KR20170020325A

KR20170020325A - 펠리클용의 지지 프레임

Info

Publication number: KR20170020325A
Application number: KR1020167032787A
Authority: KR
Inventors: 가즈오 고오무라; 요스케 오노; 다이키 다네이치; 야스유키 사토; 도시아키 히로타; 기요카즈 고가
Original assignee: 니폰게이긴조쿠가부시키가이샤
Priority date: 2014-05-26
Filing date: 2015-05-11
Publication date: 2017-02-22
Also published as: TWI654482B; US20170212418A1; JP2016006481A; KR102327470B1; JP6423730B2; US9841670B2; EP3151065A4; CN106687860B; TW201546539A; CN106687860A; WO2015182362A1; EP3151065A1

Abstract

알루미늄 합금제의 프레임체(10)를 갖고, 프레임체(10)의 표면(10a)에 펠리클막이 접착되고, 프레임체(10)의 이면에 유리 기판이 접착되는 펠리클용의 지지 프레임(1A)이다. 프레임체(10)의 표면(10a)에는 프레임체(10)의 주위 방향으로 연장되는 표측의 오목 홈(31 내지 33)이 형성됨과 함께, 프레임체(10)의 외주면(10c)으로부터 표측의 오목 홈(31 내지 33)의 내면에 이르는 표측의 흡인 구멍(50)이 형성되어 있다. 이 구성에서는 펠리클막에 다른 부재를 압박하는 일 없이, 펠리클막을 프레임체(10)에 접착할 수 있다.

Description

펠리클용의 지지 프레임 {SUPPORT FRAME FOR PELLICLES}

본 발명은 펠리클용의 지지 프레임에 관한 것이다.

집적 회로의 제조 공정 중에는 포토마스크나 레티클이라고 불리는 유리 기판에 그려진 회로 패턴을, 웨이퍼 상에 도포한 레지스트에 전사하는 포토리소그래피 공정이 포함되어 있다.

상기한 포토리소그래피 공정에 있어서, 유리 기판에 먼지 등의 이물이 부착되어 있으면, 레지스트에 전사되는 회로 패턴이 불선명해지므로, 유리 기판에는 펠리클이라고 불리는 방진 커버가 씌워져 있다(예를 들어, 특허문헌 1).

펠리클은 유리 기판에 그려진 회로 패턴의 전체를 둘러싸는 지지 프레임과, 이 지지 프레임의 표면에 피복 설치된 투광성의 펠리클막을 구비하고 있다. 그리고, 지지 프레임의 이면은 유리 기판에 접착된다.

일본 특허 제4777381호 공보

상기한 지지 프레임에 펠리클막을 접착할 때에는, 지지 프레임의 표면에 접착제를 도포한 후에, 지지 프레임의 표면에 펠리클막을 겹치고 있다. 또한, 펠리클막을 지지 프레임에 압박하여 접착하고 있다. 이 방법에서는, 펠리클막이 얇아짐에 따라, 펠리클막이 손상될 가능성이 높아진다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하여, 펠리클막에 다른 부재를 압박하는 일 없이, 펠리클막을 프레임체에 접착할 수 있는 펠리클용의 지지 프레임을 제공하는 것을 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 알루미늄 합금제의 프레임체를 갖고, 상기 프레임체의 표면에 펠리클막이 접착되고, 상기 프레임체의 이면에 유리 기판이 접착되는 펠리클용의 지지 프레임이다. 상기 프레임체의 표면에는 상기 프레임체의 주위 방향으로 연장되는 표측의 오목 홈이 형성됨과 함께, 상기 프레임체의 외주면으로부터 상기 표측의 오목 홈의 내면에 이르는 표측의 흡인 구멍이 형성되어 있다.

본 발명의 지지 프레임에서는 프레임체의 표면에 접착제를 도포한 후에, 프레임체의 표면에 펠리클막을 겹치면, 펠리클막에 의해 오목 홈이 막힌 상태가 된다. 이 상태에서, 흡인 구멍을 통해 오목 홈 내의 공기를 흡인하면, 오목 홈 내가 감압됨으로써, 펠리클막이 프레임체의 표면에 가압된다. 이와 같이, 본 발명의 지지 프레임에 의하면, 펠리클막을 프레임체에 접착할 때에, 펠리클막에 다른 부재를 압박할 필요가 없으므로, 펠리클막이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 펠리클막이 얇은 경우라도, 펠리클막을 프레임체에 접착할 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 복수의 상기 표측의 오목 홈을 상기 프레임체의 주위 방향으로 병설하고, 상기 각 표측의 오목 홈에 상기 표측의 흡인 구멍을 연통시킨 경우에는, 오목 홈의 단부로부터 흡인 구멍까지의 거리가 짧아진다. 이에 의해, 오목 홈 내의 공기를 흡인했을 때에, 오목 홈 내에서 발생하는 압력 손실이 작아져, 오목 홈 내를 효율적으로 감압할 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 상기 프레임체의 주위 방향으로 연장되는 이측의 오목 홈을, 상기 프레임체의 이면에 형성하고, 상기 프레임체의 외주면으로부터 상기 이측의 오목 홈의 내면에 이르는 이측의 흡인 구멍을 형성해도 된다.

이 구성에서는 이측의 흡인 구멍을 통해 이측의 오목 홈 내의 공기를 흡인하면, 이측의 오목 홈 내가 감압됨으로써, 유리 기판이 프레임체의 이면에 가압된다. 이에 의해, 유리 기판을 프레임체에 접착할 때에, 유리 기판에 다른 부재를 압박할 필요가 없으므로, 유리 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 상기 프레임체의 이면에 복수의 상기 이측의 오목 홈을 상기 프레임체의 주위 방향으로 병설하고, 상기 각 이측의 오목 홈에 상기 이측의 흡인 구멍을 연통시킨 경우에는, 이측의 오목 홈의 단부로부터 이측의 흡인 구멍까지의 거리가 짧아진다. 이에 의해, 이측의 오목 홈 내의 공기를 흡인했을 때에, 이측의 오목 홈 내에서 발생하는 압력 손실이 작아져, 이측의 오목 홈 내를 효율적으로 감압할 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 상기 프레임체의 주위 방향으로 연장되는 복수의 이측의 오목 홈을 상기 프레임체의 주위 방향으로 병설하고, 상기 프레임체의 외주면으로부터 상기 각 이측의 오목 홈의 내면에 이르는 이측의 흡인 구멍을 형성해도 된다. 이 경우는, 상기 표측의 흡인 구멍은 인접하는 상기 이측의 오목 홈끼리의 사이에 형성하고, 상기 이측의 흡인 구멍은 인접하는 상기 표측의 오목 홈끼리의 사이에 형성하는 것이 바람직하다.

