KR20140147537A - 기판 지지 장치 - Google Patents

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KR20140147537A
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김영범
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Abstract

액정 표시 장치용 패널이 기판 점착판 상에서 가압 공정을 수행할 때 기판이 깨지거나, 버블이 생성되지 않도록 조절하는 기판 간격 조절 장치 및 이를 포함하는 기판 조절 장치가 제공된다.
기판 간격 조절 장치는 기판 점착판, 기판 점착판과 결합되어 있는 리프트 핀, 리프트 핀에 결합되어 있는 탄성체를 포함한다.

Description

기판 지지 장치{Substrate support device}
본 발명은 기판 지지 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 합착시 사용되는 기판 지지 장치에 관한 것이다.
근래 다양한 표시 장치가 개발되어, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), LED(Electro Luminescent Display), OLED(Organic Light Emitting Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등의 평판 표시 장치가 개발되었다. 예컨대, LCD는 한쌍의 유리기판으로 제조되는데, 다양한 크기의 LCD를 만들기 위해서는 적절한 유리기판의 절단이 필요하다.
반도체기판, 액정표시장치용 기판, 플라즈마 디스플레이용 기판, 광디스크용 기판, 자기디스크용 기판, 광자기디스크용 기판, 포토마스크용 기판 등의 각종 기판에 여러 가지의 처리를 행하기 위해, 기판 지지 장치가 사용되며, 기판 지지 장치는 반도체 웨이퍼(Wafer)의 제조공정이나 액정표시패널의 유리기판의 제조공정에 마련된 챔버 내에 장착되며, 챔버 내로 이송되는 웨이퍼나 유리기판을 지지하는 데에 사용된다.
그런데, 기판 지지 장치는 대상 기판과 접하는 기판척의 일부 부위가 플레이트 표면으로부터 돌출되어 있고, 해당 돌출 부위는 상하의 움직임이 없이 고정되어 있어 대상 기판을 지지하여 면 가압할 경우에는 대상 기판이 깨지게 되거나 갭 불량, 실라인 버블 등 여러 문제가 발생할 수 있다.
이에 따라, 대상 기판에 대한 가압 공정을 성공적으로 수행하기 위해 플레이트 표면의 돌출 부위를 플레이트 표면과 동일한 높이까지 조절하는 것이 필요하다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 액정 표시 장치용 패널이 기판 점착판 상에서 가압 공정을 수행할 때, 기판이 깨지거나 버블이 생성되는 것으로부터 방지될 수 있는 기판 간격 조절 유닛을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 다수의 오목홈 내에 기판 간격 조절 유닛을 포함하고 있어 액정 표시 장치용 패널이 깨지지 않고 면가압 공정 등을 수행할 수 있는 기판 지지 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치용 패널을 지지하는 기판 간격 조절 유닛은 기판 점착판, 기판 점착판과 결합되어 있는 리프트 핀 및 리프트 핀에 결합되어 있는 탄성체를 포함한다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치는 다수의 오목홈을 포함하는 플레이트 및 각 오목홈에는 액정 표시 장치용 패널을 지지하는 기판 간격 조절 유닛을 포함한다
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치용 패널을 지지하는 기판 간격 조절 유닛은 기판 점착판, 기판 점착판과 결합되어 있는 리프트 핀 및 리프트 핀에 결합되어 있는 탄성체를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치용 패널이 기판 간격 조절 유닛의 기판 점착판 상에서 가압 공정을 수행할 때 기판이 깨지거나, 버블이 생성되는 문제가 극복될 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 기판 지지 장치에서 대상 기판이 가압되는 과정을 보여주는 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이다.
도 5는 도 4의 기판 지지 장치에서 대상 기판이 가압되는 과정을 보여주는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이다.
도 7은 도 6의 기판 지지 장치에서 대상 기판이 가압되는 과정을 보여주는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이다.
도 10은 도 9의 기판 지지 장치에서 대상 기판이 가압되는 과정을 보여주는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치의 단면도이다.
도 12은 도 11의 기판 지지 장치에서 대상 기판이 가압되는 과정을 보여주는 단면도이다.
