JP2011107293A - リソグラフィ用ペリクル - Google Patents

Abstract

【課題】気圧調整孔から発生するか、又はこれを通過する可能性のある異物を低減し得るリソグラフィ用ペリクルを提供すること。
【解決手段】外周面から内周面へ貫通する気圧調整孔が設けられたペリクルフレームを有し、前記気圧調整孔の深さ方向に垂直な断面の断面積Ｓ（ｍｍ²）と前記気圧調整孔の前記深さ方向の長さＬ（ｍｍ）との比Ｓ／Ｌが、０．２５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であることを特徴とし、好ましくは、前記断面積Ｓが０．５ｍｍ²以上１０．０ｍｍ²以下である、リソグラフィ用ペリクル。
【選択図】図２

Description

本発明は、ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置又は液晶表示板を製造する際のリソグラフィ用マスクのゴミよけとして使用される、リソグラフィ用ペリクルに関する。

ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造又は液晶表示板などの製造においては、半導体ウエハー又は液晶用原板に光を照射してパターン作製するが、この場合に用いる露光原版にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれるという問題があった。なお、本発明において、「露光原版」とは、リソグラフィ用マスク及びレチクルの総称である。

これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の表面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリクルを貼着する方法が取られている。
この場合、ゴミは露光原版の表面上には直接付着せず、ペリクル膜上に付着するため、リソグラフィ時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、ペリクル膜上のゴミは転写に無関係となる。

ペリクルの基本的な構成は、ペリクルフレーム及びこれに張設したペリクル膜からなる。ペリクル膜は、露光に用いる光（ｇ線、ｉ線、２４８ｎｍ、１９３ｎｍ、１５７ｎｍ等）をよく透過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、フッ素系ポリマーなどからなる。ペリクルフレームは、黒色アルマイト処理等を施したＡ７０７５、Ａ６０６１、Ａ５０５２などのアルミニウム合金、ステンレス、ポリエチレンなどからなる。ペリクルフレームの上部にペリクル膜の良溶媒を塗布し、ペリクル膜を風乾して接着する（特許文献１参照）か、アクリル樹脂、エポキシ樹脂やフッ素樹脂などの接着剤で接着する（特許文献２〜４参照）。さらに、ペリクルフレームの下部には露光原版が装着されるために、ポリブテン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂又はシリコーン樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的としたレチクル粘着剤保護用ライナーを設ける。

ペリクルは、露光原版の表面に形成されたパターン領域を囲むように設置される。ペリクルは、露光原版上にゴミが付着することを防止するために設けられるものであるから、このパターン領域とペリクル外部とはペリクル外部の塵埃がパターン面に付着しないように隔離されている。

本出願人は、気圧調整孔に設けられるフィルターを粘着剤により湿潤したフィルター付きペリクルを開示している（特許文献５参照）。

特開昭５８−２１９０２３号公報 米国特許第４８６１４０２号明細書 特公昭６３−２７７０７号公報 特許第３０８９１５３号公報 特開平９−６８７９２号公報

近年、ＬＳＩのデザインルールはサブクオーターミクロンへと微細化が進んでおり、それに伴い、異物の管理がさらに厳しくなってきている。また、ペリクル貼り付けによって生じる閉空間をクリーンエアーに置換して露光するような要求もあり、ペリクルフレームの気圧調整孔の役割は一段と重要になってきている。

これまでも上記特許文献５のように気圧調整孔に設けられるフィルターについての異物対策は提案されているが、ペリクルフレームの気圧調整孔自体については目だった改善策を施してきていなかった。

本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものである。すなわち、本発明が解決しようとする課題は、気圧調整孔から発生するか、又はこれを通過する可能性のある異物を低減し得るリソグラフィ用ペリクルを提供することである。

