JP2003107678A

JP2003107678A - ペリクル

Info

Publication number: JP2003107678A
Application number: JP2001297596A
Authority: JP
Inventors: Shigeto Shigematsu; 茂人重松; Minoru Fujita; 稔藤田; Hiroaki Nakagawa; 広秋中川
Original assignee: Mitsui Chemicals Inc
Current assignee: Mitsui Chemicals Inc
Priority date: 2001-09-27
Filing date: 2001-09-27
Publication date: 2003-04-09

Abstract

(57)【要約】【課題】ペリクル内部への塵埃等の侵入を防止または抑
制でき、ペリクル内外の圧力差を緩和し得ると共に、短
時間でペリクル内の気体の置換が可能で、さらには耐光
性に優れるペリクルを提供する。【解決手段】ペリクル枠２１を内側部材２１ｂと外側部
材２１ａとに分割し、内側部材２１ｂを耐光性に優れる
自然発色アルマイト化アルミニウムまたはセラミックで
構成し、外側部材２１ａを耐力の大きいアルミニウム合
金７０７５−Ｔ６で構成する。ペリクル枠２１の内部に
それぞれ３箇所の屈曲部を有する２つの通気孔３２−２
７ｂ−３０、２９ｂ−２７ａ−３４を設け、通気孔３２
−２７ｂ−３０、２９ｂ−２７ａ−３４の内表面にダス
トを吸着するための粘着層を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はペリクルに関し、よ
り詳細には、短波長の露光光、特に波長157nmのＦ₂エキ
シマレーザ光を露光光として使用する場合に好適に使用
されるペリクルに関する。

【０００２】

【従来の技術】フォトリソグラフィ工程では、マスク或
いはレチクル上に塵埃等が付着するのを防止するため
に、マスクパターンを囲う大きさの枠の一端にペリクル
膜を張架したペリクルが使用されている。このようなペ
リクルがマスク上に装着された状態では、ペリクル内部
は極めて気密性が高く、気圧変化や温度変化によって、
薄膜のペリクル膜がたるんだり、或いは膨らんだ状態に
なる場合がある。このようにペリクル膜が平滑性を失っ
た場合には、ペリクル膜の光学的特性を変化させるだけ
でなく、凹凸の程度が激しい場合には、ペリクル膜がマ
スクに接触したり、ペリクルを収納するケースの蓋に当
たってペリクル膜が損傷するというような問題が生じ
る。

【０００３】このような問題を解決するものとして、例
えば、ペリクル枠に少なくとも一つの通気孔が形成さ
れ、該通気孔には塵埃等の通過を阻止するフィルタ部材
が前記枠部材、マスク基板及びペリクル膜で囲まれた空
間内に脱落しないように設けられたもの（実公昭６３−
３９７０３号公報参照）や、ペリクル枠側面の少なくと
も一部に開口部を設け、その内面を粘着状にしたもの
（特開平５−１１３６５８号公報参照）、枠内部に空洞
を設けここで通気ガス中の異物を捕捉する（特開平５−
１０７７４７号公報参照）等が提案されている。

【０００４】これらは何れもペリクル枠に通気孔を設
け、ペリクル内外の圧力差を緩和している。しかしなが
ら、フィルタを設けたペリクルでは、微小な塵埃等を確
実に捕捉するためにはフィルターの目を細かくしなけれ
ばならず、このためフィルターのガス透過速度が遅く、
圧力差が緩和されるまで時間がかかるという問題があ
る。一方、開口部の内面を粘着状にしたペリクルは、通
気孔の粘着状内表面でペリクル内部に進入しようとする
塵埃等を捕捉しようとするものであるが、通気孔がスト
レートであり、またその距離も短いため、外部からの塵
埃等を通気孔内で捕捉することは困難であると共に、通
気孔がストレート形状では、ペリクル外部から内部への
気体の流れは層流であり、通気孔内表面付近の塵埃等は
捕捉できるとしても、全ての塵埃等を捕捉することまで
は不可能であった。また、前記の特開平５−１０７７４
７号公報のように、ペリクル枠に部分的に空洞を設ける
方法でも、短時間で置換を行うためには、大きな空洞を
通気口の途中に何個も設ける必要があり、そのため枠の
強度を大幅に低下させていた。さらに、この方法ではガ
ス流量を上げると、空洞部での異物分離が出来無くなる
という問題があった。

【０００５】また、リソグラフィの波長は短波長化が進
み次世代は波長157nmのＦ₂エキシマレーザ光と考えられ
ている。ところが、157nm光においては、マスクパター
ンを覆ったペリクル内部空間の不活性ガスパージが必要
となる。

【０００６】しかし、前述の特公昭６３−３９７０３号
公報や特開平５−１１３６５８号公報等の方法で内部空
間のガスパージを行おうとすれば、膜面に膨らみが生じ
るあるいはペリクル内部に微小異物が混入する等の不都
合を生じる。こういった不都合を回避するためにはパー
ジの流量を極端に少なくする必要があり、長時間掛かる
といった問題も生じる。

【０００７】一方、ペリクル枠体には、従来軽量かつ安
価で機械的強度もあるアルミニウム材が用いられている
が、アルミニウム材の表面は耐蝕性、耐摩耗性に問題が
あり、また金属光沢を有するため異物検査をするのが容
易ではないという問題もある。

【０００８】この問題に対処するため、従来は黒色アル
マイト処理したアルミニウム材をペリクル枠体として用
いることが行われていた。この方法は、一般にはアルミ
ニウム材の表面に多孔質なアルマイト層を形成したの
ち、黒色の有機染料を孔中に吸着させ、孔をふさぐ方法
（いわゆる染色法）である。

【０００９】しかしながら近年の露光光源の短波長化に
伴い、上述の有機染料による黒色アルマイト処理枠で
は、有機染料の耐光性が十分でないため、枠に露光光が
照射されると黒色化部分が退色してアルミニウム肌が露
出したり、アルマイトが破壊され、発塵する恐れが生じ
てきた。

【００１０】この問題を解決するため、自然発色法によ
りアルマイト化処理を施したアルミニウム材あるいはセ
ラミックス材をペリクル枠として用いる方法も提案され
ている（特開平０７―２４８６１５号公報および実開平
０７−３９０４７号公報参照）。

【００１１】この方法によれば耐光性の面では十分とな
るが、新たに以下の問題が発生する。すなわち、従来剛
性の面からペリクル枠に採用されているアルミニウム合
金７０７５−Ｔ６では自然発色による黒色アルマイト処
理は不可能であり、その他のアルミニウム合金では剛性
が不足となり、ペリクル取扱い時やマスクへの貼付時に
歪みが発生する恐れが生じる。