도 13는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치의 평면도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상 기판 및 기판 지지 장치의 사시도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치의 일부 평면도이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치 기판 지지 장치(100)의 단면도이다.
도 1을 참조하면, 기판 지지 장치(100)는 복수의 오목홈(181)을 포함하는 플레이트 및 오목홈(181) 내에 배치된 기판 간격 조절 유닛(130)을 포함한다.
플레이트 상에는 대상 기판이 지지된다. 플레이트는 정전척 또는 진공척(180)으로 기능할 수 있다. 플레이트가 진공척(180)으로 기능하는 경우, 플레이트는 표면으로부터 하부로 관통하는 복수의 진공관(미도시)을 포함할 수 있다.
대상 기판은 반도체 기판이나, 액정 표시 장치(LCD), 유기발광 표시장치(OLED), 전기영동 표시장치, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등과 같은 디스플레이용 기판 또는 디스플레이용 패널 등일 수 있다.
또한, 대상 기판은 베어 기판(bare substrate)이거나, 박막이나 배선과 같은 구조물이 형성된 기판일 수 있다. 또한, 상기 기판은 하나의 단위 셀을 포함하는 기판이거나, 복수의 단위 셀을 포함하는 모기판으로서, 후에 커팅되어 각 셀 단위로 표시기판으로 수확되는 모기판일 수 있다. 아울러, 상기 기판은 단일 기판이거나 2 이상이 접촉하여 또는 이격되어 대향하도록 배치된 적층 기판일 수도 있다.
플레이트는 지지되는 대상 기판에 요구되는 면적 및 강도를 갖도록 설계될 수 있다. 플레이트는 고강도의 금속 물질, 예컨대 알루미늄이나 스테인레스강으로 형성될 수 있다.
플레이트에는 복수의 오목홈(181)이 형성된다. 각 오목홈(181)은 일정 간격으로 배열될 수 있지만, 이에 제한되지 않는다. 오목홈(181)의 저면은 플레이트에 의해 정의될 수 있다. 오목홈(181) 저면은 개구(135)를 포함할 수 있다. 개구(135)는 플레이트 하측으로 관통할 수 있다. 개구(135)의 하단은 진공 유닛(미도시)에 연결될 수 있다. 오목홈(181)은 진공 유닛의 구동에 의해 음압이 가해질 수 있다.
오목홈(181) 내에는 기판 간격 조절 유닛(130)이 배치된다. 기판 간격 조절 유닛(130)은 리프트 핀(132), 리프트 핀(132) 상에 배치된 기판 점착판(131), 및 리프트 핀(132)에 설치되어 리프트 핀(132)의 상하 방향 운동을 제어하는 탄성체(133)를 포함한다.
리프트 핀(132)은 하부의 핀 기둥(132b) 및 상부의 핀 헤드(132a)를 포함할 수 있다. 핀 헤드(132a)는 핀 기둥(132b)에 비해 상대적으로 넓은 폭을 가질 수 있다. 핀 헤드(132a)는 플레이트의 오목홈(181)에 삽입되고, 핀 기둥(132b)의 적어도 일부는 플레이트의 저면에 설치된 개구(135)에 삽입될 수 있다. 핀 헤드(132a)의 폭을 플레이트 개구(135)보다 크게 형성하면, 핀 헤드(132a)의 하단이 개구(135) 측으로 삽입되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 오목홈(181) 저면이 걸림턱으로 작용함에 따라, 핀 헤드(132a)가 오목홈(181)의 저면보다 아래로 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
핀 헤드(132a)의 상부 면에는 기판 점착판(131)이 배치된다. 기판 점착판(131)은 대상 기판과 접촉하는 부위로서, 점착력을 가져 대상 기판에 대해 마찰력을 부여하며, 그에 따라 대상 기판이 미끌어지는 것을 방지하는 역할을 한다. 기판 점착판(131)은 예를 들어, 이소부텐과 이소프렌으로 구성된 부틸계, 아크릴계, 실리콘계, 불소수지계 수지 등으로 형성될 수 있다.
