JP2006108271A - アモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 不活性ガスの消費量を低減化しつつも、シリコン化合物や酸素などの不純物による悪影響を受けることなく、基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜を優れた膜質のポリシリコン膜に変換するための方法および装置を提供すること。
【解決手段】 アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板の上方に、下面に微細なガス噴出孔が多数設けられているとともに、上面側から下面の下方に位置するアモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射するためのレーザ光導入部が設けられているシャワープレートを配置し、シャワープレートの下面のガス噴出孔から不活性ガスを噴出させてアモルファスシリコン膜の表面に吹き付け、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間の空間部分を不活性ガス雰囲気とした状態で、レーザ光導入部を介してレーザ光をアモルファスシリコン膜の表面に照射することでレーザアニールすることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板の上方に、下面に微細なガス噴出孔が多数設けられているとともに、上面側から下面の下方に位置するアモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射するためのレーザ光導入部が設けられているシャワープレートを配置し、シャワープレートの下面のガス噴出孔から不活性ガスを噴出させてアモルファスシリコン膜の表面に吹き付け、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間の空間部分を不活性ガス雰囲気とした状態で、レーザ光導入部を介してレーザ光をアモルファスシリコン膜の表面に照射することでレーザアニールすることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ポリシリコンTFT(ポリシリコン薄膜トランジスタ)を製造する際に基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための方法および装置に関する。
ポリシリコンTFTの製造工程において、基板(例えばガラス基板)の表面に形成したアモルファスシリコン膜にレーザ光を照射し、レーザアニールすることでアモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換することは周知の通りである。半導体膜としてのポリシリコン膜はアモルファスシリコン膜に比較して電界効果移動度が高いという利点を有する。
基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射し、レーザアニールする際、レーザ光の照射領域に酸素などの不純物が存在した場合、これらが膜中に取り込まれ、アモルファスシリコン膜から変換されるポリシリコン膜の結晶の大きさや表面粗さ、面方位の均等化などを図ることができず、その膜質に悪影響を及ぼすことがある。従って、このような問題を解消するための方法として、室内をガス置換できるチャンバーを用意し、チャンバー内をいったん真空排気した後に窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性ガスを導入することで、室内を不活性ガス雰囲気としてから、室内にアモルファスシリコン膜を表面に形成した基板を搬送し、アモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射してレーザアニールする方法が従来から採用されている。しかしながら、この方法では、基板が大型化すると、チャンバーも大型化しなければならないことから、製造面や費用面で支障を来たすことになる。そこで、例えば、特許文献1や特許文献2では、上記のようなチャンバーを用いることなく、大気圧中で、基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜の表面のレーザ光の照射領域に、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板の上方に配置したノズルから不活性ガスを噴出させてアモルファスシリコン膜の表面に吹き付けることで、レーザ光の照射領域から酸素などの不純物を排除しながらレーザ光を照射してレーザアニールする方法が提案されている。
特開2000−138180号公報
特開2002−118076号公報
基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射し、レーザアニールする際、レーザ光の照射領域に酸素などの不純物が存在した場合、これらが膜中に取り込まれ、アモルファスシリコン膜から変換されるポリシリコン膜の結晶の大きさや表面粗さ、面方位の均等化などを図ることができず、その膜質に悪影響を及ぼすことがある。従って、このような問題を解消するための方法として、室内をガス置換できるチャンバーを用意し、チャンバー内をいったん真空排気した後に窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性ガスを導入することで、室内を不活性ガス雰囲気としてから、室内にアモルファスシリコン膜を表面に形成した基板を搬送し、アモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射してレーザアニールする方法が従来から採用されている。しかしながら、この方法では、基板が大型化すると、チャンバーも大型化しなければならないことから、製造面や費用面で支障を来たすことになる。そこで、例えば、特許文献1や特許文献2では、上記のようなチャンバーを用いることなく、大気圧中で、基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜の表面のレーザ光の照射領域に、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板の上方に配置したノズルから不活性ガスを噴出させてアモルファスシリコン膜の表面に吹き付けることで、レーザ光の照射領域から酸素などの不純物を排除しながらレーザ光を照射してレーザアニールする方法が提案されている。