이 구성에서는 흡인 구멍과 오목 홈이 표리 방향으로 겹치지 않으므로, 프레임체의 강도를 충분히 확보할 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 상기 오목 홈의 저면에 바닥이 있는 피트 구멍을 형성하고, 상기 흡인 구멍을 상기 피트 구멍의 내주면에 개구시킨 경우에는, 흡인 구멍의 직경을 오목 홈의 깊이보다도 크게 형성할 수 있으므로, 흡인 효율을 높일 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 상기 피트 구멍을 상기 프레임체의 표측 및 이측의 한쪽으로 개구하고, 상기 피트 구멍의 저면을 상기 흡인 구멍보다도 상기 프레임체의 표측 및 이측의 다른 쪽에 형성하는 것이 바람직하다.

이 구성에서는 피트 구멍의 저면이 흡인 구멍보다도 깊은 위치에 배치되므로, 피트 구멍의 내주면에 흡인 구멍의 축 단면 전체를 확실하게 개구시킬 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 상기 흡인 구멍을 상기 프레임체의 높이 방향의 중앙에 형성한 경우에는, 흡인 구멍의 내주면으로부터 프레임체의 표면까지의 두께와, 흡인 구멍의 내주면으로부터 프레임체의 이면까지의 두께를 균등하게 확보할 수 있으므로, 지지 프레임의 표측 및 이측에 대한 굽힘 강도를 밸런스 좋게 높일 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서는, 상기 오목 홈의 연장 방향의 중간부에 상기 흡인 구멍을 연통시켜도 된다.

이 구성에서는 오목 홈의 한쪽의 단부에 흡인 구멍을 연통시킨 경우에 비해, 오목 홈의 양단부로부터 흡인 구멍까지의 거리가 짧아진다. 이에 의해, 오목 홈 내의 공기를 흡인했을 때에, 오목 홈 내에서 발생하는 압력 손실이 작아져, 오목 홈 내를 효율적으로 감압할 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 상기 프레임체의 외주면으로부터 내주면에 이르는 관통 구멍을 형성한 경우에는, 상기 프레임체의 주위 방향에 인접하는 상기 오목 홈끼리의 사이에 상기 관통 구멍을 형성하는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같이, 프레임체에 관통 구멍을 형성한 경우에는, 지지 프레임에 펠리클막 및 유리 기판에 접착한 후에, 지지 프레임의 내부 공간과 외부 공간에 압력차가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 상기한 구성에서는 관통 구멍과 오목 홈이 표리 방향으로 겹치지 않으므로, 프레임체의 강도를 충분히 확보할 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 상기 프레임체의 각 변에 복수의 상기 표측의 흡인 구멍을 형성한 경우에는, 프레임체의 표면 전체에 밸런스 좋게 흡인력이 작용하므로, 펠리클막을 프레임체의 표면 전체에 대해 밸런스 좋게 가압할 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 상기 프레임체는 전후 한 쌍의 횡프레임부와, 좌우 한 쌍의 종프레임부를 구비하고, 상기 프레임체의 외주면에 복수의 지그 구멍을 형성하는 경우에는, 상기 지그 구멍을 상기 양 횡프레임부의 양단부에 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 전후 좌우란, 지지 프레임의 구성을 이해하기 쉽게 하기 위해 설정한 것이고, 지지 프레임의 구성 및 사용 상태를 특정하는 것은 아니다.

이 구성에서는, 각 지그 구멍에 지그의 핀을 삽입하고, 지그에 의해 지지 프레임을 보유 지지했을 때에, 지그로부터의 가압력에 의한 횡프레임부의 휨을 억제할 수 있다.

특히, 프레임체의 좌우 측연부로부터 지그 구멍의 중심 위치까지의 거리가, 프레임체의 좌우 방향의 길이의 15％ 이내로 설정되어 있는 경우에는, 횡프레임부의 휨을 효과적으로 억제할 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 상기 프레임체의 외주면에 복수의 지그 구멍을 형성하는 경우에는, 상기 지그 구멍이 상기 프레임체의 주위 방향으로 연장되어 있는 타원형의 긴 구멍인 것이 바람직하다.

상기한 지지 프레임을 유리 기판으로부터 박리할 때에는, 지지 프레임의 지그 구멍에 지그의 핀을 삽입하고, 지그에 의해 지지 프레임을 유리 기판에 대해 분리하게 된다.

상기한 지지 프레임의 지그 구멍은 프레임체의 주위 방향으로 연장되어 있는 타원형의 긴 구멍이므로, 지그의 핀의 축 단면을 프레임체의 주위 방향으로 연장되어 있는 대표 원형으로 형성하면, 지그 구멍의 내주면과 핀의 외주면이 면 접촉한다. 이에 의해, 지지 프레임을 유리 기판으로부터 박리할 때에, 지그 구멍과 핀 사이에서 응력이 한점에 집중하지 않으므로, 지지 프레임의 변형을 억제할 수 있다.

상기한 펠리클용의 지지 프레임에 있어서, 상기 프레임체가 전후 한 쌍의 횡프레임부와, 좌우 한 쌍의 종프레임부를 구비하고, 상기 프레임체의 외주면에 복수의 지그 구멍을 형성하는 경우에는, 상기 지그 구멍을 상기 양 횡프레임부에 형성함과 함께, 상기 프레임체의 4개의 코너부 중 적어도 1개에 형성하는 것이 바람직하다.

상기한 지지 프레임을 유리 기판으로부터 박리할 때에는, 최초에 지지 프레임의 코너부에 형성된 지그 구멍을 인상한다. 그 후, 최초에 인상한 지그 구멍에 가까운 지그 구멍으로부터 순차적으로 인상해 감으로써, 지지 프레임의 변형을 억제하면서 지지 프레임을 유리 기판으로부터 박리할 수 있다.

본 발명의 펠리클용의 지지 프레임을 사용하면, 펠리클막이 얇은 경우라도, 펠리클막을 프레임체에 접착할 때에, 펠리클막이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 실시 형태의 펠리클 및 유리 기판을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 실시 형태의 펠리클 및 유리 기판을 도시한 측단면도이다.
도 3은 본 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 모식적인 평면도이다.
도 4는 본 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 모식적인 저면도이다.
도 5의 (a)는 본 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 모식적인 측면도, (b)는 A-A 단면도, (c)는 B-B 단면도, (d)는 C-C 단면도, (e)는 D-D 단면도이다.
도 6은 다른 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 모식적인 도면이고, 프레임체의 한 면에 8개의 오목 홈을 형성한 구성의 평면도이다.
도 7은 다른 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 모식적인 도면이고, 프레임체의 한 면에 4개의 오목 홈을 형성한 구성의 평면도이다.
도 8은 다른 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 모식적인 도면이고, (a)는 흡인 구멍을 프레임체의 높이 방향의 중앙부에 배치한 구성의 측면도, (b)는 E-E 단면도, (c)는 F-F 단면도이다.
도 9는 다른 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 모식적인 도면이고, (a)는 긴 구멍의 지그 구멍을 형성한 구성의 측면도, (b)는 지그 구멍에 지그의 핀을 삽입한 상태의 확대 측면도이다.
도 10은 다른 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 모식적인 도면이고, 횡프레임부, 종프레임부 및 코너부에 지그 구멍을 형성한 구성의 평면도이다.