【００１２】またセラミックス枠は脆く、やはりペリク
ル取扱い時やマスクへの貼付時に枠体が折れる或いは欠
ける等の恐れがある。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような状
況に鑑みてなされたものであり、ペリクル内部への塵埃
等の侵入を防止または抑制でき、ペリクル内外の気圧差
を容易に緩和し得ると共に、短時間でペリクル内のガス
置換も可能で、露光光特にＦ_２エキシマレーザ光に対し
て耐光性があるペリクルを提供することにある。

【００１４】本発明の他の目的は、ペリクル内部を置換
する不活性ガスを供給する通気孔とペリクル内のガスを
排気する通気孔とを設置でき、短時間でペリクル内のガ
スを置換できるペリクルを提供することにある。

【００１５】本発明のさらに他の目的は、露光光特にＦ
_２エキシマレーザ光に対して耐光性があり、しかも機械
的強度のあるペリクルを提供することにある

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、枠体
と、該枠体の一つの面に張架されたペリクル膜とを有す
るペリクルであって、前記枠体の少なくとも内側表面が
自然発色アルマイト化アルミニウム又はセラミックであ
り、かつ、前記ペリクルの内部と外部とを連通し屈曲部
を有すると共に内表面が粘着性を有する複数の通気孔が
設けられていることを特徴とするペリクルが提供され
る。

【００１７】好ましくは、前記枠体は少なくとも３００
ＭＰａ以上の耐力を有する。なお、耐力とは、銅やアル
ミニウムのような降伏点をもたない材料の強度を表す際
に一般的に用いるパラメータであり、その測定方法はＪ
ＩＳＺ２２４１−１９９８あるいはＩＳＯ６８９
２−１９８４に記載されている。すなわち、金属試験片
の引っ張り試験を行った際に、耐力σ０．２〔単位：Ｍ
Ｐａ〕は以下の式で求められる。

【数２】σ０．２＝Ｆ０．２／Ａ０ここで、Ｆ０．２は、伸び計を用いて、引っ張り試験時
にかけた力と伸びた量との関係線図を求め、０．２％の
永久伸びに相当する伸び軸上の点Ｂから試験初期の直線
部分ＡＣに平行に線ＢＤを引き、これが線図と交わる点
の示す力〔単位：Ｎ〕（図１８参照）、Ａ０は、試験片
の原断面積〔単位：ｍｍ²〕である。なお、本明細書に
おいて耐力σ０．２の測定には、ＪＩＳＺ２２０１
−１９９８或いはＩＳＯ６８９２−１９８４にて推奨
されている幅１２．５ｍｍ、標点距離（引っ張り試験
中、常に伸びが観測される部分の長さを言う）５０ｍ
ｍ、平行部の長さ７５ｍｍ、厚さ２ｍｍの寸法の試験片
（いわゆるＪＩＳＺ２２０１−１９９８における１３
Ｂ号試験片）を用いている。

【００１８】また、好ましくは、前記枠体が内側部材と
外側部材とを備え、前記内側部材は、少なくともその内
側表面が自然発色アルマイト化アルミニウムである部材
又はセラミックからなる部材であり、前記外側部材は、
アルミニウム合金７０７５−Ｔ６からなる。

【００１９】また、好ましくは、前記複数の通気孔に
は、屈曲部がそれぞれ３箇所以上設けられている。

【００２０】また、好ましくは、前記通気孔が、枠体を
構成する四辺が交差する少なくとも一つの角部を通って
屈曲部を形成する。

【００２１】また、好ましくは、前記複数の通気孔が、
不活性ガスを供給する通気孔と前記ペリクル内のガスを
排出する通気孔とからなり、前記ペリクル内のガスを排
出する通気孔の断面積Ａが前記ペリクル内外の差圧ΔＰ
に対し下記の式（１）を満たす。

【数３】 ΔＰ＝４πｌμＶ／５Ａ^２＜１．７ｍｍＡｑ（１）ここで、ΔＰはペリクル内外の差圧〔単位：ｍｍＡ
ｑ〕、ｌは通気孔の長さ〔単位：ｍ〕、μは不活性ガス
の粘度〔単位：Ｐａ・ｓ〕、Ｖは不活性ガスの流量〔単
位：ｍ^３／ｓ〕、Ａは通気孔の断面積〔単位：ｍ^２〕で
ある。

【００２２】また、好ましくは、前記枠体が、内側部材
及び外側部材を組合せた枠体であり、前記内側部材及び
外側部材のすくなくとも一方に溝を設けて、前記複数の
通気孔のうち少なくとも一つの通気孔の少なくとも一部
を形成する。

【００２３】また、好ましくは、前記複数の通気孔のう
ち少なくとも一つの通気孔が、前記枠体に複数の孔を穿
ち、該複数の孔を組み合わせると共に前記複数の孔の不
要部分を閉塞して一つの連通した孔に形成した通気孔で
ある。

【００２４】また、好ましくは、前記複数の通気孔が、
不活性ガスを供給する通気孔と前記ペリクル内のガスを
排出する通気孔とからなり、前記不活性ガスを供給する
通気孔と前記ペリクル内のガスを排出する通気孔とが共
に前記記枠体内に設けられている。

【００２５】また、好ましくは、ペリクルは、前記枠体
のペリクル膜を張架された面に対向する他の面に設けら
れた粘着剤層を介してマスクに装着され、前記不活性ガ
スを供給する通気孔とペリクル内のガスを排出する通気
孔のうちの一方を前記枠体に設け、他方を前記枠体とマ
スク間の粘着剤層に設ける。

【００２６】また、好ましくは、上記ペリクルは、波長
１５７ｎｍのＦ₂エキシマレーザ露光機用に用いられ
る。

【００２７】

【発明の実施の形態】本発明のペリクルを添付図面を用
いて詳細に説明する。

【００２８】図１は、本発明のペリクルの一例を示す側
断面図であり、２１はペリクル枠、２はペリクル膜、３
は接着剤層、４は粘着層を示し、ペリクル枠２１の粘着
層４側をマスクＭに装着して使用する。尚、本明細書に
おいては、上方および下方とは、図１に示すペリクルの
側面を基準に、ペリクル膜側を上方、マスク側を下方と
し、ペリクル膜が張架される面をペリクル枠２１の上面
５とし、マスクに装着される面をペリクル枠体２１の下
面６とする。ペリクル枠２１の上面５には接着剤層３が
設けられ、ペリクル膜２は接着剤層３を介してペリクル
枠２１に張架されている。

【００２９】本発明の実施の形態のペリクルでは、ペリ
クル枠２１中に、枠体の内側面と外側面を連通し且つ屈
曲部を有すると共に内面に粘着剤が塗布された通気孔
が、複数設けられている。