しかしながら、特許文献1や特許文献2で提案されている方法では、大量の不活性ガスを必要とするにもかかわらず、アモルファスシリコン膜の表面のレーザ光の照射領域を、強制的に不活性ガス雰囲気とすることができないことから、レーザ光の照射領域からの酸素などの不純物の排除を必ずしも十分に行うことができない。また、アモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射することで発生するシリコン化合物や酸素などの不純物の排除も必ずしも十分に行うことができない。その結果、残存するこれらの不純物が、アモルファスシリコン膜から変換されるポリシリコン膜の膜質に悪影響を及ぼすという問題がある。
そこで本発明は、不活性ガスの消費量を低減化しつつも、シリコン化合物や酸素などの不純物による悪影響を受けることなく、基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜を優れた膜質のポリシリコン膜に変換するための方法および装置を提供することを目的とする。
そこで本発明は、不活性ガスの消費量を低減化しつつも、シリコン化合物や酸素などの不純物による悪影響を受けることなく、基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜を優れた膜質のポリシリコン膜に変換するための方法および装置を提供することを目的とする。
上記の点に鑑みてなされた本発明の基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための方法は、請求項1記載の通り、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板の上方に、下面に微細なガス噴出孔が多数設けられているとともに、上面側から下面の下方に位置するアモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射するためのレーザ光導入部が設けられているシャワープレートを配置し、シャワープレートの下面のガス噴出孔から不活性ガスを噴出させてアモルファスシリコン膜の表面に吹き付け、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間の空間部分を不活性ガス雰囲気とした状態で、レーザ光導入部を介してレーザ光をアモルファスシリコン膜の表面に照射することでレーザアニールすることを特徴とする。
また、請求項2記載の方法は、請求項1記載の方法において、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間隔を20mm以下とすることを特徴とする。
また、請求項3記載の方法は、請求項1または2記載の方法において、シャワープレートの外周縁の少なくとも一部にガス吸引孔が多数設けられているガス吸引管を付設し、シャワープレートの下面からアモルファスシリコン膜の表面に吹き付けられた不活性ガスをガス吸引管によって吸引することで、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間の空間部分における不活性ガスを整流化することを特徴とする。
また、請求項4記載の方法は、請求項1乃至3のいずれかに記載の方法において、レーザ光導入部がシャワープレートの中心からオフセットした位置に設けられていることを特徴とする。
また、本発明の基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための装置は、請求項5記載の通り、処理ゾーンには、少なくとも、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板を載置するためのステージと、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板の上方に配置される、下面に微細なガス噴出孔が多数設けられているとともに、上面側から下面の下方に位置するアモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射するためのレーザ光導入部が設けられているシャワープレートを備え、シャワープレートの下面のガス噴出孔から不活性ガスを噴出させてアモルファスシリコン膜の表面に吹き付け、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間の空間部分を不活性ガス雰囲気とした状態で、レーザ光導入部を介してレーザ光をアモルファスシリコン膜の表面に照射することでレーザアニールすることを特徴とする。
また、請求項2記載の方法は、請求項1記載の方法において、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間隔を20mm以下とすることを特徴とする。
また、請求項3記載の方法は、請求項1または2記載の方法において、シャワープレートの外周縁の少なくとも一部にガス吸引孔が多数設けられているガス吸引管を付設し、シャワープレートの下面からアモルファスシリコン膜の表面に吹き付けられた不活性ガスをガス吸引管によって吸引することで、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間の空間部分における不活性ガスを整流化することを特徴とする。