본 발명의 실시 형태에 대해, 적절히 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

또한, 본 실시 형태의 각 도면에서는 지지 프레임의 구성을 이해하기 쉽게 설명하기 위해, 지지 프레임의 각 부를 적절하게 모식적으로 도시하고 있다.

이하의 설명에 있어서, 전후 좌우 및 표리란, 지지 프레임을 이해하기 쉽게 설명하기 위해 설정한 것이고, 지지 프레임의 구성을 특정하는 것은 아니다.

본 실시 형태의 지지 프레임(1A)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 펠리클(P)에 사용되는 것이다. 펠리클(P)은 유리 기판(M)(포토마스크)의 표면(Ma)에 티끌 등이 부착되는 것을 방지하기 위한 방진 커버이다. 본 실시 형태의 유리 기판(M)은 투명한 기판을 사용하고 있지만, 그 구성은 한정되는 것은 아니다.

펠리클(P)은 유리 기판(M)에 그려진 회로 패턴(도시하지 않음)의 전체를 둘러싸는 지지 프레임(1A)과, 지지 프레임(1A)의 표면에 피복 설치된 펠리클막(2)을 구비하고 있다.

지지 프레임(1A)은 평면에서 볼 때 직사각형의 프레임체(10)를 갖고 있다. 프레임체(10)는 알루미늄 합금제의 압출재를 가공하여 얻어진 것이다.

프레임체(10)는 전후 한 쌍의 횡프레임부(11, 11)와, 좌우 한 쌍의 종프레임부(12, 12)에 의해 구성되어 있다. 횡프레임부(11) 및 종프레임부(12)의 축 단면은 직사각형으로 형성되어 있다.

양 횡프레임부(11, 11)는 프레임체(10)의 긴 변이 되는 부분이고, 양 종프레임부(12, 12)는 프레임체(10)의 짧은 변이 되는 부분이다.

펠리클막(2)은 투광성을 갖는 실리콘제의 얇은 막이다. 펠리클막(2)은 평면에서 볼 때 직사각형으로 형성되어 있고, 지지 프레임(1A)의 외형과 동일한 형상이 되어 있다.

펠리클막(2)의 이면의 외주연부에는 펠리클막(2)의 제조 시에 형성된 실리콘제의 보강 프레임(3)이 설치되어 있다.

보강 프레임(3)은, 도 2에 도시한 바와 같이 접착층(4)을 통해 프레임체(10)에 접착되는 부위이고, 프레임체(10)의 횡프레임부(11) 및 종프레임부(12)와 동일한 폭으로 형성되어 있다. 펠리클막(2)을 프레임체(10)의 표면(10a)에 겹쳤을 때에는, 보강 프레임(3)에 의해 프레임체(10)의 표면(10a) 전체가 덮인다.

도 3에 도시한 바와 같이, 프레임체(10)에는 복수의 관통 구멍(20)과, 복수의 표측의 오목 홈(31 내지 33)과, 복수의 이측의 오목 홈(41 내지 43)이 형성되어 있다.

또한, 프레임체(10)에는 각 표측의 오목 홈(31 내지 33)에 연통하는 복수의 표측의 흡인 구멍(50)과, 각 이측의 오목 홈(41 내지 43)에 연통하는 복수의 이측의 흡인 구멍(60)과, 복수의 지그 구멍(70)이 형성되어 있다. 또한, 1개의 표측의 오목 홈(31 내지 33)에 대해 1개의 표측의 흡인 구멍(50)이 연통하고, 1개의 이측의 오목 홈(41 내지 44)에 대해 1개의 이측의 흡인 구멍(60)이 연통하고 있다.

관통 구멍(20)은 프레임체(10)의 외주면(10c)으로부터 내주면(10d)으로 관통하고 있다[도 5의 (d) 참조]. 관통 구멍(20)의 중심축은, 도 5의 (a)에 도시한 바와 같이 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙에 배치되어 있다.

관통 구멍(20)은, 도 3에 도시한 바와 같이 전후의 횡프레임부(11, 11)의 좌우 방향의 중앙에 형성됨과 함께, 좌우의 종프레임부(12, 12)의 전후 방향의 중앙에 형성되어 있다. 즉, 프레임체(10)에는 전후 좌우 4개의 관통 구멍(20)이 형성되어 있다.

프레임체(10)의 표면(10a)에는 10개의 표측의 오목 홈(31 내지 33)이 프레임체(10)의 주위 방향으로 병설되어 있다. 각 오목 홈(31 내지 33)은 축 단면이 직사각형인 홈이다[도 5의 (c) 참조].

전방측의 횡프레임부(11)의 표면(10a)에는 좌우 2개의 제1 오목 홈(31, 31)이 형성되어 있다. 제1 오목 홈(31)은 좌우 방향으로 직선 형상으로 연장되어 있다. 또한, 제1 오목 홈(31)은 횡프레임부(11)의 표면(10a)에 있어서 전후 방향의 중앙에 형성되어 있다.

좌우의 제1 오목 홈(31, 31)은 횡프레임부(11)의 좌우 방향의 중앙을 사이에 두고 배치되어 있다. 프레임체(10)의 표면(10a)에 관통 구멍(20)을 투영했을 때에는, 인접하는 제1 오목 홈(31, 31) 사이에 관통 구멍(20)이 배치된다.

전방측의 횡프레임부(11)에서는 좌측의 제1 오목 홈(31)의 우측 단부에 피트 구멍(35)이 형성됨과 함께, 우측의 제1 오목 홈(31)의 중간부에 피트 구멍(35)이 형성되어 있다.

피트 구멍(35)은 바닥이 있는 구멍이고, 그 내경은 제1 오목 홈(31)의 홈 폭보다도 크게 형성되어 있다.

피트 구멍(35)의 저면은, 도 5의 (e)에 도시한 바와 같이 제1 오목 홈(31)의 저면보다도 깊게(이측에) 형성되어 있다. 피트 구멍(35)의 저면은 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙에 배치되어 있다.

