JP2006253285A - レーザ照射装置及びレーザ照射方法 - Google Patents
レーザ照射装置及びレーザ照射方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006253285A JP2006253285A JP2005065345A JP2005065345A JP2006253285A JP 2006253285 A JP2006253285 A JP 2006253285A JP 2005065345 A JP2005065345 A JP 2005065345A JP 2005065345 A JP2005065345 A JP 2005065345A JP 2006253285 A JP2006253285 A JP 2006253285A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- window
- container
- laser irradiation
- facing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
【課題】 窓の汚れを抑制することができるレーザアニール装置を提供する。
【解決手段】 気密構造を有するチャンバ1の壁の一部が窓2で構成されている。チャンバ1内の窓2と対向する位置に、基板Wが配置されている。チャンバ1外に配置されたエキシマレーザ出射装置4が、窓2を通して基板Wに処理用レーザ光Lを入射させる。チャンバ1に、ガス導出管8及びガス吸引管9が接続されている。ガス導出管8は、基板W表面の窓2と対向する対向領域にガスを吹き付ける。ガス吸引管9は、ガス導出管8によって基板Wに吹き付けられたガスを吸引する。
【選択図】 図1
【解決手段】 気密構造を有するチャンバ1の壁の一部が窓2で構成されている。チャンバ1内の窓2と対向する位置に、基板Wが配置されている。チャンバ1外に配置されたエキシマレーザ出射装置4が、窓2を通して基板Wに処理用レーザ光Lを入射させる。チャンバ1に、ガス導出管8及びガス吸引管9が接続されている。ガス導出管8は、基板W表面の窓2と対向する対向領域にガスを吹き付ける。ガス吸引管9は、ガス導出管8によって基板Wに吹き付けられたガスを吸引する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、被照射物にレーザ光を照射するレーザ照射装置及びレーザ照射方法に関する。
従来から知られているレーザアニール装置について説明する(特許文献1及び2参照)。アニールの対象となる被照射物は、気密構造を有するチャンバの内部に配置される。チャンバの壁の一部は、処理用レーザ光を透過させる窓によって構成される。チャンバの外部に配置されたレーザ出射装置が、窓を通して被照射物に処理用レーザ光を入射させる。被照射物の表層部は、アモルファス半導体からなる。処理用レーザ光が入射した領域のアモルファス半導体が溶融し、固化することにより結晶化される。
被照射物に処理用レーザ光を入射させたとき、被照射物の表面における処理用レーザ光の入射領域から半導体の一部が蒸発し又は飛散することがある。そして、その蒸発又は飛散した物質(以下、蒸散物質という。)が窓の内面に付着し、窓の光透過率を低下させることがある。この結果、被照射物の表面に到達する処理用レーザ光のエネルギが窓の汚れで減衰され、アニール結果物の品質の低下を招く。
また、窓等に付着した蒸散物質を除去するためには、クリーニング作業を行うことが必要である。クリーニング作業を行うためには、レーザアニール装置の稼動を停止させなければならない。このため、頻繁にクリーニング作業を行うと、レーザアニール装置の実稼働率が低下してしまう。
本発明の目的は、窓の汚れを抑制することができるレーザ照射装置及びレーザ照射方法を提供することにある。本発明の他の目的は、照射結果物の品質の低下を防止することができるレーザ照射装置及びレーザ照射方法を提供することにある。本発明のさらに他の目的は、レーザ照射装置の実稼働率の低下を防止することができる技術を提供することにある。
本発明の一観点によれば、壁の一部が処理用レーザ光を透過させる窓で構成され、気密構造を有する容器と、前記容器の内部で前記窓と対向する位置に被照射物を保持する保持台と、前記容器の外部に配置され、前記窓を通して前記保持台によって保持された被照射物に前記処理用レーザ光を入射させるレーザ出射装置と、前記容器に接続され、前記被照射物の表面における前記窓と対向する対向領域にガスを吹き付けるガス導出管と、前記容器に接続され、前記ガス導出管によって前記対向領域に吹き付けられたガスを吸引するガス吸引管とを備えたレーザ照射装置が提供される。
本発明の他の観点によれば、(a)壁の一部が処理用レーザ光を透過させる窓で構成され、気密構造を有する容器内に、前記窓と対向するように被照射物を準備する工程と、(b)前記被照射物の表面における前記窓と対向する対向領域にガスを吹き付け、かつ該対向領域に吹き付けられたガスを吸引しながら、該窓を通して前記被照射物に前記処理用レーザ光を入射させる工程とを含むレーザ照射方法が提供される。