また、請求項4記載の方法は、請求項1乃至3のいずれかに記載の方法において、レーザ光導入部がシャワープレートの中心からオフセットした位置に設けられていることを特徴とする。
また、本発明の基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための装置は、請求項5記載の通り、処理ゾーンには、少なくとも、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板を載置するためのステージと、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板の上方に配置される、下面に微細なガス噴出孔が多数設けられているとともに、上面側から下面の下方に位置するアモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射するためのレーザ光導入部が設けられているシャワープレートを備え、シャワープレートの下面のガス噴出孔から不活性ガスを噴出させてアモルファスシリコン膜の表面に吹き付け、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間の空間部分を不活性ガス雰囲気とした状態で、レーザ光導入部を介してレーザ光をアモルファスシリコン膜の表面に照射することでレーザアニールすることを特徴とする。
本発明によれば、不活性ガスの消費量を低減化しつつも、シリコン化合物や酸素などの不純物による悪影響を受けることなく、基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜を優れた膜質のポリシリコン膜に変換するための方法および装置が提供される。
以下、本発明の基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための方法および装置を、図面を参照しながら説明するが、本発明は以下の記載に限定して解釈されるものではない。
図1は、本発明の基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための方法を実施するために好適な装置の一実施形態の概略断面図である。図1に示した装置は、基本構成として、処理ゾーン(大気中での処理においてある程度の密閉性を持った囲いで仕切られた空間)には、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21を載置するためのステージ1と、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21の上方に、図略の高さ調節手段によって所定の間隔をもって配置される、下面に微細なガス噴出孔3が多数設けられているとともに、上面側から下面の下方に位置するアモルファスシリコン膜の表面にレーザ光22を照射するためのレーザ光導入部としての例えば石英でできたレーザ光導入窓4が設けられているシャワープレート2を備えるものである。そして、シャワープレート2の下面のガス噴出孔3から窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性ガスを矢示の如く噴出させてアモルファスシリコン膜の表面に吹き付け、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21とシャワープレート2の間の空間部分を不活性ガス雰囲気として酸素などの不純物の排除を十分に行った状態で、処理ゾーン外の図略のレーザ発振機から発振させ、折り返しミラー23によって処理ゾーン内のシャワープレート2のレーザ光導入窓4に導入したレーザ光22を、レーザ光導入窓4を介して矢示の如くアモルファスシリコン膜の表面に照射することでレーザアニールするようにしたものである。
シャワープレート2は、処理ゾーン内の所定位置に固定設置されており(高さ調節は図略の高さ調節手段によって自在)、レーザ光22の導入経路、即ち、処理ゾーン外の図略のレーザ発振機から発振させたレーザ光22を折り返しミラー23によって処理ゾーン内のシャワープレート2のレーザ光導入窓4に導入する経路も固定されている。従って、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21を載置するためのステージ1は、アモルファスシリコン膜の表面の所定領域にレーザ光22をレーザ光導入窓4を介して照射するために、XY駆動が可能なものである。なお、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21を載置するためのステージ1を、処理ゾーン内の所定位置に固定設置する場合、シャワープレート2をXY駆動が可能なものとし、レーザ光22の導入経路をシャワープレート2の駆動に対応して可変できるようにする。
シャワープレート2の下面のガス噴出孔3から噴出される不活性ガスは、ガスボンベ5からガス流量調整バルブ6とマスフローメータ7を介してガス供給管8を経てシャワープレート2に供給される。不活性ガスは、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21とシャワープレート2の間の空間部分を不活性ガス雰囲気とするに足る量だけ供給すればよい。従って、この方法によれば、特許文献1や特許文献2で提案されている方法に比較して、不活性ガスの消費量の低減化を図ることができる。なお、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21とシャワープレート2の間隔は、20mm以下とすることが望ましく、5mm〜10mmとすることがより望ましい。間隔が20mmよりも広いと不活性ガスの消費量の低減化を図ることが困難になる恐れがある。ガス噴出孔3の孔径は、直径0.1mm〜1mmとすることが望ましい。