上記の課題は、以下に記載の手段（１）により解決された。本発明の好ましい実施態様である（２）〜（５）と共に列記する。
（１）外周面から内周面へ貫通する気圧調整孔が設けられたペリクルフレームを有し、前記気圧調整孔の深さ方向に垂直な断面の断面積Ｓ（ｍｍ²）と前記気圧調整孔の前記深さ方向の長さＬ（ｍｍ）との比Ｓ／Ｌが、０．２５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であることを特徴とするリソグラフィ用ペリクル、
（２）前記断面積Ｓが０．５ｍｍ²以上１０．０ｍｍ²以下である、（１）に記載のリソグラフィ用ペリクル、
（３）前記気圧調整孔の直径が０．８ｍｍ以上３．６ｍｍ以下である、（１）に記載のリソグラフィ用ペリクル、
（４）前記ペリクルフレームの高さと前記気圧調整孔の直径との差が次式を満たす、（１）〜（３）いずれか１つに記載のリソグラフィ用ペリクル、
２ｍｍ≦（ｈ−Ｄ）≦５ｍｍ
（ただし、ｈは前記ペリクルフレームの高さ（ｍｍ）を表し、Ｄは前記気圧調整孔の直径（ｍｍ）を表す。）、
（５）前記気圧調整孔の内壁面に形成された内壁粘着剤層を有する、（１）〜（４）いずれか１つに記載のリソグラフィ用ペリクル。

本発明によれば、ペリクルフレームに設けられる気圧調整孔の直径を、従来の気圧調整孔の直径である０．５ｍｍと比較して大きく設定することにより、通過する気体の速度を小さくすることができ、気圧調整孔から発生するか、又はこれを通過する可能性のある異物を低減することができる。

図１は、本発明のリソグラフィ用ペリクルの全体構成を模式的に示す概略斜視図である。 図２は、本発明のリソグラフィ用ペリクルの一実施態様におけるペリクルフレームの気圧調整孔を含む部分を模式的に示す概略部分拡大図である。

本発明のリソグラフィ用ペリクルの基本的構成について図１及び図２を用いて説明する。
図１は、本発明のリソグラフィ用ペリクルの全体構成を模式的に示す概略斜視図である。図２は、本発明のリソグラフィ用ペリクルの一実施態様におけるペリクルフレームの気圧調整孔を含む部分を模式的に示す概略部分拡大図であり、図２（ａ）はペリクルフレームの気圧調整孔を含む部分の概略平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）中のＡ−Ａ線概略断面図である。
図１及び図２に示すように、本発明のリソグラフィ用ペリクル１０は、例えば略矩形状の枠体であるペリクルフレーム３と、ペリクルフレーム３の上端面にペリクル膜貼り付け用接着層２を介して張設されたペリクル膜１とを有している。

ペリクルフレーム３の下端面には、ペリクル１０を露光原版（マスク基板又はレチクル）５に粘着させるための粘着層４が形成されている。粘着層４の下端面には、ライナー（不図示）が剥離可能に貼着されている。このライナーは、リソグラフィ用ペリクル１０を露光原版５に粘着させる際に剥離されるものである。

また、ペリクルフレーム３には、その外周面から内周面へ貫通する気圧調整孔（通気口）６が設けられている。ペリクルフレーム３の外周面には、気圧調整孔６の開口部を覆うように、パーティクル等の異物を除去するための除塵用フィルター７が設けられている。

また、ペリクルフレーム３の内壁面及び気圧調整孔６の内壁面には、内壁粘着剤による樹脂コーティングが施され、それぞれ内壁粘着剤層８ａ、８ｂが形成されている。

これらペリクル構成部材の大きさは通常のペリクル、例えば半導体リソグラフィ用ペリクル、大型液晶表示板製造リソグラフィ工程用ペリクル等と同様であり、また、その材質も公知の材質を使用することができる。
ペリクル膜１の種類については特に制限はなく、例えば従来エキシマレーザー用に使用されている、非晶質フッ素ポリマー等が用いられる。非晶質フッ素ポリマーの例としては、サイトップ（旭硝子（株）製商品名）、テフロン（登録商標）ＡＦ（デュポン社製商品名）等が挙げられる。これらのポリマーは、そのペリクル膜作製時に必要に応じて溶媒に溶解して使用してもよく、例えばフッ素系溶媒などで適宜溶解することができる。

ペリクル膜貼り付け用接着層２に使用される接着剤としては、従来から使用されているものを使用でき、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、含フッ素シリコーン接着剤、非晶質フッ素ポリマー等のフッ素ポリマー等を挙げることができるが、非晶質フッ素ポリマーを用いたペリクル膜に対しては、非晶質フッ素系ポリマーが好適である。