탄성체(133)는 리프트 핀(132)에 설치되어, 리프트 핀(132)의 상하 방향 운동을 제어한다. 탄성체(133)로는 스프링, 스폰지, 폴리우레탄 등으로 이루어진 탄성 시트 등이 예시될 수 있다. 도 1은 하나의 스프링(133)이 리프트 핀(132)에 설치된 경우를 예시하지만, 복수의 스프링이나 복수의 스폰지, 복수의 탄성 시트 또는 이들의 조합이 적용될 수도 있다.
스프링(133)은 오목홈(181) 내에 배치될 수 있다. 나아가 스프링(133)은 리프트 핀(132)의 핀 헤드(132a) 하부에 설치될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 스프링(133)의 상단은 핀 헤드(132a)의 하단에 고정 설치될 수 있다. 다른 실시예에서, 스프링(133)의 상단은 핀 헤드(132a)의 하단과는 분리되어 있되, 비가압시에 접촉하거나, 적어도 가압시에 접촉하도록 배치될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 오목홈(181)의 저면에는 탄성체 지지체(134)가 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 탄성체 지지체(134)는 오목홈(181)의 저면 상에 안착되는 하단부, 및 하단부로부터 수직으로 절곡되며 오목홈(181)의 측벽에 접하는 측벽부를 포함할 수 있다. 탄성체 지지체(134) 측벽부가 오목홈(181) 측벽에 접함에 따라, 탄성체 지지체(134)가 오목홈(181) 내에 안정적으로 고정될 수 있다. 탄성체 지지체(134)의 하단부는 중앙에 핀 기둥(132b)이 삽입되는 개구(135)가 형성될 수 있다.
탄성체 지지체(134)에는 스프링(133)의 하단이 고정 설치될 수 있다. 다른 예로, 스프링(133)의 하단은 탄성체 지지체(134)와는 분리되어 있되, 비가압시 또는 적어도 가압시에 접촉하도록 배치될 수도 있다.
스프링(133)은 중앙부가 개방된 실질적인 중공형상으로 형성될 수 있다. 스프링(133)의 중공에는 리프트 핀(132)의 핀 기둥(132b)이 삽입될 수 있다. 결과적으로, 스프링(133)은 핀 기둥(132b)을 감싸게 된다.
이하, 상기한 바와 같은 기판 간격 조절 유닛(130)의 동작에 대해 설명한다. 도 2 및 도 3은 도 1의 기판 간격 조절 유닛(130)에서 대상 기판이 가압되는 과정을 보여주는 단면도들이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 기판 간격 조절 유닛(130)가 액정 표시 장치용 패널(200)을 합착하기 위해 가압하는 공정에 적용된 경우를 예시한다. 기판 간격 조절 유닛(130)의 대상 기판인 액정 표시 장치용 패널(200)은 하부 기판(210) 및 상부 기판을 포함한다. 또한, 액정 표시 장치용 패널(200)은 복수의 셀들을 포함하고, 각 셀의 주변부에서 하부 기판(210)과 상부 기판(220) 사이에는 실라인(230)이 형성되어 있다. 하부 기판(210)과 상부 기판(220) 사이에 복수 개의 실라인(230)이 형성되면 그 내부는 액정층(240)으로 채워질 수 있으며, 실라인(230) 사이를 하나의 셀(cell)(250)로 구분될 수 있다.
도 2를 참조하면, 초기 상태에서, 리프트 핀(132)의 핀 헤드(132a) 상의 기판 점착판(131)은 플레이트 표면보다 상측으로 돌출되어 있다. 기판 이송 및 용이한 안착을 위해 플레이트 표면으로부터 기판 점착판(131)의 돌출 높이는 액정 표시 장치용 패널(200)을 이송하는 로봇 핸드의 두께보다 클 수 있다.
초기 상태에서 스프링(133)의 탄성 위치에너지는 0일 수 있다.
이어, 플레이트 상에 액정 표시 장치용 패널(200)을 배치한다. 기판 점착판(131)이 플레이트 표면보다 돌출되므로, 액정 표시 장치용 패널(200)은 기판 점착판(131)에만 접촉하며, 플레이트 표면과는 이격된다. 기판 점착판(131)은 점착력을 가지므로, 그 위에서 액정 표시 장치용 패널(200)은 안정적으로 고정될 수 있다.