【００３０】ここで、枠状部材の外側部分に用いる７０
７５−Ｔ６は、アルミニウム合金の中でもっとも高い耐
力をもつＡｌ−Ｚｎ−Ｍｇ−Ｃｕ系合金（化学成分Ｓ
ｉ：０．４重量％以下、Ｆｅ：０．５重量％以下、Ｃ
ｕ：１．２〜２．０重量％、Ｍｎ：０．３重量％以下、
Ｍｇ：２．１〜２．９重量％、Ｃｒ：０．１８〜０．２
８重量％、Ｚｎ：５．１〜６．１重量％、Ｚｒ＋Ｔｉ：
０．２５重量％以下、Ａｌ：残部）であり、現状ペリク
ル枠体として最も多く使われている。この７０７５―Ｔ
６材の耐力は一般的には５００ＭＰａ以上である。

【００３１】しかしながら前述したように、この７０７
５―Ｔ６の表面を黒色にする方法は、いわゆる染色法の
みであり、露光光が当たった際の耐光性に問題があっ
た。一方、本発明の枠状部材の内側部分の少なくとも内
表面には、自然発色アルマイト化アルミニウム又はセラ
ミックを用いる。

【００３２】ここで自然発色法とは、いわゆる有機染料
を用いずに金属表面に色をつける方法の総称で、代表的
な例としては、合金発色法や電解液発色法などがある。

【００３３】合金発色法とは、アルミニウム合金を酸中
で陽極酸化する過程において、合金成分を金属間化合物
としてアルマイト中に溶出させる方法で、この金属間化
合物が黒色であれば、黒色のアルマイト層が形成でき
る。

【００３４】具体的には、Ｂ（添加量０．８〜６重量
％)、Ｇｅ（添加量０．３〜５重量％)、Ｓｉ（添加量
０．５〜１１重量％)、Ｍｎ（添加量０．３〜１．５重
量％）等を添加したアルミニム合金で黒色アルマイト層
を形成することができ、さらに具体的には、Ａｌ−Ｍｎ
系のアルミニウム合金である３００３合金（化学成分Ｓ
ｉ：０．６重量％以下、Ｆｅ：０．７重量％以下、Ｃ
ｕ：０．０５〜０．２０重量％、Ｍｎ：１．０〜１．５
重量％、Ｚｎ：０．１重量％以下、Ａｌ：残部）を硫酸
中で陽極酸化することで黒色のアルマイト層を形成する
方法等を例示できる。

【００３５】しかしながら、上記で例示したようなアル
ミニウム合金は、７０７５−Ｔ６合金より耐力が大幅に
劣り、例えば３００３合金の耐力は、加工後の熱処理法
にも依るが、およそ４０〜１９０ＭＰａであり、７０７
５−Ｔ６合金の半分以下しか無い。

【００３６】電解液発色法は、特定の電解液中で陽極酸
化を行うことにより、着色されたアルマイト層を得る方
法である。

【００３７】アルマイト層を黒色系に発色させる電解液
の例としては、シュウ酸０．３〜１重量％及び水溶性シ
ュウ酸塩０．３〜１０重量％水溶液、マレイン酸１０重
量％水溶液、ホルムアミドとホウ酸の混液（重量比１：
０．２７）等を挙げることができる。

【００３８】上述したような自然発色法によりアルミニ
ウム表面をアルマイト処理したものは、有機染料を用い
ないため短波長の露光光に対し耐光性を有し、退色或い
はアルマイト層の破壊による発塵の恐れがない。

【００３９】なお、自然発色法における黒色アルマイト
層の厚みは、好ましくは１〜１００μｍ、より好ましく
は３〜７０μｍ程度である。アルマイト層がこれより薄
いと、耐食性に劣る，発色が十分でない等の問題を生
じ、逆に厚すぎると、歪みの蓄積によりクラック等の欠
陥を生じやすい、陽極酸化処理に時間がかかり処理コス
トが高価になる等の不都合が生じる。

【００４０】一方、本発明で用いる黒色系のセラミック
としては、例えばγ―Ｆｅ₂Ｏ₃、Ｆｅ₃Ｏ₄等に代表され
るフェライト類、（Ｃｒ，Ｆｅ）₂Ｏ₃のα−Ａｌ₂Ｏ₃型
固溶体、（Ｃｏ，Ｎｉ）Ｏ（Ｃｒ，Ｆｅ）₂Ｏ₃系スピネ
ル固溶体、ＳｎＯ₂（Ｓｂ）固溶体、ＺｒＳｉＯ₄（Ｃ
ｏ，Ｎｉ）固溶体等を挙げることができるが、これに限
定されず、黒色系のセラミックで有れば使用可能であ
る。

【００４１】こういったセラミックスは短波長の露光光
に対して本質的に耐光性を有するため、劣化による発塵
を生ずることがない。

【００４２】なお本発明において、枠状部材の外側部材
として用いるアルミニウム合金７０７５−Ｔ６と内側部
材として用いる自然発色アルマイト化アルミニウム又は
セラミックスとの厚みの比は、枠としての機械的強度の
面から、外側部材の７０７５−Ｔ６が厚い方が好まし
く、具体的には枠全体の厚みを１．００とした場合に、
外側部材が０．６０〜０．９５程度になることが好まし
い。こうすることで、枠としての耐力を少なくとも３０
０ＭＰａ以上に維持することが可能となる。

【００４３】本発明のペリクル枠に設けられる通気孔
は、好ましくは、ペリクル枠内部に複数設けられる。複
数の通気孔はペリクル内に不可性ガスを供給する通気孔
とペリクル内のガスを排気する通気孔からなり、ペリク
ル内のガスを排出する通気孔の断面積Ａがペリクル内外
の差圧ΔＰに対し下記の式（１）の関係を満たすことに
より、不活性ガス置換時にペリクル内部が加圧されない
ため、ペリクル膜の膨れ防止に有効である。通気孔の数
は、（式１）の関係を満たす範囲内で、供給および排気
のための通気孔の数はそれぞれ１〜３であることが好ま
しい。これにより、排気のための通気孔はペリクル内部
からの気体の排出孔となって、ペリクル内部の気体が速
やかに排出され、気体の置換が速やか且つ容易に行われ
ることになる。

【００４４】本発明では、ペリクル枠において、上記特
徴を有する通気孔は、例えば、以下の方法によって形成
することができる。

【００４５】第一の方法としては、ペリクル枠を、内側
及び外側に分割し、内側部材及び外側部材の２つの枠状
部材の組合せとし、この枠状部材同士の接触面の少なく
とも一方には屈曲部を有する溝と共に枠状部材を組み合
わせたときに枠体の内側面と外側面を連通する開口部を
設けることによって、通気孔を形成することができる。

