KR101970566B1 - 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법 - Google Patents

디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 캐리어기판이 결합된 합착기판을 지지하기 위한 제1스테이지, 상기 제1스테이지로부터 이격되게 설치되는 제2스테이지, 및 상기 합착기판으로부터 상기 캐리어기판을 분리하기 위해 상기 제2스테이지에 형성된 흡착공을 통해 상기 캐리어기판을 흡착하는 분리기구를 포함하는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 제1패널기판과 제2패널기판이 얇은 두께로 형성된 것이더라도 제조과정에서 제1패널기판과 제2패널기판이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있고, 식각액을 이용하지 않고 슬림 디스플레이패널을 제조할 수 있도록 구현됨으로써 공정 비용 절감, 생산성 향상 및 환경 오염 문제 발생 방지를 도모할 수 있다.

Description

디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법{Apparatus for Separating Carrier Substrate and Method for Manufacturing Display Panel Device}
본 발명은 디스플레이패널을 제조하기 위한 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치는 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정에는 패널기판에 박막 트랜지스터 어레이를 형성하는 TFT 공정, 패널기판들을 합착하는 합착공정 등이 포함된다.
최근 업계에서는 디스플레이장치에 대한 중량 감소, 배치 용이성, 디자인적 측면 강조 등을 위해 얇은 두께로 제조된 슬림(Slim) 디스플레이장치에 대한 수요가 증가하고 있다. 이에 따라, 최근 업계에서는 슬림 디스플레이장치에 대한 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 슬림 디스플레이장치를 제조하기 위해서는, 디스플레이장치를 구성하는 디스플레이패널의 두께를 줄인 슬림 디스플레이 패널을 제조하여야 한다.
이와 같이 디스플레이패널의 두께를 얇게 제조하는 방안으로, 얇은 두께로 형성된 패널기판을 이용하는 방법이 제안되었으나, 패널기판이 얇은 두께로 형성됨에 따라 패널기판이 갖는 내구성이 저하되므로, 상기 TFT 공정, 상기 합착공정 등의 제조공정이 이루어지는 과정에서 패널기판이 쉽게 손상되는 문제가 있다.
이를 해결하기 위해, 최종적으로 디스플레이장치에 구비되는 패널기판에 비해 두꺼운 두께로 형성된 패널기판을 이용하여 디스플레이패널을 제조한 후에, 패널기판의 일부를 식각함으로써 슬림 디스플레이패널을 제조하는 방안이 제안되었다. 이러한 종래 기술은 대한민국 공개특허공보 제10-2011-0119368호(2011년 11월 2일 공개)에 개시되어 있다. 그러나, 이와 같은 종래 기술은 다음과 같은 문제가 있다.
첫째, 종래 기술은 패널기판 전체를 식각하기 위해 많은 양의 식각액이 소모될 뿐만 아니라, 패널기판을 식각함에 따라 발생하는 이물질 등으로 인해 식각액이 오염되므로 식각액을 주기적으로 교체하여야 한다. 따라서, 종래 기술은 식각액 사용으로 인해 소모품에 대한 공정 비용을 상승시키고, 이에 따라 디스플레이패널에 대한 제조 단가를 상승시키는 문제가 있다.
둘째, 종래 기술은 패널기판을 식각하는 공정이 이루어지는 챔버 내부가 식각액, 패널기판을 식각함에 따라 발생하는 이물질 등으로 인해 오염되므로, 챔버 내부를 주기적으로 세정하는 작업이 필요하다. 따라서, 종래 기술은 주기적인 세정 작업 수행으로 인해 공정 비용이 상승할 뿐만 아니라, 세정 작업이 이루어지는 동안 디스플레이패널을 제조하는 공정을 중지하여야 하므로, 공정 시간에 손실이 발생함에 따라 디스플레이패널에 대한 생산성을 저하시키는 문제가 있다.
셋째, 종래 기술은 식각액으로 불화수소(HF, Hydrogen Fluoride) 등과 같은 환경 오염 물질을 사용함에 따라, 환경 오염 문제를 발생시킬 우려가 있는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고 안출된 것으로, 슬림 디스플레이패널을 제조하는 과정에서 패널기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 식각액을 이용하지 않고도 슬림 디스플레이패널을 제조할 수 있는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치 및 디스플레이패널 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 제1패널기판에 제1캐리어기판을 결합시키고, 제2패널기판에 제2캐리어기판을 결합시키는 단계; 상기 제1캐리어기판이 결합된 제1패널기판 및 상기 제2캐리어기판이 결합된 제2패널기판을 합착하여 합착기판을 제조하는 단계; 및 상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치는 캐리어기판이 결합된 합착기판을 지지하기 위한 제1스테이지; 상기 제1스테이지로부터 이격되게 설치되는 제2스테이지; 및 상기 제2스테이지에 형성된 흡착공에 연결되게 상기 제2스테이지에 설치되고, 상기 합착기판으로부터 상기 캐리어기판을 분리하기 위해 상기 흡착공을 통해 상기 캐리어기판을 흡착하는 분리기구를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 제1패널기판과 제2패널기판이 얇은 두께로 형성된 것이더라도 제조과정에서 제1패널기판과 제2패널기판이 쉽게 손상되는 것을 방지함으로써, 슬림 디스플레이패널 제조공정에 대한 수율을 향상시킬 수 있고, 슬림 디스플레이패널에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 식각액을 이용하지 않고도 제조과정에서 제1패널기판과 제2패널기판이 손상되는 것을 방지하면서 슬림 디스플레이패널을 제조할 수 있으므로, 공정 비용을 줄일 수 있고, 세정 작업으로 인해 공정 시간에 손실이 발생하는 것을 방지함으로써 슬림 디스플레이패널에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 환경 오염 물질인 식각액을 이용하지 않으므로, 환경 오염 문제가 발생하는 것을 방지함으로써, 디스플레이패널을 제조하기 위한 제조공정을 친환경적으로 구현하는데 기여할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 있어서 캐리어기판을 이용하여 디스플레이패널을 제조함에 따른 작용 효과를 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치의 개략적인 단면도
도 5는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치가 밀폐부재를 포함하는 실시예에 관한 개략적인 단면도
도 6은 본 발명에 따른 밀폐부재의 개략적인 평면도 및 I-I 선을 기준으로 한 일부 확대 단면도
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 접촉부재 및 이동기구를 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 9는 본 발명에 따른 제1가열기구 및 제2가열기구를 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 10은 본 발명에 따른 제1스테이지가 구역별로 온도가 조절되는 실시예를 설명하기 위한 제1스테이지의 개략적인 평면도
도 11은 본 발명에 따른 분사기구를 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 12는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치의 개략적인 블록도
도 13 및 도 14는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치가 제1캐리어기판과 제2캐리어기판을 분리하는 과정을 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 15 및 도 16은 본 발명에 따른 가분리부를 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 17은 본 발명에 따른 가분리부를 설명하기 위한 합착기판, 제1캐리어기판 및 제2캐리어기판의 개략적인 분해 사시도
도 18은 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법의 개략적인 순서도
도 19는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법에 있어서 캐리어기판을 합착기판에 결합시키는 결합장치의 일례에 대한 개략적인 단면도
도 20은 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법에 있어서 제1패널기판과 제2패널기판을 합착하는 합착장치의 일례에 대한 개략적인 단면도
도 21은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 디스플레이패널 제조방법의 개략적인 순서도
이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1, 도 3에 도시됨)는 디스플레이패널을 제조하기 위한 합착기판(100)으로부터 캐리어기판(Carrier Substrate)(200)을 분리하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)를 설명하기에 앞서, 상기 합착기판(100) 및 상기 캐리어기판(200)에 대해 살펴보면, 다음과 같다.
우선, 상기 합착기판(100)은 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치에 사용되는 것이다. 상기 합착기판(100)은 제1패널기판(110)과 제2패널기판(120)이 합착공정을 거쳐 합착된 것이다. 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120) 사이에는 중간층(130)이 형성되어 있다. 상기 중간층(23)은 디스플레이장치의 종류에 따라 서로 다른 구성을 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 디스플레이장치가 LCD인 경우, 상기 중간층(23)은 액정(Liquid Crystal) 등을 포함할 수 있다. 상기 디스플레이장치가 OLED인 경우, 상기 중간층(23)은 형광성 유기화합물 등을 포함할 수 있다. 상기 디스플레이장치가 PDP인 경우, 상기 중간층(23)은 불활성기체 등을 포함할 수 있다. 상기 디스플레이장치가 EPD인 경우, 상기 중간층(23)은 전기영동 분산액 등을 포함할 수 있다. 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)은 글래스(Glass), 플라스틱(Plastic), 메탈(Metal) 등으로 제조될 수 있다.
다음, 상기 캐리어기판(200)은 상기 합착기판(100)에 결합됨으로써, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)의 내구성을 보강한다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 제1패널기판(110)에 결합되는 제1캐리어기판(210), 및 상기 제2패널기판(120)에 결합되는 제2캐리어기판(220)을 포함할 수 있다. 상기 제1캐리어기판(210)은 상기 제1패널기판(110)과 대략 일치하거나 상기 제1패널기판(110)에 비해 두꺼운 두께로 형성됨으로써, 상기 제1패널기판(110)의 내구성을 보강한다. 상기 제2캐리어기판(220)은 상기 제2패널기판(120)과 대략 일치하거나 상기 제2패널기판(120)에 비해 두꺼운 두께로 형성됨으로써, 상기 제2패널기판(120)의 내구성을 보강한다. 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220)은 글래스, 플라스틱, 메탈 등으로 제조될 수 있다.
이러한 캐리어기판(200)은 디스플레이장치를 제조하기 위한 공정이 완료되기 전에, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)에 의해 상기 합착기판(100)으로부터 분리됨으로써, 슬림 디스플레이패널 및 이를 이용한 슬림 디스플레이장치가 구현될 수 있도록 한다.
이를 위해, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하기 위한 분리부(2)를 포함한다. 상기 분리부(2)는 상기 캐리어기판(200)이 결합된 합착기판(100)을 지지하기 위한 제1스테이지(21), 상기 제1스테이지로(21)부터 이격되게 설치되는 제2스테이지(22), 및 상기 제2스테이지(22)에 설치되는 분리기구(23)를 포함한다.
상기 제2스테이지(22)는 상기 분리기구(23)에 연결되게 형성되는 흡착공(221)을 포함한다. 상기 분리기구(23)는 상기 흡착공(221)을 통해 상기 캐리어기판(200)을 흡착함으로써, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 상기 캐리어기판(200)에 의해 내구성이 보강된 상태로 디스플레이패널을 제조하기 위한 공정이 이루어지도록 할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 얇은 두께로 형성된 것이더라도, 디스플레이패널을 제조하는 과정에서 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다.