도 3을 참조하면, 이어 액정 표시 장치용 패널(200)을 하측으로 가압한다. 상기 가압은 예컨대 면가압일 수 있다. 액정 표시 장치용 패널(200)의 가압에 따라 리프트 핀(132)이 하측으로 하강 압력을 받는다. 그런데, 리프트 핀(132)의 핀 헤드(132a) 하단에는 스프링(133)이 설치되어 있어, 하강 압력의 적어도 일부를 탄성 위치 에너지로 전환한다. 전환된 탄성 위치 에너지는 상측으로의 복원력을 제공할 수 있다.
따라서, 가압에 따라 리프트 핀(132)이 하측으로 이동하지만, 하강 압력이 일부 분산 및 전환되어 상측으로 복원력을 가하게 되므로, 하측 방향 이동 속도가 감소한다. 따라서, 액정 표시 장치용 패널(200)이 플레이트 상면에 닿더라도, 충격이 완화될 수 있다.
한편, 가압시 생성되는 스프링(133)의 복원력에 의해 액정 표시 장치용 패널(200)과 핀 헤드(132a) 상단의 기판 점착판(131) 사이에는 충분한 압력이 제공되어, 그들 사이의 점착력이 더욱 강해질 수 있다. 따라서, 가압 중 액정 표시 장치용 패널(200)이 미끌어지거나 이탈하는 것이 방지될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치(101)의 단면도이다. 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 지지 장치(101)는 스프링(133)이 기판 점착판(131)과 리프트 핀(141)의 핀 헤드(141a) 사이에 배치된 점이 도 1의 실시예와 상이한 점이다.
더욱 구체적으로 설명하면, 스프링(136)의 상단은 기판 점착판(131)의 저면에 고정 설치되거나, 접하도록 설치된다. 또한 스프링(136)의 하단은 리프트 핀(141)의 핀 헤드(141a) 상면에 고정 설치되거나, 접하도록 설치된다. 리프트 핀(141)의 밑면은 오목홈(181) 저면과 접해 있는 점이 도 1의 실시예와 다른 점이다. 핀 헤드(141a)의 하부면은 직접 오목홈(181)의 저면과 접해 있다. 도 1의 실시예와 다르게 핀 헤드(141a)가 가압에 의해서 상하로 움직이지 않게 된다. 이에 기판 점착판(131)을 가압하게 되면, 핀 헤드(141a)는 고정된 상태에서 핀 헤드(141a)의 상단과 기판 점착판(131) 사이에 설치된 스프링(136)이 압축되면서, 거리 간격을 조절할 수 있게 된다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 가압된 상태의 기판 지지 장치(101)의 단면도이다.
도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 지지 장치는 액정 표시 장치용 패널(200)이 기판 점착판(131)의 저면에 고정되어 있는 상태에서 가압할 때 기판 점착판(131)의 위치가 플레이트 표면까지 하강할 수 있다. 이 때 가압시 생성되는 스프링(136)의 복원력에 의해 액정 표시 장치용 패널(200)과 스프링(136) 상단의 기판 점착판(131) 사이에 압력이 제공되어 기판 점착판(131)의 저면에 부착되어 있는 액정 표시 장치용 패널(200)이 플레이트 상부면에 닿게 된다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치(102)의 단면도이다. 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 지지 장치는 스프링(136)이 리프트 핀(143) 내부에 스프링(136)이 고정 설치되거나, 접하도록 배치된 점이 도 1의 실시예와 상이한 점이다. 리프트 핀(143)은 상부 리프트 핀(142a)과 하부 리프트 핀(142b)으로 분리될 수 있는 형태일 수 있으며, 스프링(136)은 상부 리프트 핀(142a)과 하부 리프트 핀(142b) 사이에 위치하게 된다. 하부 리프트 핀(142b)은 오목홈(181) 저면에 접하여 있는 상태로 고정되어 있으며, 상하로 움직이지 않는다. 스프링(136)과 고정 설치되거나 접하여 있는 상부 리프트 핀(142a)은 스프링(136)의 압축 정도에 따라 상하로 움직일 수 있다. 상부 리프트 핀(142a) 위에 접해있는 기판 점착판(131)은 실시예 1과 마찬가지로 플레이트 표면보다 상측으로 돌출되어 있다.