【００４６】図２は、本発明に用いるペリクル枠の一例
の斜視図を示す。このペリクル枠２１は、図３に示すよ
うに、外側部材２１ａに内側部材２１ｂを、外側部材の
内側面２２ａ及び内側部材２１ｂの外側面２２ｂが接触
面となるように嵌合することによって、一つのペリクル
枠２１を形成している。

【００４７】この態様においては、ペリクル枠２１の外
側面２３は外側部材２１ａの外側面で構成され、ペリク
ル枠２１の内側面２４は内側部材２１ｂの内側面で構成
され、ペリクル枠２１の上面２５は外側部材２１ａ及び
内側部材２１ｂのそれぞれの上面２５ａ及び２５ｂで構
成され、同様にペリクル枠２１の下面２６は外側部材２
１ａ及び内側部材２１ｂのそれぞれの下面２６ａ及び２
６ｂで構成されている。この上面２５にペリクル膜が接
着剤層を介して張架され、また下面２６に粘着層が形成
され、マスクに装着される。

【００４８】図３に示すように、ペリクル枠を構成する
外側部材２１ａの内側面２２ａには、溝２７ａが形成さ
れている。この溝２７ａは、一方の端部２８ａが設けら
れている内側面２２ａと相対する内側面に位置する他方
の端部（図示せず）から外側部材２１ａの側面を貫通し
て外側面２３に開口部２９ｂを形成し外部と連通してい
る。

【００４９】また図３から明らかなように、内側部材２
１ｂの外側面２２ｂにも外側部材２１ａと同様に、溝２
７ｂが形成されている。この溝２７ｂは、一方の端部３
０が内側部材２１ｂの側面を貫通して内側面２４に開口
部（図示せず）を形成して内部と連通している。

【００５０】一方、この態様においては、外側部材２１
ａには、外側部材２１ａの側壁３１を貫通する開口部３
２が設けられている。この開口部３２は、外側部材２１
ａと内側部材２１ｂが嵌合されたときに、内側部材２１
ｂの端部３０が設けられている外側面２２ｂと相対する
外側面に位置する他方の端部（図示せず）と合致する位
置に設けられており、これにより内側部材２１ｂの溝２
７ｂは一方の端部３０からペリクル内側に通じる開口に
よってペリクル内側と連通すると共に、他方の端部から
外側部材２１ａの側面を貫通して成る開口部３２に通じ
てペリクル外側に連通して、ペリクルによって区画され
る内側と外側を連通することが可能となる。

【００５１】同様に、内側部材２１ｂにも、内側部材２
１ｂの側壁３３を貫通する開口部３４が設けられてい
る。これにより、この外側部材２１ａの内側面２２ａに
設けられた溝２７ａも、その端部２８ａと合致する位置
に設けられた開口部３４によって、溝２７ａとペリクル
内側が連通すると共に、他方の端部から通じる開口２９
ｂによって溝２７ａとペリクル外側が連通して、ペリク
ルによって区画される内側と外側を連通することが可能
となる。

【００５２】この場合も、通気孔３２−２７ｂ−３０と
通気孔２９ｂ−２７ａ−３４の径の大きさを変え、小さ
い方を吹き込み孔、大きい方を排出孔として用いた方が
好ましい。

【００５３】この方法による場合には、枠状部材の外側
部材２１ａをアルミニウム合金７０７５−Ｔ６で、内側
部材２１ｂを自然発色アルマイトアルミニウム又はセラ
ミックで構成する。すなわち外側部材２１ａに採用する
アルミニウム合金７０７５−Ｔ６は機械的強度に優れて
いると共に、内側部材２１ｂに採用する自然発色アルマ
イトアルミニウムまたはセラミックは耐光性に優れ、短
波長の露光光を照射された場合にも退色等の変質が防止
されていることから、このような異素材の枠状部材を組
み合わせることにより、機械的強度及び耐光性を兼ね備
えたペリクルを提供することが可能となるのである。

【００５４】第二の方法として、枠体に複数の孔を穿
ち、該複数の孔を組み合わせると共に不要部分に枠材料
を埋め込むことにより閉塞させて、一つの連通した孔に
形成する以下の方法も考えられる。

【００５５】図４は外側部材をアルミニウム合金７０７
５−Ｔ６で、内側部材を自然発色アルマイトアルミニウ
ム又はセラミックで構成したペリクル枠１の通気口が形
成されている部分の断面図を示している。図４に示すよ
うに、外側面からペリクル枠中にドリル等の工具で複数
の孔Ａ−Ｂ，Ｃ−Ｄ，Ｅ−Ｆ，Ｇ−Ｈ，Ｉ−Ｊをそれぞ
れ穿孔する。このうち、点々でハッチングされた部分、
すなわちＤ−Ｉ，Ａ−Ｋ，Ｃ−Ｋ，Ｅ−Ｂ，Ｇ−Ｆの部
分の孔にペリクル枠を形成した材料と同様の材料、例え
ばアルミニウム等の棒を嵌め込み、これらの孔を完全に
塞ぐことによって、ペリクル枠中に、（外面口）Ｊ−Ｄ
−Ｋ−Ｂ−Ｆ−Ｈ（内面口）という、Ｄ，Ｋ，Ｂ，Ｆの
４箇所の屈曲部を有する通気孔Ｊ−Ｄ−Ｋ−Ｂ−Ｆ−Ｈ
を形成することができる。

【００５６】同様に、外側面からペリクル枠中にドリル
等の工具で複数の孔Ａ’−Ｂ’，Ｃ’−Ｄ’，Ｅ’−
Ｆ’，Ｇ’−Ｈ’，Ｉ’−Ｊ’をそれぞれ穿孔する。こ
のうち、点々でハッチングされた部分、すなわちＤ’−
Ｉ’，Ａ’−Ｋ’，Ｃ’−Ｋ’，Ｅ’−Ｂ’，Ｇ’−
Ｆ’の部分の孔にペリクル枠を形成した材料と同様の材
料、例えばアルミニウム等の棒を嵌め込み、これらの孔
を完全に塞ぐことによって、ペリクル枠中に、（外面
口）Ｊ’−Ｄ’−Ｋ’−Ｂ’−Ｆ’−Ｈ’（内面口）と
いう、Ｄ’，Ｋ’，Ｂ’，Ｆ’の４箇所の屈曲部を有す
る通気孔Ｊ’−Ｄ’−Ｋ’−Ｂ’−Ｆ’−Ｈ’を形成す
ることができる。

【００５７】この際、穿孔する工具の径を変えることに
より、ガス吹き込み孔Ｊ’−Ｄ’−Ｋ’−Ｂ’−Ｆ’−
Ｈ’と、これより孔径の大きいガス排出孔Ｊ−Ｄ−Ｋ−
Ｂ−Ｆ−Ｈという２種類の径の通気孔を容易に形成でき
る。