예컨대, 상기 제1패널기판(110)은 상기 캐리어기판(200)이 결합된 상태로 박막 트랜지스터 어레이를 형성하는 공정이 수행됨으로써, 박막 트랜지스터 어레이를 형성하는 과정에서 손상되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)은 상기 캐리어기판(200)이 결합된 상태로 합착되는 공정이 수행됨으로써, 합착기판(100)으로 제조되는 과정에서 손상되는 것이 방지될 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 디스플레이패널을 제조하는 과정에서 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 손상되는 것을 방지할 수 있으므로, 슬림 디스플레이패널에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 같이 식각액을 이용하지 않고도, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 손상되는 것을 방지하면서 슬림 디스플레이패널이 제조되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 비교할 때, 소모품인 식각액을 사용하지 않음으로써 공정 비용을 줄일 수 있고, 이에 따라 슬림 디스플레이패널에 대한 제조 단가를 낮출 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 같이 식각액 사용으로 인한 챔버 세정 작업을 생략할 수 있으므로, 공정 비용을 더 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 세정 작업으로 인해 공정 시간에 손실이 발생하는 것을 방지함으로써 슬림 디스플레이패널에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.
셋째, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 같이 환경 오염 물질인 식각액을 이용하지 않으므로, 환경 오염 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 디스플레이패널을 제조하기 위한 공정라인을 친환경적으로 구현하는데 기여할 수 있다.
이하에서는 상기 제1스테이지(21), 상기 제2스테이지(22) 및 상기 분리기구(23)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 3을 참고하면, 상기 제1스테이지(21)는 상기 캐리어기판(200)이 결합된 합착기판(100)을 지지한다. 상기 합착기판(100)은 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220)이 결합된 상태로 상기 제1스테이지(21)에 지지될 수 있다. 이 경우, 상기 제1캐리어기판(210)은 상기 제1패널기판(110)에 결합되고, 상기 제2캐리어기판(220)은 상기 제2패널기판(120)에 결합된다. 상기 합착기판(100)은 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220) 중에서 분리하고자 하는 것이 상기 제2스테이지(22)를 향하도록 상기 제1스테이지(21)에 지지될 수 있다. 상기 합착기판(100)은 상기 제1캐리어기판(210) 또는 상기 제2캐리어기판(220)이 결합된 상태로 상기 제1스테이지(21)에 지지될 수도 있다. 이 경우, 상기 합착기판(100)은 상기 제1캐리어기판(210) 또는 상기 제2캐리어기판(220)이 상기 제2스테이지(22)를 향하도록 상기 제1스테이지(21)에 지지될 수 있다. 상기 합착기판(100)은 별도의 이송장치(미도시)에 의해 이송됨으로써, 상기 제1스테이지(21)에 안착될 수 있다.
상기 제1스테이지(21)는 챔버유닛(미도시) 내부에 위치되게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는 공정은 상기 챔버유닛 내부에서 이루어질 수 있다. 상기 챔버유닛은 전체적으로 내부가 비어 있는 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는 공정이 이루어질 수 있는 작업공간을 제공할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 제1스테이지(21)는 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)이 분리될 때, 상기 합착기판(100)을 고정할 수 있다. 이를 위해, 상기 제1스테이지(21)는 흡입기구(300)로부터 제공된 흡입력을 상기 합착기판(100)에 전달하기 위한 흡입공(211)을 포함할 수 있다. 상기 흡입기구(300)는 상기 흡입공(211)에 연결되게 상기 제1스테이지(21)에 설치될 수 있다. 상기 흡입기구(300)는 상기 흡입공(211)에 연결되게 상기 챔버유닛에 설치될 수도 있다. 상기 흡입공(211)은 상기 흡입기구(300)에 연결될 수 있도록 상기 제1스테이지(21)를 관통하여 형성된다.
상기 흡입기구(300)가 상기 흡입공(211)을 통해 유체를 흡입함에 따라, 상기 합착기판(100)은 상기 제1스테이지(21)에 흡착되어 고정된다. 상기 합착기판(100)이 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220)이 결합된 상태로 상기 제1스테이지(21)에 지지된 경우, 상기 흡입기구(300)는 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220) 중에서 상기 제1스테이지(21)에 접촉된 것을 흡착함으로써 상기 합착기판(100)을 상기 제1스테이지(21)에 고정시킬 수 있다. 상기 합착기판(100)이 상기 제1캐리어기판(210) 또는 상기 제2캐리어기판(220)이 결합된 상태로 상기 제1스테이지(21)에 지지된 경우, 상기 흡입기구(300)는 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120) 중에서 상기 제1스테이지(21)에 접촉된 것을 흡착함으로써, 상기 합착기판(100)을 상기 제1스테이지(21)에 고정시킬 수 있다. 상기 제1스테이지(21)는 상기 흡입공(211)을 복수개 포함할 수도 있다.
도시되지 않았지만, 상기 제1스테이지(21)는 정전척(ESC, Electrostatic Chuck)일 수도 있다. 이 경우, 상기 합착기판(100)은 정전력에 의해 상기 제1스테이지(21)에 고정될 수 있다. 상기 제1스테이지(21)는 상기 합착기판(100)을 상기 제1스테이지(21)에 부착시키기 위한 적어도 하나의 전극(미도시)을 포함할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1스테이지(21)는 적어도 하나의 점착고무(미도시)를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 합착기판(100)은 점착고무가 갖는 점착성에 의해 상기 제1스테이지(21)에 고정될 수 있다.
도 3을 참고하면, 상기 제2스테이지(22)는 상기 제1스테이지(21)로부터 이격되게 설치된다. 상기 합착기판(100)은 상기 제2스테이지(22)와 상기 제2스테이지(21) 사이에 위치되게 상기 제1스테이지(21)에 지지될 수 있다. 상기 제2스테이지(22)는 상기 제1스테이지(21) 상측에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제2스테이지(22)는 상기 챔버유닛(미도시) 내부에 위치되게 설치될 수 있다.
상기 제2스테이지(22)는 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하기 위한 흡착공(221)을 포함한다. 상기 흡착공(221)은 상기 분리기구(23)에 연결된다. 상기 흡착공(221)은 상기 분리기구(23)로부터 제공되는 흡입력을 상기 캐리어기판(200)에 전달할 수 있도록 상기 제2스테이지(22)를 관통하여 형성된다.
상기 흡착공(221)은 일측이 상기 캐리어기판(200) 쪽을 향하도록 상기 제2스테이지(22)를 관통하여 형성되고, 타측이 상기 분리기구(23)에 연결되도록 상기 제2스테이지(22)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 흡착공(221)의 일측은 상기 분리기구(23)로부터 제공되는 흡입력이 상기 캐리어기판(200)에 면압으로 전달될 수 있도록 복수개로 나누어져서 상기 제2스테이지(22)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제2스테이지(22)는 상기 분리기구(23)로부터 제공되는 흡입력이 상기 캐리어기판(200)에 면압으로 전달될 수 있도록 상기 흡착공(221)을 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 분리부(2)는 상기 분리기구(23)를 복수개 포함할 수도 있다.
상기 합착기판(100)이 상기 제1스테이지(21)에 지지된 상태에서, 상기 합착기판(100)으로부터 분리할 캐리어기판(200) 및 상기 제2스테이지(22)의 위치를 정렬하는 공정이 이루어질 수 있다. 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2스테이지(22)의 위치를 정렬하는 공정은, 상기 제2스테이지(22) 및 상기 제1스테이지(21) 중에서 적어도 하나가 이동됨으로써 이루어질 수 있다. 도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2스테이지(22)의 위치를 정렬하기 위해 상기 제2스테이지(22) 및 상기 제1스테이지(21) 중에서 적어도 하나를 이동시키는 이동수단을 포함할 수 있다. 상기 이동수단은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 등을 이용하여 상기 제2스테이지(22) 및 상기 제1스테이지(21) 중에서 적어도 하나를 이동시킬 수 있다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 상기 분리기구(23)는 상기 흡착공(221)에 연결되게 설치된다. 상기 분리기구(23)는 상기 흡착공(221)에 연결되게 상기 제2스테이지(22)에 설치될 수 있다. 상기 분리기구(23)는 상기 흡착공(221)에 연결되게 상기 챔버유닛에 설치될 수도 있다.
상기 분리기구(23)는 상기 흡착공(221)을 통해 유체를 흡입함으로써, 상기 캐리어기판(200)을 흡착할 수 있다. 이에 따라, 상기 분리기구(23)는 상기 캐리어기판(200)을 상기 합착기판(100)으로부터 분리할 수 있다. 상기 합착기판(100)으로부터 분리된 캐리어기판(200)은 상기 분리기구(23)가 제공하는 흡입력에 의해 상기 제2스테이지(22)에 부착될 수 있다. 상기 제1캐리어기판(210)이 상기 제2스테이지(22) 쪽을 향하도록 상기 합착기판(100)이 상기 제1스테이지(21)에 지지된 경우, 상기 분리기구(23)는 상기 제1캐리어기판(210)을 흡착함으로써 상기 제1캐리어기판(210)을 상기 제1패널기판(110)으로부터 분리할 수 있다. 상기 제2캐리어기판(220)이 상기 제2스테이지(22) 쪽을 향하도록 상기 합착기판(100)이 상기 제1스테이지(21)에 지지된 경우, 상기 분리기구(23)는 상기 제2캐리어기판(220)을 흡착함으로써 상기 제2캐리어기판(220)을 상기 제2패널기판(120)으로부터 분리할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 상기 캐리어기판(200)에 의해 내구성이 보강된 상태로 디스플레이패널을 제조하기 위한 공정이 이루어지도록 함으로써, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 얇은 두께로 형성된 것이더라도, 디스플레이패널을 제조하는 과정에서 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 같이 식각액을 이용하지 않고도, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 손상되는 것을 방지하면서 슬림 디스플레이패널이 제조되도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 종래 기술과 비교할 때, 공정 비용 절감, 생산선 향상 및 환경 오염 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있는 작용 효과를 도모할 수 있다.
상기 분리기구(23)는 상기 캐리어기판(200)이 순간 흡착될 수 있도록 빠른 흡착속도로 상기 캐리어기판(200)을 흡착할 수 있다. 예컨대, 상기 분리기구(23)는 상기 흡입기구(300)가 상기 합착기판(100)을 상기 제1스테이지(21)에 흡착시키는 합착속도에 비해 더 빠른 흡착속도로 상기 캐리어기판(200)을 흡착할 수 있다.
상기 분리기구(23)는 상기 제2스테이지(23)가 상기 캐리어기판(200)으로부터 소정 거리 이격된 상태에서 상기 흡착공(221)을 통해 유체를 흡입할 수 있다. 이 경우, 상기 분리기구(23)가 발생시킨 흡입력이 상기 제2스테이지(23)와 상기 캐리어기판(200) 사이로부터 누설됨에 따라 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는데 걸리는 시간이 증가할 수 있다.
이를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)에 있어서, 상기 분리부(2)는 밀폐부재(24, 도 5에 도시됨)를 더 포함할 수 있다.
