CN213936148U - 一种晶圆生产用上下料装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 61
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000003245 working effect Effects 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种晶圆生产用上下料装置，涉及晶圆生产技术领域。本实用新型包括伺服电机、传动装置、传送装置、固定槽和机械手，固定槽内部安装有传送装置，传送装置穿过固定槽与传动装置转动连接，传动装置一旁转动连接有三台伺服电机，固定槽一侧尾端固定有机械手。本实用新型通过设置机械手和伺服电机，解决了现有的晶圆生产用上下料装置在上料的过程中用到的机械手不够灵活，给上料过程带来了很多不便；功率较小，从而使传送的时候效率不高，影响工作流程进度的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆生产技术领域，特别是涉及一种晶圆生产用上下料装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999%，在晶圆生产过程中，需要对其进行上下料操作，但是现有的晶圆生产用上下料装置存在以下缺陷：
1、传统的晶圆生产用上下料装置在上料的过程中用到的机械手不够灵活，给上料过程带来了很多不便。
2、传统的晶圆生产用上下料装置功率较小，从而使传送的时候效率不高，影响工作流程进度。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆生产用上下料装置，通过设置机械手和伺服电机，解决了现有的晶圆生产用上下料装置在上料的过程中用到的机械手不够灵活，给上料过程带来了很多不便；功率较小，从而使传送的时候效率不高，影响工作流程进度的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
本实用新型为一种晶圆生产用上下料装置，包括伺服电机、传动装置、传送装置、固定槽和机械手，所述固定槽内部安装有传送装置，所述传送装置穿过固定槽与传动装置转动连接，所述传动装置一旁转动连接有三台伺服电机，伺服电机的输出轴转动连接在传动装置内，所述固定槽一侧尾端固定有机械手。
进一步地，所述传动装置包括传动齿轮和齿轮带，所述传动齿轮共有三个，三个传动齿轮分别与三台伺服电机的输出轴转动连接，所述齿轮带转动连接在三个传动齿轮外，齿轮带内圈设置有齿轮结构与传动齿轮转动连接。
进一步地，所述传送装置包括传送转轴、从动转轮和传送带，所述传送转轴共有四个，传送转轴一头与固定槽内壁一侧的固定轴承转动连接，另一头穿过固定槽内壁另一侧的固定轴承和转轴孔与齿轮带转动连接，传送转轴与齿轮带转动连接的一头设置有齿轮结构，每个所述传送转轴外固定连接有从动转轮，从动转轮转动连接在传送带内部，与传送转轴固定连接，所述传送带转动连接在四个从动转轮外，传送带外层为橡胶材质，具有适当的动摩擦因数，其内部紧贴连接四个从动转轮。
进一步地，所述固定槽内壁两侧固定有八个固定轴承，固定槽为上方和两头不封闭的长槽型结构，八个固定轴承两两相对分为四组，每组对应一个传送转轴，所述固定槽近传动装置的一侧设置有四个转轴孔，四个转轴孔的位置在固定槽内壁一侧的四个固定轴承旁，四个转轴孔分别对应四个传送转轴，传送转轴穿过转轴孔。
进一步地，所述机械手前端下方固定连接有吸附托盘，机械手分为三部分，与吸附托盘连接的前部可以上下伸缩，与驱动机箱连接的后部也可上下伸缩并且旋转，机械手中部位置可以水平伸缩，吸附托盘直径略小于晶圆直径大小，所述机械手尾端下方固定连接有驱动机箱，驱动机箱内部设置有驱动装置。
本实用新型具有以下有益效果：
1、本实用新型通过设置机械手，解决了传统的晶圆生产用上下料装置在上料的过程中用到的机械手不够灵活，给上料过程带来了很多不便的问题，本实用新型机械手分为三部分，与吸附托盘连接的前部可以上下伸缩，与驱动机箱连接的后部也可上下伸缩并且旋转，机械手中部位置可以水平伸缩，这样的设计使机械手可以多角度的操作，使工作更加方便。
2、本实用新型通过设置伺服电机，解决了传统的晶圆生产用上下料装置功率较小，从而使传送的时候效率不高，影响工作流程进度的问题，本实用新型三台伺服电机同时工作，使装置工作效率更高。
当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型传动装置的结构示意图；
图3为本实用新型传送装置的结构示意图；
图4为本实用新型固定槽的结构示意图；
图5为本实用新型机械手的结构示意图；
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
100、伺服电机；200、传动装置；201、传动齿轮；202、齿轮带；300、传送装置；301、传送转轴；302、从动转轮；303、传送带；400、固定槽；401、固定轴承；402、转轴孔；500、机械手；501、吸附托盘；502、驱动机箱。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5所示，本实用新型为一种晶圆生产用上下料装置，包括伺服电机100、传动装置200、传送装置300、固定槽400和机械手500，固定槽400内部安装有传送装置300，固定槽400的作用是安装固定传送装置300，使其能够正常稳定工作，传送装置300用于传送晶圆，传送装置300穿过固定槽400与传动装置200转动连接，传动装置200的作用是把伺服电机100的驱动力传给传送装置300，传动装置200一旁转动连接有三台伺服电机100，伺服电机100的输出轴转动连接在传动装置200内，三台伺服电机100同时工作，使装置工作效率更高，固定槽400一侧尾端固定有机械手500，机械手500用于取料，吸附晶圆，将其移动到传送装置300上。
其中如图1、2所示，传动装置200包括传动齿轮201和齿轮带202，传动齿轮201共有三个，三个传动齿轮201分别与三台伺服电机100的输出轴转动连接，伺服电机100驱动传动齿轮201转动，齿轮带202转动连接在三个传动齿轮201外，齿轮带202内圈设置有齿轮结构与传动齿轮201转动连接，传动齿轮201转动带动齿轮带202运动。
其中如图1、3所示，传送装置300包括传送转轴301、从动转轮302和传送带303，传送转轴301共有四个，传送转轴301一头与固定槽400内壁一侧的固定轴承401转动连接，另一头穿过固定槽400内壁另一侧的固定轴承401和转轴孔402与齿轮带202转动连接，传送转轴301与齿轮带202转动连接的一头设置有齿轮结构，齿轮带202运动带动四个传送转轴301转动，每个传送转轴301外固定连接有从动转轮302，从动转轮302转动连接在传送带303内部，与传送转轴301固定连接，传送转轴301转动带动从动转轮302转动，传送带303转动连接在四个从动转轮302外，传送带303外层为橡胶材质，具有适当的动摩擦因数，其内部紧贴连接四个从动转轮302，传送带303用于传送晶圆，从动转轮302转动带动传送带303运动，传送带303运动把晶圆从前端传送到尾端。