ガス導出管から対向領域にガスを吹き付け、対向領域に吹き付けられたガスをガス吸引管で吸引することにより、対向領域上に、ガス導出管からガス吸引管に至るガス流が形成される。これにより、対向領域から生じる蒸散物質をそのガス流によって捕獲し、ガス吸引管を介して容器外に排出することができる。このため、蒸散物質の付着に起因した窓の汚れを防止することができる。この結果、処理レーザ光が窓の汚れで減衰されることに起因した照射結果物の品質低下を防止することができる。また、窓のクリーニング作業の間隔をのばすことができるため、クリーニング作業に起因する装置の実稼働率の低下を防止することができる。
図1に、実施例によるレーザアニール装置の概略図を示す。気密構造を有するチャンバ1の壁の一部が、窓2によって構成されている。窓2は、紫外域の波長をもつ処理用レーザ光Lを透過させる。具体的には、窓2は、石英からなる板状体の表裏面に紫外線反射防止膜を形成したものである。チャンバ1の内部における窓2と対向する位置に、基板Wが配置されている。基板Wの表層部は、アモルファスシリコンからなる。保持台3が、基板Wを保持している。
チャンバ1の外部に、エキシマレーザ出射装置4が置かれている。エキシマレーザ出射装置4が、窓2を通して基板Wに処理用レーザ光Lを入射させる。これにより、処理用レーザ光Lが入射した領域のアモルファスシリコンが溶融する。なお、このとき、その溶融した領域から蒸散物質が発生することがある。溶融した領域の固化に伴なって、その領域内でシリコン結晶が成長する。保持台3が、処理用レーザ光Lに対して基板Wを移動させることにより、基板W表面の所望領域を結晶化することができる。このようにして基板Wのレーザアニール処理が行われる。
本実施例では、チャンバ1が、基板W及び保持台3を収容する本体部11と、本体部11から処理用レーザ光Lの伝搬経路を内包するようにエキシマレーザ出射装置4に向って隆起した筒状部12とによって構成されている。
本体部11は、相互に上下方向に対向する上壁11aと下壁11b、及びそれらを繋ぐ側壁11cを有する形状をなしている。本体部11の側壁11cに、第1のガス供給口5と、ガス排気口6とが開口している。第1のガス供給口5からチャンバ1内にN2ガスが供給され、チャンバ1内のガスがガス排気口6から排気される。こうして、チャンバ1内がN2ガスで満たされた状態で、基板Wのレーザアニール処理が行われる。
筒状部12は、本体部11の上壁11aから隆起している。上述した窓2が、筒状部12の頂部側の開口を気密に閉塞している。このように筒状部12を設け、窓2を本体部11から隆起した位置に配置したことにより、筒状部12を設けない場合に比べると、窓2を基板Wから遠ざけることができる。このため、基板Wから生じた蒸散物質が、窓2の内面まで到達しにくくなる。この結果、窓2の汚れを防止することができる。従って、処理用レーザ光Lが窓2の汚れで減衰されることに起因したアニール結果物の品質低下を防止することができる。
筒状部12の側壁に、第2のガス供給口7が開口している。基板Wのレーザアニール処理中に、第2のガス導入口7から筒状部12にN2ガスが供給される。これにより、筒状部12から本体部11へ向うN2ガスの流れが形成される。このため、基板Wから生じた蒸散物質が筒状部12に侵入することを防止できる。この結果、窓2の汚れを抑制する効果を高めることができる。
ガス導出管8及びガス吸引管9が、チャンバ1に接続されている。本実施例では、ガス導出管8及びガス吸引管9はともに、本体部11の上壁11aを貫いて、本体部11内に挿入され、基板W表面の、窓2と対向する対向領域に向って延在している。具体的には、ガス導出管8の先端8a及びガス吸引管9の先端9aはともに、基板Wの表面における処理用レーザ光Lの入射領域(以下、入射領域という。)を向いている。基板Wのレーザアニール処理中に、ガス導出管8から基板W表面の入射領域にN2ガスが吹き付けられ、吹き付けられたガスがガス吸引管9によって吸引される。これにより、基板W表面の入射領域上に、ガス導出管8の先端8aからガス吸引管9の先端9aに至るガス流が形成される。
このため、基板Wから生じた蒸散物質をそのガス流によって捕獲し、ガス吸引管9を介してチャンバ1外に排出することができる。ガス導出管8が基板Wの表面にガスを吹き付けるので、蒸散物質の発生源となる入射領域の直上にガス流を形成することができる。このため、基板Wから生じた蒸散物質を、それがチャンバ1内で蔓延する前に、チャンバ1外に排出することができる。従って、窓2のみならず、チャンバ1の内壁等の汚染も抑制できる。この結果、チャンバ1のクリーニング作業の間隔をのばすことができ、クリーニング作業に起因する装置の実稼働率の低下を防止できる。また、蒸散物質が基板W表面に再付着すること等も防止でき、アニール結果物の品質低下を防止できる。
基板Wのレーザアニール処理中において、ガス吸引管9によって吸引されるガスの吸引量は、ガス導出管8から導出されるガスの導出量よりも多い。これにより、ガス導出管8から吹き付けられたガスによって運ばる蒸散物質をガス吸引管9で吸引する際に、蒸散物質の吸引漏れが生じるのを防止することができる。このため、蒸散物質の除去効果を高めることができる。
