CN114193318A - 一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。

Description

一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线及其控制方法

技术领域

本发明涉及蓝宝石晶片加工技术领域，具体而言，涉及一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线及其控制方法。

背景技术

随着信息化时代的到来，作为信息化产业发展核心的芯片的产量和需求也日益增长。衬底材料是芯片制造的基石，其加工质量和效率直接影响着芯片的质量和产量。蓝宝石具有较高的强度和较大的硬度等机械性能以及优秀的光学性能和化学稳定性，且其价格较低，因此常被用于作为衬底原料以生产LED芯片。目前，蓝宝石芯片在光电产业中逐渐占据主导地位。

蓝宝石芯片的制作流程繁多。从原材料熔融到衬底加工完成之间要经过切、磨、抛等一系列工序，工序之间传送和上下料过程也很多。但是，由于目前衬底加工过程中的上下料传送的自动化程度较低，导致在传送和上下料过程中衬底材料的污染和破损，从而使得加工的成品率下降，成本也随之增加。因此研究出一种用于蓝宝石衬底在研磨过程中的自动上下料装置对于提高生产线的自动化程度，增加蓝宝石生产LED衬底的生产效率以及减低企业的生产成本等具有重要意义。

发明内容

本发明提供了一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线及其控制方法，旨在改善现有的蓝宝石衬底加工过程中因自动化程度较低导致的传送和上下料过程中衬底材料的污染和破损，从而使得加工的成品率下降以及成本增加等问题。

本发明是这样实现的：

一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线，包括：

载片传送装置，用于传送蓝宝石衬底；

双面研磨机，配置在所述载片传送装置的一侧，用于对所述蓝宝石衬底进行研磨，所述双面研磨机上设有若干个用于固定所述蓝宝石衬底的夹具；

晶片清洗机，配置在所述载片传送装置远离所述双面研磨机的一侧，用于对所述蓝宝石衬底进行清洗；

控制单元，所述控制单元分别与所述载片传送装置、所述双面研磨机和所述晶片清洗机电连接；以及

上下料机械手，配置在所述载片传送装置、所述双面研磨机和所述晶片清洗机之间，且所述上下料机械手与所述控制单元电连接，所述上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，所述升降装置一端与所述旋转装置连接，其另一端与所述机械手吸盘连接，所述上下料机械手被构造成可通过所述控制单元控制所述旋转装置旋转，进而带动所述机械手吸盘在所述载片传送装置、所述双面研磨机和所述晶片清洗机之间移动，用于运送所述蓝宝石衬底，以及可通过控制单元控制所述升降装置沿竖直方向移动，进而带动所述机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置所述蓝宝石衬底。

进一步地，在本发明较佳的实施例中，所述载片传送装置包括分设于所述上下料机械手两侧的第一载片传送带和第二载片传送带，所述第一载片传送带和所述第一载片传送带分别与所述控制单元电连接，所述第一载片传送带用于将所述蓝宝石衬底运送到所述上下料机械手处，所述第二载片传送带用于将经所述晶片清洗机清洗后的所述蓝宝石衬底运至下一工位。

进一步地，在本发明较佳的实施例中，所述第一载片传送带和所述第二载片传送带上均设有若干个用于放置所述蓝宝石衬板的第一凹槽，所述第一凹槽的深度为100～800μm。

进一步地，在本发明较佳的实施例中，所述晶片清洗机上形成有一第二凹槽，所述第二凹槽的底部和内壁上分布有若干个清洗喷头。

进一步地，在本发明较佳的实施例中，所述第二凹槽的底部还设有若干个与所述第二凹槽可转动连接的晶片清洗机吸盘。

进一步地，在本发明较佳的实施例中，所述第二凹槽上设有一第一距离传感器，所述上下料机械手上设有一第二距离传感器，所述第一距离传感器和所述第二距离传感器分别与所述控制单元电连接，所述晶片清洗机被构造成可在所述第一距离传感器感应到所述第二距离传感器时，在所述控制单元的控制下将水从所述清洗喷头喷出以对所述蓝宝石衬底的下表面进行清洗，以及在所述蓝宝石衬底吸附在所述晶片清洗机吸盘时对其上表面进行清洗。

进一步地，在本发明较佳的实施例中，所述旋转装置包括旋转臂以及与所述旋转臂固定连接的旋转驱动器，所述旋转驱动器为单侧轴输出型旋转驱动器。

进一步地，在本发明较佳的实施例中，所述升降装置的一端与所述旋转臂远离所述旋转驱动器的一端连接，其另一端与所述机械手吸盘连接，所述机械手吸盘上设有若干个吸盘夹具，所述机械手吸盘上还设有一用于驱动所述机械手吸盘做回转运动的回转气缸。