도 5를 참고하면, 상기 밀폐부재(24)는 상기 제2스테이지(22)에 결합된다. 상기 밀폐부재(24)는 상기 제2스테이지(22)에서 상기 제1스테이지(21)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 상기 제2스테이지(22)에 결합될 수 있다. 상기 밀폐부재(24)는 상기 캐리어기판(200)에 접촉됨으로써, 상기 캐리어기판(200)과 상기 제2스테이지(22) 사이에 밀폐공간(B)을 형성한다. 상기 밀폐부재(24)는 상기 흡착공(221)들이 상기 밀폐공간(B) 내부에 위치되게 상기 제2스테이지(22)에 결합된다. 이에 따라, 상기 분리기구(23)는 상기 흡착공(221)을 통해 상기 밀폐공간(B)으로부터 유체를 흡입하여 상기 캐리어기판(200)을 흡착함으로써, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리할 수 있다. 이 과정에서, 상기 밀폐부재(24)는 상기 분리기구(23)가 발생시킨 흡입력이 상기 밀폐공간(B)으로부터 누설되는 것을 차단함으로써, 상기 분리기구(23)가 발생시킨 흡입력이 상기 캐리어기판(200)에 전달되는 양을 증대시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)이 분리되는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 슬림 디스플레이패널에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 밀폐부재(24)는 상기 제2스테이지(22)에 결합되는 결합부재(241, 도 6에 도시됨), 상기 밀폐부재(24)를 관통하여 형성되는 밀폐공(242, 도 6에 도시됨), 및 상기 캐리어기판(200)에 접촉되기 위한 접촉부재(243, 도 6에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 결합부재(241)는 상기 제2스테이지(22)에 삽입된다. 이에 따라, 상기 밀폐부재(24)는 상기 접촉부재(243)가 상기 제2스테이지(22)에서 상기 제1스테이지(21)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 상기 제2스테이지(22)에 결합될 수 있다. 상기 결합부재(241)는 전체적으로 모서리가 라운드 처리된 사각 고리 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 밀폐공(242)은 상기 결합부재(241) 및 상기 접촉부재(243) 내측에 위치되게 형성된다. 상기 밀폐부재(24)는 상기 밀폐공(242)에 상기 흡착공(221)이 위치되게 상기 제2스테이지(22)에 결합된다. 이에 따라, 상기 분사기구(23)가 발생시킨 흡입력은 상기 흡착공(221) 및 상기 밀폐공(242)을 통해 상기 캐리어기판(200)에 전달될 수 있다. 상기 밀폐공(242)은 상기 캐리어기판(200)과 대략 일치하거나 상기 캐리어기판(200)에 비해 작은 크기로 형성될 수 있다.
상기 접촉부재(243)는 상기 캐리어기판(200)에 접촉됨으로써, 상기 제2스테이지(200) 및 상기 캐리어기판(200) 사이에 상기 밀폐공간(B)을 형성한다. 상기 접촉부재(243)가 상기 캐리어기판(200)에 접촉됨에 따라, 상기 밀폐공(242)은 상기 접촉부재(243), 상기 캐리어기판(200) 및 상기 제2스테이지(200)에 의해 폐쇄됨으로써 상기 밀폐공간(B)으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 접촉부재(243)는 상기 캐리어기판(200)에 접촉되어 상기 분리기구(23)가 발생시킨 흡입력이 상기 밀폐공간(B)으로부터 누설되는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 상기 접촉부재(243)는 상기 분리기구(23)가 발생시킨 흡입력이 상기 캐리어기판(200)에 전달되는 양을 증대시킴으로써, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)이 분리되는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다.
상기 접촉부재(243)는 상기 제2스테이지(22)에서 상기 제1스테이지(21)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출될수록 상기 밀폐공(22) 외측 방향으로 경사지게 형성될 수 있다. 즉, 상기 접촉부재(243)는 상기 제2스테이지(22)에서 상기 제1스테이지(21)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 상기 밀폐공(22)의 크기가 증가하도록 상기 밀폐공(22) 외측 방향으로 경사지게 형성될 수 있다.
이에 따라, 상기 캐리어기판(200)이 상기 합착기판(100)으로부터 분리됨에 따라 상기 접촉부재(243)를 가압하면, 상기 접촉부재(243)는 상기 합착기판(100)으로부터 분리된 캐리어기판(100)에 가압됨으로써 도 7에 도시된 바와 같이 상기 밀폐공(22) 외측 방향으로 접혀질 수 있다. 이 경우, 상기 제2스테이지(22)는 상기 접촉부재(243)를 수용하기 위한 수용홈(222)을 포함한다. 상기 수용홈(222)은 상기 접촉부재(243)에 대응되는 형태로 형성될 수 있다. 상기 수용홈(222)은 상기 접촉부재(243)가 수용될 수 있도록 상기 접촉부재(243)와 대략 일치하거나 상기 접촉부재(243) 보다 큰 크기를 갖도록 형성될 수 있다.
상기 접촉부재(243)는 상기 캐리어기판(100)에 가압되어 접혀지면서 상기 수용홈(222)에 삽입됨으로써, 상기 제2스테이지(22)로부터 돌출되지 않게 된다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 합착기판(100)으로부터 분리되어 상기 제2스테이지(100)에 흡착됨에 따라 상기 접촉부재(243)에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.
우선, 상기 접촉부재(243)가 상기 캐리어기판(200)에 가압되어 접혀지지 않게 구현되거나, 상기 접촉부재(243)가 상기 캐리어기판(200)에 가압되어 접혀지게 구현되더라도 상기 제2스테이지(22)에 상기 수용홈(222)이 없는 경우, 상기 접촉부재(243)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 합착기판(100)으로부터 분리되어 상기 제2스테이지(22)에 흡착되더라도 상기 제2스테이지(22)로부터 돌출된 상태를 유지하게 된다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 제2스테이지(22)에 흡착된 부분에 비해 상기 접촉부재(243)에 접촉된 부분이 돌출됨에 따라 휘어지거나, 손상 내지 파손되는 문제가 있다.
다음, 상기 접촉부재(243)가 상기 캐리어기판(20)에 가압되어 접혀지면서 상기 수용홈(222)에 삽입되는 경우, 상기 접촉부재(243)는 상기 제2스테이지(22)로부터 돌출되지 않게 된다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)은 상기 합착기판(100)으로부터 분리되어 상기 제2스테이지(22)에 흡착되면, 상기 접촉부재(243)로 인해 휘어지거나, 손상 내지 파손되는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 캐리어기판(200)을 상기 합착기판(100)으로부터 분리하는 과정에서 상기 캐리어기판(200)이 손상되는 것을 방지함으로써, 상기 합착기판(100)으로부터 분리한 캐리어기판(200)을 다른 디스플레이패널을 제조하는데 재사용할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 디스플레이패널을 제조하는 과정에서 상기 캐리어기판(200)에 대한 소모량을 줄임으로써, 공정 비용을 절감할 수 있다.
도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 접촉부재(243)는 상기 제2스테이지(22)에서 상기 제1스테이지(21)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출될수록 크기가 감소되게 형성될 수 있다. 상기 접촉부재(243)는 상기 제2스테이지(22)에서 상기 제1스테이지(21)를 향하는 방향(A 화살표 방향)으로 돌출될수록 크기가 감소되면서 끝단이 첨단(尖端)을 이루도록 형성될 수도 있다. 즉, 상기 접촉부재(243)는 끝단이 뾰족하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 접촉부재(243)는 상기 합착기판(100)으로부터 분리되는 캐리어기판(100)에 가압되어 용이하게 접혀짐으로써, 상기 제2스테이지(22)로부터 돌출되지 않도록 상기 수용홈(222)에 삽입될 수 있다. 또한, 상기 접촉부재(243)는 상기 캐리어기판(200)에 접촉되는 부분의 면적을 줄임으로써, 상기 캐리어기판(200)이 손상될 가능성을 더 줄일 수 있다.
도 5 내지 도 8을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)에 있어서, 상기 분리부(2)는 상기 제2스테이지(22)를 이동시키기 위한 이동기구(25)를 더 포함할 수 있다.
상기 이동기구(25)는 상기 제2스테이지(22)에 결합된다. 상기 이동기구(25)는 상기 챔버유닛에 설치될 수도 있다. 상기 이동기구(25)는 상기 제2스테이지(22)가 상기 제1스테이지(21)에 가까워지는 방향 및 상기 제2스테이지(22)가 상기 제1스테이지(21)로부터 멀어지는 방향으로 상기 제2스테이지(22)를 이동시킬 수 있다. 상기 제2스테이지(22)가 상기 제1스테이지(21)의 상측에 위치된 경우, 상기 이동기구(25)는 상기 제2스테이지(22)를 승강(昇降)시킬 수 있다. 상기 이동기구(25)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 등을 이용하여 상기 제2스테이지(22)를 이동시킬 수 있다.
상기 이동기구(25)는 상기 합착기판(100)이 상기 제1스테이지(21)에 안착되기 이전에, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 제2스테이지(22)를 상기 제1스테이지(21)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 상기 이동기구(25)는 상기 제1스테이지(21)와 상기 제2스테이지(22) 사이의 간격을 늘림으로써, 상기 합착기판(100)이 상기 제1스테이지(21)에 안착되는 과정에서 상기 제2스테이지(22), 상기 밀폐부재(24) 등에 충돌하지 않고 용이하게 상기 제1스테이지(21)에 안착되도록 할 수 있다.
상기 이동기구(25)는 상기 합착기판(100)이 상기 제1스테이지(21)에 안착되면, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제2스테이지(22)를 상기 제1스테이지(21)에 가까워지는 방향으로 이동시킨다. 상기 이동기구(25)는 상기 밀폐부재(24)가 상기 캐리어기판(200)에 접촉되어 상기 밀폐공간(B)이 형성되도록 상기 제2스테이지(22)를 상기 제1스테이지(21)에 지지된 합착기판(100) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 이동기구(25)는 상기 접촉부재(243)가 상기 밀폐공간(B)이 형성되도록 상기 캐리어기판(200)에 접촉되면, 상기 제2스테이지(22)의 이동을 정지시킬 수 있다. 이 상태에서, 상기 분리기구(23)는 상기 흡착공(221)을 통해 상기 밀폐공간(B)으로부터 유체를 흡입함으로써, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)이 분리되도록 상기 캐리어기판(200)을 흡착할 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 이동기구(25)는 상기 캐리어기판(200)이 상기 합착기판(100)으로부터 분리되면, 상기 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 용이하게 반출될 수 있도록 상기 제2스테이지(22)를 상기 제1스테이지(21)로부터 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있다.
도 9 및 도 10을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)에 있어서, 상기 분리부(2)는 상기 제1스테이지(21)를 가열하기 위한 제1가열기구(26)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1가열기구(26)는 상기 제1스테이지(21)를 가열함으로써, 상기 제1스테이지(21)에 지지된 합착기판(100)과 캐리어기판(200)을 가열할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1가열기구(26)는 상기 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 간의 결합력을 약화시킴으로써, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)이 용이하게 분리되도록 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)이 분리되는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 슬림 디스플레이패널에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)이 용이하게 분리되도록 함으로써, 상기 캐리어기판(200)이 상기 합착기판(100)으로부터 분리되는 과정에서 파손 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1가열기구(26)는 상기 제1스테이지(21)에 결합될 수 있다. 상기 제1가열기구(26)는 상기 챔버유닛에 설치될 수도 있다. 상기 제1가열기구(26)는 상기 제1스테이지(21) 내부에 설치된 제1열선(미도시)을 포함할 수도 있다. 상기 제1가열기구(26)는 상기 제1열선을 발열시킴으로써, 상기 제1스테이지(21)를 가열할 수 있다. 상기 제1가열기구(26)로 마이카 히터(Mica Heater)가 이용될 수 있다.
