KR20170080582A

KR20170080582A - 펠리클용 지지 프레임 및 제조 방법

Info

Publication number: KR20170080582A
Application number: KR1020177011500A
Authority: KR
Inventors: 노부유키 이시토
Original assignee: 니폰게이긴조쿠가부시키가이샤
Priority date: 2014-11-04
Filing date: 2015-09-09
Publication date: 2017-07-10
Also published as: EP3217221B1; EP3217221A4; WO2016072149A1; JP2016090784A; US10642151B2; CN107077062B; TWI658322B; JP6274079B2; TW201617731A; CN107077062A; US20170343894A1; KR102389124B1; EP3217221A1

Abstract

펠리클용 지지 프레임(1A)은 알루미늄 합금제의 프레임체(10)를 구비하고, 프레임체(10)의 표면(10a)에 펠리클막이 접착되고, 프레임체(10)의 이면에 투명 기판이 접착된다. 프레임체(10)의 내부에는, 복수의 중공부(51 내지 53)가 프레임체(10)의 주위 방향으로 병설되어 있고, 인접하는 두개의 중공부(51 내지 53)의 사이에, 프레임체(10)의 외주면(10c)으로부터 내주면(10d)에 이르는 관통 구멍(20)이 형성되어 있다. 이 구성으로는, 지지 프레임(1A)을 투명 기판에 접착한 후에, 지지 프레임(1A) 및 투명 기판에 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

Description

펠리클용 지지 프레임 및 제조 방법{PELLICLE SUPPORT FRAME AND PRODUCTION METHOD}

본 발명은 펠리클용 지지 프레임 및 제조 방법에 관한 것이다.

집적 회로의 제조 공정 중에는, 포토마스크나 레티클이라 불리는 투명 기판에 그려진 회로 패턴을, 웨이퍼 상에 도포한 레지스트에 전사하는 포토리소그래피 공정이 포함되어 있다.

상기한 포토리소그래피 공정에 있어서, 투명 기판에 먼지 등의 이물이 부착되어 있으면, 레지스트에 전사되는 회로 패턴이 불선명해지는 점에서, 투명 기판에는, 펠리클이라 불리는 방진 커버가 씌워져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 또는 특허문헌 2 참조).

펠리클은, 투명 기판에 그려진 회로 패턴의 전체를 둘러싸는 지지 프레임과, 이 지지 프레임의 표면에 피복 형성된 투광성의 펠리클막을 구비하고 있다. 지지 프레임의 이면은 투명 기판에 접착된다.

일본 특허 공개 제2009-025562호 공보 일본 특허 공개 평9-068793호 공보

상기한 지지 프레임은, 단체의 상태로 표리 방향으로 변형되어 있는 경우가 있지만, 평탄한 투명 기판에 접착할 때, 투명 기판에 압박되기 때문에, 지지 프레임은 평탄한 상태로 투명 기판에 접착된다. 그러나, 지지 프레임에는 원래의 변형된 형상으로 복귀되려고 하는 복원력이 발생하므로, 복원력이 큰 경우에는, 지지 프레임의 변형에 따라서 투명 기판에도 변형이 발생해 버린다.

그리고, 투명 기판에 변형이 발생하면, 투명 기판의 회로 패턴을 웨이퍼 상의 레지스트에 전사할 때, 회로 패턴이 정규의 위치로부터 어긋나 버린다는 문제가 있다.

본 발명은 상기한 문제를 해결하고, 지지 프레임을 투명 기판에 접착한 후에 지지 프레임 및 투명 기판에 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있는 펠리클용 지지 프레임 및 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 펠리클용 지지 프레임은, 알루미늄 합금제의 프레임체를 구비하고, 상기 프레임체의 표면에 펠리클막이 접착되고, 상기 프레임체의 이면에 투명 기판이 접착된다. 상기 프레임체의 내부에는, 복수의 중공부가 상기 프레임체의 주위 방향으로 병설되어 있고, 인접하는 두개의 상기 중공부의 사이에, 상기 프레임체의 외주면으로부터 내주면에 이르는 관통 구멍이 형성되어 있다.

지지 프레임에 중공부를 형성하면, 지지 프레임의 강성이 작아진다. 이에 의해, 지지 프레임을 평탄한 투명 기판에 접착한 후에 지지 프레임이 원래의 변형된 형상으로 복귀되려고 하는 복원력이 작아지기 때문에, 지지 프레임을 투명 기판에 따라서 평탄한 형상으로 유지할 수 있다.