ガス流量制御装置10が、基板Wのレーザアニール処理中において、第1のガス供給口5、第2のガス供給口7、及びガス導出管8からのガスの総供給量と、ガス排気口6及びガス吸引管9からのガスの総排気量とが一致するように、各々のガス供給量及びガス排気量を制御する。これにより、ガス吸引管9によるガス吸引量をガス導出管8からのガス導出量より多くしたにも拘わらず、チャンバ1内の圧力を一定に保った状態で、基板Wのレーザアニール処理を行うことができる。
ガス温度制御装置11が、第1のガス供給口5、第2のガス供給口7、及びガス導出管8から供給されるN2ガスを予め冷却する。これにより、チャンバ1内の温度上昇を抑えることができるため窓2の過熱を防止することができ、窓2の熱変形や熱レンズ効果等に起因したアニール結果物の品質の低下を防止することができる。また、ガス温度制御装置11は、基板Wの温度が一定に保たれるようにN2ガスの温度を制御することができる。このため、基板Wの熱膨張に起因して処理用レーザ光Lの入射位置が目標位置からずれてしまうことを防止でき、アニール結果物の品質の低下を防止できる。
以上、実施例について説明したが、本発明はこれに限られない。例えば、ガス導出管8から供給されるガスは、N2ガス等の不活性ガスに限られず、不活性ガスと酸素ガスとの混合ガス等であってもよい。また、ガス導出管8及びガス吸引管9は、必ずしもチャンバ1の内部に挿入されていなくてもよい。即ち、ガス導出管8及びガス吸引管9の先端がチャンバ1の内壁の位置に開口した構成としてもよい。また、基板Wの温度上昇の抑制のみを目的とする場合は、ガス吸引管9を省略してもよい。この場合は、ガス吸引管9の位置に、ガス導出管8と同様の他のガス導出管を配置してもよい。この他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
1…チャンバ(容器)、11…本体部、11a…上壁、11b…下壁、11c…側壁、12…筒状部、2…窓、3…保持台、4…エキシマレーザ出射装置(レーザ出射装置)、5…第1のガス供給口、6…ガス排気口、7…第2のガス供給口、8…ガス導出管、9…ガス吸引管、10…ガス流量制御装置、11…ガス温度制御装置、W…基板(被照射物)、L…処理用レーザ光。
Claims (8)
- 壁の一部が処理用レーザ光を透過させる窓で構成され、気密構造を有する容器と、
前記容器の内部で前記窓と対向する位置に被照射物を保持する保持台と、
前記容器の外部に配置され、前記窓を通して前記保持台によって保持された被照射物に前記処理用レーザ光を入射させるレーザ出射装置と、
前記容器に接続され、前記被照射物の表面における前記窓と対向する対向領域にガスを吹き付けるガス導出管と、
前記容器に接続され、前記ガス導出管によって前記対向領域に吹き付けられたガスを吸引するガス吸引管と
を備えたレーザ照射装置。 - 前記ガス吸引管によって吸引されるガスの吸引量が、前記ガス導出管から導出されるガスの導出量よりも多い請求項1に記載のレーザ照射装置。
- さらに、
前記容器に形成され、該容器内にガスを供給する第1のガス供給口と、
前記容器内の圧力が一定に保たれるように、前記第1のガス供給口から供給されるガスの供給量を制御する制御装置と
を備えた請求項2に記載のレーザ照射装置。 - 前記容器が、前記被照射物及び前記保持台を収容する本体部と、該本体部から前記処理用レーザ光の伝搬経路を内包するように前記レーザ出射装置に向って隆起した筒状部とを有し、
前記窓が、前記筒状部の頂部側の開口を閉塞している請求項1〜3のいずれかに記載のレーザ照射装置。 - さらに、前記筒状部に形成され、該筒状部内にガスを供給する第2のガス供給口を備えた請求項4に記載のレーザ照射装置。
- さらに、前記ガス導出管から導出されるガスの温度を制御するガス温度制御装置を備えた請求項1〜5のいずれかに記載のレーザ照射装置。
- (a)壁の一部が処理用レーザ光を透過させる窓で構成され、気密構造を有する容器内に、前記窓と対向するように被照射物を配置する工程と、
(b)前記被照射物の表面における前記窓と対向する対向領域にガスを吹き付け、かつ該対向領域に吹き付けられたガスを吸引しながら、前記窓を通して前記被照射物に前記処理用レーザ光を入射させる工程と
を有するレーザ照射方法。 - 前記工程(b)では、前記対向領域に吹き付けられたガスを吸引するためのガス吸引量を、前記対向領域に吹き付けるガスの吹き付け量よりも多く設定する請求項7に記載のレーザ照射方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005065345A JP2006253285A (ja) | 2005-03-09 | 2005-03-09 | レーザ照射装置及びレーザ照射方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005065345A JP2006253285A (ja) | 2005-03-09 | 2005-03-09 | レーザ照射装置及びレーザ照射方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006253285A true JP2006253285A (ja) | 2006-09-21 |
Family
ID=37093468