【００５８】上記方法で形成されるペリクル枠体は、一
方の面（上面）には接着剤を用いてペルクル膜を貼り、
他方の面（下面）には粘着材を塗布してマスク上に装着
する。ペリクル枠およびマスクは、不活性ガスでペリク
ル内部を含む雰囲気を置換後、不活性ガスで置換された
雰囲気内でレーザー照射される。

【００５９】この際に、本発明のペリクルでは、ペリク
ル枠体の不活性ガスを供給する通気孔に不活性ガス供給
手段を接続して、ペリクル枠内の酸素濃度を早期に低下
することにより、早期に一定の酸素濃度以下とできるの
で、作業性も良い。

【００６０】本発明のペリクルのペリクル枠に設けられ
た通気孔は、従来の通気孔に比して行路が長く、しかも
屈曲部を３箇所以上有しているので、この部分で気体の
流れが攪乱されて気体中に存在する微小な塵埃等を有効
に粘着性の通気孔内表面に導くことが可能となり、ペリ
クル内部に外部からの塵埃等が侵入することが有効に防
止できるのである。

【００６１】しかも、この通気孔は、ペリクル枠内部に
複数個設けられており、かつ従来ペリクルのように外部
からの塵埃等の進入防止のためのフィルタ貼付も必要無
いため、ペリクル内部の雰囲気をペリクル外部と同一に
維持することが容易になるとともに、ペリクル内部の気
体の置換を比較的短時間で行うことも容易になる。これ
により、例えばペリクルを長期保存するような場合等に
窒素置換等を行っておくことにより、ペリクル膜の劣化
を防止することも容易となるのである。

【００６２】ペリクル枠の外側部材をアルミニウム合金
７０７５−Ｔ６で、内側部材を自然発色アルマイト化ア
ルミニウム又はセラミックで構成することにより、機械
的強度及び、露光光特にＦ_２エキシマレーザ光に対して
の耐光性を兼ね備えたペリクル枠を提供することができ
る。

【００６３】なお、ペリクル枠の内側部材または内側部
分は、すべて自然発色アルマイト化アルミニウム又はセ
ラミックで構成されている必要はなく、少なくともペリ
クル枠の内側部材または内側部分の内側表面が自然発色
アルマイト化アルミニウム又はセラミックで構成されて
いればよい。

【００６４】上述したペリクル枠内部に設けられた通気
孔と、ペリクル枠の上面又は下面に設けられた接着剤層
又は粘着剤層に形成された通気孔や、ペリクル枠の上面
又は下面に設けられた溝から成る通気孔を組み合わせて
用いることもできる。

【００６５】例えば、ペリクル枠の上面又は下面にペリ
クルの内側と外側と連通すると共に屈曲部を有する溝を
形成し、この溝を形成した上面又は下面上に接着剤層又
は粘着剤層を設けることにより、前述したような屈曲部
を有すると共に、行路の長い通気孔を形成することもで
きるし、また接着剤層又は粘着剤層自体に同様の溝を形
成し、ペリクル膜又はマスクとの接触によって、前述し
たような屈曲部を有すると共に、行路の長い通気孔を形
成することもできる。

【００６６】なお、吹き込み孔あるいは排出孔の一方に
ペリクル枠内部に設けられた通気孔を使用し、他方に接
着剤層又は粘着剤層に形成された通気孔や、ペリクル枠
の上面又は下面に設けられた溝から成る通気孔を使用す
ることができる。

【００６７】このように、接着剤層又は粘着剤層に通気
孔を形成し、また、ペリクル枠の上面又は下面に設けら
れた溝によって通気孔を形成することにより、ペリクル
枠内部に設けられた通気孔との組合せで複数の通気孔を
容易に設けることができ、ペリクル内部とペリクル外部
との気体の流通が容易に行われ、ペリクル内部の気体の
置換も短時間で可能となる。しかも本発明により形成さ
れる通気孔は屈曲部を有すると共に行路が長く、更に通
気孔の内表面が粘着性であるため、通気孔内を通過する
気体は、屈曲部でその流れが乱されて気体中に存在する
塵埃等のほとんどが通気孔内表面に付着し、ペリクル内
部に塵埃等が侵入することが有効に防止されるのであ
る。

【００６８】ペリクル枠の上面または下面に設ける溝の
形態としては、例えば、図５に示すように、ペリクル枠
２１の上面５または下面６の全面にわたって、外側に向
いた開口（外側開口）４１から角渦巻き状に、内側に向
いた開口（内側開口）４２まで続く溝４３を設けてもよ
いし、図６に示すように、ペリクル枠２１の上面５また
は下面６に外側開口４１から二方向に分かれ、内側開口
４２付近で再び合流する溝４３を設けることもできる。

【００６９】また、接着剤層または粘着剤層に通気孔を
設ける場合は、前述したように、接着剤層または粘着剤
を角渦巻き状の溝が残るように塗布したり、或いは内外
に二列に塗布し内側と外側の列にそれぞれ出入り口が一
つずつ対向辺に形成されるように塗布したりすることも
できる。

【００７０】また、接着剤層または粘着剤層に通気孔を
形成する場合には、図７及び図８に示すように、ペリク
ル枠２１の上面５又は下面６に接着剤又は粘着剤４５
を、塗布幅を広く、或いは少なくとも通気孔を形成する
部分で広くして、通気孔４６がＵ形、段状、段違い状、
凹凸状に形成されるように塗布することもできる。

【００７１】また、接着剤層又は粘着剤層に通気孔を設
ける場合には、前述した方法以外にもペリクル枠の上面
又は下面に接着剤又は粘着剤を全面に塗布した後、カッ
ティング等により不要部分を除去することによって形成
することもできる。なお通気孔を設ける場合の接着剤層
または粘着剤層の厚みは、０．１ｍｍ乃至３．０ｍｍの
範囲にあることが好ましい。また接着剤層又は粘着剤層
に設けた通気孔を供給孔として使用する場合には、勿論
これに限定されるものではないが、例えばガス供給源の
先端を通気孔とほぼ同等の大きさのノズルにして差し込
む等の方法により、ガス供給源と接続することができ
る。

【００７２】本発明においては、前述したように、ペリ
クル枠を貫通する通気孔を複数個設けることがペリクル
内部の気体の流入及び流出をスムーズに行う上で好まし
いが、ペリクル枠を貫通する通気孔を一つ設け、ペリク
ル枠上面又は下面、或いは接着剤層又は粘着剤層に設け
られた通気孔を組み合わせることによって、複数個の通
気孔にすることも勿論可能である。

【００７３】また、前述した通り、ペリクル枠を内側部
材と外側部材の２つの枠状部材に分割する場合には、内
側部材として自然発色アルマイト化アルミニウム又はセ
ラミック、外側部材として７０７５−Ｔ６アルミニウム
合金の組合せであることが好ましい。