ペリクルフレーム３の母材に関しては、従来使用されているアルミニウム合金材、好ましくは、ＪＩＳ Ａ７０７５、ＪＩＳ Ａ６０６１、ＪＩＳ Ａ５０５２材等が用いられるが、アルミニウム合金材を使用する場合は、ペリクルフレームとしての強度が確保される限り特に制限はない。ペリクルフレーム表面は、サンドブラストや化学研磨によって粗化することが好ましい。本発明において、このフレーム表面の粗化の方法は従来公知の方法を採用できる。アルミニウム合金材に対して、ステンレス、カーボランダム、ガラスビーズ等によって表面をブラスト処理し、さらにＮａＯＨ等によって化学研磨を行って表面を粗化する方法が好ましい。

ペリクルフレーム３の内壁面及び気圧調整孔６の内壁面に対して樹脂コーティングを施し、内壁粘着剤層８ａ、８ｂを形成するための内壁粘着剤としては、シリコーン粘着剤、アクリル粘着剤が好ましく使用でき、中でもシリコーン粘着剤がより好ましく使用できる。

ペリクル１０を露光原版５に粘着させるための粘着層４に使用する接着剤としては、各種の接着剤を適宜選択でき、アクリル接着剤や、ＳＥＢＳ（ポリ（スチレン−エチレン−ブタジエン−スチレン））系接着剤及びシリコーン系接着剤が好ましく使用でき、アクリル接着剤又はシリコーン系接着剤がより好ましく使用できる。

ペリクルフレーム３に設けられた気圧調整孔６は、例えば、その中心軸がペリクルフレーム３の外周面から内周面に向かう厚さ方向に沿った略円柱形状を有しており、その深さ方向に垂直な断面形状が略円形状になっている。

また、気圧調整孔６のその深さ方向に垂直な断面の断面積Ｓ（ｍｍ²）と気圧調整孔６のその深さ方向の長さＬ（ｍｍ）との比Ｓ／Ｌは、０．２５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下となっている。
より具体的には、気圧調整孔６の直径Ｄ（ｍｍ）は、好ましくは０．８ｍｍ以上３．６ｍｍ以下、より好ましくは１．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下となっている。
また、気圧調整孔６の断面積Ｓ（ｍｍ²）は、好ましくは０．５ｍｍ²以上１０．０ｍｍ²以下、より好ましくは０．８ｍｍ²以上８．０ｍｍ²以下、更に好ましくは２．０ｍｍ²以上５．０ｍｍ²以下となっている。
これら気圧調整孔６の直径Ｄ、長さＬ、及び断面積Ｓは、後述するように、気圧調整孔６から発生するか、又はこれを通過する可能性のある異物を低減する観点から設定されている。

気圧調整孔６は、ペリクルフレーム３に必要とされる強度を損なうことがないように設けられていることが好ましい。
例えば、ペリクルフレーム３の強度を確保する観点、及び気圧調整孔６の外側に設けられるフィルター７の構造からは、ペリクルフレーム３の高さｈ（ｍｍ）と気圧調整孔６の直径Ｄ（ｍｍ）との差（ｈ−Ｄ）が式（１）を満たすように、気圧調整孔６の直径Ｄを設定することが好ましい。
２ｍｍ≦（ｈ−Ｄ）≦５ｍｍ （１）

気圧調整孔６は、次に述べるような機能を果たす。すなわち、ペリクル１０を露光原版５に貼り付けると、ペリクル１０と露光原版５との間に閉空間が生じる。このようにペリクル１０の貼り付けにより生じた閉空間内をクリーンエアーや不活性ガスで置換する際に、気圧調整孔６は、クリーンエアーの導入口ないし排出口としての役割等の重要な役割を担う。また、気圧調整孔６は、ペリクル１０が貼り付けられた露光原版５を空輸等で運搬する際に、ペリクル１０と露光原版５との間に生じた閉空間内と外部との間に生じる気圧差を緩和するための開口として機能する。