其中如图1、4所示，固定槽400内壁两侧固定有八个固定轴承401，固定槽400为上方和两头不封闭的长槽型结构，八个固定轴承401两两相对分为四组，每组对应一个传送转轴301，固定轴承401的作用是通过与传送转轴301的转动连接使传送装置300安装在固定槽400内，固定槽400近传动装置200的一侧设置有四个转轴孔402，四个转轴孔402的位置在固定槽400内壁一侧的四个固定轴承401旁，四个转轴孔402分别对应四个传送转轴301，传送转轴301穿过转轴孔402，转轴孔402用于使传送转轴301可以穿过固定槽400与齿轮带202转动连接。
其中如图1、5所示，机械手500前端下方固定连接有吸附托盘501，机械手500分为三部分，与吸附托盘501连接的前部可以上下伸缩，与驱动机箱502连接的后部也可上下伸缩并且旋转，机械手500中部位置可以水平伸缩，这样的设计使机械手500可以多角度的操作，使工作更加方便，吸附托盘501直径略小于晶圆直径大小，其用于吸附晶圆，方便机械手500移动晶圆，机械手500尾端下方固定连接有驱动机箱502，驱动机箱502内部设置有驱动装置，为机械手500和吸附托盘501工作提供动力。
工作原理：本实用新型用于对晶圆上下料，驱动机箱502内的驱动装置驱动机械手500和吸附托盘501工作，吸附托盘501吸附晶圆将其移动到传送带303上，机械手500分为三部分，与吸附托盘501连接的前部可以上下伸缩，与驱动机箱502连接的后部也可上下伸缩并且旋转，机械手500中部位置可以水平伸缩，这样的设计使机械手500可以多角度的操作，使工作更加方便，启动伺服电机100开始工作，三台伺服电机100同时工作，使装置工作效率更高，伺服电机100输出轴驱动传动齿轮201转动，传动齿轮201转动带动齿轮带202运动，齿轮带202运动带动四个传送转轴301转动，传送转轴301转动带动从动转轮302转动，从动转轮302转动带动传送带303运动，传送带303运动把晶圆从前端传送到尾端，然后下料。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
Claims (5)
1.一种晶圆生产用上下料装置，包括伺服电机（100）、传动装置（200）、传送装置（300）、固定槽（400）和机械手（500），其特征在于：所述固定槽（400）内部安装有传送装置（300），所述传送装置（300）穿过固定槽（400）与传动装置（200）转动连接，所述传动装置（200）一旁转动连接有三台伺服电机（100），所述固定槽（400）一侧尾端固定有机械手（500）。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用上下料装置，其特征在于，所述传动装置（200）包括传动齿轮（201）和齿轮带（202），所述传动齿轮（201）共有三个，所述齿轮带（202）转动连接在三个传动齿轮（201）外。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用上下料装置，其特征在于，所述传送装置（300）包括传送转轴（301）、从动转轮（302）和传送带（303），所述传送转轴（301）共有四个，每个所述传送转轴（301）外固定连接有从动转轮（302），所述传送带（303）转动连接在四个从动转轮（302）外。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用上下料装置，其特征在于，所述固定槽（400）内壁两侧固定有八个固定轴承（401），所述固定槽（400）近传动装置（200）的一侧设置有四个转轴孔（402）。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆生产用上下料装置，其特征在于，所述机械手（500）前端下方固定连接有吸附托盘（501），所述机械手（500）尾端下方固定连接有驱动机箱（502）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022938454.7U CN213936148U (zh) | 2020-12-11 | 2020-12-11 | 一种晶圆生产用上下料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022938454.7U CN213936148U (zh) | 2020-12-11 | 2020-12-11 | 一种晶圆生产用上下料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213936148U true CN213936148U (zh) | 2021-08-10 |
Family
ID=77149822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022938454.7U Active CN213936148U (zh) | 2020-12-11 | 2020-12-11 | 一种晶圆生产用上下料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213936148U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114193318A (zh) * | 2021-12-15 | 2022-03-18 | 华侨大学 | 一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线及其控制方法 |
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2020
- 2020-12-11 CN CN202022938454.7U patent/CN213936148U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114193318A (zh) * | 2021-12-15 | 2022-03-18 | 华侨大学 | 一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线及其控制方法 |
| CN114193318B (zh) * | 2021-12-15 | 2022-12-27 | 华侨大学 | 一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线及其控制方法 |
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address | ||
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