도 7은 도 6의 기판 지지 장치(102)에서 대상 기판이 가압되는 과정을 보여주는 단면도이다.
도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 지지 장치는 액정 표시 장치용 패널(200)이 기판 점착판(131)의 저면에 고정되어 있는 상태에서 가압하게 되면, 기판 점착판(131)의 위치가 플레이트 표면까지 하강된다. 오목홈(181) 저면에 고정 설치 되어 있는 하부 리프트 핀(142b)은 이동성을 가지지 않고, 하부 리프트 핀(142b)에 고정 설치되거나 접해있는 스프링(136)이 압축된다. 스프링(136)의 압축에 의해 스프링(136) 상부에 고정 설치되거나 접해 있는 상부 리프트 핀(142a)의 압축에 의해 상부 리프트 핀(142a) 상부에 부착된 기판 점착판(131)이 함께 상하로 움직일 수 있으며, 기판 점착판(131)의 저면에 부착된 액정 표시 장치용 패널(200)이 플레이트의 상면에 닿을 때까지 하강하게 된다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치(103)의 단면도이다. 도 8을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 지지 장치(103)는 스프링(137)이 상부 리프트 핀(142a)과 하부 리프트 핀(142b)의 가장 자리 일부에만 배치되어 있는 것이 도 6의 실시예와 다른 점이다. 스프링(137)이 상부 리프트 핀(142a)과 하부 리프트 핀(142b) 표면 중 일부에 대해서만 스프링(137)이 배치되어 있어, 기판 점착판(131)에 대한 약한 가압에 대하여도 스프링(137)의 압축이 가능하다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치(104)의 단면도이다. 도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 지지 장치(104)는 스프링(152)이 리프트 핀 측면과 이와 마주보는 오목홈(181) 측부에 스프링(152)이 고정되어 설치되어 있는 점이 도 1의 실시예와 상이한 점이다.
더욱 구체적으로 설명하면, 핀 헤드(151a) 측부에는 스프링(152)이 삽입되어 배치될 수 있도록 제1 측부 부착홈(151c)이 배치되어 있으며, 이와 마주보는 방향인 오목홈(181) 측부에 스프링(152)이 삽입되어 배치될 수 있는 제2 측부 부착홈(182)이 존재한다. 상기 제1 측부 부착홈(151c)과 제2 측부 부착홈(182)에 스프링(152)이 고정 설치될 수 있다. 제 1 측부 부착홈과 제2 측부 부착홈(182)은 서로 마주 보도록 배치되도록 구성할 수 있다. 도 9의 실시예를 통해서는 2 개의 제1 측부 부착홈(151c)과 제2 측부 부착홈(182)에 스프링(152)이 고정 설치되어 있는 것으로 도시하고 있지만, 그 개수가 반드시 2개로 한정되는 것은 아님은 물론이며, 핀 헤드(151a)를 충분히 지탱할 수 있도록 충분한 개수의 제1 측부 부착홈(151c)과 제2 측부 부착홈(182)에 스프링(152)들을 고정 설치할 수 있다. 도 9의 핀 기둥(151b)은 플레이트의 오목홈(181)에 삽입되어 있으며, 제1 측부 부착홈(151c)과 제2 측부 부착홈(182)에 고정 설치되어 있는 스프링(152)에 의하여 리프트 핀(151)의 핀 헤드(151a)는 그 하부가 오목홈(181)의 저면에 접촉하지 않도록 배치한다. 핀 헤드(151a) 상부에 배치된 기판 점착판(131)은 기판 플레이트에 돌출되도록 배치된다.
도 10은 도 9의 기판 지지 장치(104)에서 대상 기판이 가압되는 과정을 보여주는 단면도이다.