気圧調整孔６の開口部を覆うように設けられた除塵用フィルター７としては、気圧調整孔６を介したペリクル内外の気圧差の緩和等に十分な通気性を有するものであって、気圧調整孔６部分に設置することができるもので有れば、形状、個数、場所に特に制限はない。除塵用フィルター７の材質としては、発塵性でないものが好ましく、樹脂（ＰＴＦＥ、ナイロン６６等）、金属（３１６Ｌステンレススチール等）、セラミックス（アルミナ、チッ化アルミ等）等が挙げられる。また、除塵用フィルター７の外側部分には環境中の化学物質を吸着や分解するケミカルフィルターを装備することも好ましい。

なお、図１及び図２では、ペリクルフレーム３に１個の気圧調整孔６が設けられている場合を示しているが、ペリクルフレーム３に複数個の気圧調整孔６を設けてもよい。また、図１及び図２では、ペリクルフレーム３の短辺の略中央に気圧調整孔６が設けられている場合を示しているが、ペリクルフレーム３の短辺又は長辺の任意の位置に気圧調整孔６を設けることができる。

また、図１及び図２では、気圧調整孔６の深さ方向に垂直な断面形状が略円形状になっている場合を示しているが、気圧調整孔６の断面形状はこれに限定されるものではない。気圧調整孔６の断面形状としては、円形状のほか、楕円形状、三角形状、矩形状、五角形状等の多角形状等であってもよい。

本発明のリソグラフィ用ペリクルは、上述のように、気圧調整孔６のその深さ方向に垂直な断面の断面積Ｓ（ｍｍ²）と気圧調整孔６のその深さ方向の長さＬ（ｍｍ）との比Ｓ／Ｌが、０．２５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であり、従来の気圧調整孔の直径と比較して気圧調整孔６の直径Ｄ（ｍｍ）が大きくなっていることに主たる特徴がある。より具体的には、本発明のリソグラフィ用ペリクルは、気圧調整孔６の直径Ｄ（ｍｍ）が、好ましくは０．８ｍｍ以上３．６ｍｍ以下、より好ましくは１．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下となっていることに主たる特徴がある。かかる気圧調整孔６の直径Ｄは、従来の気圧調整孔の直径である０．５ｍｍよりも大きくなっている。

このように、本発明のリソグラフィ用ペリクルでは、気圧調整孔６の直径Ｄが従来と比較して大きくなっていることにより、気圧調整孔６から発生するか、又はこれを通過する可能性のある異物を低減することができる。以下、従来と比較して直径Ｄの大きい本発明の気圧調整孔６により異物が低減される機構について詳述する。

ペリクルを露光原版に貼り付けた場合において、閉空間内をクリーンエアーや不活性ガスで置換する際又は閉空間と外部との気圧差を緩和する際等には、ある程度の気体が気圧調整孔を通過する。この際、気圧調整孔の内部にパーティクル等の異物が存在した場合には、ペリクルと露光原版との間の閉空間の内部に異物を送り込んでしまう可能性がある。

従来においても、このような異物による不具合を防止するため、ペリクルフレームに対して、精密洗浄やエアーガンによるブロー洗浄などの各種の洗浄が行われていた。また、ペリクルフレームの内壁面に対して、内壁粘着剤等による樹脂コーティングが行われていた。

しかしながら、従来、気圧調整孔の直径は０．５ｍｍ程度と小さかったため、洗浄や樹脂コーティングに不具合が生じる場合があった。
例えば、精密洗浄では、ペリクルフレームを洗浄液に浸漬した際に、気圧調整孔の直径が小さいと、気圧調整孔の内部に気体が残存することがあった。この結果、気圧調整孔の内部まで十分な超音波洗浄を行えない場合があった。
また、内壁粘着剤等による樹脂コーティングでは、気圧調整孔の直径が小さすぎるために、十分な量の内壁粘着剤等のコーティング液が気圧調整孔の内部に到達できないことがあった。この結果、気圧調整孔の内壁面に、樹脂コーティングが施されておらず内壁粘着剤層が形成されていない未塗工部分が残ってしまう場合があった。