【００７４】更に、枠状部材を組み合わせる方法として
は、エポキシ系、シアノ系、アクリル系等の接着剤を用
いる接着の他、圧接や溶接等によって一体化してペリク
ル枠とすることができる。

【００７５】本発明において通気孔内表面に粘着性を付
与するには、通気孔内表面に粘着剤を塗布すればよく、
勿論これに限定されないが、例えばポリスチレン、ポリ
イソブチレン、ポリエステル樹脂、酢酸ビニル樹脂、エ
チレン酢酸ビニル共重合体、ポリエチレンフェノキシ樹
脂等を挙げることができ、これら粘着剤を通気孔内にマ
イクロシリンジ等で注入してもよいし、枠体を分割する
場合は形成された溝に塗布することにより容易に粘着性
を付与することができる。

【００７６】また、ペリクル枠の上面又は下面に設けら
れた溝から成る通気孔の場合にも、上述と同様に、形成
された溝に粘着剤を塗布する等の方法により、容易に粘
着性を付与することができる。さらに、粘着層や接着層
に形成された通気孔の場合には、それ自体が粘着性をも
つのでとりたてて粘着性を付与する必要は無いが、これ
を補強する意味で上述と同様、溝への粘着剤の塗布、マ
イクロシリンジ等による粘着剤の注入等を行っても良
い。

【００７７】また、通気孔を形成する溝は、従来公知の
切削加工等により形成することができる。溝の大きさは
ペリクル枠の大きさ、枠体の幅等によっても相違する
が、一般には、０．３乃至６．０ｍｍの幅及び０．３乃
至１．５ｍｍの深さ、特に０．５乃至５．０ｍｍの幅及
び０．５乃至１．０ｍｍの深さであることが好ましく、
また通気孔の長さは、勿論これに限定されないが、ペリ
クル枠の水平方向断面の一周の長さの１０％以上、特に
３０乃至２００％の長さを有していることが好ましい。
溝の形状は、勿論これに限定されないが、切削加工等の
し易さから、矩形溝・半円溝・三角溝等を例示するこ
とができる。

【００７８】本発明のペリクルにおいては、上述した態
様に限定されずに、種々の態様を採用することができ
る。

【００７９】例えば、ペリクル枠を内外に分割したもの
では接触面がペリクル枠側面と平行である場合に限られ
ず、やはり斜めになっていたり、段差を有することも勿
論可能である。更に、各枠状部材の接触面のそれぞれ
に、組み合わせたときに互いに重なり合わない形状の溝
を設けて、複数の通気孔を形成することもできる。

【００８０】

【実施例】次に、自然発色アルマイト化アルミニウム、
セラミックスおよび有機染料アルマイト化アルミニウム
のＦ₂エキシマレーザ耐光性に関する実施例について説
明する。

【００８１】（実施例１）Ａｌ−Ｍｎ系のアルミニウム
合金である３００３材（化学成分Ｓｉ：０．６重量％
以下、Ｆｅ：０．７重量％以下、Ｃｕ：０．０５〜０．
２０重量％、Ｍｎ：１．０〜１．５重量％、Ｚｎ：０．
１重量％以下、Ａｌ：残部）を用い、硫酸中で陽極酸化
するいわゆる硫酸アルマイト法(硫酸濃度１５重量
％、電解温度１０℃、電流密度１Ａ／ｄｍ²)にて膜厚２
０μｍの黒色系アルマイト皮膜を形成した。この部材に
Ｆ₂エキシマレーザ光（波長１５７ｎｍ）を照射して耐
光性を調べた。ここでＦ₂エキシマレーザの照射条件
は、パルスエネルギー密度：１．０（ｍＪ／ｃｍ^２）／
ｐｕｌｓｅ、発振周波数：５００Ｈｚである。またＦ₂
エキシマレーザ耐光性の評価は、５０００Ｊ／ｃｍ²ま
で１０００Ｊ／ｃｍ²毎にレーザ照射部を目視観察す
ることにより行った。その結果、本部材では５０００Ｊ
／ｃｍ²までＦ₂レーザを照射しても何の変化も認められ
ないことが判った。

【００８２】（実施例２）Ｆ₂エキシマレーザを照射す
る部材を、黒色系のセラミックスであるγ−Ｆｅ₂Ｏ₃に
変更したこと以外は実施例１と全く同様にして、この部
材のＦ₂エキシマレーザ耐光性を調べた。その結果、本
部材でも５０００Ｊ／ｃｍ²までのＦ₂エキシマレーザ
照射で何の変化も認められなかった。

【００８３】（比較例１）Ａｌ−Ｚｎ−Ｍｇ−Ｃｕ系の
アルミニウム合金である７０７５−Ｔ６材（化学成分
Ｓｉ：０．４重量％以下、Ｆｅ：０．５重量％以下、Ｃ
ｕ：１．２〜２．０重量％、Ｍｎ：０．３重量％以下、
Ｍｇ：２．１〜２．９重量％、Ｃｒ：０．１８〜０．２
８重量％、Ｚｎ：５．１〜６．１重量％、Ｚｒ＋Ｔｉ：
０．２５重量％以下、Ａｌ：残部）を用い、硫酸アルマ
イト処理(硫酸濃度１５重量％、電解温度２０℃、電流
密度１Ａ／ｄｍ²)により膜厚２０μｍのアルマイト皮膜
を形成した。合金成分が実施例１のアルミニウム合金と
は異なるため、この比較例１のアルマイト皮膜は黒色の
発色はしていない。このアルマイト皮膜のポアー中に黒
色の有機染料（Sandoz社製ＭＬＷ）を含浸させ、３ｋｇ
／ｃｍ^２の加圧蒸気中にて２０分の封孔処理を行って、
染色法による黒色アルマイト皮膜を形成した。この部材
に、実施例１と全く同じ条件にてＦ2エキシマレーザを
照射したところ、１０００Ｊ／ｃｍ²までは外観上何の
変化もみられなかったものの、２０００Ｊ／ｃｍ²で照
射部の退色が確認され、５０００Ｊ／ｃｍ²照射後は、
照射部が白色化しアルマイト処理層よりアルミニウム面
が露出してしまった。

【００８４】次に、異物除去能の比較に関する実施例に
ついて説明する。（実施例３）図９に示すように、ペリクル枠を内側及び
外側に分割した２つの枠状部材を作成し、内側枠状部材
と接触する外側枠状部材の内表面に幅３ｍｍ，深さ０．
６ｍｍの溝を形成し、両者を組み合わせることにより
開口面積３ｍｍ×０．６ｍｍ、長さ１２０ｍｍで３カ所
の屈曲部がある通気孔５１をもつペリクル枠２１を作製
した。