상기 제1가열기구(26)는 상기 제1스테이지(21)가 110℃ 이상 180℃ 이하의 온도로 가열되도록 상기 제1스테이지(21)를 가열할 수 있다. 상기 제1가열기구(26)가 상기 제1스테이지(21)를 110℃ 미만으로 가열한 경우, 상기 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 간의 결합력은 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 용이하게 분리할 수 있는 정도로 약화되지 않는다. 상기 제1가열기구(26)가 상기 제1스테이지(21)를 180 ℃ 초과로 가열한 경우, 상기 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 손상될 우려가 있다. 상기 제1가열기구(26)는 상기 제1스테이지(21)를 110℃ 이상 180℃ 이하의 온도로 가열함으로써, 상기 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 손상되는 것을 방지할 수 있으면서도 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는 작업의 용이성을 향상시킬 수 있다.
상기 제1가열기구(26)는 상기 제1스테이지(21)를 N개(N은 1보다 큰 정수)의 구역으로 나누어 구역별로 가열온도를 조절할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1가열기구(26)는 공정 환경에 따라 상기 제1스테이지(21)가 전체적으로 균일한 온도가 아닌 경우에도, 상기 제1스테이지(21)를 구역별로 상이한 온도로 가열함으로써 상기 제1스테이지(21)의 온도를 전체적으로 균일하게 조절할 수 있다. 따라서, 상기 제1가열기구(26)는 상기 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200)을 전체적으로 균일한 온도로 가열함으로써, 상기 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 간의 결합력을 전체적으로 균일하게 약화시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 부분적으로 상이한 온도로 가열됨에 따라 부분적으로 결합력의 차이가 발생함으로써, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)이 부분적으로 분리되지 않는 등으로 인해 상기 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200)이 부분적으로 파손 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다.
예컨대, 상기 제1가열기구(26)는 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제1스테이지(21)를 5개의 구역으로 나누어 구역별로 가열온도를 조절할 수 있다. 이 경우, 상기 제1가열기구(26)는 상기 제1스테이지(21)의 중앙영역(21a), 및 상기 중앙영역(21a)을 감싸도록 배치된 4개의 모서리영역들(21b, 21c, 21d, 21e)을 구역별로 가열온도를 조절할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1가열기구(26)는 상기 제1스테이지(21)를 2개, 3개, 4개, 또는 6개 이상의 구역으로 나누어 구역별로 가열온도를 조절할 수도 있다. 상기 제1가열기구(26)는 상기 제1스테이지(21)에 구역별로 설치된 온도센서(미도시)로부터 온도정보들을 수신하고, 수신된 온도정보들을 이용하여 구역별로 가열온도를 조절할 수 있다.
도 9 및 도 10을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)에 있어서, 상기 분리부(2)는 상기 제2스테이지(22)를 가열하기 위한 제2가열기구(27, 도 9에 도시됨)를 더 포함할 수 있다.
상기 제2가열기구(27)는 상기 제1가열기구(26)가 상기 제1스테이지(21)를 가열하는 온도와 대략 일치하는 온도로 상기 제2스테이지(22)를 가열할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2가열기구(27)는 상기 제1가열기구(26)에 의해 가열된 캐리어기판(200)이 상기 제2스테이지(22)에 흡착됨에 따라 온도 차이로 인해 파손 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다. 상기 제2가열기구(27)는 상기 제2스테이지(22)에 결합될 수 있다. 상기 제2가열기구(27)는 상기 챔버유닛에 설치될 수도 있다. 상기 제2가열기구(27)는 상기 제2스테이지(22) 내부에 설치된 제2열선(미도시)을 포함할 수도 있다. 상기 제2가열기구(27)는 상기 제2열선을 발열시킴으로써, 상기 제2스테이지(22)를 가열할 수 있다. 상기 제2가열기구(27)로 마이카 히터가 이용될 수 있다.
상기 제2가열기구(27)는 상기 제2스테이지(22)를 가열함으로써, 상기 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200) 간의 결합력을 약화시킬 수도 있다. 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리할 때 상기 제2스테이지(22) 및 상기 캐리어기판(200)가 좁은 간격으로 위치되므로, 상기 제2가열기구(27)가 상기 제2스테이지(22)를 가열하는 열이 대류, 복사 등을 통해 상기 제1스테이지(21)에 지지된 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200)에 전달되기 때문이다.
도시되지 않았지만, 상기 제2가열기구(27)는 상기 제2스테이지(22)를 N개의 구역으로 나누어 구역별로 가열온도를 조절할 수도 있다. 이에 따라, 상기 제2가열기구(27)는 공정 환경에 따라 상기 제2스테이지(22)가 전체적으로 균일한 온도가 아닌 경우에도, 상기 제2스테이지(22)를 구역별로 상이한 온도로 가열함으로써 상기 제2스테이지(22)의 온도를 전체적으로 균일하게 조절할 수 있다. 상기 제2가열기구(27)는 상기 제1가열기구(26)가 상기 제1스테이지(21)를 가열하는 구역의 개수와 동일한 개수의 구역으로 상기 제2스테이지(22)를 나누어 구역별로 가열온도를 조절할 수 있다. 상기 제2가열기구(27)는 상기 제1가열기구(26)가 상기 제1스테이지(21)를 가열하는 구역의 배치와 동일한 배치로 상기 제2스테이지(22)를 구역별로 가열할 수 있다. 상기 제2가열기구(27)는 상기 제2스테이지(22)에 구역별로 설치된 온도센서(미도시)로부터 온도정보들을 수신하고, 수신된 온도정보들을 이용하여 구역별로 가열온도를 조절할 수 있다.
도 11을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)에 있어서, 상기 분리부(2)는 유체를 분사하기 위한 분사기구(28)를 더 포함할 수 있다.
상기 분사기구(28)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 합착기판(100) 사이를 향해 유체를 분사함으로써, 상기 캐리어기판(200)의 일부를 상기 합착기판(100)으로부터 분리할 수 있다. 상기 분사기구(28)는 공기 등을 분사할 수 있다. 상기 분리기구(23)가 흡입력을 발생시켰음에도 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(100)이 분리되지 않은 경우, 상기 분사기구(28)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 합착기판(100) 사이를 향해 유체를 분사할 수 있다. 이에 따라, 상기 분사기구(28)는 상기 캐리어기판(200)의 일부를 상기 합착기판(100)으로부터 분리함으로써, 상기 분리기구(23)에 의해 상기 캐리어기판(100)이 합착기판(100)으로부터 용이하게 분리되도록 유도할 수 있다. 상기 분사기구(28)는 상기 캐리어기판(200)의 일부를 상기 합착기판(100)으로부터 분리함으로써, 상기 분리기구(23)가 상기 캐리어기판(100)을 상기 합착기판(100)으로부터 분리하는데 걸리는 시간을 줄일 수도 있다.
상기 분사기구(28)는 상기 제1스테이지(21)에 지지된 합착기판(100)과 캐리어기판(200) 옆에 위치되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 분사기구(28)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 합착기판(100)의 변(邊)을 향해 유체를 분사할 수 있다. 이 경우, 상기 캐리어기판(200)은 해당 변의 주위 부분이 상기 합착기판(100)으로부터 분리될 수 있다. 상기 분사기구(28)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 합착기판(100)의 변을 따라 이동하면서 유체를 분사할 수도 있다. 상기 분사기구(28)는 상기 챔버유닛에 설치될 수 있다. 상기 제1캐리어기판(210)이 상기 제2스테이지(22) 쪽을 향하도록 상기 제1스테이지(21)에 상기 합착기판(100)이 지지된 경우, 상기 분사기구(28)는 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제1패널기판(110) 사이에 유체를 분사함으로써 상기 제1캐리어기판(210)의 일부를 상기 제1패널기판(110)으로부터 분리할 수 있다. 상기 제2캐리어기판(220)이 상기 제2스테이지(22) 쪽을 향하도록 상기 제1스테이지(21)에 상기 합착기판(100)이 지지된 경우, 상기 분사기구(28)는 상기 제2캐리어기판(220)과 상기 제2패널기판(120) 사이에 유체를 분사함으로써 상기 제2캐리어기판(220)의 일부를 상기 제2패널기판(110)으로부터 분리할 수 있다.
도 12 내지 도 14를 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)에 있어서, 상기 분리부(2)는 상기 합착기판(100)을 반전시키기 위한 반전기구(29, 도 12에 도시됨)를 더 포함할 수 있다.
상기 반전기구(29)는 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220) 중에서 어느 하나가 상기 분리기구(23)에 의해 분리된 후에, 나머지 하나가 상기 분리기구(23)에 의해 분리되도록 상기 합착기판(100)을 반전시킬 수 있다. 이를 구체적을 살펴보면, 다음과 같다.
우선, 도 13에 도시된 바와 같이 상기 제2캐리어기판(220)이 상기 제1스테이지(21)에 접촉되고, 상기 제1캐리어기판(210)이 상기 제2스테이지(22)를 향하도록 상기 합착기판(100)이 상기 제1스테이지(21)에 지지된 경우, 상기 분리기구(23)는 상기 제1캐리어기판(210)을 상기 제1패널기판(110)으로부터 분리한다. 상기 제1캐리어기판(210)은 별도의 이송장치 또는 상기 반전기구(29, 도 12에 도시됨)에 의해 반출될 수 있다.
다음, 상기 제1캐리어기판(210)에 대한 분리가 완료되면, 상기 반전기구(29, 도 12에 도시됨)는 도 14에 도시된 바와 같이 상기 제1패널기판(110)이 상기 제1스테이지(21)에 접촉되고, 상기 제2캐리어기판(220)이 상기 제2스테이지(22)를 향하도록 상기 합착기판(100)을 반전시킨 후에 상기 제1스테이지(21)에 안착시킨다.
다음, 상기 합착기판(100)에 대한 반전이 완료되면, 상기 분리기구(23)는 상기 제2캐리어기판(210)을 상기 제2패널기판(12)으로부터 분리한다. 상기 제2캐리어기판(210) 및 상기 캐리어기판(200)이 분리된 합착기판(100)은 별도의 이송장치 또는 상기 반전기구(29, 도 12에 도시됨)에 의해 반출될 수 있다.
상술한 바와 같은 과정을 거쳐, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 제1패널기판(110)에 결합된 제1캐리어기판(210) 및 상기 제2패널기판(120)에 결합된 제2캐리어기판(220)을 분리함으로써, 상기 합착기판(100)으로부터 캐리어기판(200)을 분리할 수 있다. 상기 합착기판(100)이 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220) 중에서 어느 하나만 결합된 것인 경우, 상기 반전기구(29)는 반전 기능을 수행하지 않고, 상기 합착기판(100) 및 상기 합착기판(100)으로부터 분리된 캐리어기판(100)에 대한 반출 기능만을 수행할 수도 있다.
도시되지 않았지만, 상기 반전기구(29)는 상기 캐리어기판(200) 또는 상기 합착기판(100)을 흡착하기 위한 픽커, 상기 합착기판(100)을 반전시키기 위해 상기 픽커를 회전시키는 회전수단, 및 상기 픽커를 이동시키기 위한 이송수단을 포함할 수 있다. 상기 반전기구(29)는 상기 챔버유닛에 설치될 수 있다.
도 15 및 도 16을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 가분리하기 위한 가분리부(3)를 더 포함할 수 있다.