进一步地，在本发明较佳的实施例中，所述夹具上设有若干个用于放置所述蓝宝石衬底的第三凹槽，所述夹具的中部对称设有若干个感应点，所述上下料机械手上设有一与所述控制单元电连接的颜色传感器，所述颜色传感器被构造成可在所述控制单元控制下随所述上下料机械手移动，并在经过第一个感应点时向所述控制单元发出计时信号，以及在规定时间内经过第二个感应点后向所述控制单元发出停止信号，以使所述控制单元在接收到停止信号后控制所述回转气缸锁定，用于将所述蓝宝石衬底准确地转移到所述第三凹槽内。

一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线的控制方法，包括以下步骤：

S1、上料：所述控制单元控制所述载片传送装置、所述双面研磨机、所述晶片清洗机和所述上下料机械手复位到原点后，将所述蓝宝石衬底放置在所述第一载片传送带的第一凹槽内并传送至所述上下料机械手一侧，接着所述控制单元控制机械手吸盘夹取所述蓝宝石衬底并将其运送至所述夹具中，然后所述控制单元控制所述上下料机械手复位以进行再次上料；

S2、清洗：所述蓝宝石衬底研磨后，所述控制单元控制所述上下料机械手先旋转90°并通过颜色传感器进行定位以夹取所述蓝宝石衬底，然后所述控制单元控制所述上下料机械手旋转180°以将所述蓝宝石衬底运送到所述晶片清洗机的上方，所述控制单元控制清洗喷头出水以对所述蓝宝石衬底的下表面进行清洗，最后控制单元控制上下料机械手下降以使所述蓝宝石衬底的下表面吸附在晶片清洗机吸盘上，并控制所述清洗喷头出水以对所述蓝宝石衬底的上表面进行清洗；

S3、下料：所述蓝宝石衬底清洗后，所述控制单元控制所述上下料机械手将所述蓝宝石衬底从所述晶片清洗机中夹出，旋转90°后放置在第二载片传送带的第一凹槽内以传送至下一工序，重复上述步骤以再次进行蓝宝石衬底的研磨和清洗。

本发明的有益效果是：

1、本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。控制单元分别与载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机和上下料机械手电连接。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，用于运送蓝宝石衬底，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。该蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线在工作时，全程无需人工参与，且各装置之间配合严密。通过传感器和上下料机械手配合进行夹取移动，可控制整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。本发明不仅可运用于蓝宝石衬底的研磨自动化上下料生产线，同样也适用于其他薄片的研磨生产线。

2、本发明的晶片清洗机可分两次对蓝宝石衬底进行清洗，清洗更加全面，从而可避免因人工操作带来的污染，不仅减少了污染来源，还能对蓝宝石衬底进行更加快速且充分的清洗，提高了蓝宝石衬底表面的洁净度。

3、蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线设置于原有加工设备旁，实现全自动生产后可以减少整个芯片生产线的占地面积，节约土地资源，而且加装设备较为简单，不会影响原有产线的生产，可快速应用在现有的设备加工中。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本发明第一实施例的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线的结构示意图；

图2是本发明第一实施例的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线的主视图；

图3是本发明第一实施例的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线的俯视图；

图4是本发明第一实施例的上下料机械手的结构示意图；

图5是本发明第一实施例的晶片清洗机的结构示意图；

图6是本发明第一实施例的夹具的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

参照图1～3所示，本发明第一实施例提供了一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线，包括载片传送装置1、双面研磨机2、晶片清洗机3、控制单元和上下料机械手4。其中，所述控制单元分别与载片传送装置1、双面研磨机2、晶片清洗机3和上下料机械手4电连接。

参照图1所示，在本实施例中，所述载片传送装置1用于传送蓝宝石衬底。该载片传送装置1包括分设于上下料机械手4两侧的第一载片传送带11和第二载片传送带12，且第一载片传送带11和第二载片传送带12分别与控制单元电连接。具体地，在第一载片传送带11和第二载片传送带12上分别设有若干个用于放置蓝宝石衬板的第一凹槽13。所述第一凹槽13的深度为100～800μm。在实际生产中，第一凹槽的具体深度可根据蓝宝石衬底的厚度而定，本发明不做具体限定。通过在第一载片传送带11和第二载片传送带12上设置第一凹槽13，使得蓝宝石衬底可以稳定地运输到上下料机械手4或下一个工位处。