후방측의 횡프레임부(11)의 표면(10a)에는, 도 3에 도시한 바와 같이 좌우 2개의 제1 오목 홈(31, 31)이 형성되어 있다. 후방측의 횡프레임부(11)의 양 제1 오목 홈(31, 31)은 프레임체(10)의 중앙을 대칭점으로 하여, 전방측의 횡프레임부(11)의 양 제1 오목 홈(31, 31)과 점대칭의 관계에 있다.

좌측의 종프레임부(12)의 표면(10a)에는 제2 오목 홈(32)이 형성되어 있다. 제2 오목 홈(32)은 전후 방향으로 직선 형상으로 연장되어 있다. 또한, 제2 오목 홈(32)은 종프레임부(12)의 표면(10a)에 있어서 좌우 방향의 중앙에 형성되어 있다.

좌측의 종프레임부(12)의 제2 오목 홈(32)은 종프레임부(12)의 전후 방향의 중앙보다도 전방측에 배치되어 있다. 프레임체(10)의 표면(10a)에 관통 구멍(20)을 투영했을 때에는, 제2 오목 홈(32)의 후방측에 관통 구멍(20)이 배치된다.

또한, 좌측의 제2 오목 홈(32)의 후단부에는 피트 구멍(35)이 형성되어 있다. 제2 오목 홈(32)의 피트 구멍(35)은 제1 오목 홈(31)의 피트 구멍(35)과 동일한 형상으로 되어 있다.

우측의 종프레임부(12)의 표면(10a)에는 제2 오목 홈(32)이 형성되어 있다. 우측의 종프레임부(12)의 제2 오목 홈(32)은 프레임체(10)의 중앙을 대칭점으로 하여, 좌측의 종프레임부(12)의 제2 오목 홈(32)과 점대칭의 관계에 있다.

프레임체(10)의 전후 좌우의 코너부의 표면(10a)에는 제3 오목 홈(33)이 각각 형성되어 있다. 제3 오목 홈(33)은 프레임체(10)의 코너부를 따라 직각으로 굴곡되어 있다. 또한, 제3 오목 홈(33)은 프레임체(10)의 표면(10a)의 내외 방향의 중앙에 형성되어 있다.

좌측 전방의 제3 오목 홈(33)은 좌측의 종프레임부(12), 프레임체(10)의 좌측 전방의 코너부 및 전방측의 횡프레임부(11)에 걸쳐서 형성되어 있다.

좌측 전방의 제3 오목 홈(33)은 좌측의 종프레임부(12)에 형성된 부위보다도, 전방측의 횡프레임부(11)에 형성된 부위가 크게 형성되어 있다.

좌측의 종프레임부(12)에서는 제2 오목 홈(32)과 좌측 전방의 제3 오목 홈(33)이 전후 방향으로 간격을 두고 배치되어 있다.

좌측 전방의 제3 오목 홈(33)의 연장 방향의 중간부[횡프레임부(11)의 부위]에는 피트 구멍(35)이 형성되어 있다. 좌측 전방의 제3 오목 홈(33)의 피트 구멍(35)은 제1 오목 홈(31)의 피트 구멍(35)과 동일한 형상이 되어 있다.

좌측 후방의 제3 오목 홈(33)은 좌측의 종프레임부(12), 프레임체(10)의 좌측 후방의 코너부 및 후방측의 횡프레임부(11)에 걸쳐서 형성되어 있다.

좌측 후방의 제3 오목 홈(33)은 좌측의 종프레임부(12)에 형성된 부위보다도, 후방측의 횡프레임부(11)에 형성된 부위가 작게 형성되어 있다.

좌측의 종프레임부(12)에서는 제2 오목 홈(32)과 좌측 후방의 제3 오목 홈(33)이 종프레임부(12)의 전후 방향의 중앙을 사이에 두고 배치되어 있다.

종프레임부(12)의 표면(10a)에 관통 구멍(20)을 투영했을 때에는, 전후에 인접하는 제2 오목 홈(32)과 좌측 후방의 제3 오목 홈(33) 사이에 관통 구멍(20)이 배치된다.

좌측 후방의 제3 오목 홈(33)의 연장 방향의 중간부[종프레임부(12)의 부위]에는 피트 구멍(35)이 형성되어 있다. 좌측 후방의 제3 오목 홈(33)의 피트 구멍(35)은 제1 오목 홈(31)의 피트 구멍(35)과 동일한 형상으로 되어 있다.

우측 전방의 제3 오목 홈(33)은 우측의 종프레임부(12), 프레임체(10)의 우측 전방의 코너부 및 전방측의 횡프레임부(11)에 걸쳐서 형성되어 있다. 또한, 우측 후방의 제3 오목 홈(33)은 우측의 종프레임부(12), 프레임체(10)의 우측 후방의 코너부 및 후방측의 횡프레임부(11)에 걸쳐서 형성되어 있다.

우측의 전후의 제3 오목 홈(33, 33)은 프레임체(10)의 중앙을 대칭점으로 하여, 좌측의 전후의 제3 오목 홈(33, 33)과 점대칭의 관계에 있다.

표측의 흡인 구멍(50)은 프레임체(10)의 외주면(10c)으로부터 표측의 각 피트 구멍(35)의 내주면으로 관통하고 있다. 표측의 흡인 구멍(50)은 피트 구멍(35)을 통해, 표측의 오목 홈(31 내지 33)에 연통하고 있다.

프레임체(10)에는 10개의 표측의 흡인 구멍(50)이 프레임체(10)의 주위 방향으로 병설되어 있다. 각 흡인 구멍(50)은 대략 등간격으로 배치되어 있고, 프레임체(10)의 각 변에 적어도 1개의 흡인 구멍(50)이 배치되어 있다. 각 흡인 구멍(50)은 각 오목 홈(31 내지 33)의 각 피트 구멍(35)에 각각 연통하고 있다. 이와 같이, 1개의 표측의 오목 홈(31 내지 33)에 대해, 1개의 표측의 흡인 구멍(50)이 연통하고 있다.

표측의 흡인 구멍(50)은, 도 5의 (a)에 도시한 바와 같이 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙보다도 표측에 배치되어 있다. 관통 구멍(20)의 좌우 방향의 측방에 표측의 흡인 구멍(50)의 하부가 배치되어 있다.

또한, 도 5의 (e)에 도시한 바와 같이, 프레임체(10)의 표면(10a)으로부터 표측의 흡인 구멍(50)까지의 두께는 표측의 오목 홈(31)의 깊이보다도 크게 형성되어 있다.

프레임체(10)의 이면(10b)에는, 도 4에 도시한 바와 같이 10개의 이측의 오목 홈(41 내지 43)이 프레임체(10)의 주위 방향으로 병설되어 있다.

각 이측의 오목 홈(41 내지 43)은 프레임체(10)의 표면(10a)에 형성된 각 표측의 오목 홈(31 내지 33)(도 3 참조) 전체를 전후 반전시킨 형상이 되어 있다.