상기 가분리부(3)는 상기 분리부(2, 도 12에 도시됨)가 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)의 전부를 분리하기 이전에, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)의 일부를 분리함으로써, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 가분리할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 분리부(2)가 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)의 전부를 분리하는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 슬림 디스플레이패널에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 분리부(2)가 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)의 전부를 용이하게 분리하도록 구현함으로써, 상기 캐리어기판(200)의 전부를 상기 합착기판(100)으로부터 분리하는 과정에서 상기 캐리어기판(200)이 파손 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 합착기판(100)으로부터 분리한 캐리어기판(200)을 다른 디스플레이패널을 제조하는데 재사용할 수 있으므로, 상기 캐리어기판(200)에 대한 소모량을 줄임으로써 공정 비용을 절감할 수 있다.
도 15 내지 도 17을 참고하면, 상기 가분리부(3)는 상기 캐리어기판(200)에 접촉되기 위한 가분리기구(31), 및 상기 캐리어기판(200)의 일부가 이동하도록 가분리기구(31)를 승강시키기 위한 승강기구(32)를 포함할 수 있다.
상기 가분리기구(31)는 상기 승강기구(32)에 결합된다. 상기 가분리기구(31)는 상기 캐리어기판(200)에서 상기 합착기판(100)으로부터 돌출된 돌출부(200a, 도 15에 도시됨)에 접촉된다. 상기 가분리기구(31)는 상기 합착기판(100)을 통과하여 상기 돌출부(200a)에 접촉된다. 이 경우, 상기 합착기판(100)은 상기 가분리기구(31)를 통과시키기 위한 통과홈(100a, 도 15에 도시됨)을 포함할 수 있다. 상기 캐리어기판(200)은 상기 돌출부(200a)가 상기 통과홈(100a)에 대응되는 위치에 위치되도록 상기 합착기판(100)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 가분리기구(31)는 상기 통과홈(100a)을 통해 상기 돌출부(200a)에 접촉됨으로써, 상기 캐리어기판(200)의 일부를 상기 합착기판(100)으로부터 분리하기 위해 상기 돌출부(200a)을 이동시킬 수 있다. 상기 합착기판(100)에 제1캐리어기판(210)과 제2캐리어기판(220)이 결합되는 경우, 상기 합착기판(100)과 상기 캐리어기판(200)은 도 7에 도시된 바와 같이 결합될 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.
우선, 상기 제1패널기판(110)은 상기 가분리기구(31)를 통과시키기 위한 2개의 제1통과홈(110a)을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 제2패널기판(120)은 상기 가분리기구(31)를 통과시키기 위한 2개의 제2통과홈(120a)을 포함할 수 있다. 상기 제1패널기판(100)과 상기 제2패널기판(120)은 상기 제1통과홈(110a)들 및 상기 제2통과홈(120a)들이 서로 연결되도록 합착된다.
다음, 상기 제1캐리어기판(210)은 상기 가분리기구(31)에 접촉되기 위한 제1돌출부(210a) 및 상기 가분리기구(31)를 통과시키기 위한 제1연결홈(210b)을 포함할 수 있다. 상기 제1캐리어기판(210)은 상기 제1돌출부(210a)가 어느 하나의 제1통과홈(110a)에 위치되고, 상기 제1연결홈(210b)이 나머지 하나의 제1통과홈(110a)에 연결되도록 상기 제1패널기판(110)에 결합된다.
다음, 상기 제2캐리어기판(220)은 상기 가분리기구(31)에 접촉되기 위한 제2돌출부(220a) 및 상기 가분리기구(31)를 통과시키기 위한 제2연결홈(220b)을 포함할 수 있다. 상기 제2캐리어기판(220)은 상기 제2돌출부(220a)가 어느 하나의 제2통과홈(120a)에 위치되고, 상기 제2연결홈(220b)이 나머지 하나의 제2통과홈(120a)에 연결되도록 상기 제2패널기판(120)에 결합된다. 상기 제2캐리어기판(220)은 상기 제2돌출부(220a)가 상기 제1연결홈(210a)에 대응되는 위치에 위치되고, 상기 제2연결홈(220b)이 상기 제1돌출부(210a)에 대응되는 위치에 위치되게 상기 제2패널기판(120)에 결합된다.
이와 같이 결합된 합착기판(100)과 캐리어기판(200)에 대해, 상기 가분리기구(31)는 다음과 같이 동작하여 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220)을 상기 합착기판(100)으로부터 가분리할 수 있다.
우선, 상기 제1캐리어기판(210)을 상기 제1패널기판(110)으로부터 가분리하는 경우, 상기 가분리기구(31)는 상기 제2연결홈(220b), 상기 제2통과홈(120a) 및 상기 제1통과홈(110a)을 통과하여 상기 제1돌출부(210a)에 접촉된다. 이에 따라, 상기 가분리기구(31)는 상기 제1돌출부(210a)를 이동시킴으로써, 상기 제1캐리어기판(210)을 가분리할 수 있다.
다음, 상기 제2캐리어기판(220)을 상기 제1패널기판(110)으로부터 가분리하는 경우, 상기 가분리기구(31)는 상기 제1연결홈(210b), 상기 제1통과홈(110a) 및 상기 제2통과홈(120a)을 통과하여 상기 제2돌출부(220a)에 접촉된다. 이에 따라, 상기 가분리기구(31)는 상기 제2돌출부(220a)를 이동시킴으로써, 상기 제2캐리어기판(220)를 가분리할 수 있다.
한편, 상기 제1캐리어기판(210)을 가분리하고 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 상기 합착기판(100)으로부터 분리한 후에, 상기 제2캐리어기판(220)을 가분리하는 경우, 상기 제1캐리어기판(210)은 상기 제1연결홈(210b)을 구비하지 않을 수도 있다. 상기 제2캐리어기판(220)을 가분리할 때, 상기 합착기판(100)은 상기 제1캐리어기판(210)이 분리되어 제거된 상태이기 때문이다. 상기 제2캐리어기판(220)을 가분리하고 상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 상기 합착기판(100)으로부터 분리한 후에, 상기 제1캐리어기판(210)을 가분리하는 경우, 상기 제2캐리어기판(220)은 상기 제2연결홈(220b)을 구비하지 않을 수도 있다. 상기 제1캐리어기판(220)을 가분리할 때, 상기 합착기판(100)은 상기 제2캐리어기판(220)이 분리되어 제거된 상태이기 때문이다.
또한, 도 7에는 상기 제1연결홈(210b), 상기 제1통과홈(110a)들, 상기 제2통과홈(120a)들 및 상기 제2연결홈(220b)이 각각 삼각 판형으로 형성되는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 가분리기구(31)를 통과시킬 수 있는 형태이면 원반 형태 등 다른 형태로 형성될 수도 있다. 도 7에는 상기 제1캐리어기판(210)에서 상기 제1돌출부(210a)가 형성된 부분이 직각을 이루도록 형성되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 가분리기구(31)가 접촉될 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 도 7에는 상기 제2캐리어기판(220)에서 상기 제2돌출부(220a)가 형성된 부분이 직각을 이루도록 형성되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 가분리기구(31)가 접촉될 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 제2돌출부(220a)와 상기 제1돌출부(210a)는 서로 동일한 형태로 형성될 수도 있고, 서로 다른 형태로 형성될 수도 있다.
도시되지 않았지만, 상기 제1패널기판(110), 상기 제2패널기판(120), 상기 제1캐리어기판(210), 및 상기 제2캐리어기판(220)은 각각 모서리들이 모따기 처리된 8각형 형태로 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 제1돌출부(210a) 및 상기 제2돌출부(220a)에 해당하는 부분은 다른 모서리들에 비해 작은 크기로 모따기 처리됨으로써 상기 가분리기구(31)가 접촉될 수 있는 형태로 형성될 수 있다.
도 15 및 도 16을 참고하면, 상기 승강기구(32)는 상기 가분리기구(31)가 상기 돌출부(200a)에 접촉된 상태에서 상기 가분리부재(31)를 승강시킴으로써, 상기 캐리어기판(200)의 돌출부(200a)를 상기 합착기판(100)을 기준으로 승강시킨다. 이에 따라, 상기 캐리어기판(200)에서 상기 돌출부(200a)가 형성된 부분은, 도 16에 도시된 바와 같이 상기 합착기판(100)으로부터 이격되어 분리된다. 따라서, 상기 가분리부(3)는 상기 캐리어기판(200)의 일부를 상기 합착기판(100)으로부터 분리함으로써, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 가분리할 수 있다.
상기 승강기구(32)는 상기 가분리기구(31)가 상기 돌출부(200a)에 접촉된 상태에서 상기 가분리기구(31)를 반복적으로 승강시킬 수도 있다. 상기 승강기구(32)는 기설정된 횟수에 따라 상기 가분리기구(31)를 반복적으로 승강시킬 수 있다. 기설정된 횟수는 사용자에 의해 미리 설정될 수 있다. 이에 따라, 상기 가분리부(3)는 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 가분리하는 공정의 정확성을 향상시킬 수 있다.
상기 가분리부(3)는 상기 가분리기구(31)가 상기 돌출부(200a)를 승강시킴에 따라 상기 가분리기구(31)에 가해지는 압력을 측정하기 위한 측정기구(33, 도 16에 도시됨)를 더 포함할 수 있다.
상기 측정기구(33)는 상기 가분리기구(31)와 상기 승강기구(32) 사이에 설치될 수 있다. 상기 가분리기구(31)가 상기 돌출부(200a)을 상승시키면, 상기 돌출부(200a)는 상기 캐리어기판(200)과 상기 합착기판(100) 간의 결합력으로 인해 상기 가분리기구(31)에 압력을 가하게 된다. 이와 같이 상기 가분리기구(31)에 가해지는 압력은, 상기 캐리어기판(200)이 상기 합착기판(100)으로부터 점진적으로 가분리되면서 결합력이 약해짐에 따라 점차적으로 약해지게 된다. 따라서, 상기 측정기구(33)는 상기 가분리기구(31)에 가해지는 압력을 측정함으로써, 측정한 압력값을 이용하여 상기 캐리어기판(200)에 대한 가분리가 완료되었는지 여부가 판단되도록 구현될 수 있다. 상기 측정기구(33)는 측정한 압력값을 무선통신과 유선통신 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 승강기구(32)에 제공할 수 있다.
상기 승강기구(32)는 상기 측정기구(33)로부터 제공된 압력값이 기설정된 압력값에 도달할 때까지 상기 가분리기구(31)를 반복적으로 승강시킬 수 있다. 기설정된 압력값은 사용자에 의해 미리 설정될 수 있다. 이에 따라, 상기 가분리부(3)는 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 가분리하는 공정의 정확성을 향상시킬 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 가분리부(3)는 상기 분리부(2, 도 12에 도시됨)에 설치될 수 있다. 상기 승강기구(32)가 상기 제2스테이지(22, 도 12에 도시됨)에 결합됨으로써, 상기 가분리기구(31)는 상기 돌출부(200a)를 승강시킬 수 있는 위치에 설치될 수 있다.
도 12, 도 16 및 도 17을 참고하면, 상기 가분리부(3)는 상기 분리부(2)와 별개의 설비로 구현될 수도 있다. 이 경우, 상기 가분리부(3)는 지지기구(34, 도 16에 도시됨)를 더 포함할 수 있다.