【００８５】この通気孔５１の内壁にＳＥＢＳ（スチ
レン−エチレン−ブチレン−スチレン）系粘着剤ＴＤ３
−２１２（旭化学合成社製）を塗布厚み１０μｍで塗布
し、図１０に示すように、ペリクル枠２１全体をクリー
ンルーム外のダストを多量に含んだ空気中に設置した。
この状態で通気孔５１の一方の端５２からダストカウン
ター５３（ＤＡＮ化学社製、Ｍｏｄｅｌ８２−７３０
０）にて吸引し（吸引量２×１０^-6ｍ^３／ｓｅｃ）、通
気孔５１を通過してきたクリーンルーム外空気の清浄度
を調べた。その後、ダストカウンター５３のチューブを
ペリクル枠２１から外し、このテストに用いたクリーン
ルーム外の空気を直接吸引することにより、もともとの
クリーンルーム外空気の清浄度を確認し、これをブラン
クデータとした。これらの測定は、１分間×３回繰り返
して行った。結果を表１にまとめた。なお表１中〔〕内
に示した除去率は、通気孔５１がどの程度ダストを捕捉
したかを百分率で表したものであり、（通気孔を通さな
い時のダストカウント数−当該通気孔を通過したダスト
カウント数）／（通気孔を通さない時のダストカウント
数）×１００（％）で計算している。

【００８６】ダスト除去率でみると、この実施例の通気
孔５１では０．５μｍ以上のダストは完全に除去できて
おり、また０．３〜０．５μｍサイズのダストもおよそ
９９．９％は除去できていることが判る。

【００８７】（比較例３）通気孔５１の内壁にＳＥＢＳ
系粘着剤ＴＤ３−２１２を塗らないこと以外は実施例３
と全く同様にして、ペリクル枠２１を作製し、通気孔５
１を通過してきたクリーンルーム外空気の清浄度を調べ
た。結果を表１にまとめた。０．３〜０．５μｍサイズ
のダストの除去率は約５６％、また０．５〜１．０μｍ
サイズのダストの除去率は約７０％と、実施例１に比
べると、通気孔内壁に粘着剤を塗らないことでダスト除
去能が大幅に低下することが判る。

【００８８】（比較例４）実施例３と同様にして、図１
１に示すような屈曲部が全く無い通気孔５４（開口面
積３ｍｍ×０．６ｍｍ、長さ１２０ｍｍ）をもつペリク
ル枠２１を作製した。この通気孔５４の内壁に、ＳＥＢ
Ｓ系粘着剤ＴＤ３−２１２（旭化学合成社製）を塗布厚
み１０μｍで塗布し、実施例１と全く同様にして、通気
孔５４を通過してきたクリーンルーム外空気の清浄度を
調べた。結果を表１にまとめた。０．３〜０．５μｍサ
イズのダストの除去率，０．５〜１．０μｍサイズのダ
ストの除去率はともに約９５％にとどまっており、実施
例３に比べると、通気孔が屈曲部をもたないことでダ
スト除去能が低下していることが判る。

【００８９】

【表１】

【００９０】次に、ペリクル内部空間の置換時間と膜膨
れのシミュレーション結果について説明する。（実施例４）図１２のペリクルモデルにおいて、内部空
間をＡｉｒ（窒素：７９％、酸素：２１％）とし、ガス
供給孔６１から純窒素を流した場合の内部空間の酸素濃
度及び内部空間と外部（大気圧）との差圧をシミュレー
ションにより求めた。計算に用いたシミュレーションソ
フトは「Ｒｆｌｏｗ」〔（株）アールフロー社（Ｒｆｌ
ｏｗＣｏ．，Ｌｔｄ．）製、２００１年３月３０日
リリース版〕、用いたガス物性は、常温・常圧でのＡｉ
ｒ〔密度ρ＝１．２ｋｇ／ｍ³、粘度μ＝２×１０^-5Ｐ
ａ・ｓｅｃ、拡散係数Ｄ＝１×１０^-5ｍ²／ｓｅｃ〕で
ある。

【００９１】また差圧と膜膨らみとの関係については、
現在エキシマレーザ用に用いられているペリクル膜材料
ＣＹＴＯＰ〔（株）旭硝子社製、膜厚０．８μｍ〕を貼
付した図１２の形状のペリクル枠体１２を準備し、実験
により求めた。その結果を図１３に示す。

【００９２】以上の条件により求めた窒素ガス導入速
度、排出孔開口面積とガス置換時間（ペリクル内部空間
の酸素濃度が１００ｐｐｍ以下になるまでの時間）、膜
膨れ量の関係を表２にまとめる。

【００９３】

【表２】

【００９４】ガス置換時間及びペリクル膜膨れ量の許容
値については、本ペリクル使用時の種々の事情により異
なるので一概に言えないが、一例として、ガス置換時間
３００秒以内、ペリクル膜膨れ量３ｍｍ以下と仮定する
と、図１２の構成のペリクルでは窒素ガス導入速度２×
１０^-6ｍ^３／ｓｅｃ，排出孔面積４ｍｍ²近傍に設定す
れば良いことが判る。

【００９５】（実施例５）図１４の様に窒素ガス供給孔
６１と排出孔６２をそれぞれ２つにしたこと以外は、実
施例４と全く同様にして、窒素ガス導入速度、排気孔開
口面積とガス置換時間、膜膨れ量の関係を求めた。結果
を表２にまとめた。実施例４と同様、ガス置換時間３０
０秒以内、ペリクル膜膨れ量３ｍｍ以下を許容値と仮定
すると、図１４の構成のペリクルでは、窒素ガス導入速
度１×１０ ^-6ｍ³／ｓｅｃ以上，排出孔面積２ｍｍ²以上
×２の領域に許容値を満足できる条件があることが判
る。なお、本実施例５、次の実施例６および表２の記載
において、排出孔面積がａｍｍ²×ｂとあるのは、面積
がａｍｍ²の排出孔がｂ本設けられていることを意味す
る。

【００９６】（実施例６）図１５の様に、窒素ガス供給
孔６１と排出孔６２をそれぞれ３つにしたこと以外は、
実施例４と全く同様にして窒素ガス導入速度、排出孔
開口面積とガス置換時間、膜膨れ量の関係を求めた。結
果を表２にまとめた。実施例４と同様、ガス置換時間３
００秒以内、ペリクル膜膨れ量３ｍｍ以下を許容値と仮
定すると、図１５の構成のペリクルでは、窒素ガス導入
速度１×１０ ^-6ｍ³／ｓｅｃ以上，排出孔面積２ｍｍ²以
上×３の領域に許容値を満足できる条件があることが判
る。