전후의 횡프레임부(11, 11)의 이면(10b)에는 좌우 2개의 제1 오목 홈(41, 41)이 형성되어 있다. 또한, 좌우의 종프레임부(12, 12)의 이면(10b)에는 제2 오목 홈(42)이 형성되어 있다. 또한, 프레임체(10)의 전후 좌우의 코너부의 이면(10b)에는 제3 오목 홈(43)이 각각 형성되어 있다.

프레임체(10)에는 표측의 흡인 구멍(50)과 마찬가지로, 10개의 이측의 흡인 구멍(60)이 프레임체(10)의 주위 방향으로 병설되어 있다. 각 흡인 구멍(60)은 대략 등간격으로 배치되어 있고, 프레임체(10)의 각 변에 적어도 1개의 흡인 구멍(60)이 배치되어 있다.

이측의 흡인 구멍(60)은 프레임체(10)의 외주면(10c)으로부터 이측의 오목 홈(41 내지 43)의 피트 구멍(45)의 내주면으로 관통하고 있다. 이측의 흡인 구멍(60)은 피트 구멍(45)을 통해, 이측의 오목 홈(41 내지 43)에 연통하고 있다.

이측의 흡인 구멍(60)은, 도 5의 (a)에 도시한 바와 같이 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙보다도 이측에 배치되어 있다. 관통 구멍(20)의 좌우 방향의 측방에 이측의 흡인 구멍(60)의 상부가 배치되어 있다.

또한, 도 5의 (b)에 도시한 바와 같이, 프레임체(10)의 이면(10b)으로부터 이측의 흡인 구멍(60)까지의 두께는 이측의 오목 홈(41)의 깊이보다도 크게 형성되어 있다.

프레임체(10)에서는, 도 3에 도시한 바와 같이 프레임체(10)의 표면(10a)에 투영한 이측의 흡인 구멍(60), 이측의 피트 구멍(45) 및 관통 구멍(20)이, 인접하는 표측의 오목 홈(31 내지 33)끼리의 사이에 배치되어 있다.

횡프레임부(11)에 있어서, 표측의 제1 오목 홈(31, 31)끼리의 사이에는 관통 구멍(20)이 배치되어 있다.

또한, 횡프레임부(11)에 있어서, 한쪽의 표측의 제1 오목 홈(31)과 관통 구멍(20) 사이에는 이측의 흡인 구멍(60) 및 피트 구멍(45)이 배치되어 있다[도 5의 (a) 참조].

또한, 횡프레임부(11)에 있어서, 표측의 제1 오목 홈(31)과 표측의 제3 오목 홈(33) 사이에는 이측의 흡인 구멍(60) 및 피트 구멍(45)이 배치되어 있다[도 5의 (a) 참조].

종프레임부(12)에 있어서, 표측의 제2 오목 홈(32)과 표측의 제3 오목 홈(33) 사이에는 관통 구멍(20)이 배치되어 있다.

또한, 종프레임부(12)에 있어서, 표측의 제3 오목 홈(33)과 관통 구멍(20) 사이에는 이측의 흡인 구멍(60) 및 이측의 피트 구멍(45)이 배치되어 있다.

또한, 종프레임부(12)에 있어서, 표측의 제2 오목 홈(32)과 표측의 제3 오목 홈(33) 사이에는 이측의 흡인 구멍(60) 및 이측의 피트 구멍(45)이 배치되어 있다.

프레임체(10)에서는, 도 4에 도시한 바와 같이 프레임체(10)의 이면(10b)에 투영한 표측의 흡인 구멍(50), 표측의 피트 구멍(35) 및 관통 구멍(20)이, 인접하는 이측의 오목 홈(41 내지 43)끼리의 사이에 배치되어 있다.

횡프레임부(11)에 있어서, 이측의 제1 오목 홈(41, 41)끼리의 사이에는 관통 구멍(20)이 배치되어 있다.

또한, 횡프레임부(11)에 있어서, 한쪽의 표측의 제1 오목 홈(41)과 관통 구멍(20) 사이에는 표측의 흡인 구멍(50) 및 피트 구멍(35)이 배치되어 있다[도 5의 (a) 참조].

또한, 횡프레임부(11)에 있어서, 이측의 제1 오목 홈(41)과 이측의 제3 오목 홈(43) 사이에는 표측의 흡인 구멍(50) 및 피트 구멍(35)이 배치되어 있다[도 5의 (a) 참조].

종프레임부(12)에 있어서, 이측의 제2 오목 홈(42)과 이측의 제3 오목 홈(43) 사이에는 관통 구멍(20)이 배치되어 있다.

또한, 종프레임부(12)에 있어서, 이측의 제3 오목 홈(43)과 관통 구멍(20) 사이에는 표측의 흡인 구멍(50) 및 표측의 피트 구멍(35)이 배치되어 있다.

또한, 종프레임부(12)에 있어서, 이측의 제2 오목 홈(42)과 이측의 제3 오목 홈(43) 사이에는 표측의 흡인 구멍(50) 및 표측의 피트 구멍(35)이 배치되어 있다.

지그 구멍(70)은 프레임체(10)의 외주면(10c)에 형성된 바닥이 있는 원형 구멍이다. 지그 구멍(70)에는 지지 프레임(1A)의 제조 시나 펠리클(P)(도 1 참조)의 사용 시에, 지지 프레임(1A)을 보유 지지하는 파지 장치의 지그(핀)가 삽입된다.

본 실시 형태에서는, 도 5의 (a)에 도시한 바와 같이, 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙에 지그 구멍(70)이 배치되어 있지만, 지그 구멍(70)의 높이는 한정되는 것은 아니고, 사용하는 지그에 따라 지그 구멍(70)의 높이나 형상이 설정된다.

도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에서는 전후의 횡프레임부(11, 11)의 좌우 양단부에 지그 구멍(70)이 형성되어 있다. 즉, 지지 프레임(1A)의 전후 좌우에 4개의 지그 구멍(70)이 형성되어 있다.

파지 장치에 의해 지지 프레임(1A)을 보유 지지할 때에는, 각 지그 구멍(70)에 지그(핀)가 삽입된다. 이때, 지그에 의해 횡프레임부(11)가 프레임체(10)의 내측에 압입되게 되고, 횡프레임부(11)에 프레임체(10)의 내측을 향해 휨이 발생한다.

본 실시 형태에서는 지그 구멍(70)이 횡프레임부(11)의 좌우 양단부에 형성되어 있으므로, 좌우의 지그 구멍(70, 70)의 간격이 크게 되어 있다. 따라서, 지그에 의해 지지 프레임(1A)을 보유 지지했을 때에, 횡프레임부(11)의 휨을 억제할 수 있다.