在本实施例中，所述第一载片传送带11和第二载片传送带12上还分别设有一电机14，且电机14分别与控制单元电连接。控制单元通过驱动第一载片传送带11一侧的电机14可带动第一载片传送带11运动，用于将蓝宝石衬底运送到上下料机械手4处，以及通过驱动第二载片传送带12一侧的电机14可带动第二载片传送带12运动，用于将经晶片清洗机3清洗后的蓝宝石衬底运至下一工位以进行后续处理。

参照图1和图6所示，在本实施例中，所述双面研磨机2配置在载片传送装置1的一侧，用于对蓝宝石衬底进行研磨。在双面研磨机2的研磨盘上设有若干个用于固定蓝宝石衬底的夹具21。所述夹具21上设有若干个用于放置蓝宝石衬底的第三凹槽22。其中，第三凹槽22的大小和深度与第一凹槽13相同。

参照图1和图5所示，在本实施例中，所述晶片清洗机3配置在载片传送装置1远离双面研磨机2的一侧，用于对蓝宝石衬底进行清洗。在晶片清洗机3上形成有一第二凹槽31，且该第二凹槽31的底部和内壁上分布有若干个清洗喷头32，用于对蓝宝石衬底进行清洗。在第二凹槽31的底部还设有若干个与第二凹槽31可转动连接的晶片清洗机吸盘33。通过设置可转动的晶片清洗机吸盘33可在清洗时带动蓝宝石衬底进行旋转，从而使其得到充分的清洗。

参照图1和图4所示，在本实施例中，所述上下料机械手4配置在载片传送装置1、双面研磨机2和晶片清洗机3之间，且该上下料机械手4包括升降装置41、旋转装置42和机械手吸盘43。所述旋转装置42包括旋转臂421以及与旋转臂421固定连接的旋转驱动器422。优选地，旋转驱动器422为70mm规格单侧轴输出型旋转驱动器，其摆动角度为0～360°，以带动旋转臂完成旋转动作。所述升降装置41的一端与旋转臂421远离旋转驱动器422的一端连接，其另一端与机械手吸盘43连接。具体地，该升降装置41采用双作业三轴气缸以带动机械手吸盘43沿竖直方向做升降运动。该双作业三轴气缸的最大行程为200mm。

参照图4所示，在机械手吸盘上43设有若干个吸盘夹具431，用于吸附蓝宝石衬底。其中，若干个吸盘夹具431的分布与第一凹槽13的分布相对应，以便于吸盘夹具431夹取与其对应的第一凹槽13内的蓝宝石衬板。优选地，吸盘夹具431由丁晴橡胶制成，其不仅耐油耐磨耐老化，而且在吸附夹取蓝宝石衬底时不易伤害蓝宝石衬底表面，从而可避免污染和损坏蓝宝石衬底。在机械手吸盘43上还设有一用于驱动机械手吸盘43做回转运动的回转气缸432。通过设置回转气缸432能够带动机械手吸盘43进行回转运动，从而便于蓝宝石衬底的转移放置。所述上下料机械手4被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转42，进而带动机械手吸盘43在载片传送装置1、双面研磨机2和晶片清洗机3之间移动，用于运送蓝宝石衬底，以及可通过控制单元控制升降装置41沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘43沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。

参照图2和图6所示，在本实施例中，在夹具21的中部对称设有若干个感应点23。优选地，感应点23为红点，其数量为8，该感应点23呈点对称方式分布。当然，需要说明的是，感应点的数量可根据实际需要进行设置，本发明不做具体限定。所述上下料机械手4上设有一与控制单元电连接的颜色传感器5。所述颜色传感器5被构造成可在控制单元控制下随上下料机械手4移动，并在经过第一个感应点23时向控制单元发出计时信号，以及在规定时间内经过第二个感应点23后向控制单元发出停止信号，以使控制单元在接收到停止信号后控制回转气缸锁定，用于将蓝宝石衬底准确地转移到第三凹槽22内。在本实施例中，所述感应点23在与上下料机械手4距离为100mm处可以被上下料机械手4上的颜色传感器5检测到。

参照图3和图5所示，在本实施例中，在第二凹槽31上设有一第一距离传感器6，上下料机械手4上设有一与第一距离传感器6相适配的第二距离传感器。第一距离传感器6和第二距离传感器分别与控制单元电连接。所述晶片清洗机5被构造成可在第一距离传感器6感应到第二距离传感器时，在控制单元的控制下将水从清洗喷头32喷出以对蓝宝石衬底的下表面进行清洗，以及在蓝宝石衬底吸附在晶片清洗机吸盘33时对其上表面进行清洗。