또한, 본 발명에서는, 지지 프레임의 중공부가 외부 공간으로 통하고 있지 않기 때문에, 중공부에 티끌이나 가공 시의 처리액 등의 이물이 들어가는 것을 방지할 수 있다.

또한, 프레임체에 관통 구멍이 형성되어 있기 때문에, 지지 프레임에 펠리클막 및 투명 기판에 접착한 후에, 진공 중에 있어서 지지 프레임의 내부 공간과 외부 공간에 압력차가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

상기한 펠리클용 지지 프레임에 있어서, 두개의 프레임 부재를 접합하여 상기 프레임체를 형성해도 된다. 이 경우에는, 상기 양쪽 프레임 부재의 접합면의 적어도 한쪽에 복수의 오목 홈을 주위 방향으로 병설시키고, 상기 오목 홈에 의해 상기 중공부를 형성하면 된다. 이렇게 하면, 중공 구조의 지지 프레임을 용이하게 제조할 수 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 알루미늄 합금제의 두개의 프레임 부재로 이루어지는 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법이다. 본 발명은 상기 양쪽 프레임 부재의 접합면의 적어도 한쪽에 오목 홈을 형성하는 단계와, 상기 양쪽 프레임 부재의 접합면끼리를 접합하고, 상기 오목 홈에 의해 중공부를 형성하는 단계를 구비하고 있다.

상기한 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법에 있어서, 상기 양쪽 프레임 부재를 고상 접합했을 경우에는, 두개의 프레임 부재를 고정밀도로 접합함과 함께, 지지 프레임의 강도 저하를 방지할 수 있다.

또한, 고상 접합으로서는, 확산 접합, 집속 이온빔(Focused Ion Beam)을 사용한 증착, 마찰 교반 접합(Friction Stir Welding) 등의 접합 방법을 사용할 수 있다.

상기한 제조 방법에 의해, 지지 프레임에 중공부를 형성하면, 지지 프레임의 강성이 작아진다. 이에 의해, 지지 프레임을 평탄한 투명 기판에 접착한 후에 지지 프레임이 원래의 변형된 형상으로 복귀되려고 하는 복원력이 작아지기 때문에, 지지 프레임을 투명 기판에 따라서 평탄한 형상으로 유지할 수 있다.

또한, 본 발명의 제조 방법에 의해 형성된 지지 프레임은, 중공부가 외부 공간에 통하고 있지 않기 때문에, 중공부에 티끌이나 가공 시의 처리액 등의 이물이 들어가는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 제조 방법에 의하면, 중공 구조의 지지 프레임을 용이하게 제조할 수 있다.

본 발명의 펠리클용 지지 프레임 및 제조 방법에 의하면, 지지 프레임의 강성을 작게 할 수 있으므로, 지지 프레임을 평탄한 투명 기판에 접착한 후에, 지지 프레임이 원래의 변형된 형상으로 복귀되려고 하는 복원력이 작아진다. 즉, 본 발명에 따르면, 지지 프레임 및 투명 기판을 평탄한 상태로 유지할 수 있기 때문에, 투명 기판의 회로 패턴을 웨이퍼 상의 레지스트에 고정밀도로 전사할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태의 펠리클 및 투명 기판을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태의 펠리클 및 투명 기판을 도시한 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 모식적인 평면도이다.
도 4의 (a)는 본 발명의 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 모식적인 측면도, (b)는 A-A 단면도, (c)는 B-B 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태의 두개의 프레임 부재를 도시한 도면이며, (a)는 두개의 프레임 부재를 접합하기 전의 상태의 측단면도, (b)는 두개의 프레임 부재를 접합한 상태의 측단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 형태의 제조 방법에 사용되는 평판을 도시한 평면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 도면이며, (a)는 내외의 프레임 부재를 갖는 구성의 측단면도, (b)는 이측의 프레임 부재에만 오목 홈을 형성한 구성의 측단면도이다.

본 발명의 실시 형태에 대해서, 적절히 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

또한, 본 실시 형태의 각 도면에서는, 지지 프레임의 구성을 이해하기 쉽게 설명하기 위해서, 지지 프레임의 각 부를 적절하게 모식적으로 도시하고 있다.