또한, 프레임체(10)의 좌우의 측연부로부터 지그 구멍(70)의 중심 위치까지의 거리를, 프레임체(10)의 좌우 방향의 길이의 15％ 이내로 설정한 경우에는, 횡프레임부(11)의 휨을 효과적으로 억제할 수 있다.

이어서, 도 2에 도시한 바와 같이, 지지 프레임(1A)에 펠리클막(2) 및 유리 기판(M)을 접착하는 수순에 대해 설명한다.

먼저, 프레임체(10)의 표면(10a)에 접착제를 도포하고, 프레임체(10)의 표면(10a) 상에 접착층(4)을 형성한다. 이때, 접착층(4)은 각 표측의 오목 홈(31 내지 33)(도 3 참조) 및 각 피트 구멍(35)에 들어가지 않도록 한다.

계속해서, 접착층(4)에 펠리클막(2)의 보강 프레임(3)을 겹친다. 이에 의해, 각 표측의 오목 홈(31 내지 33)(도 3 참조)이 펠리클막(2)에 의해 막힌다.

또한, 프레임체(10)의 이면(10b)에 접착제를 도포하고, 프레임체(10)의 이면(10b) 상에 접착층(5)을 형성한다. 이때, 접착층(5)은 각 이측의 오목 홈(41 내지 43)(도 4 참조) 및 각 피트 구멍(45)에 들어가지 않도록 한다.

계속해서, 접착층(5)에 유리 기판(M)의 표면(Ma)을 겹친다. 이에 의해, 각 이측의 오목 홈(41 내지 43)(도 4 참조)이 유리 기판(M)에 의해 막힌다.

각 흡인 구멍(50, 60)의 외주면(10c)측의 개구부에, 흡인관(6)의 선단부를 각각 접속한다. 각 흡인관(6)은 도시하지 않은 흡기 장치에 연결되어 있다.

흡기 장치에 의해 각 흡인 구멍(50)으로부터 각 표측의 오목 홈(31 내지 33)(도 3 참조) 내의 공기를 흡인하면, 각 표측의 오목 홈(31 내지 33) 내가 감압되고, 펠리클막(2)이 프레임체(10)의 표면(10a)에 가압된다. 이에 의해, 펠리클막(2)이 접착층(4)을 통해 프레임체(10)의 표면(10a)에 접착되고, 펠리클(P)이 형성된다.

또한, 흡기 장치에 의해 각 흡인 구멍(60)으로부터 각 이측의 오목 홈(41 내지 43)(도 4 참조) 내의 공기를 흡인하면, 각 이측의 오목 홈(41 내지 43) 내가 감압되어, 유리 기판(M)이 프레임체(10)의 이면(10b)에 가압된다. 이에 의해, 유리 기판(M)이 접착층(5)을 통해 프레임체(10)의 이면(10b)에 접착되어, 펠리클(P)이 유리 기판(M)에 접착된다.

이와 같이 하여, 펠리클(P)을 유리 기판(M)에 접착하면, 펠리클막(2)과 유리 기판(M) 사이에 지지 프레임(1A)이 개재되어, 유리 기판(M)의 표면(Ma)으로부터 이격된 위치에 펠리클막(2)이 배치된다.

펠리클(P)에서는, 도 3에 도시한 바와 같이 지지 프레임(1A)의 프레임체(10)에 관통 구멍(20)이 형성되어 있다. 따라서, 프레임체(10)의 표리를 펠리클막(2) 및 유리 기판(M)에 의해 막은 상태에서도, 프레임체(10)의 내부 공간이 관통 구멍(20)을 통해 외부 공간에 연통하고 있으므로, 프레임체(10)의 내부 공간과 외부 공간에 압력차가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 실시 형태의 펠리클(P)은 진공 상태에서 사용하는 경우에 적합하다.

이상과 같은 지지 프레임(1A)에서는, 도 2에 도시한 바와 같이 각 표측의 오목 홈(31 내지 33)(도 3 참조) 내를 감압함으로써, 펠리클막(2)을 프레임체(10)의 표면(10a)에 가압할 수 있다. 이에 의해, 펠리클막(2)을 프레임체(10)에 접착할 때에, 펠리클막(2)에 다른 부재를 압박할 필요가 없으므로, 펠리클막(2)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 펠리클막(2)이 얇은 경우라도, 펠리클막(2)을 프레임체(10)에 접착할 수 있다.

또한, 본 실시 형태의 지지 프레임(1A)에서는 각 이측의 오목 홈(41 내지 43) 내를 감압함으로써, 유리 기판(M)을 프레임체(10)의 이면(10b)에 가압할 수 있다. 이에 의해, 유리 기판(M)을 프레임체(10)에 접착할 때에, 유리 기판(M)에 다른 부재를 압박할 필요가 없으므로, 유리 기판(M)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

본 실시 형태의 지지 프레임(1A)에서는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 복수의 표측의 오목 홈(31 내지 33) 및 이측의 오목 홈(41 내지 44)이 프레임체(10)의 주위 방향으로 병설되어 있다. 이 구성에서는 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 43)의 단부로부터 흡인 구멍(50, 60)까지의 거리를 짧게 할 수 있다.

또한, 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 43)의 연장 방향의 중간부에 흡인 구멍(50, 60)이 연통하고 있는 경우에는, 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 43)의 양단부로부터 흡인 구멍(50, 60)까지의 거리를 짧게 할 수 있다.

이에 의해, 흡인 구멍(50, 60)을 통해 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 44) 내의 공기를 흡인했을 때에, 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 43) 내에서 발생하는 압력 손실이 작아지므로, 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 43) 내를 효율적으로 감압할 수 있다.

본 실시 형태의 지지 프레임(1A)에서는 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 43)의 저면에 바닥이 있는 피트 구멍(35, 45)이 형성되어 있고, 이 피트 구멍(35, 45)의 내주면에 흡인 구멍(50, 60)이 개구하고 있다[도 5의 (b) 및 (e) 참조]. 이 구성에서는, 흡인 구멍(50, 60)의 직경을 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 43)의 깊이보다도 크게 형성할 수 있으므로, 흡인 효율을 높일 수 있다.

본 실시 형태의 지지 프레임(1A)에서는 프레임체(10)의 각 변에 복수의 흡인 구멍(50, 60)이 형성되어 있으므로, 프레임체(10)의 표면(10a) 전체 및 이면(10b) 전체에 밸런스 좋게 흡인력을 작용시킬 수 있다. 따라서, 펠리클막(2)을 프레임체(10)의 표면(10a) 전체에 대해 균일하게 가압함과 함께, 유리 기판(M)을 프레임체(10)의 이면(10b) 전체에 대해 밸런스 좋게 가압할 수 있다.