当第一距离传感器6检测到第二距离传感器时会将该信号发送给控制单元。控制单元接收到信号后控制上下料机械手4停止运动以将蓝宝石衬底固定在指定位置，并控制清洗喷头32喷水进行蓝宝石衬底下表面清洗。下表面清洗完成后，控制单元控制机械手吸盘43向下运动至蓝宝石衬底吸附在晶片清洗机吸盘33上，并控制清洗喷头32喷水以对蓝宝石衬底的上表面进行清洗。通过在晶片清洗机3的底部和内壁上设置清洗喷头32以及通过控制单元控制清洗喷头32对蓝宝石衬底的下表面进行一次清洗以及对蓝宝石衬底的上表面进行二次清洗，使得蓝宝石衬底的上表面和下表面均能得到完全的清洗。此外，由于晶片清洗机吸盘33可以旋转，因此可对蓝宝石衬底进行更彻底的清洗。本发明通过双作业三轴气缸和旋转气缸带动机械手吸盘43进行直线升降和回转运动，并由气泵配合吸盘夹具431进行蓝宝石衬底的抓取，而且在上下料机械手4上还分别安装了距离传感器和颜色传感器5，可以便于在上下料机械手4在上下料时进行伸缩控制和精准定位，以配合自动化流水线其余装置的工作。

本发明利用上下料机械手4进行自动化上下料，并利用双面研磨机2进行自动研磨以及利用晶片清洗机3进行自动清洗，从而实现了蓝宝石衬底研磨生产线的自动化程度，不仅极大的避免了蓝宝石衬底在上下料和传送过程中的损失，使得蓝宝石衬底的成品率大大提高，而且采用自动化设备代替人工还可以减少人力的投入和保障工人的人身安全，增加蓝宝石生产LED衬底的生产效率，进而降低企业的生产成本。

在一个优选实施例中，所述双面研磨机2的上磨盘上设有若干个吹气口，所述吹气口上连接有气管，用于对研磨后的蓝宝石衬板进行吹气。优选地，吹气口的直径为10mm。通过在双面研磨机2上设置吹气口可以防止研磨后的蓝宝石衬底粘在下磨盘上，便于上下料机械手4的抓取。

参照图1～6所示，本发明的第二实施例提供了一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线的控制方法，包括以下步骤：

S1、上料：所述控制单元控制载片传送装置1、双面研磨机2、晶片清洗机3和上下料机械手4复位到原点后，将蓝宝石衬底放置在第一载片传送带11的第一凹槽13内并传送至上下料机械手4一侧的固定位置。控制单元控制机械手吸盘43下降并对蓝宝石衬底进行识别和夹取后，该机械手吸盘43上升并旋转90°以将蓝宝石衬底运送至夹具21中。其中，通过颜色传感器5和感应点23互相配合，使得机械手吸盘43可以将蓝宝石衬底准确地放置在夹具21内。然后控制单元控制上下料机械手4复位以进行再次上料。

S2、清洗：蓝宝石衬底研磨后，控制单元控制上下料机械手4先旋转90°并通过颜色传感器5进行定位并夹取蓝宝石衬底。然后控制单元控制所述上下料机械手4旋转180°到达晶片清洗机3的上方，并控制升降装置41下降。此时，当第一距离传感器6检测到第二距离传感器后，其会向控制单元发送信号，控制单元接收到信号后控制升降装置41停止运动以及控制清洗喷头32出水以对蓝宝石衬底的下表面进行清洗。下表面清洗完成后，控制单元控制上下料机械手4下降以使蓝宝石衬底的下表面吸附在晶片清洗机吸盘33上，并控制清洗喷头32出水以对蓝宝石衬底的上表面进行清洗。

S3、下料：蓝宝石衬底清洗后，控制单元控制上下料机械手4将蓝宝石衬底从晶片清洗机3中夹出，旋转90°后放置在第二载片传送带12的第一凹槽13内以传送至下一工序，重复上述步骤以再次进行蓝宝石衬底的研磨和清洗。

以上所述仅为本发明的优选实施方式而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线，其特征在于，包括：

