JP4368312B2 - レーザ加工方法 - Google Patents
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Description
まず,図1〜図5に基づいて,第1の実施形態にかかるレーザ加工方法について説明する。
次に,図6および図7に基づいて,第2の実施形態にかかるレーザ加工方法について説明する。ここで,図6は,本実施形態にかかるレーザ加工装置の全体構成を示す斜視図である。また,図7は,本実施形態にかかるレーザ加工ヘッドの構成を示す断面図である。なお,第2の実施形態にかかるレーザ加工装置1は,上記第1の実施形態にかかるレーザ加工装置1と比して,ガス供給手段7およびレーザ加工ヘッド100の構成が異なる点で相違するのみであり,その他の機能構成は,上記第1の実施形態の場合と略同一であるので,その説明は省略する。
次に,上記第1および第2の実施形態にかかるレーザ加工方法について,レーザ加工後,レーザクリーニングによりデブリが好適に除去されることを確認するために,実験1および実験2を行った。以下に,実験1および実験2について説明する。
実験1では,第1の実施形態にかかるレーザ加工方法について検証した。図1に示すレーザ加工装置1を用いて,半導体ウェハ10の加工点に対して不活性ガスである六フッ化硫黄(SF6)ガスと酸素(O2)ガスとを混合したガスを加工点に供給しながら,被加工物10を切削した。ここで,不活性ガスとして六フッ化硫黄(SF6)を使用したのは,他の不活性ガスに比べて切削面に対するエッチング効果があり,切削効率の観点からも好適なためである。また,比較のため,六フッ化硫黄(SF6)ガスのみを加工点に供給した場合についても同様の実験を行った。
実験2では,第2の実施形態にかかるレーザ加工方法について検証した。本実験では,図6に示すレーザ加工装置1を用いて,半導体ウェハ10の切削を行った。レーザ加工装置1では,不活性ガスと酸素ガスとの混合ガスを供給したのに対し,本実験で使用するレーザ加工装置1では,半導体ウェハ10を大気中に置いた状態で,不活性ガスのみを供給した。
7 ガス供給手段
8 吸引装置
10 被加工物(半導体ウェハ)
71 不活性ガスボンベ装置
72 酸素ガスボンベ装置
73 供給管
90 切削溝
91 酸化膜
100 レーザ加工ヘッド
110 レーザ光出射部
112 鏡筒
114 集光レンズ
120 ノズル
122 胴体部
124 連結部
125 ノズル口
126 テーパ部
127 先端面
128 排出口
130 ガード部材
132 ガス溜り部
134 ガード部材の端面
138 ガス供給口
154 ガス充満用空間
921,923 デブリ
Claims (3)
- 被加工物の加工点に向けてレーザ光を照射し,前記加工点でアブレーション反応を起こさせることによって前記被加工物を切削し,前記加工点を移動させて前記被加工物に切削溝を形成するレーザ加工方法において:
前記被加工物の前記加工点付近に,不活性ガスと酸素ガスとを供給することによって,前記被加工物に切削溝を形成しながら,前記被加工物のレーザ入射面側の表面上において前記切削溝の両側に酸化膜を形成して,前記切削溝の形成により前記加工点から生じて飛散したデブリを前記酸化膜上に付着させた後,前記酸化膜を前記被加工物の表面から除去することを特徴とする,レーザ加工方法。 - 被加工物の加工点に向けてレーザ光を照射し,前記加工点でアブレーション反応を起こすことによって前記被加工物を切削し,前記加工点を移動させて前記被加工物に切削溝を形成するレーザ加工方法において:
前記被加工物が大気中に置かれた状態で前記加工点付近に不活性ガスを供給することによって,前記被加工物に切削溝を形成しながら,前記被加工物のレーザ入射面側の表面上において前記切削溝の両側に酸化膜を形成して,前記切削溝の形成により前記加工点から生じて飛散したデブリを前記酸化膜上に付着させさせた後,前記酸化膜を前記被加工物の表面から除去することを特徴とする,レーザ加工方法。 - 前記不活性ガスは,前記加工点に対して非対称の流れとなるように供給されることを特徴とする,請求項1または2のいずれかに記載のレーザ加工方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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