본 실시 형태의 지지 프레임(1A)에서는 표측의 흡인 구멍(50)이 인접하는 이측의 오목 홈(41 내지 43)끼리의 사이에 형성되고, 이측의 흡인 구멍(60)은 인접하는 표측의 오목 홈(31 내지 33)끼리의 사이에 형성되어 있다. 이와 같이, 흡인 구멍(50, 60)과 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 44)이 표리 방향으로 겹치지 않도록 구성되어 있다.

또한, 본 실시 형태의 지지 프레임(1A)에서는 프레임체(10)의 주위 방향에 인접하는 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 43)끼리의 사이에 관통 구멍(20)이 형성되어 있고, 관통 구멍(20)과 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 43)이 표리 방향으로 겹치지 않도록 구성되어 있다.

따라서, 지지 프레임(1A)에서는 관통 구멍(20)이나 흡인 구멍(50, 60)을 형성한 부위에서도, 프레임체(10)의 두께가 커지므로, 프레임체(10)의 강도를 충분히 확보할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되지 않고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절하게 변경이 가능하다.

본 실시 형태에서는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 프레임체(10)의 표면(10a)에 10개의 오목 홈(31 내지 33)을 형성하고, 프레임체(10)의 이면(10b)에 10개의 오목 홈(41 내지 43)을 형성하고 있지만, 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 43)의 수는 한정되는 것은 아니다.

예를 들어, 도 6에 도시하는 지지 프레임(1B)과 같이, 프레임체(10)의 표면(10a)에 8개의 오목 홈(31, 33)을 형성하고, 프레임체(10)의 이면에 8개의 오목 홈(41, 43)을 형성해도 된다. 이 구성에 있어서도, 인접하는 이측의 오목 홈(41, 43)끼리의 사이에 표측의 흡인 구멍(50)을 배치하고, 인접하는 표측의 오목 홈(31, 33)끼리의 사이에 이측의 흡인 구멍(60)을 배치하고 있다. 또한, 프레임체(10)의 주위 방향에 인접하는 오목 홈(31, 33, 41, 43)끼리의 사이에 관통 구멍(20)이 형성되어 있다.

또한, 도 7에 도시하는 지지 프레임(1C)과 같이, 프레임체(10)의 표면(10a)에 4개의 오목 홈(34)을 형성하고, 프레임체(10)의 이면에 4개의 오목 홈(44)을 형성해도 된다. 이 구성에 있어서도, 인접하는 이측의 오목 홈(44, 44)끼리의 사이에 표측의 흡인 구멍(50)을 배치하고, 인접하는 표측의 오목 홈(33, 33)끼리의 사이에 이측의 흡인 구멍(60)을 배치하고 있다. 또한, 프레임체(10)의 주위 방향에 인접하는 오목 홈(34, 44)끼리의 사이에 관통 구멍(20)이 형성되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 표측의 오목 홈(31 내지 33)과 이측의 오목 홈(41 내지 43)이 동일한 수이지만, 표측의 오목 홈(31 내지 33)과 이측의 오목 홈(41 내지 43)이 다른 수여도 된다. 또한, 프레임체(10)의 표면(10a) 및 이면(10b)에 1개의 오목 홈을 형성해도 된다.

또한, 오목 홈의 배치는 한정되는 것은 아니지만, 본 실시 형태와 같이, 프레임체(10)의 코너부에 제3 오목 홈(33, 43)을 형성한 경우에는, 프레임체(10)에 대해 펠리클막(2)(도 1 참조)의 코너부 및 유리 기판(M)(도 1 참조)의 코너부를 확실하게 접착할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이 1개의 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 44)에 대해, 1개의 흡인 구멍(50, 60)이 연통하고 있지만, 1개의 오목 홈(31 내지 33, 41 내지 44)에 대해, 복수의 흡인 구멍(50, 60)을 연통시켜도 된다.

또한, 도 8의 (a)에 도시한 바와 같이, 흡인 구멍(50, 60)을 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙에 형성해도 된다. 이 구성에서는, 흡인 구멍(50, 60)의 내주면(구멍 벽면)으로부터 프레임체(10)의 표면(10a)까지의 두께와, 흡인 구멍(50, 60)의 내주면(구멍 벽면)으로부터 프레임체(10)의 이면(10b)까지의 두께를 균등하게 확보할 수 있으므로, 지지 프레임(1A)의 표측 및 이측으로의 굽힘 강도를 밸런스 좋게 높일 수 있다.

또한, 도 8의 (b)에 도시한 바와 같이, 표측의 피트 구멍(35)의 저면(35a)을 흡인 구멍(50)보다도 프레임체(10)의 이면(10b)측에 형성하고, 도 8의 (c)에 도시한 바와 같이, 이측의 피트 구멍(45)의 저면(45a)을 흡인 구멍(60)보다도 프레임체(10)의 표면(10a)측에 형성해도 된다.

이와 같이, 피트 구멍(35, 45)의 저면(35a, 45a)을 흡인 구멍(50, 60)보다도 깊은 위치에 배치함으로써, 흡인 구멍(50, 60)의 축 단면 전체를 피트 구멍(35, 45)의 내주면에 확실하게 개구시킬 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 5의 (a)에 도시한 바와 같이 원형의 지그 구멍(70)이 형성되어 있지만, 도 9의 (a)에 도시하는 지그 구멍(70A)과 같이, 프레임체(10)의 주위 방향(좌우 방향)으로 연장되어 있는 타원형의 긴 구멍이어도 된다. 이 구성에서는, 도 9의 (b)에 도시한 바와 같이 지그(핀)(80)도 타원형의 단면 형상으로 형성한다.

그리고, 지지 프레임(1A)을 유리 기판(M)(도 1 참조)으로부터 박리할 때에는, 지지 프레임(1A)의 지그 구멍(70A)에 지그(80)를 삽입하여, 유리 기판(M)으로부터 지지 프레임(1A)을 분리하는 힘을 지그(80)를 통해 지지 프레임(1A)에 부여한다. 이때, 지그 구멍(70A)의 내주면의 평면과 지그(80)의 외주면의 평면이 면 접촉하여, 지그(80)로부터의 힘이 한점에 집중하지 않으므로, 지지 프레임(1A)의 변형을 억제할 수 있다.

또한, 도 10에 도시한 바와 같이, 프레임체(10)의 외주면(10c)에 7개의 지그 구멍(71 내지 77)을 형성해도 된다. 또한, 도 10에 도시하는 각 지그 구멍(71 내지 77)은 타원형의 긴 구멍으로 형성되어 있지만, 원형의 지그 구멍이어도 된다.

이 구성에서는 프레임체(10)에 4개의 코너부의 1개(좌측 전방의 코너부)에 제1 지그 구멍(71)이 형성되어 있다.

