JP2011149046A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011149046A JP2011149046A JP2010010481A JP2010010481A JP2011149046A JP 2011149046 A JP2011149046 A JP 2011149046A JP 2010010481 A JP2010010481 A JP 2010010481A JP 2010010481 A JP2010010481 A JP 2010010481A JP 2011149046 A JP2011149046 A JP 2011149046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- laser
- vicinity
- gas
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 112
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 26
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 57
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 16
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 11
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 10
- 230000008439 repair process Effects 0.000 abstract description 9
- 238000001182 laser chemical vapour deposition Methods 0.000 abstract description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 115
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 27
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 18
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/48—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating by irradiation, e.g. photolysis, radiolysis, particle radiation
- C23C16/483—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating by irradiation, e.g. photolysis, radiolysis, particle radiation using coherent light, UV to IR, e.g. lasers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4412—Details relating to the exhausts, e.g. pumps, filters, scrubbers, particle traps
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
- C23C16/4582—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs
- C23C16/4583—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs the substrate being supported substantially horizontally
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/52—Controlling or regulating the coating process
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】レーザCVD加工を行うレーザ加工装置101において、エアヒータ165は、ガスウインドウ161を介して、基板131に薄膜を形成する加工部分近傍を加熱するための熱風を加工部分近傍に送る。ガスウインドウ161は、ガス吸気排気ユニット164からの原料ガスを給排気することにより、加工部分近傍のCVD空間を原料ガス雰囲気に保つ。レーザユニット163は、レーザ照射観察ユニット162およびガスウインドウ161を介して、レーザパルスを加工部分に照射する。本発明は、例えば、レーザリペア装置に適用できる。
【選択図】図4
Description
1.実施の形態
2.変形例1
[レーザ加工装置の構成例]
図2は、本発明を適用したレーザ加工装置の一実施の形態の外観の構成例を示す斜視図である。
図4は、加工ユニット151の構成例を示すブロック図である。加工ユニット151は、ガスウインドウ161、レーザ照射観察ユニット162、レーザユニット163、ガス吸気排気ユニット164、エアヒータ165、およびエアヒータ制御ユニット166を含むように構成される。
次に、図5および図6を参照して、ガスウインドウ161の構成例について説明する。図5は、ガスウインドウ161を横から見た断面図であり、図6は、ガスウインドウ161の下面の平面図である。ガスウインドウ161は、円盤状のウインドウポート201および円盤状の窓202により構成される。
次に、図7のフローチャートを参照して、レーザ加工装置101により実行されるリペア処理について説明する。なお、このフローチャートは、基板131のある部分の加工が終了した後から、次の部分の加工が終了するまでの処理の流れを示している。
以上の説明では、エアヒータ165から所定の温度以上の熱風を供給する例を示した。しかし、上述したようにウインドウポート201が高い温度(65〜70℃)に設定されているので、エアヒータ165から周囲の温度と同じ風を供給し、ウインドウポート201の送風口201D−1乃至201D−3から吹き出すようにするだけで、送風口201D−1乃至201D−3からは熱風が吹き出されるようになる。そして、その熱風により基板131を加熱するようにすることも可能である。
112a乃至112d ガラス載物台
113a,113b レール部材
114 コラム
115 ヘッド
131 基板
151 加工ユニット
152 制御部
161 ガスウインドウ
162 レーザ照射観察ユニット
163 レーザユニット
164 ガス吸気排気ユニット
165 エアヒータ
166 エアヒータ制御ユニット
201 ウインドウポート
201A ガス導入空間部
201B−1,201B−2 パージガス導入口
201C 原料ガス導入口
201D−1乃至201D−3 送風口
201E,201F 排気口
211 CVD空間
212 ガスカーテンシールド部
Claims (6)
- 加工部分近傍を加熱するための熱風を送る送風手段と、
原料ガスを給排気することにより前記加工部分近傍を前記原料ガス雰囲気に保つ供給手段と、
前記加工部分にレーザ光を照射する照射手段と、
前記送風手段、前記供給手段、および、前記照射手段を制御する制御手段と
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記制御手段は、前記送風手段により前記加工部分近傍を所定の時間加熱した後、前記供給手段により前記原料ガス雰囲気を生成し、前記照射手段により前記加工部分にレーザ光を照射するように制御する
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記送風手段からの熱風と前記供給手段からの前記原料ガスとは、異なる位置から前記加工部分近傍に供給される
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 送風手段と、
原料ガスに含まれる原料物質が再結晶を開始する温度より高い温度に設定されるとともに、前記送風手段からの風を加工部分近傍に送り、前記原料ガスを給排気することにより前記加工部分近傍を前記原料ガス雰囲気に保つ供給手段と、
前記加工部分にレーザ光を照射する照射手段と、
前記送風手段、前記供給手段、および、前記照射手段を制御する制御手段と
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記制御手段は、前記送風手段および前記供給手段により前記加工部分近傍に所定の時間送風した後、前記供給手段により前記原料ガス雰囲気を生成し、前記照射手段により前記加工部分にレーザ光を照射するように制御する
ことを特徴とする請求項4に記載のレーザ加工装置。 - 前記送風手段は、前記加工部分近傍を加熱するための熱風を送る
ことを特徴とする請求項4に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010010481A JP5476519B2 (ja) | 2010-01-20 | 2010-01-20 | レーザ加工装置 |
TW100101923A TWI421142B (zh) | 2010-01-20 | 2011-01-19 | 雷射加工裝置 |
KR1020110005304A KR101302903B1 (ko) | 2010-01-20 | 2011-01-19 | 레이저 가공 장치 |
CN201110022015.4A CN102191486B (zh) | 2010-01-20 | 2011-01-20 | 激光加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010010481A JP5476519B2 (ja) | 2010-01-20 | 2010-01-20 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011149046A true JP2011149046A (ja) | 2011-08-04 |