상기 지지기구(34)는 상기 캐리어기판(200)이 결합된 합착기판(100)을 지지한다. 상기 합착기판(100)은 상기 돌출부(200a, 도 16에 도시됨)가 상기 지지기구(34)로부터 돌출되도록 상기 지지기구(34)에 지지된다. 상기 지지기구(34)는 챔버기구(미도시) 내부에 위치되게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 가분리하는 공정은, 상기 챔버기구 내부에서 이루어질 수 있다. 상기 챔버기구는 전체적으로 내부가 비어 있는 직방체 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 가분리하는 공정이 이루어질 수 있는 작업공간을 제공할 수 있는 형태이면 다른 형태로 형성될 수도 있다.
상기 지지기구(34)는 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)이 가분리될 때, 상기 합착기판(100)을 고정할 수 있다. 이 경우, 상기 합착기판은 흡입수단에 의해 상기 지지기구(34)에 흡착됨으로써 고정될 수 있다. 상기 지지기구(34)는 흡입수단(미도시)로부터 제공된 흡입력을 상기 합착기판(100)에 전달하기 위한 관통공(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 흡입수단은 상기 관통공에 연결되게 상기 지지기구(34)에 설치될 수 있다. 상기 흡입수단은 상기 관통공에 연결되게 상기 챔버기구에 설치될 수도 있다. 상기 관통공은 상기 흡입수단에 연결될 수 있도록 상기 지지기구(34)를 관통하여 형성된다.
상기 흡입수단이 상기 관통공을 통해 유체를 흡입함에 따라, 상기 합착기판(100)은 상기 지지기구(34)에 흡착되어 고정된다. 상기 합착기판(100)이 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220)이 결합된 상태로 상기 지지기구(34)에 지지된 경우, 상기 흡입수단은 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220) 중에서 상기 지지기구(34)에 접촉된 것을 흡착함으로써 상기 합착기판(100)을 상기 지지기구(34)에 고정시킬 수 있다. 상기 합착기판(100)이 상기 제1캐리어기판(210) 또는 상기 제2캐리어기판(220)이 결합된 상태로 상기 지지기구(34)에 지지된 경우, 상기 흡입수단은 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120) 중에서 상기 지지기구(34)에 접촉된 것을 흡착함으로써, 상기 합착기판(100)을 상기 지지기구(34)에 고정시킬 수 있다. 상기 지지기구(34)는 상기 관통공을 복수개 포함할 수도 있다.
도시되지 않았지만, 상기 지지기구(34)는 정전척일 수도 있다. 이 경우, 상기 합착기판(100)은 정전력에 의해 상기 지지기구(34)에 고정될 수 있다. 상기 지지기구(34)는 상기 합착기판(100)을 상기 지지기구(34)에 부착시키기 위한 적어도 하나의 전극(미도시)을 포함할 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 지지기구(34)는 적어도 하나의 점착고무(미도시)를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 합착기판(100)은 점착고무가 갖는 점착성에 의해 상기 지지기구(34)에 고정될 수 있다.
상기 가분리부(3)가 상기 제1캐리어기판(210)을 가분리하는 경우, 상기 합착기판(100)은 상기 제1돌출부(210a, 도 17에 도시됨)가 상기 지지기구(34)로부터 돌출되도록 상기 지지기구(34)에 지지될 수 있다. 상기 가분리부(3)가 상기 제2캐리어기판(220)을 가분리하는 경우, 상기 합착기판(100)은 상기 제2돌출부(220a, 도 17에 도시됨)가 상기 지지기구(34)로부터 돌출되도록 상기 지지기구(34)에 지지될 수 있다.
도 12, 도 16 및 도 17을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 분리부(2) 및 상기 가분리부(3)가 별도의 설비로 구현되는 경우, 상기 합착기판(100)을 이송하기 위한 이송부(4, 도 12에 도시됨)를 더 포함할 수 있다.
상기 이송부(4)는 상기 분리부(2) 및 상기 가분리부(3) 간에 상기 합착기판(100)을 이송할 수 있다. 상기 이송부(4)는 상기 분리부(2) 및 상기 가분리부(3) 사이에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 이송부(4)는 상기 캐리어기판(200) 또는 상기 합착기판(100)을 흡착하기 위한 이송픽커, 및 상기 이송픽커를 이동시키기 위한 구동수단을 포함할 수 있다. 상기 이송부(4)는 다음과 같이 상기 합착기판(100)을 이송할 수 있다.
우선, 상기 이송부(4)는 상기 합착기판(100)을 상기 가분리부(3)로 이송한다. 상기 합착기판(100)에는 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220)이 결합되어 있다. 상기 이송부(4)는 상기 제2캐리어기판(220)이 상기 지지기구(34, 도 16에 도시됨)에 접촉되도록 상기 합착기판(100)을 상기 지지기구(34)에 안착시킨다. 이 경우, 상기 이송부(4)는 상기 제1돌출부(210a, 도 17에 도시됨)가 상기 지지기구(34)로부터 돌출되도록 상기 합착기판(100)을 상기 지지기구(34)에 안착시킨다. 이 상태에서, 상기 가분리기구(31)는 상기 제1돌출부(210a)를 승강시킴으로써, 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)를 가분리한다.
다음, 상기 제1캐리어기판(210)에 대한 가분리가 완료되면, 상기 이송부(4)는 상기 합착기판(100)을 상기 가분리부(3)에서 상기 분리부(2)로 이송한다. 상기 이송부(4)는 가분리가 완료된 제1캐리어기판(210)이 상기 제2스테이지(22)를 향하도록 상기 합착기판(100)을 상기 제1스테이지(21)에 안착시킨다. 이 상태에서, 상기 분리기구(23)는 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 분리한다.
다음, 상기 제1캐리어기판(210)에 대한 분리가 완료되면, 상기 이송부(4)는 상기 합착기판(100)을 상기 분리부(2)에서 상기 가분리부(3)로 이송한다. 상기 이송부(4)는 상기 제1패널기판(110)이 상기 지지기구(34)에 접촉되도록 상기 합착기판(100)을 반전시킨 후에 상기 지지기구(34)에 안착시킨다. 이 경우, 상기 이송부(4)는 상기 제2돌출부(220a, 도 17에 도시됨)가 상기 지지기구(34)로부터 돌출되도록 상기 합착기판(100)을 상기 지지기구(34)에 안착시킨다. 이 상태에서, 상기 가분리기구(31)는 상기 제2돌출부(220a)를 승강시킴으로써, 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)을 가분리한다.
다음, 상기 제2캐리어기판(220)에 대한 가분리가 완료되면, 상기 이송부(4)는 상기 합착기판(100)을 상기 가분리부(3)에서 상기 분리부(2)로 이송한다. 상기 이송부(4)는 가분리가 완료된 제2캐리어기판(220)이 상기 제2스테이지(22)를 향하도록 상기 합착기판(100)을 상기 제1스테이지(21)에 안착시킨다. 이 상태에서, 상기 분리기구(23)는 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 분리한다.
상술한 바와 같은 과정을 거쳐, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는 공정을 수행할 수 있다. 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)는 상기 이송부(2) 및 상기 반전기구(29)를 모두 포함할 수도 있고, 상기 이송부(2) 및 상기 반전기구(29) 중어에 어느 하나만 구비하여 상기 합착기판(100)에 대한 이송 및 반전 기능을 구현할 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 18을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(12)의 내구성을 보강하기 위해 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(12) 각각에 상기 캐리어기판(200)을 결합시킨 상태로 제조공정을 수행하고, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(12)이 합착된 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리함으로써 슬림 디스플레이패널을 제조하기 위한 것이다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 상기 캐리어기판(200)에 의해 내구성이 보강된 상태로 제조공정을 수행하므로, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 얇은 두께로 형성된 것이더라도 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 슬림 디스플레이패널 제조공정에 대한 수율을 향상시킬 수 있고, 슬림 디스플레이패널에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 종래 기술과 같이 식각액을 이용하지 않고도, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 손상되는 것을 방지하면서 슬림 디스플레이패널을 제조할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 종래 기술과 비교할 때, 소모품인 식각액을 사용하지 않음으로써 공정 비용을 줄일 수 있고, 이에 따라 슬림 디스플레이패널에 대한 제조 단가를 낮출 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 종래 기술과 같이 식각액 사용으로 인한 챔버 세정 작업을 생략할 수 있으므로, 공정 비용을 더 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 세정 작업으로 인해 공정 시간에 손실이 발생하는 것을 방지함으로써 슬림 디스플레이패널에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다.
셋째, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 종래 기술과 같이 환경 오염 물질인 식각액을 이용하지 않으므로, 환경 오염 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 디스플레이패널을 제조하기 위한 제조공정을 친환경적으로 구현하는데 기여할 수 있다.
도 1 내지 도 20을 참고하면, 이러한 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
우선, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)에 상기 캐리어기판(200)을 결합시킨다(S10). 이러한 공정(S10)은, 상기 제1패널기판(110)에 상기 제1캐리어기판(210)을 결합시키고, 상기 제2패널기판(120)에 상기 제2캐리어기판(220)을 결합시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 캐리어기판(200)을 결합시키는 공정(S10)은 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)에 상기 캐리어기판(200)을 결합시키기 위한 결합장치(400, 도 19에 도시됨)에 의해 수행될 수 있다.
예컨대, 상기 결합장치(400)는 도 19에 도시된 바와 같이, 챔버모듈(410), 제1정반(420), 제2정반(430), 및 압력조절부(440)를 포함할 수 있다. 상기 제1패널기판(110)은 상기 제1정반(420)에 지지되고, 상기 제1캐리어기판(210)은 상기 제2정반(430)에 흡착력, 정전력, 점착력 중 적어도 하나를 이용하여 부착된다. 이 상태에서 상기 제1캐리어기판(210)이 상기 제2정반(430)으로부터 이격되어 상기 제1패널기판(110)에 접촉되면, 상기 압력조절부(440)는 상기 챔버모듈(410) 내부의 압력을 소정의 진공압력으로 낮춘다. 이에 따라, 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제1패널기판(110)은 분자 결합에 의해 결합된다. 도시되지 않았지만, 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제1패널기판(110)은 실런트(Sealant) 등을 이용하여 결합될 수도 있다. 도시되지 않았지만, 상기 결합장치(400)는 상기 제1캐리어기판(210)을 상기 제1패널기판(100) 쪽으로 누르는 구조물을 이용하여 상기 제1패널기판(110)에 상기 제1캐리어기판(210)을 결합시킬 수도 있다. 상기 구조물은 가압핀, 다이어프램(Diaphragm) 등일 수 있다. 상기 결합장치(400)는 상기 제1캐리어기판(210)에 기체를 분사함으로써 상기 제1패널기판(110)에 상기 제1캐리어기판(210)을 결합시킬 수도 있다. 상기 결합장치(400)는 상술한 바와 같은 구성들을 이용하여 상기 제2패널기판(120)에 상기 제2캐리어기판(220)을 결합시킬 수 있다.
다음, 상기 합착기판(100)을 제조한다(S20). 이러한 공정(S20)은, 상기 제1패널기판(110) 및 상기 제2패널기판(120)을 합착하는 합착공정을 포함한다. 상기 합착공정은 상기 제1패널기판(110)에 상기 제1캐리어기판(210)이 결합되고, 상기 제2패널기판(120)에 상기 제2캐리어기판(220)이 결합된 상태에서 이루어질 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 상기 캐리어기판(200)에 의해 내구성이 보강된 상태로 상기 합착공정을 수행하므로, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 얇은 두께로 형성된 것이더라도 상기 합착공정을 수행하는 과정에서 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다. 상기 합착공정은 합착장치(500, 도 20에 도시됨)에 의해 수행될 수 있다.
