180도 회전되는 로테이션 축(542)의 일단부에 흡착패드(544)가 형성되고, 로테이션 축(542)의 타단부에 결합되어 회전작동시키는 모터(546)를 포함한다.
흡착유닛(53)과 반전유닛(54)은 각기 검사부(4)의 2개의 검사용 프로브장치(T)에 각기 대응되도록 형성된다.
가이드유닛(52)의 이동 간격은 흡착유닛(53)이 2개의 검사용 프로브장치(T)를 이동하는 간격으로 설정된다.
따라서 흡착유닛(53)이 제1검사용 프로브장치(T)에서 웨이퍼(W)를 취출한 후 휭이동하여 제2검사용 프로브장치(T)에 안착시킬 수 있고, 제2검사용 프로브장치(T)에 있던 웨이퍼(W)를 반전유닛(54)이 취출한 후 반전시킨 다음 아웃렛 로봇아암(62)이 전달받아 배출부(6)로 이송하게 되는 과정을 반복하는 것이다.
상기 배출부(6)는, 본체(2)의 상부 타측에 장착되어 선회작동되며 상기 이송부(5)의 웨이퍼를 흡착하여 인출하는 흡착부(33)를 구비한 아웃렛 로봇아암(62)과, 상기 본체(2)의 상부 타측에 형성되며 상기 아웃렛 로봇아암(62)에 의해 인출된 웨이퍼를 보관매거진(64)에 적층시켜 보관한다.
비록 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.
100 : 진공홀더 200 : 피씨비
300 : 패킹 400 : 진공블럭
W : 셀 웨이퍼 120 : 진공흡입포트
210 : 음극 핑거 220 : 양극 핑거
230 : 양극 전압핀홀더 240 : 양극 전류핀홀더
250 : 음극 전압핀홀더 260 : 음극 전류핀홀더
L1~L4 : 도전선 400 : 진공블럭
430 : 핀홀더 500 : 접속핀
520 : 탐침 540 : 판상부
560 : 연결바 580 : 하단바

Claims (8)

  1. 셀 웨이퍼를 검사하는 장치에 있어서,
    본체;
    상기 본체의 상부에 형성되며 다수의 웨이퍼가 적재되어 보관되는 매거진과, 상기 본체의 상부 일측에 장착되어 선회작동되는 인렛 로봇아암과, 상기 인렛 로봇아암에 형성되며 상기 매거진의 웨이퍼를 흡착하여 인출하는 흡착부로 구성되는 공급부;
    상기 본체의 상부에 형성되며 인렛 로붓아암으로부터 이송된 웨이퍼가 안착되고 전원을 공급하는 검사용 프로브장치와, 상기 검사용 프로브장치를 직선방향으로 이동하는 이동레일과, 상기 검사용 프로브장치의 상부에 형성되어 웨이퍼를 촬영하는 카메라로 구성되는 검사부;
    상기 검사용 프로브장치의 웨이퍼를 흡착하여 인출하고, 상방으로 반전시켜 검사가 종료된 웨이퍼가 상부에 위치되도록 하는 이송부;
    상기 본체의 상부 타측에 장착되어 선회작동되며 상기 이송부의 웨이퍼를 흡착하여 인출하는 흡착부를 구비한 아웃렛 로봇아암과, 상기 본체의 상부 타측에 형성되며 상기 아웃렛 로봇아암에 의해 인출된 웨이퍼를 적층시키는 보관매거진으로 구성되는 배출부;
    를 포함하며,
    상기 공급부는
    상기 매거진의 웨이퍼를 흡착하여 상승한 후 뒤집어서 웨이퍼가 상면에 노출되도록 하는 취출패드;
    상기 취출패드에 결합되는 취출아암;
    상기 취출아암을 뒤집도록 회전시키는 반전장치;
    상기 반전장치 및 취출아암을 상승 또는 하강시키는 승강로드와 승강로드의 출몰작동시키도록 하는 승강유닛;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 쏠라셀 웨이퍼 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 공급부의 매거진은, 4변에 벽이 형성되고 상부는 개방되며, 하부에는 웨이퍼를 상부로 밀어올리는 상승장치가 형성되고,
    상기 상승장치는, 스프링의 탄성력에 의해 미는 힘이 작용하는 로드와, 로드의 상단에 형성되어 웨이퍼가 안착되는 판재를 포함하는 것을 특징으로 하는 쏠라셀 웨이퍼 검사장치.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 반전장치의 일측에는 열을 가할 수 있도록 적외선을 방사하는 광발생기 형성되어 웨이퍼를 광 조사에 의해 예열시키는 것을 특징으로 하는 쏠라셀 웨이퍼 검사장치.
  5. 삭제
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 검사용 프로브장치는,
    진공흡입홀이 상부에 다수 형성되고 일측에 진공흡입포트가 형성되어 외부로부터 진공흡입력이 발생되어 진공흡입홀을 통해 진공흡입되도록 하는 진공홀더;
    상기 진공홀더의 상부에 부착되는 피씨비;
    상기 피씨비의 상면 및 하면의 가장자리에 부착되어 진공 영역을 형성하는 패킹;
    상기 피씨비의 상부에 결합되며 셀 웨이퍼가 안착되는 진공블럭;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 쏠라셀 웨이퍼 검사장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 이송부는
    상기 본체의 상면에 길이방향으로 형성되는 레일;
    상기 레일에 결합되어 레일을 따라 횡방향으로 이동하는 가이드유닛;
    상기 가이드유닛에 결합된 브라켓에 장착되어 웨이퍼를 흡착하여 저면에 부착시키는 흡착유닛;
    상기 흡착유닛과 이격되어 브라켓에 장착되고 웨이퍼를 흡착한 후 뒤집어서 상부로 노출되도록 하는 반전유닛;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 쏠라셀 웨이퍼 검사장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 반전유닛은
    회전되는 로테이션 축의 일단부에 형성되는 흡착패드;
    상기 로테이션 축의 타단부에 결합되어 회전작동시키는 모터;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 쏠라셀 웨이퍼 검사장치.
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