これに対して、本発明のリソグラフィ用ペリクルでは、上述のように気圧調整孔６の直径Ｄが従来と比較して大きく設定されている。このため、気圧調整孔６の内部まで超音波洗浄等の洗浄を十分に行うことができる。また、気圧調整孔６の内壁面に対して未塗工部分なく確実に樹脂コーティングを施すことができ、気圧調整孔６の内壁面に確実に内壁粘着剤層８ｂを形成することができる。

具体的には、気圧調整孔６の直径Ｄを０．８ｍｍ、長さ（深さ）Ｌを２ｍｍに設定したペリクルフレーム３の場合、純水に浸漬した複数のペリクルフレーム３を観察したところ、すべてのペリクルフレーム３について、気圧調整孔６にエアー残りがないことが確認された。これは、エアー残りが観察される気圧調整孔６の直径Ｄを０．５ｍｍ、長さＬを２ｍｍに設定した場合と比較して、洗浄を十分に行うのに明らかに有利な状況である。

また、気圧調整孔６の直径Ｄを０．８ｍｍ、長さＬを２ｍｍに設定したペリクルフレーム３の場合、ペリクルフレーム３の内壁面及び気圧調整孔６の内壁面をスプレーを用いて内壁粘着剤によりコーティングしたところ、気圧調整孔６の内壁面まで確実にコーティングされていることが確認された。より具体的には、ペリクルフレーム３の内壁面における内壁粘着剤による内壁粘着剤層８ａの厚さを１とした場合、直径Ｄを０．５ｍｍに設定した場合には、気圧調整孔６の内壁面における内壁粘着剤層８ｂの最薄部の厚さは０．０１以下であった。これに対して、直径Ｄを０．８ｍｍに設定した場合には、気圧調整孔６の内壁面における内壁粘着剤層８ｂの最薄部の厚さは０．２程度まで向上した。

こうして、本発明によれば、十分な洗浄及び確実な樹脂コーティングを可能とすることで、気圧調整孔６から発生するか、又はこれを通過する可能性のある異物を低減することができる。

さらに、本発明のリソグラフィ用ペリクルでは、気圧調整孔６の直径が従来と比較して大きく設定されているため、気圧変動下において気圧調整孔６を通過する気体の速度を低下させることができる。

気圧調整孔６の通気量は、気圧調整孔６の外側に設けられたフィルター７が律速となる。このため、気圧調整孔６の直径Ｄ、すなわち気圧調整孔６の通気断面積が大きくなると、気圧調整孔６を通過する気体の速度は低下する。通気断面積について気圧調整孔６の直径Ｄが０．８ｍｍの場合と０．５ｍｍの場合を比較すると、前者の通気断面積は、後者の通気断面積の２．５倍以上となる。

こうして、本発明によれば、気圧調整孔６を通過する気体の速度を低下させることで、気圧調整孔６から発生するか、又はこれを通過する可能性のある異物の発生リスクを低減することができる。

なお、上述のように、気圧調整孔６の直径Ｄが大きくなればなるほど、ペリクルフレーム３の精密洗浄において、気圧調整孔６の内部の清浄度を確保しやすくなる。また、気圧調整孔６の内壁面における内壁粘着剤層８ｂの厚さが容易に確保される。さらに、また、気圧変動下において、気圧調整孔６を通過する気体の速度が低下する。これらの結果、気圧調整孔６に起因する異物の発生リスクが低下する。

しかしながら、気圧調整孔６は、ペリクルフレーム３の強度が低下しないように形成することが好ましい。そこで、気圧調整孔６から発生するか、又はこれを通過する可能性のある異物の低減とペリクルフレーム３の強度の確保とを両立する観点から、気圧調整孔６の直径Ｄ（ｍｍ）は、０．８ｍｍ以上３．６ｍｍ以下に設定することが好ましく、１．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下に設定することがより好ましい。
同様の観点から、気圧調整孔６の断面積Ｓ（ｍｍ²）は、０．５ｍｍ²以上１０．０ｍｍ²以下に設定することが好ましく、０．８ｍｍ²以上８．０ｍｍ²以下に設定することがより好ましく、２．０ｍｍ²以上５．０ｍｍ²以下に設定することが更に好ましい。