载片传送装置，用于传送蓝宝石衬底；

双面研磨机，配置在所述载片传送装置的一侧，用于对所述蓝宝石衬底进行研磨，所述双面研磨机上设有若干个用于固定所述蓝宝石衬底的夹具；

晶片清洗机，配置在所述载片传送装置远离所述双面研磨机的一侧，用于对所述蓝宝石衬底进行清洗；

控制单元，所述控制单元分别与所述载片传送装置、所述双面研磨机和所述晶片清洗机电连接；以及

上下料机械手，配置在所述载片传送装置、所述双面研磨机和所述晶片清洗机之间，且所述上下料机械手与所述控制单元电连接，所述上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，所述升降装置一端与所述旋转装置连接，其另一端与所述机械手吸盘连接，所述上下料机械手被构造成可通过所述控制单元控制所述旋转装置旋转，进而带动所述机械手吸盘在所述载片传送装置、所述双面研磨机和所述晶片清洗机之间移动，用于运送所述蓝宝石衬底，以及可通过控制单元控制所述升降装置沿竖直方向移动，进而带动所述机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置所述蓝宝石衬底。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线，其特征在于，所述载片传送装置包括分设于所述上下料机械手两侧的第一载片传送带和第二载片传送带，所述第一载片传送带和所述第一载片传送带分别与所述控制单元电连接，所述第一载片传送带用于将所述蓝宝石衬底运送到所述上下料机械手处，所述第二载片传送带用于将经所述晶片清洗机清洗后的所述蓝宝石衬底运至下一工位。

3.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线，其特征在于，所述第一载片传送带和所述第二载片传送带上均设有若干个用于放置所述蓝宝石衬板的第一凹槽，所述第一凹槽的深度为100～800μm。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线，其特征在于，所述晶片清洗机上形成有一第二凹槽，所述第二凹槽的底部和内壁上分布有若干个清洗喷头。

5.根据权利要求4所述的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线，其特征在于，所述第二凹槽的底部还设有若干个与所述第二凹槽可转动连接的晶片清洗机吸盘。

6.根据权利要求5所述的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线，其特征在于，所述第二凹槽上设有一第一距离传感器，所述上下料机械手上设有一第二距离传感器，所述第一距离传感器和所述第二距离传感器分别与所述控制单元电连接，所述晶片清洗机被构造成可在所述第一距离传感器感应到所述第二距离传感器时，在所述控制单元的控制下将水从所述清洗喷头喷出以对所述蓝宝石衬底的下表面进行清洗，以及在所述蓝宝石衬底吸附在所述晶片清洗机吸盘时对其上表面进行清洗。

7.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线，其特征在于，所述旋转装置包括旋转臂以及与所述旋转臂固定连接的旋转驱动器，所述旋转驱动器为单侧轴输出型旋转驱动器。

8.根据权利要求7所述的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线，其特征在于，所述升降装置的一端与所述旋转臂远离所述旋转驱动器的一端连接，其另一端与所述机械手吸盘连接，所述机械手吸盘上设有若干个吸盘夹具，所述机械手吸盘上还设有一用于驱动所述机械手吸盘做回转运动的回转气缸。

9.根据权利要求8所述的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线，其特征在于，所述夹具上设有若干个用于放置所述蓝宝石衬底的第三凹槽，所述夹具的中部对称设有若干个感应点，所述上下料机械手上设有一与所述控制单元电连接的颜色传感器，所述颜色传感器被构造成可在所述控制单元控制下随所述上下料机械手移动，并在经过第一个感应点时向所述控制单元发出计时信号，以及在规定时间内经过第二个感应点后向所述控制单元发出停止信号，以使所述控制单元在接收到停止信号后控制所述回转气缸锁定，用于将所述蓝宝石衬底准确地转移到所述第三凹槽内。

10.一种如权利要求1～9任意一项所述的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、上料：所述控制单元控制所述载片传送装置、所述双面研磨机、所述晶片清洗机和所述上下料机械手复位到原点后，将所述蓝宝石衬底放置在所述第一载片传送带的第一凹槽内并传送至所述上下料机械手一侧，接着所述控制单元控制机械手吸盘夹取所述蓝宝石衬底并将其运送至所述夹具中，然后所述控制单元控制所述上下料机械手复位以进行再次上料；

S2、清洗：所述蓝宝石衬底研磨后，所述控制单元控制所述上下料机械手先旋转90°并通过颜色传感器进行定位以夹取所述蓝宝石衬底，然后所述控制单元控制所述上下料机械手旋转180°以将所述蓝宝石衬底运送到所述晶片清洗机的上方并下降至固定位置，所述控制单元控制清洗喷头出水以对所述蓝宝石衬底的下表面进行清洗，最后控制单元控制上下料机械手下降以使所述蓝宝石衬底的下表面吸附在晶片清洗机吸盘上，并控制所述清洗喷头出水以对所述蓝宝石衬底的上表面进行清洗；

S3、下料：所述蓝宝石衬底清洗后，所述控制单元控制所述上下料机械手将所述蓝宝石衬底从所述晶片清洗机中夹出，旋转90°后放置在第二载片传送带的第一凹槽内以传送至下一工序，重复上述步骤以再次进行蓝宝石衬底的研磨和清洗。

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