예컨대, 상기 합착장치(500)는 도 20에 도시된 바와 같이, 챔버장치(510), 제1워크테이블(520), 및 제2워크테이블(530)을 포함할 수 있다. 상기 제1패널기판(110)은 상기 제1캐리어기판(210)이 상기 제1워크테이블(520)에 접촉되게 상기 제1워크테이블(520)에 지지된다. 상기 제1패널기판(110)에는 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)을 합착시키기 위한 실런트(미도시) 도포되어 있다. 상기 제2패널기판(120)은 상기 제2캐리어기판(220)이 상기 제2워크테이블(530)에 접촉되게 상기 제2워크테이블(530)에 흡착력, 정전력, 점착력 중 적어도 하나를 이용하여 부착된다. 이 상태에서 상기 제2패널기판(120)이 상기 제1패널기판(110)에 접촉됨으로써, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)은 실런트가 갖는 접착력에 의해 합착되어 상기 합착기판(100)으로 제조될 수 있다. 이 경우, 상기 합착장치(500)는 상기 제2패널기판(120)을 상기 제1패널기판(110) 쪽으로 누르는 구조물을 이용하여 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)을 합착시킬 수 있다. 상기 구조물은 상기 제2워크테이블(530), 가압핀, 다이어프램 등일 수 있다. 상기 합착장치(500)는 상기 제2패널기판(120)에 기체를 분사함으로써, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)을 합착시킬 수도 있다. 상기 합착장치(500)는 상기 제2패널기판(120)과 상기 제1패널기판(110)이 접촉되면, 압력조절기구가 상기 챔버장치(510) 내부의 압력을 소정의 진공압력으로 낮춤으로써, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)을 합착시킬 수도 있다.
상기 합착기판(100)을 제조하는 공정(S20)은, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120) 각각에 디스플레이패널의 구동에 필요한 전극 등을 형성하는 공정을 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 합착기판(100)을 제조하는 공정(S20)은, 상기 제1패널기판(110)에 박막 트랜지스터 어레이를 형성하는 TFT 공정, 상기 제2패널기판(120)에 컬러필터 어레이를 형성하는 CF 공정, 및 상기 중간층(130, 도 1에 도시됨)을 형성하는 공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 공정들은 상기 제1패널기판(110)에 상기 제1캐리어기판(210)이 결합되고, 상기 제2패널기판(120)에 상기 제2캐리어기판(220)이 결합된 상태에서 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상술한 바와 같은 공정들을 수행하는 과정에서 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)이 쉽게 손상되는 것을 방지함으로써, 슬림 디스플레이패널 제조공정에 대한 수율을 향상시킬 수 있고, 슬림 디스플레이패널에 대한 품질을 향상시킬 수 있다.
다음, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리한다(S30). 이러한 공정(S30)은, 상술한 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)가 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리함으로써 이루어질 수 있다. 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리함에 따라(S30), 상기 합착기판(100)은 슬림 디스플레이패널로 구현될 수 있다.
도 1 내지 도 21을 참고하면, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는 공정(S30)은, 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)을 분리하는 공정(S31), 및 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)을 분리하는 공정(S32)을 포함할 수 있다.
상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)을 분리하는 공정(S31)은, 상술한 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)가 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)을 분리함으로써 이루어질 수 있다. 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)을 분리하는 공정(S31)은, 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 분리하는 공정(S311)을 포함할 수 있다.
상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 분리하는 공정(S311)은, 상기 분리부(2)가 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 분리함으로써 이루어질 수 있다. 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 분리하는 공정(S311)은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
우선, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 합착기판(100)이 상기 제1스테이지(21)와 상기 제2스테이지(22) 사이에 위치되도록 상기 제1스테이지(21)에 안착시킨다. 이러한 공정은, 상기 반전기구(29), 상기 이송부(4) 및 별도의 이송장치(미도시) 중에서 어느 하나가, 상기 합착기판(100)을 상기 제1스테이지(21)에 안착시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 합착기판(100)은 상기 제1캐리어기판(210)이 상기 제2스테이지(22) 쪽을 향하도록 상기 제1스테이지(21)에 안착될 수 있다. 이 경우, 상기 제2스테이지(22)는 상기 밀폐부재(24)가 상기 제1캐리어기판(210)으로부터 소정 거리 이격되도록 상기 이동기구(25)에 의해 상승된 상태이다. 상기 합착기판(100)은 상기 제1스테이지(21)에 안착된 상태에서 상기 흡입기구(300)가 제공하는 흡입력에 의해 상기 제1스테이지(21)에 고정될 수 있다.
다음, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 밀폐부재(24)가 상기 제1캐리어기판(210)에 접촉되도록 상기 제2스테이지(22)를 상기 합착기판(100) 쪽으로 이동시킨다. 이러한 공정은, 상기 이동기구(25)가 상기 제2스테이지(22)를 하강시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 이동기구(25)는 상기 접촉부재(243)가 상기 제1캐리어기판(210)에 접촉되어 상기 밀폐공간(B)이 형성되도록 상기 제2스테이지(22)를 하강시킬 수 있다.
다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제1캐리어기판(210)을 상기 제2스테이지(22)에 흡착시켜서 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 상기 제1패널기판(110)으로부터 분리한다. 이러한 공정은, 상기 분리기구(23)가 상기 밀폐공간(B)으로부터 유체를 흡입하여 상기 제1캐리어기판(210)을 상기 제2스테이지(22)에 흡착시킴으로써 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 접촉부재(243)는 상기 제1패널기판(110)으로부터 분리된 제1캐리어기판(210)에 가압되어 접혀지면서 상기 수용홈(222)에 삽입될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제1캐리어기판(210)이 상기 제1패널기판(110)으로부터 분리되는 과정에서 손상되는 것을 방지함으로써, 상기 제1패널기판(110)으로부터 분리한 제1캐리어기판(210)을 다른 디스플레이패널을 제조하는데 재사용할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제1캐리어기판(210)에 대한 소모량을 줄임으로써, 공정 비용을 절감할 수 있다.
도 1 내지 도 21을 참고하면, 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)을 분리하는 공정(S31)은, 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 일부를 가분리하는 공정(S312)을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 분리하는 공정(S311)은, 상기 제1캐리어기판(210)의 일부를 가분리하는 공정(S312)에 따라 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 일부가 가분리된 후에 수행될 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 분리하는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 슬림 디스플레이패널에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 용이하게 분리할 수 있으므로, 상기 제1캐리어기판(210)이 파손 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1캐리어기판(210)의 일부를 가분리하는 공정(S312)은, 상기 가분리부(3)가 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 일부를 가분리함으로써 이루어질 수 있다. 상기 가분리부(3)는 상기 제1캐리어기판(210)의 일부가 상기 제1패널기판(110)으로부터 이격되도록 상기 제1캐리어기판(210)의 일부를 이동시킴으로써, 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 일부를 가분리할 수 있다.
도 1 내지 도 21을 참고하면, 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)을 분리하는 공정(S32)은, 상술한 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치(1)가 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)을 분리함으로써 이루어질 수 있다. 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)을 분리하는 공정(31)이 수행된 후에, 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)을 분리하는 공정(S32)이 수행될 수 있다. 도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)을 분리하는 공정(S32)이 수행된 후에, 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)을 분리하는 공정(31)이 수행될 수도 있다.
상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)을 분리하는 공정(S31)은, 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 분리하는 공정(S321)을 포함할 수 있다.
상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 분리하는 공정(S321)은, 상기 분리부(2)가 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 분리함으로써 이루어질 수 있다. 상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 분리하는 공정(S321)은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
우선, 상기 합착기판(100)이 상기 제1스테이지(21)와 상기 제2스테이지(22) 사이에 위치되도록 상기 제1스테이지(21)에 안착시킨다. 이러한 공정은, 상기 반전기구(29), 상기 이송부(4) 및 별도의 이송장치(미도시) 중에서 어느 하나가, 상기 합착기판(100)을 상기 제1스테이지(21)에 안착시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 합착기판(100)은 상기 제2캐리어기판(220)이 상기 제2스테이지(22) 쪽을 향하도록 상기 제1스테이지(21)에 안착될 수 있다. 이 경우, 상기 제2스테이지(22)는 상기 밀폐부재(24)가 상기 제2캐리어기판(220)으로부터 소정 거리 이격되도록 상기 이동기구(25)에 의해 상승된 상태이다. 상기 합착기판(100)은 상기 제1스테이지(21)에 안착된 상태에서 상기 흡입기구(300)가 제공하는 흡입력에 의해 상기 제1스테이지(21)에 고정될 수 있다.
다음, 상기 밀폐부재(24)가 상기 제2캐리어기판(220)에 접촉되도록 상기 제2스테이지(22)를 상기 합착기판(100) 쪽으로 이동시킨다. 이러한 공정은, 상기 이동기구(25)가 상기 제2스테이지(22)를 하강시킴으로써 이루어질 수 있다. 상기 이동기구(25)는 상기 접촉부재(243)가 상기 제2캐리어기판(220)에 접촉되어 상기 밀폐공간(B)이 형성되도록 상기 제2스테이지(22)를 하강시킬 수 있다.
다음, 상기 제2캐리어기판(220)을 상기 제2스테이지(22)에 흡착시켜서 상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 상기 제2패널기판(120)으로부터 분리한다. 이러한 공정은, 상기 분리기구(23)가 상기 밀폐공간(B)으로부터 유체를 흡입하여 상기 제2캐리어기판(220)을 상기 제2스테이지(22)에 흡착시킴으로써 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 접촉부재(243)는 상기 제2패널기판(120)으로부터 분리된 제2캐리어기판(220)에 가압되어 접혀지면서 상기 수용홈(222)에 삽입될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제2캐리어기판(220)이 상기 제2패널기판(120)으로부터 분리되는 과정에서 손상되는 것을 방지함으로써, 상기 제2패널기판(120)으로부터 분리한 제2캐리어기판(220)을 다른 디스플레이패널을 제조하는데 재사용할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제2캐리어기판(220)에 대한 소모량을 줄임으로써, 공정 비용을 절감할 수 있다.
도 1 내지 도 21을 참고하면, 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)을 분리하는 공정(S32)은, 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 일부를 가분리하는 공정(S322)을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 분리하는 공정(S321)은, 상기 제2캐리어기판(220)의 일부를 가분리하는 공정(S322)에 따라 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 일부가 가분리된 후에 수행될 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 분리하는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 슬림 디스플레이패널에 대한 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 용이하게 분리할 수 있으므로, 상기 제2캐리어기판(220)이 파손 내지 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기 제2캐리어기판(220)의 일부를 가분리하는 공정(S322)은, 상기 가분리부(3)가 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 일부를 가분리함으로써 이루어질 수 있다. 상기 가분리부(3)는 상기 제2캐리어기판(220)의 일부가 상기 제2패널기판(120)으로부터 이격되도록 상기 제2캐리어기판(220)의 일부를 이동시킴으로써, 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 일부를 가분리할 수 있다.