また、ペリクルフレーム３の高さｈが限定されるため、気圧調整孔６の直径Ｄを決定するにあたっては、ペリクルフレーム３の強度を確保する観点、及び気圧調整孔６の外側に設けられるフィルター７の構造を考慮することが好ましい。これら強度確保の観点及びフィルター７の構造を考慮すると、気圧調整孔６の直径Ｄの上限は、好ましくはペリクルフレーム３の高さｈから２ｍｍ程度減じた値になると考えられる。

また、昨今、気圧調整孔をフレームの厚さに対して最短になるように加工せず、フレームの厚さ方向に対して傾斜させ又は迂回させて気圧調整孔の全長を意図的に長く設定することが提案されている。しかしながら、かかる気圧調整孔では、洗浄性や孔内部のコーティング性が劣るだけでなく、気圧調整時に無用な圧力損失が発生しやすく、メリットがないと考えられる。

以下に実施例により具体的に本発明を例示して説明する。なお、実施例及び比較例における「マスク」は「露光原版」の例として記載したものであり、レチクルに対しても同様に適用できることはいうまでもない。

（実施例１）
ペリクルフレームとして、フレーム外寸１５０ｍｍ×１２２ｍｍ×５．８ｍｍ、フレーム厚さ２ｍｍの黒色アルマイトを施したジュラルミン製フレームを用意した。フレーム短辺中央部に気圧調整孔を１個設けた。気圧調整孔は、直径０．８ｍｍの円形状の断面形状を有し、フレーム厚さ２ｍｍを貫通するよう加工した。
このフレームを精密洗浄後、フレーム内壁面の全面に信越化学工業（株）製のシリコーン粘着剤（商品名：ＫＲ３７００）をスプレーで塗布し、内壁粘着剤層を形成した。続いて、フレーム下端面に信越化学工業（株）製のレチクル装着用シリコーン粘着剤（商品名：Ｘ４０−３１２２）をロボット塗布機で線引き塗布した。さらに、反対側上端面に旭硝子（株）製のペリクル膜接着用フッ素樹脂（商品名：ＣＹＴＯＰ ＣＴＸ−１０９Ａ）をロボットで線引き塗布し、高周波誘導加熱装置で加熱した。
最後に、気圧調整孔を塞ぐように気圧調整用（防塵用）フィルターを貼り付け、ペリクルフレームを完成させた。
こうして完成させたフレームに予め準備したペリクル膜を貼り合わせペリクルを完成させた。

完成させたペリクルを１２インチシリコーンウェハに貼り合わせた後、これを圧力変動庫に保管し、常圧から０．５気圧への減圧及び０．５気圧から常圧への復圧の気圧変動サイクルを５回繰り返した。この際、ペリクル膜を保護するため、常圧から０．５気圧までの減圧を１０分かけて実施した。

上記気圧変動サイクルテストの終了後、１２インチシリコーンウェハのペリクルで保護された内側部分の異物検査を実施したところ、異物の増加は観察されなかった。

また、異物検査の終了後、ペリクルをシリコーンウェハから剥がし、フレームの気圧調整孔が設けられた部分を割って、気圧調整用孔の内壁面におけるシリコーン粘着剤による内壁粘着剤層のコーティング状況を調査した。同時に、フレーム内壁面におけるシリコーン粘着剤による内壁粘着剤層のコーティング状況を調査した。この結果、気圧調整孔の内壁面における内壁粘着剤層の厚さは２〜３μｍであるのに対し、フレーム内壁面における内壁粘着剤層の厚さは１０μｍ程度であった。

（実施例２）
気圧調整孔を直径３．０ｍｍの円形状の断面形状を有するように加工した点以外は、実施例１と同様にしてペリクルを完成させ、完成させたペリクルを１２インチシリコーンウェハに貼り合わせた。
この後、実施例１と同様にして、気圧変動サイクルテストを行った後、異物検査及び内壁粘着剤層のコーティング状況の調査を順次行った。

異物検査の結果、実施例２においても、実施例１と同様に、１２インチシリコーンウェハのペリクルで保護された内側部分において異物の増加は観察されなかった。

また、内壁粘着剤層のコーティング状況の調査の結果、実施例２においては、気圧調整孔の内壁面における内壁粘着剤層の厚さは３〜５μｍであるのに対し、フレーム内壁面における内壁粘着剤層の厚さは１０μｍ程度であった。

（比較例１）
気圧調整孔を直径０．５ｍｍの円形状の断面形状を有するように加工した点以外は、実施例１と同様にしてペリクルを完成させ、完成させたペリクルを１２インチシリコーンウェハに貼り合わせた。
この後、実施例１と同様にして、気圧変動サイクルテストを行った後、異物検査及び内壁粘着剤層のコーティング状況の調査を順次行った。

異物検査の結果、比較例１においては、１２インチシリコーンウェハのペリクルで保護された内側部分における気圧調整孔の周辺に２個の異物が検出された。

また、内壁粘着剤層のコーティング状況の調査の結果、比較例１においては、気圧調整孔の内壁面における内壁粘着剤層の厚さは０．０２〜０．０５μｍであるのに対し、フレーム内壁面における内壁粘着剤層の厚さは１０μｍ程度であった。

（比較例２）
気圧調整孔を直径４．０ｍｍの円形状の断面形状を有するように加工した点以外は、実施例１と同様にしてペリクルを完成させ、完成させたペリクルを１２インチシリコーンウェハに貼り合わせた。
なお、比較例２では、フレームの高さ５．８ｍｍに対してはみ出さないように製作したフィルターで直径４．０ｍｍの気圧調整孔をカバーしようとすると、フィルター貼付部外側における粘着剤の貼付幅が１ｍｍを切ってしまい、信頼性が低下してしまった。
また、フレームの高さ５．８ｍｍに対して直径４．０ｍｍの気圧調整孔を開けたため、フレーム強度に問題が生じる可能性があった。
この後、実施例１と同様にして、気圧変動サイクルテストを行った後、異物検査及び内壁粘着剤層のコーティング状況の調査を順次行った。

異物検査の結果、比較例２においては、１２インチシリコーンウェハのペリクルで保護された内側部分において異物の増加は観察されなかった。

また、内壁粘着剤層のコーティング状況の調査の結果、比較例２においては、気圧調整孔の内壁面における内壁粘着剤層の厚さは４〜６μｍであるのに対し、フレーム内壁面における内壁粘着剤層の厚さは１０μｍ程度であった。

なお、上記では、高さ５．８ｍｍのペリクルフレームを使用したが、高さ４．５ｍｍ、３．０ｍｍのペリクルフレームの場合には、気圧調整孔の直径の上限は、それぞれ２．５ｍｍ、１．０ｍｍ程度になることが予想される。

１：ペリクル膜
２：ペリクル膜貼り付け用接着層
３：ペリクルフレーム
４：粘着層
５：露光原版
６：気圧調整孔
７：除塵用フィルター
８ａ、８ｂ：内壁粘着剤層
１０：リソグラフィ用ペリクル

Claims (5)

1. 外周面から内周面へ貫通する気圧調整孔が設けられたペリクルフレームを有し、
   前記気圧調整孔の深さ方向に垂直な断面の断面積Ｓ（ｍｍ²）と前記気圧調整孔の前記深さ方向の長さＬ（ｍｍ）との比Ｓ／Ｌが、０．２５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であることを特徴とする
   リソグラフィ用ペリクル。
2. 前記断面積Ｓが０．５ｍｍ²以上１０．０ｍｍ²以下である、請求項１に記載のリソグラフィ用ペリクル。
3. 前記気圧調整孔の直径が０．８ｍｍ以上３．６ｍｍ以下である、請求項１に記載のリソグラフィ用ペリクル。
4. 前記ペリクルフレームの高さと前記気圧調整孔の直径との差が次式を満たす、請求項１〜３いずれか１つに記載のリソグラフィ用ペリクル。
   ２ｍｍ≦（ｈ−Ｄ）≦５ｍｍ
   （ただし、ｈは前記ペリクルフレームの高さ（ｍｍ）を表し、Ｄは前記気圧調整孔の直径（ｍｍ）を表す。）
5. 前記気圧調整孔の内壁面に形成された内壁粘着剤層を有する、請求項１〜４いずれか１つに記載のリソグラフィ用ペリクル。

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