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005065345A Pending JP2006253285A (ja) | 2005-03-09 | 2005-03-09 | レーザ照射装置及びレーザ照射方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006253285A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010001727A1 (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-07 | 株式会社Ihi | レーザアニール装置 |
KR101438735B1 (ko) * | 2012-03-26 | 2014-09-17 | 주식회사 엘티에스 | 챔버가 구비되는 레이저 용접장치 |
WO2018074283A1 (ja) * | 2016-10-20 | 2018-04-26 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ処理装置およびレーザ処理方法 |
KR20200016093A (ko) * | 2018-08-06 | 2020-02-14 | 에이티아이 주식회사 | 레이저 가공장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04158998A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-06-02 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザー微細加工装置 |
WO1997028559A1 (fr) * | 1996-01-30 | 1997-08-07 | Seiko Epson Corporation | Dispositif permettant d'obtenir un corps d'une energie elevee, procede de formation d'un film cristallin, et procede de fabrication d'un composant electronique possedant un film fin |
JPH118205A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法およびレーザー光照射装置 |
JP2000021807A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非晶質薄膜の加熱処理装置およびその方法 |
-
2005
- 2005-03-09 JP JP2005065345A patent/JP2006253285A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04158998A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-06-02 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザー微細加工装置 |
WO1997028559A1 (fr) * | 1996-01-30 | 1997-08-07 | Seiko Epson Corporation | Dispositif permettant d'obtenir un corps d'une energie elevee, procede de formation d'un film cristallin, et procede de fabrication d'un composant electronique possedant un film fin |
JPH118205A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法およびレーザー光照射装置 |
JP2000021807A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 非晶質薄膜の加熱処理装置およびその方法 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010001727A1 (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-07 | 株式会社Ihi | レーザアニール装置 |
JP2010010526A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Ihi Corp | レーザアニール装置 |
CN102077322B (zh) * | 2008-06-30 | 2012-10-10 | 株式会社Ihi | 激光退火装置 |
US8575515B2 (en) | 2008-06-30 | 2013-11-05 | Ihi Corporation | Laser annealing apparatus |