シャワープレート2の外周縁の全周に亘ってガス吸引孔10が多数設けられているガス吸引管9を付設し、シャワープレート2の下面からアモルファスシリコン膜の表面に吹き付けられた不活性ガスをガス吸引管9によって吸引することで、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21とシャワープレート2の間の空間部分における不活性ガスを整流化すれば、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21とシャワープレート2の間の空間部分を効率よく不活性ガス雰囲気とすることができるので、酸素などの不純物の排除を短時間で十分に行うことができる。ガス吸引孔10の孔径は、直径1mm〜5mmとすることが望ましい。ガス吸引管9によって吸引された不活性ガスは、バルブ11aと排気調整バルブ12aおよび/またはバルブ11bと排気調整バルブ12bを経て減圧用ポンプ13によって排気される。なお、例えば、処理ゾーンの、レーザ光照射のための基板駆動方向に排気口を設け、処理ゾーン内を排気することができる構成にした場合、ガス吸引管9の付設を省略してもよい。
また、レーザ光導入窓4を、シャワープレート2の中心からオフセットした位置に設けた場合、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21とシャワープレート2の間の空間部分を効率よく不活性ガス雰囲気とすることができるので、酸素などの不純物の排除を短時間で十分に行うことができる。
また、処理ゾーン外に不活性ガスが流出しないように、その上部にブロアーと酸素濃度計を設置し、処理ゾーン外への不活性ガスの流出を防止かつ監視することが望ましい。
以下、図1に示した装置を用いて、基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための具体的手順の一例を、図1に示した装置の要部の概略平面図である図2を参照しながら説明する。
(1)まず、大気中のローディングアンローディングポジションのロボット(図略)にて、ローディングカセット(図略)からアモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21をピックアップし、処理ゾーン内に搬入してステージ1に載置する。レーザ光22を発振させるためのレーザ発振器(図略)は、常時稼動させておき、レーザ光照射開始前は、レーザ光導入窓4の上方に設置したシャッタ(図略)を閉じておくことで、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21にレーザ光22が照射されないようにしておく。
(2)アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21を載置したステージ1を、予め設定したX軸(レーザ光照射のための基板駆動方向)−Y軸(レーザ光照射位置の変更方向)の原点位置に移動させた後、さらに基板サイズに合わせたレーザ光照射開始位置に移動させるため、X軸−Y軸を修正する。減圧用ポンプ13を駆動させ、X軸の基板駆動方向の上流側のバルブと排気調整バルブ(図2においてX軸の基板駆動方向が右から左の場合はバルブ11aと排気調整バルブ12aを意味する)を開けるとともに、シャワープレート2の下面からアモルファスシリコン膜の表面に不活性ガスを吹き付ける。これにより、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21とシャワープレート2の間の空間部分における不活性ガスは、レーザ光照射のための基板駆動方向の上流側に向かって整流化され、この空間部分が不活性ガス雰囲気となる。不活性ガスの整流方向をこのように制御した状態で後の工程でレーザアニールするのは、アモルファスシリコン膜の表面にレーザ光12を照射することで発生するシリコン化合物や酸素などの不純物を、上流側に不活性ガスとともに排気することで、レーザ光を照射していないアモルファスシリコン膜の表面に不純物が付着することを防止するためである。また、この際、レーザ光導入窓4を、シャワープレート2の中心からオフセットした位置に設けた場合、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21とシャワープレート2の間の空間部分を効率よく不活性ガス雰囲気とすることができることで、酸素などの不純物の排除を短時間で十分に行うことができる(例えばレーザ光導入窓をシャワープレートの中心に設けた場合と比較してアモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間の空間部分の酸素分圧を所定の数値にまで到達させるために必要な時間を1/2以下に短縮することも可能である)。
(3)アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21とシャワープレート2の間の空間部分を十分に不活性ガス雰囲気とした後、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21を載置したステージ1を、X軸の基板駆動方向(図2において右から左)に駆動させるとともに、レーザ光導入窓4の上方に設置したシャッタ(図略)を開け、レーザ光導入窓4を介してレーザ光22をアモルファスシリコン膜の表面に照射することで1回目のレーザアニールを開始する。
(4)X軸の基板駆動方向の照射が終了となった時点で、レーザ光導入窓4の上方に設置したシャッタ(図略)を閉じ、Y軸のレーザ光照射位置を変更するために、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21を載置したステージ1を、レーザ光導入窓4のY軸方向の長さ分(レーザ光22の照射幅分)だけ移動させる。バルブ11aと排気調整バルブ12aを閉じた後、今度はX軸の基板駆動方向(図2において左から右)の上流側のバルブ11bと排気調整バルブ12bを開けるとともに、シャワープレート2の下面からアモルファスシリコン膜の表面に不活性ガスを吹き付ける。これにより、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21とシャワープレート2の間の空間部分を不活性ガス雰囲気とする。