도 1 내지 도 21을 참고하면, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는 공정(S30)은, 상기 제1스테이지(21)와 상기 제2스테이지(22) 중에서 적어도 하나를 가열하는 공정을 포함할 수 있다. 이러한 공정은 상기 제1가열기구(26)가 상기 제1스테이지(21)를 가열하거나, 상기 제2가열기구(27)가 상기 제2스테이지(22)를 가열하거나, 상기 제1가열기구(26) 및 상기 제2가열기구(27)가 상기 제1스테이지(21)와 상기 제2스테이지(22) 모두를 가열함으로써 이루어질 수 있다.
상기 제1스테이지(21)와 상기 제2스테이지(22) 중에서 적어도 하나를 가열하는 공정은, 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 분리하는 공정(S311)이 이루어지는 동안 수행될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제1패널기판(110)과 상기 제1캐리어기판(210) 간의 결합력을 약화시킴으로써, 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 용이하게 분리할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)을 분리하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다.
상기 제1스테이지(21)와 상기 제2스테이지(22) 중에서 적어도 하나를 가열하는 공정은, 상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 분리하는 공정(S321)이 이루어지는 동안 수행될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제2패널기판(120)과 상기 제2캐리어기판(220) 간의 결합력을 약화시킴으로써, 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 전부를 용이하게 분리할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)을 분리하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다.
도 1 내지 도 21을 참고하면, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는 공정(S30)은, 상기 합착기판(100)을 반전시키는 공정(S33)을 포함할 수 있다. 상기 합착기판(100)을 반전시키는 공정(S33)은, 상기 반전기구(29)가 상기 합착기판(100)을 반전시킴으로써 이루어질 수 있다.
상기 합착기판(100)을 반전시키는 공정(S33)은, 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)을 분리하는 공정(S31)이 수행된 후, 및 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)을 분리하는 공정(S32)이 수행되기 이전에 수행될 수 있다. 이 경우, 상기 반전기구(29)는 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 전부가 분리된 합착기판(100)을 반전시킨 후에, 반전된 합착기판(100)을 상기 제2캐리어기판(220)이 상기 제2스테이지(22)를 향하도록 상기 제1스테이지(21)에 안착시킬 수 있다.
상기 합착기판(100)을 반전시키는 공정(S33)은, 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 분리하는 공정(S311)이 수행된 후, 및 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 일부를 가분리하는 공정(S322)이 수행되기 이전에 수행될 수도 있다. 상기 반전기구(29)는 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)의 전부가 분리된 합착기판(100)을 반전시킨 후에, 반전된 합착기판(100)을 상기 가분리부(3)로 이송하여 안착시킬 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 합착기판(100)을 반전시키는 공정(S33)은, 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)을 분리하는 공정(S32)이 수행된 후, 및 상기 제1패널기판(110)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)을 분리하는 공정(S31)이 수행되기 이전에 수행될 수 있다. 이 경우, 상기 반전기구(29)는 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 전부가 분리된 합착기판(100)을 반전시킨 후에, 반전된 합착기판(100)을 상기 제1캐리어기판(210)이 상기 제2스테이지(22)를 향하도록 상기 제1스테이지(21)에 안착시킬 수 있다.
상기 합착기판(100)을 반전시키는 공정(S33)은, 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 일부를 가분리하는 공정(S322)이 수행된 후, 및 상기 제1캐리어기판(210)의 전부를 분리하는 공정(S311)이 수행되기 이전에 수행될 수도 있다. 상기 반전기구(29)는 상기 제2패널기판(120)으로부터 상기 제2캐리어기판(220)의 전부가 분리된 합착기판(100)을 반전시킨 후에, 반전된 합착기판(100)을 상기 가분리부(3)로 이송하여 안착시킬 수 있다.
도 1 내지 도 21을 참고하면, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 합착기판(100)을 스크라이빙하는 공정(S40)을 더 포함할 수 있다.
상기 합착기판(100)을 스크라이빙하는 공정(S40)은, 상기 합착기판(100)으로부터 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220)이 분리되면, 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220)이 분리된 합착기판(100)을 스크라이빙함으로써 이루어질 수 있다. 즉, 상기 합착기판(100)을 스크라이빙하는 공정(S40)은 상기 합착기판(100)으로부터 상기 캐리어기판(200)을 분리하는 공정(S30)이 이루어진 후에 수행될 수 있다.
이에 따라, 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220)에 대해 스크라이빙 공정이 수행되지 않도록 구현됨으로써, 상기 합착기판(100)으로부터 분리한 제1캐리어기판(210) 및 상기 제2캐리어기판(220)을 다른 디스플레이패널을 제조하는데 재사용할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 디스플레이패널 제조방법은 슬림 디스플레이패널을 제조하는 과정에서 상기 캐리어기판(200)에 대한 소모량을 줄임으로써, 공정 비용을 절감할 수 있다.
상기 합착기판(100)을 스크라이빙하는 공정(S40)은, 스크라이빙장치(미도시)가 상기 제1캐리어기판(210)과 상기 제2캐리어기판(220)이 분리된 합착기판(100)을 절단함으로써 이루어질 수 있다. 상기 스크라이빙장치는 절단휠, 레이져 등을 이용하여 상기 합착기판(100)을 절단할 수 있다. 상기 합착기판(100)을 스크라이빙하는 공정(S40)은, 상기 합착기판(100)이 복수개의 디스플레이패널이 형성된 모기판인 경우, 상기 합착기판(100)이 복수개의 디스플레이패널로 분리되도록 상기 합착기판(100)을 절단함으로써 이루어질 수 있다. 상기 합착기판(100)을 스크라이빙하는 공정(S40)은, 상기 합착기판(100)이 하나의 디스플레이패널이 형성된 것인 경우, 상기 합착기판(100)에서 더미영역 등과 같이 비표시영역을 절담함으로써 이루어질 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 예컨대, 상기 제1패널기판(110)과 상기 제2패널기판(120)은 유연성(Flexibility)을 갖는 플라스틱 기판일 수도 있다.
1 : 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치 2 : 분리부
3 : 가분리부 4 : 이송부 21 : 제1스테이지 22 : 제2스테이지
23 : 분리기구 24 : 밀폐부재 25 : 이동기구 26 : 제1가열기구
27 : 제2가열기구 28 : 분사기구 29 : 반전기구 31 : 가분리기구
32 : 승강기구 33 : 측정기구 34 : 지지기구 100 : 합착기판
110 : 제1패널기판 120 : 제2패널기판 130 : 중간층 200 : 캐리어기판
210 : 제1캐리어기판 220 : 제2캐리어기판 300 : 흡입기구

Claims (10)

  1. 제1패널기판에 제1캐리어기판을 결합시키고, 제2패널기판에 제2캐리어기판을 결합시키는 단계;
    상기 제1캐리어기판이 결합된 제1패널기판 및 상기 제2캐리어기판이 결합된 제2패널기판을 합착하여 합착기판을 제조하는 단계; 및
    상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계를 포함하고,
    상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계는 상기 합착기판이 제1스테이지와 제2스테이지 사이에 위치되도록 상기 제1스테이지에 안착시키고, 상기 합착기판을 상기 제1스테이지에 고정시키는 단계와, 상기 제2스테이지를 상기 합착기판 쪽으로 이동시키는 단계를 포함하며,
    상기 제2스테이지를 상기 합착기판 쪽으로 이동시키는 단계는 상기 제2스테이지 하측에 결합된 밀폐부재가 상기 제1캐리어기판 방향으로 이동하여 상기 제1캐리어기판과 상기 제2스테이지 사이에 밀폐공간을 형성하는 단계를 포함하는 디스플레이패널 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계는,
    상기 제1캐리어기판을 상기 제2스테이지에 흡착시켜서 상기 제1캐리어기판의 전부를 상기 제1패널기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계는,
    상기 제1캐리어기판의 일부가 상기 제1패널기판으로부터 이격되도록 상기 제1캐리어기판의 일부를 이동시켜서 상기 제1패널기판으로부터 상기 제1캐리어기판의 일부를 가분리하는 단계; 및
    상기 제1패널기판으로부터 상기 제1캐리어기판의 일부가 가분리되면, 상기 제1패널기판으로부터 상기 제1캐리어기판의 전부를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계는,
    상기 제2캐리어기판이 제1스테이지에 접촉되도록 상기 합착기판을 상기 제1스테이지에 안착시키고, 상기 제1패널기판으로부터 상기 제1캐리어기판의 전부를 분리하는 단계;
    상기 제1패널기판이 상기 제1스테이지에 접촉되도록 상기 합착기판을 반전시킨 후에 상기 제1스테이지에 안착시키는 단계; 및
    상기 제2패널기판으로부터 상기 제2캐리어기판의 전부를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판이 분리되면, 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판이 분리된 합착기판을 스크라이빙하는 단계를 더 포함하고;
    상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계는, 상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지 중에서 적어도 하나를 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조방법.
  6. 캐리어기판이 결합된 합착기판을 지지하기 위한 제1스테이지;
    상기 제1스테이지로부터 이격되게 설치되는 제2스테이지; 및
    상기 제2스테이지에 형성된 흡착공에 연결되게 상기 제2스테이지에 설치되고, 상기 합착기판으로부터 상기 캐리어기판을 분리하기 위해 상기 흡착공을 통해 상기 캐리어기판을 흡착하는 분리기구를 포함하고,
    상기 제2스테이지의 하측에는 상기 제1스테이지 방향으로 돌출되는 밀폐부재를 포함하는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2스테이지를 이동시키기 위한 이동기구를 더 포함하고,
    상기 이동기구는 상기 밀폐부재가 상기 캐리어기판에 접촉되어 상기 캐리어기판과 상기 제2스테이지 사이에 밀폐공간이 형성되도록 상기 제2스테이지를 상기 제1스테이지에 지지된 합착기판 쪽으로 이동시키고;
    상기 분리기구는 상기 흡착공을 통해 상기 밀폐공간으로부터 유체를 흡입하여 상기 합착기판으로부터 상기 캐리어기판이 분리되도록 상기 캐리어기판을 흡착하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 밀폐부재는 상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지를 향하는 방향으로 돌출되는 접촉부재, 및 상기 접촉부재 내측에 위치되게 형성된 밀폐공을 포함하고;
    상기 접촉부재는 상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지를 향하는 방향으로 돌출될수록 크기가 감소되면서 상기 밀폐공 외측 방향으로 경사지게 형성되며;
    상기 제2스테이지는 상기 합착기판으로 분리된 캐리어기판에 가압되어 접혀지는 접촉부재를 수용하기 위한 수용홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 캐리어기판에서 상기 합착기판으로부터 돌출된 돌출부에 접촉되기 위한 가분리기구; 및
    상기 합착기판으로부터 상기 캐리어기판의 일부를 분리하기 위해 상기 캐리어기판의 돌출부가 상기 합착기판을 기준으로 승강하도록 상기 가분리기구를 승강시키는 승강기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 제1스테이지를 가열하기 위한 제1가열기구, 및 상기 캐리어기판의 일부가 상기 합착기판으로부터 분리되도록 상기 캐리어기판과 상기 합착기판 사이를 향해 유체를 분사하는 분사기구를 포함하고;
    상기 제1가열기구는 상기 제1스테이지를 N개(N은 1보다 큰 정수)의 구역으로 나누어 구역별로 가열온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치.
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