이하의 설명에 있어서, 전후 좌우 및 표리는, 지지 프레임을 이해하기 쉽게 설명하기 위해 설정한 것이며, 지지 프레임의 구성을 특정하는 것은 아니다.

본 실시 형태의 지지 프레임(1A)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 펠리클 P에 사용되는 것이다. 펠리클 P는, 투명 기판 M(포토마스크)의 표면 Ma에 티끌 등이 부착되는 것을 방지하기 위한 방진 커버이다.

펠리클 P는, 투명 기판 M에 그려진 회로 패턴(도시하지 않음)의 전체를 둘러싸는 지지 프레임(1A)과, 지지 프레임(1A)의 표면에 피복 형성된 펠리클막(2)을 구비하고 있다.

지지 프레임(1A)은, 평면에서 볼 때 직사각형의 프레임체(10)를 갖고 있다. 프레임체(10)는 전후 한 쌍의 가로 프레임부(11, 11)와, 좌우 한 쌍의 세로 프레임부(12, 12)에 의해 구성되어 있다.

양쪽 가로 프레임부(11, 11)는, 프레임체(10)의 긴 변이 되는 부분이며, 양쪽 세로 프레임부(12, 12)는, 프레임체(10)의 짧은 변이 되는 부분이다.

가로 프레임부(11) 및 세로 프레임부(12)의 축 단면은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 폭 치수보다도 높이 치수가 큰 직사각형으로 형성되어 있다.

펠리클막(2)은 도 1에 도시하는 바와 같이, 투광성을 갖는 얇은 막이며, 예를 들어 자외선의 투과성이 우수한 니트로셀룰로오스, 아세트산 셀룰로오스, 프로피온산 셀룰로오스 등의 셀룰로오스계 중합체나, 비정질 불소계 중합체 등을 사용하여 형성되어 있다.

펠리클막(2)은 평면에서 볼 때 직사각형으로 형성되어 있고, 지지 프레임(1A)의 외형과 같은 형상으로 되어 있다.

펠리클막(2)을 프레임체(10)의 표면(10a)에 중첩했을 때에는, 펠리클막(2)에 의해 프레임체(10)의 표면(10a) 전체가 덮인다.

프레임체(10)는 표측의 프레임 부재(30)와 이측의 프레임 부재(40)를 접합한 부재이다. 양쪽 프레임 부재(30, 40)는, 알루미늄 합금제의 압출재를 가공하여 얻어진 것이다.

양쪽 프레임 부재(30, 40)는 동일 형상의 부재이며, 양쪽 프레임 부재(30, 40)는 표리 역방향으로 배치되어 있다. 그리고, 표측의 프레임 부재(30)의 이면(30a)과 이측의 프레임 부재(40)의 표면(40a)이 접합되어 있다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 프레임체(10)에는, 관통 구멍(20)과, 복수의 중공부(51 내지 53)와, 복수의 지그 구멍(60)이 형성되어 있다.

관통 구멍(20)은 도 4의 (c)에 도시하는 바와 같이, 프레임체(10)의 외주면(10c)으로부터 내주면(10d)에 관통되어 있는 원통 형상의 구멍이다. 관통 구멍(20)은 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙에 배치되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 전방측의 가로 프레임부(11)의 좌우 방향의 중앙에 관통 구멍(20)이 형성되어 있지만, 관통 구멍(20)의 배치는 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 후방측의 가로 프레임부(11)나 좌우의 세로 프레임부(12, 12)에 형성해도 된다. 또한, 관통 구멍(20)의 수도 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 가로 프레임부(11)와 세로 프레임부(12)에 관통 구멍(20)을 하나씩 형성해도 되고, 또는, 전후의 가로 프레임부(11, 11)의 양쪽 또는 좌우의 세로 프레임부(12, 12)의 양쪽에 관통 구멍(20)을 형성해도 된다.

지그 구멍(60)은 프레임체(10)의 외주면(10c)에 형성된 바닥이 있는 원통상의 구멍이다. 지그 구멍(60)은 지지 프레임(1A)의 제조 시나 펠리클(도 1 참조)의 사용 시에 지그에 의해 지지 프레임(1A)을 보유 지지하기 위한 부위이다. 지그 구멍(60)에는 지그의 핀이 삽입된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 4의 (a)에 도시하는 바와 같이, 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙에 지그 구멍(60)이 배치되어 있지만, 지그 구멍(60)의 높이는 한정되는 것은 아니며, 사용하는 지그에 따라서 지그 구멍(60)의 높이가 설정된다.

