JPH0968793A

JPH0968793A - ペリクル

Info

Publication number: JPH0968793A
Application number: JP24553095A
Authority: JP
Inventors: Yuichi Hamada; 裕一濱田
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 1995-08-30
Filing date: 1995-08-30
Publication date: 1997-03-11

Abstract

(57)【要約】【解決手段】ペリクルフレーム（２）の上端面にペリ
クル膜（３）を張設してなるペリクルにおいて、上記ペ
リクルフレーム（２）の内周面の上端側が下端側より内
方に突出していることを特徴とするペリクル。【効果】本発明のペリクルは、露光光源の光がペリク
ルフレームの内周面に照射され難いので、内周面に形成
される異物捕集用粘着剤層、更にはペリクルフレームの
下端面に形成される露光原版との貼着用粘着剤層の光劣
化が可及的に防止されるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特にはＬＳＩ、超
ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板を製造する
場合などに用いられ、とりわけ実質的に５００ｎｍ以下
の光を用いる露光方式で好適なペリクルに関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ＬＳ
Ｉ、超ＬＳＩ等の半導体装置あるいは液晶表示板等の製
造において、半導体ウェハーあるいは液晶表示板に露光
原版（マスク又はレチクル）を通して光を照射すること
によってパターニングを形成することが行われる。この
場合、露光原版にゴミが付着していると、ゴミが光を吸
収したり曲げてしまうため、パターニングの変形、エッ
ジのがさつき、基板の汚れ等が生じ、寸法、品質、外観
等が損なわれるという問題がある。このため、上述のよ
うなパターン形成作業は、クリーンルームで行われてい
るが、クリーンルーム内でも露光原版を常に清浄に保つ
ことは難しい。そこで、露光原版表面へのゴミの付着を
避け、露光光線を良く透過させるペリクルを露光原版に
貼着する方法が一般に採用されている。

【０００３】即ち、ペリクルは、ペリクルフレームの一
端面にペリクル膜を張設したものであるが、このように
露光原版にペリクルを貼着し、保護しておけば、ゴミは
露光原版の表面には直接付着せず、ペリクル膜上に付着
する。従って、リソグラフィー時に焦点を露光原版のパ
ターン上に合わせておけば、ペリクル膜上のゴミは転写
に無関係となる。

【０００４】このようなペリクルとしては、従来、例え
ばアルミニウム、ステンレス、プラスチック等の材質か
らなるペリクルフレームの一端面（上端面）に、ペリク
ル膜として紫外線を良く透過させるニトロセルロース、
酢酸セルロース、プロピオン酸セルロース等のセルロー
ス系ポリマーや、非晶質フッ素系ポリマー等の薄膜を張
設するために、これらペリクル膜の良溶媒を塗布して風
乾したもの（特開昭５８−２１９０２３号公報）、ペリ
クル膜をアクリル樹脂やエポキシ樹脂等の接着剤で接着
したもの（米国特許第４８６１４０２号、特公昭６３−
２７７０７号公報）、フッ素系ポリマーで接着したもの
（特願平６−２５９９３６号）等が提案されている。

【０００５】また、ペリクルフレームの他端面（下端
面）には、露光原版にペリクルを固定するため、例えば
ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等
からなる粘着層を設けることが行われており、必要によ
り、その粘着層の表面に、粘着層の保護を目的としたフ
ィルム状のセパレーターを張り合わせたものもある。更
に、ペリクルフレームの内周面にも粘着剤層を設け、フ
レーム内に様々な理由で生じる微細ゴミを捕らえるよう
に構成したペリクルも知られている。

【０００６】この場合、ペリクルの使用に際し、直接露
光光源（ｇ線、ｉ線、エキシマレーザー光など）に照射
されるのはペリクル膜であり、このためペリクル膜には
十分な耐光性が要求されるが、同時にペリクルフレーム
にペリクル膜を固着する接着剤についても、露光光源の
一部が照射される可能性が高いため、接着剤にも耐光性
が要求される。即ち、接着剤の耐光性が不十分である
と、露光光源に照射されることによってダメージを受
け、異物の発生や接着力の低下によりペリクル膜の剥離
やしわの発生等のトラブルが発生し易くなり、特にエキ
シマレーザー光のような短波長の光源を用いる場合には
接着剤の耐光性に注意を払う必要がある。またこの場
合、ペリクルが露光原版に貼着されるためペリクルフレ
ームの下端面に形成される粘着剤層やゴミ捕集用として
ペリクルフレームの内周面に形成される粘着剤層にも同
様に耐光性が求められる。