도 10을 참조하면, 본 실시예에 따른 지지 장치는 액정 표시 장치용 패널(200)이 기판 점착판(131)의 저면에 고정되어 있는 상태에서 가압할 때, 핀 헤드(151a)의 측부에 배치된 제1 측부 부착홈(151c)은 아래 방향으로 하강한다. 이 때, 제1 측부 부착홈(151c)에 고정 설치된 스프링(152)도 함께 내려가면서 제1 측부 부착홈(151c)과 제2 측부 부착홈(182)의 높이가 달라져 고정 설치된 스프링(152)이 인장된다. 액정 표시 장치용 패널(200)이 플레이트에 닿을 때까지 스프링(152)이 인장되어 발생하는 스프링(152)의 복원력은 액정 표시 장치용 패널(200)과 스프링(152) 상단의 기판 점착판(131) 사이에 압력을 제공하여 액정 표시 장치용 패널(200)이 플레이트의 상면에 닿을 때 충격을 완화시킬 수 있다.
액정 표시 장치용 패널(200)에 대한 가압을 중단하면, 스프링(152)의 복원력에 의해 하강한 핀 헤드(151a)는 제1 측부 부착홈(151c)이 제2 측부 부착홈(182)을 마주보게 되는 지점까지 상승한다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치(105)의 단면도이다. 도 11을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 지지 장치(105)는 스프링(133)이 핀 헤드(151a) 하부와 탄성체 지지체(134) 생략되고 오목홈(181) 저면 사이에 배치된 점이 도 1의 실시예와 상이한 점이다.
탄성체 지지체(134)가 생략되어 스프링(133)이 오목홈(181) 저면에 배치된 것을 제외하고는 도 1의 실시예에서 설명하는 기판 지지 장치(100)와 동일하다.
도 12은 도 11의 기판 지지 장치(105)에서 대상 기판이 가압되는 과정을 보여주는 단면도이다.
초기 상태에서, 기판 점착판(131)은 핀 헤드(144a) 하부와 오목홈(181) 저면에 고정 설치되거나 접촉하고 있는 스프링(133)에 의해 플레이트 표면보다 돌출되어 있다. 액정 표시 장치용 패널(200)을 기판 점착판(131)에 접촉시키고, 기판 점착판(131)에 접촉한 액정 표시 장치용 패널(200)을 가압하면, 핀 헤드(144a) 하부와 오목홈(181) 사이에 배치된 스프링(133)이 압축되어 액정 표시 장치용 패널(200)이 기판 플레이트 표면까지 내려간다.
도 13는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치(300)의 평면도이다.
도 13을 참조하면, 기판 지지 장치(300)는 복수의 기판 기판 지지 장치(130), 리프트 바(174), 오목 블록(172), 진공 홀(미도시)을 포함한다.
플레이트 상에는 격자 구조의 오목 블록(172)을 배치할 수 있다. 격자 구조의 오목 블록(172) 내에 기판 간격 조절 유닛(173)이 위치한다. 도 13의 실시예에 따르면, 큰 직사각형 오목 블록(172)은 보다 작은 직사각형 또는 정사각형의 격자들을 포함하도록 배치할 수 있다. 기판 간격 조절 유닛(173)을 배열함에 있어서, 일정한 간격으로 떨어지도록 배치시킨다. 그러나 격자의 배열의 구조가 도 13의 실시예에서 도시된 바에 따라 한정되는 것은 아니다. 격자의 배열 구조는 기판 간격 조절 유닛(173)의 직경의 크기를 달리하는 경우 그에 맞추어 격자의 내부 직사각형 또는 정사각형의 크기가 달라질 수 있도록 임의적으로 달리 변경할 수 있다. 도 13의 실시예에서 기판 지지 장치(300)의 테두리와 평행하도록 격자가 배열되어 있지만, 기판 지지 장치(300)의 테두리에 대하여 사선 형태로 격자가 배열되는 것도 무방하다.
도 13에서는 도시되어 있지 않으나 격자 구조의 오목 블록(172)의 안쪽에는 복수 개의 진공 홀(173c)을 포함한다. 복수 개의 진공 홀(173c)은 액정 표시 장치용 패널(200)을 기판 점착판(173b)에 강하게 점착시키기 위하여 음압이 가해질 수 있다. 기판 점착판(173b)은 플레이트 상부로 돌출되어 있어 액정 표시 장치용 패널(200)을 기판 지지 장치(300)에 이송시켜 플레이트에 올려 놓으면 이에 접촉하는 면적은 오직 복수 개의 기판 점착막(173b)의 넓이에 국한된다. 음압이 가해진 복수 개의 진공 홀(173c)에 의해 액정 표시 장치용 패널(200)은 기판 점착판(173b)에 강하게 점착되어 안정적으로 고정된다.