지그 구멍(60)은 도 3에 도시하는 바와 같이, 전방측의 가로 프레임부(11)의 좌우 양단부의 가까이에 형성됨과 함께, 후방측의 가로 프레임부(11)의 좌우 양단부의 가까이에 형성되어 있다. 즉, 프레임체(10)의 전후의 가로 프레임부(11, 11)에는, 각각 좌우 두개의 지그 구멍(60)이 형성되어 있다.

프레임체(10)의 내부에는, 12개의 중공부(51 내지 53)가 프레임체(10)의 주위 방향으로 병설되어 있다. 각 중공부(51 내지 53)는 축 단면이 직사각형인 밀폐 공간이다(도 4의 (b) 참조).

전방측의 가로 프레임부(11)에는, 좌우 두개의 제1 중공부(51, 51)와, 좌우 두개의 제2 중공부(52, 52)가 형성되어 있다. 제1 중공부(51) 및 제2 중공부(52)는 모두 가로 프레임부(11)의 긴 방향(도 3의 좌우 방향)으로 직선상으로 연장되어 있다.

좌우의 제1 중공부(51, 51)는, 전방측의 가로 프레임부(11)의 긴 방향의 중앙을 사이에 두고 배치되어 있다.

제1 중공부(51)의 축 단면은, 도 4의 (b)에 도시하는 바와 같이, 폭 치수보다도 높이 치수가 큰 직사각형으로 형성되어 있다. 제1 중공부(51)는 가로 프레임부(11)의 짧은 방향(도 3의 전후 방향)의 중앙 또한 표리 방향의 중앙에 배치되어 있다.

또한, 가로 프레임부(11)에 있어서 제1 중공부(51)를 둘러싸는 부위는, 표면부 및 이면부의 두께 t1보다도 좌벽부 및 우벽부의 두께 t2가 크게 형성되어 있다.

제1 중공부(51)의 표측의 절반은, 표측의 프레임 부재(30)의 이면(30a)에 형성된 오목 홈(31)에 의해 형성되어 있다. 또한, 제1 중공부(51)의 이측의 절반은, 이측의 프레임 부재(40)의 표면(40a)에 형성된 오목 홈(41)에 의해 형성되어 있다. 이와 같이, 양쪽 프레임 부재(30, 40)의 접합면에 형성된 오목 홈(31, 41)을 합침으로써, 제1 중공부(51)가 형성되어 있다.

좌우의 제2 중공부(52, 52)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 두개의 제1 중공부(51, 51)를 사이에 두고 좌우 양측에 배치되어 있다. 양쪽 제2 중공부(52, 52)는, 가로 프레임부(11)의 긴 방향의 양단부에 배치되어 있다. 제2 중공부(52)의 긴 방향의 길이는, 제1 중공부(51)의 긴 방향의 길이보다도 작게 형성되어 있다.

인접하는 제1 중공부(51)와 제2 중공부(52)의 사이에는, 지그 구멍(60)이 배치되어 있다(도 4의 (a) 참조).

제2 중공부(52)의 축 단면은, 제1 중공부(51)의 축 단면(도 4의 (b) 참조)과 동일 형상이다. 또한, 도 4의 (a)에 도시하는 바와 같이, 제2 중공부(52)는 제1 중공부(51)와 마찬가지로, 표리의 프레임 부재(30, 40)의 접합면에 형성된 오목 홈(31, 41)에 의해 형성되어 있다.

후방측의 가로 프레임부(11)에는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 전방측의 가로 프레임부(11)와 마찬가지로, 좌우 두개의 제1 중공부(51, 51)와, 좌우 두개의 제2 중공부(52, 52)가 형성되어 있다.

또한, 후방측의 가로 프레임부(11)에는, 인접하는 제1 중공부(51)와 제2 중공부(52)의 사이에 지그 구멍(60)이 배치되어 있다.

좌측의 세로 프레임부(12)에는, 전후 두개의 제3 중공부(53, 53)가 형성되어 있다. 제3 중공부(53)는 세로 프레임부(12)의 긴 방향(도 3의 전후 방향)으로 직선상으로 연장되어 있다.

전후의 제3 중공부(53, 53)는, 좌측의 세로 프레임부(12)의 긴 방향의 중앙을 사이에 두고 배치되어 있다.

제3 중공부(53)의 축 단면은, 제1 중공부(51)의 축 단면(도 4의 (b) 참조)과 동일 형상이다. 또한, 도 4의 (a)에 도시하는 바와 같이, 제3 중공부(53)는 제1 중공부(51)와 마찬가지로, 표리의 프레임 부재(30, 40)의 접합면에 형성된 오목 홈(31, 41)에 의해 형성되어 있다.

우측의 세로 프레임부(12)에는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 좌측의 세로 프레임부(12)와 마찬가지로, 전후 두개의 제3 중공부(53, 53)가 형성되어 있다.

이어서, 상기한 지지 프레임(1A)의 제조 방법에 대하여 설명한다.

먼저, 각통상의 알루미늄 합금제의 압출재를 축 방향에 직교하는 방향으로 절단하고, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 두개의 프레임 부재(30, 40)를 준비한다.

계속해서, 표측의 프레임 부재(30)의 이면(30a)에 오목 홈(31)을 형성함과 함께, 이측의 프레임 부재(40)의 표면(40a)에 오목 홈(41)을 형성한다.

도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이, 표측의 프레임 부재(30)와 이측의 프레임 부재(40)를 표리에 중첩한다. 즉, 표측의 프레임 부재(30)의 오목 홈(31)과 이측의 프레임 부재(40)의 오목 홈(41)이 마주보도록 양쪽 프레임 부재(30, 40)를 중첩한다.

그 후, 표측의 프레임 부재(30)의 이면(30a)과 이측의 프레임 부재(40)의 표면(40a)을 접합한다. 이에 의해, 두개의 프레임 부재(30, 40)로 이루어지는 프레임체(10)가 형성된다.

본 실시 형태에서는, 양쪽 프레임 부재(30, 40)의 접합면끼리를 고상 접합하고 있다. 고상 접합으로서는, 확산 접합, 집속 이온빔(Focused Ion Beam)을 사용한 증착, 마찰 교반 접합(Friction Stir Welding) 등의 접합 방법을 사용할 수 있다.

양쪽 프레임 부재(30, 40)를 접합함으로써, 양쪽 프레임 부재(30, 40)의 오목 홈(31, 41)이 중첩되고, 표리의 오목 홈(31, 41)에 의해 각 중공부(51 내지 53)(도 3 참조)가 형성된다.

계속해서, 도 3에 도시하는 바와 같이, 전방측의 가로 프레임부(11)에 있어서, 인접하는 제1 중공부(51, 51)의 사이에 관통 구멍(20)을 형성한다.

또한, 전후의 가로 프레임부(11, 11)에 있어서, 인접하는 제1 중공부(51)와 제2 중공부(52)의 사이에 지그 구멍(60)을 형성한다.

이에 의해, 도 4의 (a)에 도시하는 바와 같이, 표리 두개의 프레임 부재(30, 40)로 이루어지는 프레임체(10)를 구비한 지지 프레임(1A)이 형성된다.

또한, 양쪽 프레임 부재(30, 40)를 접합하기 전에, 양쪽 프레임 부재(30, 40)의 접합면에 관통 구멍(20) 및 지그 구멍(60)을 형성해도 된다.

이어서, 도 2에 도시하는 바와 같이, 지지 프레임(1A)에 펠리클막(2) 및 투명 기판 M을 접착할 때에는, 먼저, 프레임체(10)의 표면(10a)에 아크릴 수지나 에폭시 수지 등의 접착제를 도포하고, 프레임체(10)의 표면(10a) 위에 접착층(4a)을 형성한다.

그리고, 표측의 접착층(4a)에 펠리클막(2)을 중첩함으로써, 펠리클막(2)이 접착층(4a)을 통해 프레임체(10)의 표면(10a)에 접착된다.

계속해서, 프레임체(10)의 이면(10b)에 폴리부텐 수지, 폴리아세트산 비닐 수지, 아크릴 수지 등의 점착층(4b)을 형성한다.

그리고, 이측의 점착층(4b)에 투명 기판 M의 표면 Ma를 중첩하고, 지지 프레임(1A)을 투명 기판 M에 압박함으로써, 지지 프레임(1A)이 점착층(4b)을 통해 투명 기판 M의 표면 Ma에 접착된다.