【０００７】しかし、ペリクル膜を張設するための接着
剤としては、上述したように、フッ素系接着剤のような
優れた耐光性を有する材料を接着剤として用いる方法
（特開平４−２４５８２７号、特開平５−７５６７１号
公報）等が提案されているが、上記粘着剤層について
は、ポリブテン樹脂、アクリル樹脂、シリコーン系粘着
剤などが用いられており、これら粘着剤では特に近年め
ざましく発展している高集積化に伴う露光光源の短波長
化に対して耐光性が十分とはいえないものである。

【０００８】本発明は上記事情に鑑みなされたもので、
ペリクルフレームの内周面などに形成される粘着剤層の
露光時における劣化を可及的に防止するペリクルを提供
することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、ペリクルフレームの上端面にペリクル膜を張
設してなるペリクルにおいて、上記ペリクルフレームの
内周面の上端側が下端側より内方に（ペリクル中央部側
に）突出していることを特徴とするペリクルを提供する
ことを目的とする。

【００１０】この場合、このペリクルフレームの内周面
は、下端側より上端側に向うに従い漸次内方に突出する
テーパ面を含むことが好適であり、またペリクルフレー
ムの内周面には通常、異物捕集用粘着剤層が形成され
る。

【００１１】本発明のペリクルは、このようにペリクル
フレームの内周面をいわゆるオーバーハング状にしたも
ので、このため露光時において、露光光線がフレーム内
周面に直接当たり難く、このためペリクルフレームの内
周面に粘着剤層が形成されていても、この粘着剤層に光
線が直接照射されることが防止されているため、光線に
よって粘着剤が劣化するおそれが低下する。更に、ペリ
クルフレームの下端面に形成される粘着剤層に対しても
従来のフレームのものに比べて露光光線が照射されにく
く、同様に光線による劣化が生じ難いものである。

【００１２】

【発明の実施の形態及び実施例】以下、本発明の実施例
について図面を参照して説明する。図１〜４は本発明の
実施例に係るペリクル１を示すもので、このペリクル１
は、金属などにより形成された四角枠状のペリクルフレ
ーム２の上端面にペリクル膜３が張設されていると共
に、下端面に露光原版と貼着するための粘着剤層４が形
成され、この粘着剤層４上に剥離フィルム５が剥離可能
に積層されており、更にペリクルフレーム２の内周面に
も異物捕集用粘着剤層６が形成されているものである。

【００１３】ここで、ペリクルフレーム２、ペリクル膜
３の材質に特に制限はなく、公知のものを使用し得、ま
たペリクル膜３は公知の接着剤を用いてペリクルフレー
ムに接着される。更に、粘着剤としても公知のものを使
用し得、例えばポリブテン樹脂、アクリル樹脂、シリコ
ーン系粘着剤などが用いられる。

【００１４】而して、本発明のペリクルにおいては、上
記ペリクルフレームの内周面をその下端側より上端側が
内方に（即ちペリクルの中心部側に）突出するように形
成したものである。即ち、図１及び２のペリクルにおい
ては、内周面がその下端から上端にかけて上方に向うに
従い漸次内方に突出するテーパ面として形成されたもの
であり、この場合図１はそのテーパ面が平面をなし、図
２はそのテーパ面が曲面をなしているものである。ま
た、図３及び４のペリクルにおいては、ペリクルフレー
ムの下端から高さ方向ほぼ中央部にかけて、その内周面
が上方に向うに従い漸次内方に突出するテーパ面として
形成され、高さ方向ほぼ中央部から上端にかけては、そ
の内周面が垂直面として形成されたものである。なお、
図３はそのテーパ面が平面に、図４はそのテーパ面が曲
面として形成されている。

【００１５】このように、ペリクルフレームの内周面
は、その下端側より上端側が内方に突出した状態にあれ
ば、その態様は特に制限されず、上述したように、平面
状テーパ面でも曲面状テーパ面でもよく、これらを組み
合わせた形状でも、垂直面が一部形成されていてもよい
が、異物のたまり易い凹凸形状乃至切り欠き形状を設け
ることは避けることが好ましい。即ち、上端側から下端
側に向うに従って内周面が内方に突出するようなテーパ
面の形成は避けるべきである。

【００１６】この場合、図１〜４に示すような少なくと
も一部に、上方に向うに従い内周面が内方に突出するテ
ーパ面が形成されたものが本発明の目的を達成する上で
有効であるが、特にペリクルフレームの上端部でそれよ
り下側の内周面に対する光の照射をさえぎるという点
で、図１，２或いは図５，６に示したような、ペリクル
フレーム内周面上端部がこれより下側よりも内方に突出
した上端に廂部７を有するものが最も好ましい。