또한, 전방측의 횡프레임부(11)의 좌측 단부에 제2 지그 구멍(72)이 형성되고, 전방측의 횡프레임부(11)의 우측 단부에 제4 지그 구멍(74)이 형성되어 있다.

또한, 후방측의 횡프레임부(11)의 좌측 단부에 제5 지그 구멍(75)이 형성되고, 후방측의 횡프레임부(11)의 우측 단부에 제7 지그 구멍(77)이 형성되어 있다.

또한, 좌측의 종프레임부(12)의 전후 방향의 중앙에 제3 지그 구멍(73)이 형성되고, 우측의 종프레임부(12)의 전후 방향의 중앙에 제6 지그 구멍(76)이 형성되어 있다.

상기한 바와 같이, 7개의 지그 구멍(71 내지 77)을 갖는 지지 프레임(1A)을 유리 기판(M)(도 1 참조)으로부터 박리할 때에는, 각 지그 구멍(71 내지 77)에 지그를 삽입하고, 최초에 코너부의 제1 지그 구멍(71)을 인상한다. 계속해서, 제1 지그 구멍(71)에 가장 가까운 제2 지그 구멍(72)에 지그를 삽입하여 인상한다. 이후에는 제2 지그(71)로부터 가까운 순서대로 제3 지그 구멍(73), 제4 지그 구멍(74), 제5 지그 구멍(75), 제6 지그 구멍(76), 제7 지그 구멍(77)을 순차적으로 인상함으로써, 지지 프레임(1A)의 변형을 억제하면서 지지 프레임(1A)을 유리 기판(M)(도 1 참조)으로부터 박리할 수 있다.

1A 내지 1C : 지지 프레임
2 : 펠리클막
4 : 접착층
5 : 접착층
10 : 프레임체
10a : 표면
10b : 이면
11 : 횡프레임부
12 : 종프레임부
20 : 관통 구멍
31 : 표측의 제1 오목 홈
32 : 표측의 제2 오목 홈
33 : 표측의 제3 오목 홈
35 : 표측의 피트 구멍
41 : 이측의 제1 오목 홈
42 : 이측의 제2 오목 홈
43 : 이측의 제3 오목 홈
45 : 이측의 피트 구멍
50 : 표측의 흡인 구멍
60 : 이측의 흡인 구멍
70 내지 77 : 지그 구멍
80 : 지그
M : 유리 기판
P : 펠리클

Claims

알루미늄 합금제의 프레임체를 갖고,
상기 프레임체의 표면에 펠리클막이 접착되고, 상기 프레임체의 이면에 유리 기판이 접착되는 펠리클용의 지지 프레임이며,
상기 프레임체의 표면에는 상기 프레임체의 주위 방향으로 연장되는 표측의 오목 홈이 형성됨과 함께,
상기 프레임체의 외주면으로부터 상기 표측의 오목 홈의 내면에 이르는 표측의 흡인 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제1항에 있어서, 복수의 상기 표측의 오목 홈이 상기 프레임체의 주위 방향으로 병설되어 있고,
상기 각 표측의 오목 홈에 상기 표측의 흡인 구멍이 연통하고 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프레임체의 이면에는 상기 프레임체의 주위 방향으로 연장되는 이측의 오목 홈이 형성됨과 함께,
상기 프레임체의 외주면으로부터 상기 이측의 오목 홈의 내면에 이르는 이측의 흡인 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제3항에 있어서, 복수의 상기 이측의 오목 홈이 상기 프레임체의 주위 방향으로 병설되어 있고,
상기 각 이측의 오목 홈에 상기 이측의 흡인 구멍이 연통하고 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제2항에 있어서, 상기 프레임체의 이면에는 상기 프레임체의 주위 방향으로 연장되는 복수의 이측의 오목 홈이 상기 프레임체의 주위 방향으로 병설되고,
상기 프레임체의 외주면으로부터 상기 각 이측의 오목 홈의 내면에 이르는 이측의 흡인 구멍이 형성되어 있고,
상기 표측의 흡인 구멍은 인접하는 상기 이측의 오목 홈끼리의 사이에 형성되고,
상기 이측의 흡인 구멍은 인접하는 상기 표측의 오목 홈끼리의 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제5항에 있어서, 상기 오목 홈의 저면에는 바닥이 있는 피트 구멍이 형성되어 있고,
상기 흡인 구멍은 상기 피트 구멍의 내주면에 개구되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제6항에 있어서, 상기 피트 구멍은 상기 프레임체의 표측 및 이측의 한쪽에 개구되고,
상기 피트 구멍의 저면은 상기 흡인 구멍보다도 상기 프레임체의 표측 및 이측의 다른 쪽에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용 지지 프레임.
제1항에 있어서, 상기 흡인 구멍은 상기 프레임체의 높이 방향의 중앙에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제2항에 있어서, 적어도 1개의 상기 오목 홈은 상기 오목 홈의 연장 방향의 중간부에 상기 흡인 구멍이 연통하고 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제4항에 있어서, 적어도 1개의 상기 오목 홈은 상기 오목 홈의 연장 방향의 중간부에 상기 흡인 구멍이 연통하고 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제2항에 있어서, 상기 프레임체의 외주면으로부터 내주면에 이르는 관통 구멍이 형성되어 있고,
상기 관통 구멍은 상기 프레임체의 주위 방향에 인접하는 상기 오목 홈끼리의 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제4항에 있어서, 상기 프레임체의 외주면으로부터 내주면에 이르는 관통 구멍이 형성되어 있고,
상기 관통 구멍은 상기 프레임체의 주위 방향에 인접하는 상기 오목 홈끼리의 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제1항에 있어서, 상기 프레임체의 각 변에 복수의 상기 표측의 흡인 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제1항에 있어서, 상기 프레임체는 전후 한 쌍의 횡프레임부와, 좌우 한 쌍의 종프레임부를 구비하고,
상기 프레임체의 외주면에는 복수의 지그 구멍이 형성되어 있고,
상기 지그 구멍은 상기 양 횡프레임부의 양단부에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제1항에 있어서, 상기 프레임체의 외주면에는 복수의 지그 구멍이 형성되어 있고,
상기 지그 구멍은 상기 프레임체의 주위 방향으로 연장되어 있는 긴 구멍인 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.
제1항에 있어서, 상기 프레임체는 전후 한 쌍의 횡프레임부와, 좌우 한 쌍의 종프레임부를 구비하고,
상기 프레임체의 외주면에는 복수의 지그 구멍이 형성되어 있고,
상기 지그 구멍은,
상기 양 횡프레임부에 형성되어 있음과 함께,
상기 프레임체의 4개의 코너부 중 적어도 1개에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용의 지지 프레임.