이상과 같은 지지 프레임(1A)에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 프레임체(10)에 복수의 중공부(51 내지 53)가 형성되어 있다. 이와 같이, 지지 프레임(1A)을 중공 구조로 하면, 프레임체(10)의 단면 2차 모멘트가 작아져, 지지 프레임(1A)의 강성이 작아진다.

이에 의해, 도 2에 도시하는 바와 같이, 지지 프레임(1A)을 평탄한 투명 기판 M에 접착한 후에, 지지 프레임(1A)이 원래의 변형된 형상으로 복귀되려고 하는 복원력이 작아지기 때문에, 지지 프레임(1A)을 투명 기판 M에 따라서 평탄한 형상으로 유지할 수 있다.

이와 같이, 지지 프레임(1A) 및 투명 기판 M을 평탄한 상태로 유지할 수 있기 때문에, 투명 기판 M의 회로 패턴을 웨이퍼 상의 레지스트에 고정밀도로 전사할 수 있다.

또한, 지지 프레임(1A)에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 각 중공부(51 내지 53)가 외부 공간으로 통하고 있지 않기 때문에, 각 중공부(51 내지 53)에 티끌이나 가공 시의 처리액 등의 이물이 들어가는 것을 방지할 수 있다.

또한, 지지 프레임(1A)에서는, 프레임체(10)에 관통 구멍(20)이 형성되어 있기 때문에, 지지 프레임(1A)에 펠리클막(2) 및 투명 기판 M(도 2 참조)을 접착한 후에, 진공 중에 있어서 지지 프레임(1A)의 내부 공간과 외부 공간에 압력차가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

본 실시 형태의 제조 방법에서는, 도 4의 (a)에 도시하는 바와 같이, 두개의 프레임 부재(30, 40)의 접합면끼리를 접합함으로써, 상기한 중공 구조의 지지 프레임(1A)을 용이하게 제조할 수 있다. 그리고, 양쪽 프레임 부재(30, 40)를 고상 접합함으로써, 양쪽 프레임 부재(30, 40)를 고정밀도로 접합함과 함께, 지지 프레임(1A)의 강도 저하를 방지할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정는 일 없이, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적시에 변경이 가능하다.

예를 들어, 본 실시 형태에서는, 각통상의 압출재로부터 프레임 부재(30, 40)(도 5의 (a) 참조)를 잘라내었지만, 도 6에 도시하는 바와 같이, 1매의 알루미늄 합금제의 평판(5)으로 프레임 부재(30, 40)를 형성해도 된다.

이 구성에서는, 2매의 평판(5, 5)을 센터 블랭킹 가공하여 두개의 프레임 부재(30, 40)를 형성하고, 양쪽 프레임 부재(30, 40)에 오목 홈(31, 41)을 형성한 후에, 양쪽 프레임 부재(30, 40)를 접합한다.

도 6에 도시하는 평판(5)의 대각선 상의 한 쌍의 코너부에는 위치 결정 구멍(70, 70)이 형성되어 있다. 두개의 프레임 부재(30, 40)를 접합할 때에는, 양쪽 프레임 부재(30, 40)의 위치 결정 구멍(70)을 합침으로써, 양쪽 프레임 부재(30, 40)를 고정밀도로 접합할 수 있다. 또한, 위치 결정 구멍(70)은 프레임체(10)의 외주부를 절삭 가공할 때, 절삭되는 부위에 형성되어 있다.

본 실시 형태에서는, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 두개의 프레임 부재(30, 40)를 고상 접합하고 있지만, 그 접합 방법은 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 양쪽 프레임 부재(30, 40)를 아크 용접이나 저항 용접 등의 용접 방법에 의해 접합해도 된다.

본 실시 형태에서는, 도 4의 (a)에 도시하는 바와 같이, 두개의 프레임 부재(30, 40)를 접합함으로써 중공 구조의 지지 프레임(1A)이 형성되어 있지만, 적층 조형법에 의한 물체의 조형이 가능한 3D 프린터 등의 장치에 의해, 알루미늄 합금제의 지지 프레임을 성형해도 된다. 이 구성에서는, 지지 프레임의 프레임체가 하나의 부재로서 구성된다.