【００１７】上記ペリクルは、その剥離フィルム５を剥
離除去し、フレーム２の下端面に形成された粘着剤層４
を露光原版に粘着して使用するものであるが、この場
合、露光光線をペリクル膜３を通して、露光原版に照射
した際、フレーム２の内周面が下端側よりも上端側が内
方に突出し、下端側が垂直に照射される光線に対し露呈
されていないので、フレーム２の内周面に粘着剤層６が
形成されていても、この粘着剤層６に光線が当たり難
く、このため粘着剤層６の直接露光による劣化が可及的
に防止される。更に、ペリクルを露光原版に貼着する粘
着剤層４も、同様の理由により劣化が生じ難いものであ
る。

【００１８】次に、実験例により本発明の効果を具体的
に説明する。［実験例］ペリクルフレームとして、アルミニウム合金
製の表面にアルマイト処理を施した、高さが６．３ｍｍ
で、上端面の外周が１２０ｍｍ角、内周が１１０ｍｍ
角、下端面の外周が１２０ｍｍ角、内周が１１６ｍｍ角
の図１に示す四角形状のアルミフレームを用いた。この
アルミフレームの下端面に、シリコーン粘着剤（商品
名：ＫＲ−１２０、信越化学工業（株）製）を厚さが
０．３ｍｍになるように塗布して１２０℃、３０分で硬
化させた。一方、上記フレームの内周面にも、シリコー
ン粘着剤（商品名：ＫＲ−１２０、信越化学工業（株）
製）を厚さ０．０５ｍｍになるようにコ−ティングし
た。

【００１９】また、ペリクルフレームの上端面には、ペ
リクル膜の接着剤としてサイトップＣＴＸ−Ａｔｙｐ
ｅ（旭硝子（株）製）を厚みが０．１ｍｍになるように
塗布した。この上に、サイトップＣＴＸ−Ｓｔｙｐｅ
（旭硝子（株）製）１．６２μｍの薄膜を形成し、上記
フレームの上端面に１０８℃で熱融着し、ペリクル膜を
張設した。

【００２０】得られたペリクルの下端粘着層をガラス基
板に圧着して、ガラス基板にペリクルを装着し、ペリク
ル膜の上方から垂直方向に波長２４８ｎｍエキシマレー
ザーで照射した。なお、レーザー光線の強度は、ペリク
ル膜表面において、１００ｍＷ／ｃｍ²であった。３０
０時間照射後、ペリクルの内周面に塗布した粘着剤には
劣化が見られなかった。

【００２１】［比較実験例］高さ６．３ｍｍ、上端面及
び下端面の外周１２０ｍｍ×１２０ｍｍ、内周１１６ｍ
ｍ×１１６ｍｍの図７で示される正方形枠状で、内周面
が垂直に形成されたアルミフレームを用いた以外は実験
例と同様にしてペリクルを得、ガラス基板に装着した。

【００２２】このペリクルに、波長２４８ｎｍのエキシ
マレーザーを実験例と同一条件で照射した結果、３００
時間照射後、内周面に塗布した接着剤が変色した。この
変色を分析した結果、レーザー光線による劣化であるこ
とが判明した。

【００２３】なお、実験例及び比較実験例は波長２４８
ｎｍのエキシマレーザーを使用し、実際の条件に比べ光
線強度、照射エリアともに過酷な条件ではあるが、ペリ
クルの長期間の使用を鑑みれば実験例に係る本発明のペ
リクルは十分な有効性（耐光性）を示すことが認められ
る。

【００２４】

【発明の効果】本発明のペリクルは、露光光源の光がペ
リクルフレームの内周面に照射され難いので、内周面に
形成される異物捕集用粘着剤層、更にはペリクルフレー
ムの下端面に形成される露光原版との貼着用粘着剤層の
光劣化が可及的に防止されるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す断面図である。

【図２】本発明の第２実施例を示す断面図である。

【図３】本発明の第３実施例を示す断面図である。

【図４】本発明の第４実施例を示す断面図である。

【図５】本発明の第５実施例を示す部分断面図である。

【図６】本発明の第６実施例を示す部分断面図である。

【図７】従来のペリクルの断面図である。

【符号の説明】

１ペリクル２ペリクルフレーム３ペリクル膜４粘着剤層５剥離フィルム６粘着剤層７廂部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ペリクルフレーム（２）の上端面にペリ
クル膜（３）を張設してなるペリクルにおいて、上記ペ
リクルフレーム（２）の内周面の上端側が下端側より内
方に突出していることを特徴とするペリクル。
【請求項２】上記ペリクルフレームの内周面が、下端
側より上端側に向うに従い漸次内方に突出するテーパ面
を含む請求項１記載のペリクル。
【請求項３】上記ペリクルフレームの内周面に異物捕
集用粘着剤層が形成された請求項１又は２記載のペリク
ル。