JP5476519B2 JP5476519B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=44536294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010010481A Active JP5476519B2 (ja) | 2010-01-20 | 2010-01-20 | レーザ加工装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5476519B2 (ja) |
KR (1) | KR101302903B1 (ja) |
CN (1) | CN102191486B (ja) |
TW (1) | TWI421142B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013181182A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-12 | Omron Corp | レーザ加工装置 |
JP2017110286A (ja) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | チャム エンジニアリング カンパニー リミテッド | 蒸着装置及び蒸着方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103014672B (zh) * | 2012-12-21 | 2015-11-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 镀膜方法及装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1161413A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-03-05 | Nec Corp | レーザcvd装置及び方法 |
JP2001207267A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-07-31 | Nec Corp | レーザリペア方法および装置 |
JP2010001560A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-01-07 | Philtech Inc | 膜形成方法および膜形成装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2658431B2 (ja) * | 1989-10-04 | 1997-09-30 | 日本電気株式会社 | レーザcvd装置 |
JP3036687B2 (ja) * | 1997-05-23 | 2000-04-24 | 日本電気株式会社 | レーザcvd装置 |
JP4018841B2 (ja) * | 1999-04-30 | 2007-12-05 | 日本パイオニクス株式会社 | 気化器及び気化供給方法 |
JP4334308B2 (ja) * | 2003-09-24 | 2009-09-30 | オムロンレーザーフロント株式会社 | 配線修正装置 |
JP2005105381A (ja) * | 2003-10-01 | 2005-04-21 | Hitachi Ltd | 電子線応用装置 |
JP2006049384A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Laserfront Technologies Inc | ガントリー型xyステージ |
-
2010
- 2010-01-20 JP JP2010010481A patent/JP5476519B2/ja active Active
-
2011
- 2011-01-19 TW TW100101923A patent/TWI421142B/zh active
- 2011-01-19 KR KR1020110005304A patent/KR101302903B1/ko active IP Right Grant
- 2011-01-20 CN CN201110022015.4A patent/CN102191486B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1161413A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-03-05 | Nec Corp | レーザcvd装置及び方法 |
JP2001207267A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-07-31 | Nec Corp | レーザリペア方法および装置 |
JP2010001560A (ja) * | 2008-11-04 | 2010-01-07 | Philtech Inc | 膜形成方法および膜形成装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013181182A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-12 | Omron Corp | レーザ加工装置 |
JP2017110286A (ja) * | 2015-12-14 | 2017-06-22 | チャム エンジニアリング カンパニー リミテッド | 蒸着装置及び蒸着方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102191486B (zh) | 2014-04-30 |
KR20110085923A (ko) | 2011-07-27 |
CN102191486A (zh) | 2011-09-21 |
TWI421142B (zh) | 2014-01-01 |
JP5476519B2 (ja) | 2014-04-23 |
KR101302903B1 (ko) | 2013-09-06 |
TW201132441A (en) | 2011-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5994090B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
WO2011037167A1 (ja) | 脆性ワークの切断方法及び切断装置 | |
JP5476519B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2002131888A (ja) | パターン修正方法及びパターン修正装置 | |
KR101442952B1 (ko) | 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 | |
KR101363905B1 (ko) | 포토마스크 수정 방법 및 레이저 가공 장치 | |
CN107154368B (zh) | 准分子激光退火装置用基板支撑模块 | |
JP4556618B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP3525841B2 (ja) | レーザリペア方法および装置 | |
JP2014019937A (ja) | レーザ加工装置 | |
TWI491574B (zh) | 脆性工件之切斷方法及切斷裝置 | |
KR101820098B1 (ko) | 증착 장치 및 증착 방법 | |
JP2006263805A (ja) | レーザエッチング装置 | |
JP2006253285A (ja) | レーザ照射装置及びレーザ照射方法 | |
TWI735692B (zh) | 臭氧處理裝置及臭氧處理方法 | |
JP2006108271A (ja) | アモルファスシリコン膜をポリシリコン膜に変換するための方法および装置 | |
JP2004139126A (ja) | レーザリペア方法および装置 | |
JP4285210B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
TW201830358A (zh) | 配線修正裝置及配線修正方法 | |
JP2016219656A (ja) | 光処理装置および光処理方法 | |
WO2016125433A1 (ja) | 光処理装置および光処理方法 | |
TW202236555A (zh) | 紫外線固化元件、基底處理設備以及基底處理方法 | |
JP2005144527A (ja) | レーザ加工物の製造方法およびレーザ加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130723 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130913 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20130918 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130918 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131105 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20131121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20131121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131226 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5476519 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |