JP2006215487A

JP2006215487A - ペリクル

Info

Publication number: JP2006215487A
Application number: JP2005030753A
Authority: JP
Inventors: Takahide Kobayashi; 隆秀小林
Original assignee: Tex EG Co Ltd
Current assignee: Tex EG Co Ltd
Priority date: 2005-02-07
Filing date: 2005-02-07
Publication date: 2006-08-17

Abstract

【課題】プレス機を使うことなく、フォトマスクに確実に貼り付けることができるペリクルを提供する。
【解決手段】本発明によるペリクル100は、ペリクル枠110と、ペリクル膜120と、両面テープ130とを備える。ペリクル枠110の底面には、２つの溝111，112が形成されており、ペリクル枠110の側面には、溝111と連通する排気孔113と、溝112と連通する通気孔114とが形成されている。そして、ペリクル100をフォトマスクに貼り付ける際は、まず、両面テープ130の剥離紙を剥がし、両面テープ130の粘着剤面がフォトマスクに接するように、ペリクル100をフォトマスク上に載置する。次に、真空ポンプを排気孔113に接続し、溝111内の空気を排気する。溝111内の空気を排気すると、大気圧によってペリクル枠110がフォトマスクに対して押しつけられる。その結果、ペリクル枠110が両面テープ130によってフォトマスクに確実に貼り付けられる。
【選択図】図３

Description

本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等を製造するためのフォトマスクに装着されるペリクルに関する。

従来より、ＬＣＤやＬＳＩ等を製造する際の露光工程で使用されるフォトマスクに、ペリクルと呼ばれる保護カバーを装着することが一般に行われている。ペリクルとは、フォトマスクの表面上に塵埃等の異物が付着することを防ぐため、フォトマスクの表面上から一定の距離の位置に透明な保護膜（ペリクル膜）を設ける部材である。

従来、ペリクルは、フォトマスクに両面（粘着）テープによって貼り付けられていた。ペリクルを両面テープでフォトマスクに確実に貼り付けるためには、所定値（例えば、３ｋｇ／ｃｍ²）以上の圧力を加える必要がある。そのため、従来は、フォトマスク上の所定の位置にペリクルを載置した後、専用のプレス機で一様の力を加えて、フォトマスクに貼り付けるようにしていた。

一方、ＬＣＤの大型化に伴い、フォトマスクのサイズも大きくなってきており、現在、ＬＣＤの製造に使用されているフォトマスクには、１１００ｍｍ×９００ｍｍという大型のものが存在する。ペリクルは、一般に、フォトマスクよりやや小さい程度のサイズを有するものであるため、かかる大型のフォトマスクに装着されるペリクルも必然的に大型のものになる。このような大型のペリクルをフォトマスクに装着しようとすると、加圧用のプレス機も大型のものが必要となる。

しかしながら、かかる大型のプレス機は、通常、非常に高価なものとなる。ＬＣＤの大型化およびそれに伴うフォトマスクの大型化は今後も進むことが見込まれており、そうすると、今以上に大型のプレス機が必要なことになり、そのような大型のプレス機を製作することはコスト等の点で現実的ではない。

この点に関して、小型のプレス機等によって、ペリクル（枠）の一部分を加圧する動作を順次繰り返して、少しずつ貼り付けていく方法も考えられるが、ペリクル枠に反り等がある場合、既に貼り付けられた部分が、当該部分の対角部分に力を加える際に、浮き上がって、剥がれてしまうおそれがある。また、この場合、ペリクル（枠）の一部分に力を加えるので、位置ずれが生じやすくなるし、加圧動作が複数回繰り返されるので、塵埃等が発生する確率が高まり、ペリクル内に異物が混入する確率が高まることにもなる。

なお、特開平６−７５３６４号公報には、両面テープによってマスクに貼り付けられたペリクルが開示されている。
特開平６−７５３６４号公報

本発明の目的は、プレス機を使うことなく、フォトマスクに確実に貼り付けることができるペリクルを提供することにある。

本発明に係るペリクルは、底面側に開口を有する溝および当該溝と連通する排気孔が形成されたペリクル枠と、当該ペリクル枠の上面に貼付されたペリクル膜と、前記ペリクル枠の底面に貼付された感圧性接着材（例えば、両面テープ）とを備えたことを特徴とする。

本発明に係るペリクル枠は、底面側に開口を有する第一の溝と、当該第一の溝と連通する排気孔と、底面側に開口を有し、前記第一の溝の内側に位置する第二の溝と、当該第二の溝と連通する通気孔とが形成されていることを特徴とする。

本発明に係る第二のペリクルは、前記ペリクル枠と、当該ペリクル枠の上面に貼付されたペリクル膜とを備えたことを特徴とする。

この場合において、前記ペリクル枠の底面に貼付された感圧性接着材を更に備えるようにしてもよい。

本発明に係るフォトマスクは、前記ペリクルが貼り付けられていることを特徴とする。

本発明に係るペリクルの貼り付け方法は、フォトマスク上にペリクルを貼り付ける方法であって、フォトマスク上に前記ペリクルを載置し、前記排気孔を介して、前記溝内の気体を排気することを特徴とする。