기판 점착판((173b))이 위치하고 있는 오목홈(181) 내에는 음압을 걸 수 있는 개구(135)를 포함하고 있어, 액정 표시 장치용 패널(200)이 기판 점착판(173b)에 접촉할 때 기판 점착판(173b)에 강하게 점착시킬 수 있다.
기판 플레이트 상부 면에는 리프트 바(174)가 배치된다. 리프트 바(174)는 대상 기판을 기판 점착판(173b)으로부터 이격시키기 위해 상하로 움직성을 가지는 부위이다. 액정 표시 장치용 패널(200)이 합착하여 가압하는 공정에서 다시 액정 표시 장치용 패널(200)을 다시 이송시키기 위해서는 기판 점착판(173b)에 점착되어 있는 액정 표시 장치용 패널(200)을 기판 점착판(173b)으로부터 탈착시킬 필요가 있다. 기판 점착판(173b)에 강하게 점착되어 있는 액정 표시 장치용 패널(200)을 용이하게 탈착시키기 위해 기판 지지 장치(300) 표면 상에 복수 개의 리프트 바(174)를 배치시킬 수 있다. 기판 점착판(173b)에 점착되어 있는 액정 표시 장치용 패널(200)은 상향으로 작동시키는 리프트 바(174)에 의해 용이하게 기판 점착판(173b)으로부터 탈착될 수 있다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치용 패널(200) 및 기판 지지 장치(300)의 사시도이다.
도 14를 참조하면, 기판 간격 조절 유닛(173)은 면가압과 같은 아무런 힘이 작용되지 않는 경우에는 플레이트 표면(171)보다 돌출되도록 배치되어 있다. 이는 돌출된 부위가 기판 점착판(173b)으로 되어 있어 액정 표시 장치용 패널(200)이 점착되기 용이하기 위함이다. 액정 표시 장치용 패널(200)이 플레이트 표면(171)으로부터 돌출된 기판 점착판(173b) 상으로 이송 시켜도 여전히 플레이트 표면(171)으로부터 이격된 상태에 있을 수 있다. 이 때 액정 표시 장치용 패널(200)이 미끌림 없이 고정 부착될 수 있도록 진공홀(173c)에 음압을 걸어줄 수 있다. 액정 표시 장치용 패널(200)은 기판 간격 조절 유닛(173)에 이송되고, 기판 점착판(173b) 상에 점착시킨다. 액정 표시 장치용 패널(200)에 면가압과 같은 가압을 하게 되면 복수의 기판 간격 조절 유닛(173) 내에 포함되어 있는 스프링(133)과 같은 탄성체의 압축에 의해 플레이트 표면(171)에 돌출되어 있는 기판 점착판(173b)은 하강하게 되며, 액정 표시 장치용 패널(200)의 하부면이 플레이트 표면(171)과 동일 높이가 될 때까지 압축될 수 있다. 가압의 세기가 강하더라도, 탄성체의 복원력의 발생으로 그 충격이 완화되어 액정 표시 장치용 패널(200)이 깨지지 않는다. 기판 점착판(173b)에서 가압시킬 수 있는 액정 표시 장치용 패널(200)은 그 크기가 다양할 수 있다. 반도체 기판이나, 액정 표시 장치(LCD), 유기발광 표시장치(OLED), 전기영동 표시장치, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등과 같은 디스플레이용 기판 또는 디스플레이용 패널 등 필요한 공정에 맞추어 다양한 크기의 패널을 이송시켜 공정을 진행시킬 수 있다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 지지 장치(300)의 일부 평면도이다.
도 15를 참조하면, 격자 구조의 오목 블록(172)은 기판 간격 조절 유닛(173)를 둘러싸고 있으며, 격자 구조의 오목 블록(172) 내부에는 복수 개의 진공 홀(173c)이 구비되어 있다. 또한 원형의 기판 간격 조절 유닛(173)의 둘레에 음압이 걸리는 오목 홈 내의 개구(135)와 통해 있어 액정 표시 장치용 패널(200)이 기판 점착판(173b)에 점착시 직접적으로 기판 점착판(173b)에 부착될 수 있도록 도와 준다.