【００９７】（比較例５）図１６のように、一つの通気
孔６３をもつ従来の形状のペリクル枠２１をＡｉｒ中で
ガラス基板に貼り付け（つまりペリクル内部空間をＡｉ
ｒにして）、この通気孔６３から窒素ガスを導入速度１
×１０^-6ｍ³／ｓｅｃで吹き込んだところ、瞬時に膜膨
れが生じ、さらには膜がやぶれてしまった。

【００９８】（比較例６）図１６に示す従来の形状のペ
リクル枠２１をＡｉｒ中でガラス基板に貼り付け（つま
りペリクル内部空間をＡｉｒにして）、これを純窒素中
に設置し、ペリクル内部空間の酸素濃度変化を測定した
結果を図１７に示す。比較例５に示したようにガスフロ
ーができない従来タイプのペリクルでは、６０分経過後
も内部空間の酸素濃度は１％程度までしか下がっていな
いことが判る。

【００９９】

【発明の効果】本発明によれば、ペリクル内部への塵埃
等の侵入を防止または抑制でき、ペリクル内外の圧力差
を緩和し得ると共に、短時間でペリクル内の気体の置換
が可能で、さらには耐光性に優れるペリクルが提供され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のペリクルの一例の側断面図である。

【図２】本発明に用いるペリクル枠の一例を示す斜視図
である。

【図３】ペリクル枠が分割された状態を示す斜視図であ
る。

【図４】本発明のペリクルの通気孔を作成する方法の一
例を説明するための断面図である。

【図５】枠状部材に設ける溝の形状の一例を説明するた
めの断面図である。

【図６】枠状部材に設ける溝の形状の他の一例を説明す
るための断面図である。

【図７】接着剤層または粘着剤層に設ける通気孔の形状
の一例を説明するための部分拡大図である。

【図８】接着剤層または粘着剤層に設ける通気孔の形状
の他の一例を説明するための部分拡大図である。

【図９】実施例３で使用したペリクル枠を示す概略斜視
図である。

【図１０】実施例３におけるダスト除去率の測定方法を
説明するための概略図である。

【図１１】比較例４で使用したペリクル枠を示す概略斜
視図である。

【図１２】実施例４で使用したペリクル枠を示す概略斜
視図である。

【図１３】ペリクル内部空間と外部（大気圧）との間の
差圧と膜膨らみとの関係を示す図である。

【図１４】実施例５で使用したペリクル枠を示す概略斜
視図である。

【図１５】実施例６で使用したペリクル枠を示す概略斜
視図である。

【図１６】比較例５、比較例６で使用したペリクル枠を
示す概略斜視図である。

【図１７】比較例６において、ペリクル内部空間の酸素
濃度変化を測定した結果を示す図である。

【図１８】耐力を説明するための図である。

【符号の説明】

２…ペリクル膜３…接着材層４…粘着層５…上面６…下面２１…ペリクル枠２１ａ…外側部材２１ｂ…内側部材Ｍ…マスク３２−２７ｂ−３０、２９ｂ−２７ａ−３４…通気孔５１、５４、６３…通気孔６１…ガス供給孔６２…ガス排出孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者中川広秋山口県玖珂郡和木町和木六丁目１番２号三井化学株式会社内Ｆターム(参考） 2H095 BC37 BC38 2H097 CA13 LA10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】枠体と、該枠体の一つの面に張架されたペ
リクル膜とを有するペリクルであって、前記枠体の少なくとも内側表面が自然発色アルマイト化
アルミニウム又はセラミックであり、かつ、前記ペリク
ルの内部と外部とを連通し屈曲部を有すると共に内表面
が粘着性を有する複数の通気孔が設けられていることを
特徴とするペリクル。
【請求項２】前記枠体は少なくとも３００ＭＰａ以上の
耐力を有することを特徴とする請求項１記載のペリク
ル。
【請求項３】前記枠体が内側部材と外側部材とを備え、前記内側部材は、少なくともその内側表面が自然発色ア
ルマイト化アルミニウムである部材又はセラミックから
なる部材であり、前記外側部材は、アルミニウム合金７０７５−Ｔ６から
なることを特徴とする請求項１または２記載のペリク
ル。
【請求項４】前記複数の通気孔には、屈曲部がそれぞれ
３箇所以上設けられていることを特徴とする請求項１乃
至３のいずれかに記載のペリクル。
【請求項５】前記通気孔が、枠体を構成する四辺が交差
する少なくとも一つの角部を通って屈曲部を形成するこ
とを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のペリ
クル。
【請求項６】前記複数の通気孔が、不活性ガスを供給す
る通気孔と前記ペリクル内のガスを排出する通気孔とか
らなり、前記ペリクル内のガスを排出する通気孔の断面
積Ａが前記ペリクル内外の差圧ΔＰに対し下記の式を満
たすことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載
のペリクル。【数１】 ΔＰ＝４πｌμＶ／５Ａ^２＜１．７ｍｍＡｑここで、ΔＰはペリクル内外の差圧〔単位：ｍｍＡ
ｑ〕、ｌは通気孔の長さ〔単位：ｍ〕、μは不活性ガス
の粘度〔単位：Ｐａ・ｓ〕、Ｖは不活性ガスの流量〔単
位：ｍ^３／ｓ〕、Ａは通気孔の断面積〔単位：ｍ^２〕で
ある。
【請求項７】前記枠体が、内側部材及び外側部材を組合
せた枠体であり、前記内側部材及び外側部材のすくなく
とも一方に溝を設けて、前記複数の通気孔のうち少なく
とも一つの通気孔の少なくとも一部を形成したことを特
徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のペリクル。
【請求項８】前記複数の通気孔のうち少なくとも一つの
通気孔が、前記枠体に複数の孔を穿ち、該複数の孔を組
み合わせると共に前記複数の孔の不要部分を閉塞して一
つの連通した孔に形成した通気孔であることを特徴とす
る請求項１乃至７のいずれかに記載のペリクル。
【請求項９】前記複数の通気孔が、不活性ガスを供給す
る通気孔と前記ペリクル内のガスを排出する通気孔とか
らなり、前記不活性ガスを供給する通気孔と前記ペリク
ル内のガスを排出する通気孔とが共に前記記枠体内に設
けられていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれ
かに記載のペリクル。
【請求項１０】前記枠体のペリクル膜を張架された面に
対向する他の面に設けられた粘着剤層を介してマスクに
装着され、前記不活性ガスを供給する通気孔とペリクル内のガスを
排出する通気孔のうちの一方を前記枠体に設け、他方を
前記枠体とマスク間の粘着剤層に設けた請求項１〜８い
ずれかに記載のペリクル。
【請求項１１】波長１５７ｎｍのＦ₂エキシマレーザ露
光機用に用いられることを特徴とする請求項１〜１０い
ずれかに記載のペリクル。