本発明によれば、プレス機を使うことなく、ペリクルをフォトマスクに確実に貼り付けることができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１〜図３は、本発明によるペリクルの構造を示す図である。図１（ａ）は、平面図を示し、同図（ｂ）は側面図を示す。また、図２は、底面図を示す。また、図３（ａ）は、図１のＡ−Ａ拡大断面図を示し、図３（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ拡大断面図を示す。

図１〜図３に示すように、ペリクル１００は、ペリクル枠１１０と、ペリクル膜１２０と、両面テープ１３０とを備える。

ペリクル枠１１０は、ペリクル１００の外形を規定する部材であり、４つの辺のそれぞれは矩形状の断面を有する。また、ペリクル枠１１０の底面には、断面が矩形状の２つの溝１１１，１１２が、ペリクル枠１１０を一周するように形成されている。溝１１１は、ペリクル枠１１０の外側に位置し、溝１１２は、ペリクル枠の内側に位置している。また、ペリクル枠１１０の側面には、外側の溝１１１と連通する排気孔１１３と、内側の溝１１２と連通する通気孔１１４とが形成されている。

ペリクル膜１２０は、フォトマスクを保護するための薄い透明な膜であり、ペリクル枠１１０の上面に接着されて、ペリクル枠１１０の上面側の開口面を塞ぐ。両面テープ１３０は、支持体（基材）の両面に粘着剤が塗布された感圧性接着材であり、一方の面の粘着剤によって、ペリクル枠１１０の底面（溝が形成されていない部分）に接着されている。なお、他方の面の粘着剤には、実際にペリクル１００がフォトマスクに貼り付けられる時まで粘着剤を保護するため、剥離紙（剥離ライナー）が付着されている。

次に、上述したような構造を有するペリクル１００をフォトマスクに装着する方法について説明する。

図４は、ペリクル１００をフォトマスクに装着する方法を説明するための図である。

同図（ａ）に示すように、まず、ペリクル１００をフォトマスク２００上の所定の位置に載置する。この際、両面テープ１３０の剥離紙を剥がし、両面テープ１３０の粘着剤面がフォトマスク２００に接するように、ペリクル１００を載置する。

次に、同図（ｂ）に示すように、真空ポンプ２１０をペリクル１００の排気孔１１３に接続し、溝１１１内の空気を排気する。溝１１１内の空気を排気すると、溝１１１内が減圧され、大気圧によってペリクル枠１１０がフォトマスク２００に対して押しつけられる。その結果、ペリクル枠１１０が両面テープ１３０によってフォトマスク２００に確実に貼り付けられる。本方法は、大気圧を利用しているので、ペリクル枠１１０を一様に加圧することができる。

なお、ペリクル枠１１０は、溝１１１の内側に、通気孔１１４を介して外気と連通する溝１１２を有しているので、真空ポンプ２１０による排気開始時に、ペリクル枠１１０（両面テープ１３０）とフォトマスク２００との間の隙間を介して、ペリクル１００内部（ペリクル膜１２０とペリクル枠１１０とフォトマスク２００とによって囲まれる空間内）の空気が排気され、ペリクル膜１２０がフォトマスク２００側に凹んだり、破損したりすることを防止することができる。

ペリクル１００の貼り付けが完了すると、同図（ｃ）に示すように、排気孔１１３から真空ポンプ２１０が取り外されて、ペリクル１００のフォトマスク２００への装着が終了する。

以上、本発明の実施形態について説明したが、当然のことながら、本発明の実施形態は上記のものに限られない。例えば、ペリクル枠に形成される溝の形状や大きさ等は、ペリクル枠をフォトマスクに貼り付けるために使用される感圧性接着材の特性その他の実装条件に応じて適切なものを選択することができる。また、ペリクル枠に形成される排気孔および通気孔の位置や形状や大きさ等は、ペリクル装着時の作業環境その他の実装条件に応じて適切なものを選択することができる。

本発明によるペリクル１００の平面図および側面図である。本発明によるペリクル１００の底面図である。本発明によるペリクル１００の拡大断面図である。ペリクル１００をフォトマスク２００に装着する方法を説明するための図である。

符号の説明

１００ペリクル
１１０ペリクル枠
１１１，１１２溝
１１３排気孔
１１４通気孔
１２０ペリクル膜
１３０両面テープ
２００フォトマスク
２１０真空ポンプ

Claims

底面側に開口を有する溝および当該溝と連通する排気孔が形成されたペリクル枠と、
当該ペリクル枠の上面に貼付されたペリクル膜と、
前記ペリクル枠の底面に貼付された感圧性接着材と
を備えたことを特徴とするペリクル。
底面側に開口を有する第一の溝と、
当該第一の溝と連通する排気孔と、
底面側に開口を有し、前記第一の溝の内側に位置する第二の溝と、
当該第二の溝と連通する通気孔と
が形成されていることを特徴とするペリクル枠。
請求項２に記載のペリクル枠と、
当該ペリクル枠の上面に貼付されたペリクル膜と
を備えたことを特徴とするペリクル。
前記ペリクル枠の底面に貼付された感圧性接着材を更に備える
ことを特徴とする請求項３に記載のペリクル。
請求項１、３又は４に記載のペリクルが貼り付けられている
ことを特徴とするフォトマスク。
フォトマスク上にペリクルを貼り付ける方法であって、
フォトマスク上に請求項１、３又は４に記載のペリクルを載置し、
前記排気孔を介して、前記溝内の気体を排気する
ことを特徴とするペリクルの貼り付け方法。