EP2299478A4 (en) * | 2008-06-30 | 2017-03-01 | IHI Corporation | Laser annealing device |
KR101438735B1 (ko) * | 2012-03-26 | 2014-09-17 | 주식회사 엘티에스 | 챔버가 구비되는 레이저 용접장치 |
WO2018074283A1 (ja) * | 2016-10-20 | 2018-04-26 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ処理装置およびレーザ処理方法 |
JPWO2018074283A1 (ja) * | 2016-10-20 | 2019-08-22 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ処理装置およびレーザ処理方法 |
JP7105187B2 (ja) | 2016-10-20 | 2022-07-22 | Jswアクティナシステム株式会社 | レーザ処理装置およびレーザ処理方法 |
US11810799B2 (en) | 2016-10-20 | 2023-11-07 | Jsw Aktina System Co., Ltd. | Laser processing apparatus and laser processing method |
KR20200016093A (ko) * | 2018-08-06 | 2020-02-14 | 에이티아이 주식회사 | 레이저 가공장치 |
KR102108477B1 (ko) * | 2018-08-06 | 2020-05-08 | 에이티아이 주식회사 | 레이저 가공장치 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8524139B2 (en) | Gas-assisted laser ablation | |
US8449806B2 (en) | Laser processing apparatus | |
JP6647829B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP5540476B2 (ja) | レーザアニール装置 | |
US20180200838A1 (en) | Laser processing method | |
JP4368312B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP2008119698A (ja) | Co2レーザーでの基板への穴開け方法及び装置 | |
JP2006253285A (ja) | レーザ照射装置及びレーザ照射方法 | |
JP6355537B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
WO2020116502A1 (ja) | レーザ溶接装置 | |
JP4556618B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2009099917A (ja) | レーザーアニール装置 | |
JP2011125877A (ja) | レーザ加工方法及び装置 | |
JP2006294807A (ja) | ウエーハの分割方法 | |
JP6422372B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
KR20180097942A (ko) | 레이저 처리 장치 및 방법 | |
JP5083708B2 (ja) | レーザアニール装置 | |
JP2006147859A (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
JP4292389B2 (ja) | 異物除去方法及び異物除去装置 | |
JP2011125871A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2776218B2 (ja) | レーザcvd装置 | |
JP2005171272A (ja) | レーザcvd装置 | |
JP2006108271A (ja) | アモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための方法および装置 | |
JP4285210B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP7268665B2 (ja) | レーザ加工システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070411 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100528 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100601 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101026 |