(5)アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21とシャワープレート2の間の空間部分を十分に不活性ガス雰囲気とした後、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21を載置したステージ1を、X軸の基板駆動方向(図2において左から右)に駆動させるとともに、レーザ光導入窓4の上方に設置したシャッタ(図略)を開け、レーザ光導入窓4を介してレーザ光22をアモルファスシリコン膜の表面に照射することで2回目のレーザアニールを開始する。
(6)以上のようにして、X軸の基板駆動方向におけるレーザ光照射とY軸のレーザ光照射位置の変更を繰り返し行い、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板21の当該アモルファスシリコン膜の全体をポリシリコン膜に変換した後、レーザ光導入窓4の上方に設置したシャッタ(図略)を閉じ、表面に形成したアモルファスシリコン膜がポリシリコン膜に変換された基板を、処理ゾーン内から搬出できる位置にまでステージ1を移動させ、大気中のローディングアンローディングポジションのロボット(図略)にてピックアップし、アンローディングカセット(図略)に回収する。
本発明は、不活性ガスの消費量を低減化しつつも、シリコン化合物や酸素などの不純物による悪影響を受けることなく、基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜を優れた膜質のポリシリコン膜に変換するための方法および装置を提供することができる点において産業上の利用可能性を有する。
1 ステージ
2 シャワープレート
3 ガス噴出孔
4 レーザ光導入窓
5 ガスボンベ
6 ガス流量調整バルブ
7 マスフローメータ
8 ガス供給管
9 ガス吸引管
10 ガス吸引孔
11a バルブ
11b バルブ
12a 排気調整バルブ
12b 排気調整バルブ
13 減圧用ポンプ
21 アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板
22 レーザ光
23 折り返しミラー
2 シャワープレート
3 ガス噴出孔
4 レーザ光導入窓
5 ガスボンベ
6 ガス流量調整バルブ
7 マスフローメータ
8 ガス供給管
9 ガス吸引管
10 ガス吸引孔
11a バルブ
11b バルブ
12a 排気調整バルブ
12b 排気調整バルブ
13 減圧用ポンプ
21 アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板
22 レーザ光
23 折り返しミラー
Claims (5)
- 基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための方法であって、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板の上方に、下面に微細なガス噴出孔が多数設けられているとともに、上面側から下面の下方に位置するアモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射するためのレーザ光導入部が設けられているシャワープレートを配置し、シャワープレートの下面のガス噴出孔から不活性ガスを噴出させてアモルファスシリコン膜の表面に吹き付け、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間の空間部分を不活性ガス雰囲気とした状態で、レーザ光導入部を介してレーザ光をアモルファスシリコン膜の表面に照射することでレーザアニールすることを特徴とする方法。
- アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間隔を20mm以下とすることを特徴とする請求項1記載の方法。
- シャワープレートの外周縁の少なくとも一部にガス吸引孔が多数設けられているガス吸引管を付設し、シャワープレートの下面からアモルファスシリコン膜の表面に吹き付けられた不活性ガスをガス吸引管によって吸引することで、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間の空間部分における不活性ガスを整流化することを特徴とする請求項1または2記載の方法。
- レーザ光導入部がシャワープレートの中心からオフセットした位置に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の方法。
- 基板の表面に形成したアモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための装置であって、処理ゾーンには、少なくとも、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板を載置するためのステージと、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板の上方に配置される、下面に微細なガス噴出孔が多数設けられているとともに、上面側から下面の下方に位置するアモルファスシリコン膜の表面にレーザ光を照射するためのレーザ光導入部が設けられているシャワープレートを備え、シャワープレートの下面のガス噴出孔から不活性ガスを噴出させてアモルファスシリコン膜の表面に吹き付け、アモルファスシリコン膜を表面に形成した基板とシャワープレートの間の空間部分を不活性ガス雰囲気とした状態で、レーザ光導入部を介してレーザ光をアモルファスシリコン膜の表面に照射することでレーザアニールすることを特徴とする装置。
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