본 실시 형태에서는, 표리의 프레임 부재(30, 40)가 접합되어 있지만, 도 7의 (a)에 도시하는 지지 프레임(1B)과 같이, 외측의 프레임 부재(45)의 내부에 내측의 프레임 부재(35)를 배치하고, 내측의 프레임 부재(35)의 외주면과 외측의 프레임 부재(45)의 내주면을 접합해도 된다. 이 구성에서는, 지지 프레임(1B)의 내주면 및 외주면에 접합부가 노출되지 않는 구조가 된다.

또한, 지지 프레임(1B)에서는, 내측의 프레임 부재(35)의 외주면에 오목 홈(31)을 형성함과 함께, 외측의 프레임 부재(45)의 내주면에 오목 홈(41)이 형성되어 있고, 내외의 프레임 부재(35, 45)의 오목 홈(31, 41)에 의해 중공부(50)가 형성되어 있다.

본 실시 형태에서는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 두개의 프레임 부재(30, 40)의 양쪽에 오목 홈(31, 41)이 형성되어 있지만, 도 7의 (b)에 도시하는 지지 프레임(1C)과 같이, 이측의 프레임 부재(40)의 표면(40a)에만 오목 홈(41)을 형성해도 된다.

이 구성에서는, 이측의 프레임 부재(40)의 오목 홈(41)이 표측의 프레임 부재(30)에 의해 막힘으로써 중공부(50)가 형성되어 있다.

또한, 표측의 프레임 부재(30)의 이면(30a)에만 오목 홈을 형성하고, 표측의 프레임 부재(30)의 오목 홈을 이측의 프레임 부재(40)에 의해 막음으로써 중공부(50)를 형성해도 된다.

본 실시 형태에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 프레임체(10)에 복수의 중공부(51 내지 53)가 형성되어 있지만, 그 수 및 배치는 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 프레임체(10)의 코너부에 굴곡된 중공부를 형성해도 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 4의 (b)에 도시하는 바와 같이, 각 중공부(51 내지 53)(도 3 참조)의 축 단면이 직사각형으로 형성되어 있지만, 그 형상은 한정되는 것은 아니다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 4의 (b)에 도시하는 바와 같이, 표측의 프레임 부재(30)의 축 단면과 이측의 프레임 부재(40)의 축 단면이 동일 형상으로 형성되어 있지만, 양쪽 프레임 부재(30, 40)의 축 단면의 높이가 상이해도 된다.

또한, 본 실시 형태의 프레임체(10)의 축 단면은 직사각형으로 형성되어 있지만, 그 형상은 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 프레임체(10)의 축 단면이 정사각형이어도 된다.

1A: 지지 프레임
2: 펠리클막
4a: 접착층
4b: 점착층
5: 평판
10: 프레임체
11: 가로 프레임부
12: 세로 프레임부
20: 관통 구멍
30: 표측의 프레임 부재
30a: 이면
31: 오목 홈
40: 이측의 프레임 부재
40a: 표면
41: 오목 홈
51: 제1 중공부
52: 제2 중공부
53: 제3 중공부
60: 지그 구멍
M: 투명 기판
P: 펠리클

Claims

알루미늄 합금제의 프레임체를 구비하고,
상기 프레임체의 표면에 펠리클막이 접착되고, 상기 프레임체의 이면에 투명 기판이 접착되는 펠리클용 지지 프레임이며,
상기 프레임체의 내부에는, 복수의 중공부가 상기 프레임체의 주위 방향으로 병설되어 있고,
인접하는 두개의 상기 중공부의 사이에, 상기 프레임체의 외주면으로부터 내주면에 이르는 관통 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
제1항에 있어서,
상기 프레임체는, 두개의 프레임 부재를 접합하여 형성되어 있고,
상기 양쪽 프레임 부재의 접합면의 적어도 한쪽에 복수의 오목 홈이 주위 방향으로 병설되고,
상기 오목 홈에 의해 상기 중공부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임.
알루미늄 합금제의 두개의 프레임 부재로 이루어지는 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법이며,
상기 양쪽 프레임 부재의 접합면의 적어도 한쪽에 오목 홈을 형성하는 단계와,
상기 양쪽 프레임 부재의 접합면끼리를 접합하고, 상기 오목 홈에 의해 중공부를 형성하는 단계
를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법.
제3항에 있어서,
상기 양쪽 프레임 부재를 고상 접합하는 것을 특징으로 하는 펠리클용 지지 프레임의 제조 방법.