기판 점착판(173b) 안쪽에는 다이어프램(173a)을 포함할 수 있다. 다이어프램(173a)은 기판에 점착된 액정 표시 장치용 패널(200)을 탈착시키기 위한 부위이다. 보다 구체적으로는 다이어프램(173a)은 내부에서 공기가 유입되면 팽창되어 기판 점착판(173b) 상부로 돌출될 수 있는 구조로 되어 있으며, 액정 표시 장치용 패널(200)에 대한 가압 공정에서는 기판 점착판(173b)에 대해 돌출되지 않게 배치될 수 있다. 가압 공정을 완료한 후에 공기를 불어 넣어 다이어프램(173a)을 팽창시키면 기판 점착판(173b)에 강하게 부착되어 있는 상태에서 용이하게 떨어뜨릴 수 있으며, 음압을 제거하고 리프트 바(174)를 이용하여 액정 표시 장치용 패널(200)을 상승시키면 용이하게 이격된다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판 지지 장치의 사시도이다.
도 16을 참조하면, 기판 간격 조절 유닛(177)의 모양은 반드시 원형에 한정되지 않으며, 도 16의 실시예에서 도시하였듯이, 사각형 모양의 기판 점착판(177b)이 돌출되어 액정 표시 장치용 패널(200)이 부착되어 가압되어도 무방하다. 예시적으로 사각형 모양의 기판 점착판(177b) 구조를 제시하였던 것이므로, 다른 다각형 구조, 타원형 구조 등의 기판 점착판의 모양이 모두 가능하다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 기판 지지 장치 130: 간격 조절 모듈
131: 기판 점착판 132: 리프트 핀
131a: 핀 헤드 133: 탄성지지체
180: 진공척 181: 오목홈
200: 액정 표시 장치용 패널 210: 하부 기판
220: 상부 기판 300: 기판 지지 장치

Claims (16)

  1. 기판 점착판;
    상기 기판 점착판과 결합되어 있는 리프트 핀; 및
    리프트 핀에 결합되어 있는 탄성체
    를 포함하는 액정 표시 장치용 패널을 지지하는 기판 간격 조절 유닛.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 점착판은 리프트 핀 상부에 배치된 기판 간격 조절 유닛.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 탄성체는 기판 점착판 및 리프트 핀 사이에 고정 설치되거나 접착되어 있는 기판 간격 조절 유닛.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 탄성체는
    중공형상 구조인 기판 간격 조절 유닛.
  5. 제1 항에 있어서,
    탄성지지체를 더 포함하는 기판 간격 조절 유닛.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 점착판은 다이어프램을 포함하는 기판 간격 조절 유닛.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 리프트 핀은 핀 헤드에 핀 기둥이 결합된 구조인 기판 간격 조절 유닛.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 핀 헤드는 핀 기둥에 비해 넓은 폭을 가지고 있는 기판 간격 조절 유닛.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 핀 헤드는 상부 핀헤드와 핀 기둥과 결합되어 있는 하부 핀헤드, 이 들 사이에 탄성체가 배치되어 있는 기판 간격 조절 유닛.
  10. 제7 항에 있어서,
    상기 핀 헤드 측부와 진공척 오목홈 측벽 사이에 탄성체가 고정되어 있는 기판 간격 조절 유닛.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 핀 헤드는 그 측부에 오목홈을 포함하는 기판 간격 조절 유닛.
  12. 다수의 오목홈을 포함하는 플레이트; 및
    각 오목홈에는 청구항 1의 기판 간격 조절 유닛을
    포함하는 기판 지지 장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    한 개 또는 복수의 리프트바를 추가적으로 포함하는 기판 지지 장치.
  14. 제12 항에 있어서,
    한 개 또는 복수의 진공홀을 추가적으로 포함하는 기판 지지 장치.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 진공홀은 음압이 걸리는 진공홀인 기판 지지 장치.
  16. 제12 항에 있어서,
    상기 기판 간격 조절 유닛은 가압 전 플레이트보다 돌출되어 있고, 가압 시 플레이트 표면 높이 또는 그 아래까지 압축되는 기판 지지 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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