JP2001312048A - ペリクル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ペリクル内部に塵埃等が侵入することなく、
ペリクル内外の気圧差を緩和し得ると共に、ペリクル内
部の気体の置換も可能なペリクルを提供するにある。 【解決手段】 側面にペリクル内部と外部を連通する通
気孔を有する枠体、該枠体の上面に設けられた接着剤
層、該接着剤層を介して張架されるペリクル膜、及び該
枠体の下面に設けられた粘着剤層から成るペリクルにお
いて、前記枠体には、枠体の内側面と該側面を連通し且
つ屈曲部を有すると共に内表面が粘着性を有する通気孔
が、複数設けられていることを特徴とするペリクル。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明はペリクルに関し、よ
り詳細には、ペリクル内部に塵埃等が侵入することな
く、ペリクル内外の圧力差を緩和し得ると共に、ペリク
ル内の気体の置換も可能なペリクルに関する。

【０００２】

【従来の技術】フォトリソグラフィ工程では、マスク或
いはレチクル上に塵埃等が付着するのを防止するため
に、マスクパターンを囲う大きさの枠の一端にペリクル
膜を張架したペリクルが使用されている。このようなペ
リクルがマスク上に装着された状態では、ペリクル内部
は極めて気密性が高く、気圧変化や温度変化によって、
薄膜のペリクル膜がたるんだり、或いは膨らんだ状態に
なる場合がある。このようにペリクル膜が平滑性を失っ
た場合には、膜の光学的特性を変化させるだけでなく、
凹凸の程度が激しい場合には、ペリクル膜がマスクに接
触したり、ペリクルを収納するケースの蓋に当たってペ
リクル膜が損傷するというような問題が生じる。

【０００３】このような問題を解決するものとして、例
えば、ペリクル枠に少なくとも一つの通気孔が形成さ
れ、該通気孔には塵埃等の通過を阻止するフィルタ部材
が前記枠部材、マスク基板及び膜手段で囲まれた空間内
に脱落しないように設けられたもの（実公昭６３−３９
７０３号公報）や、ペリクル枠側面の少なくとも一部に
開口部を設け、その内面を粘着状にしたもの（特開平５
−１１３６５８号公報）等が提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は何れも
ペリクル枠に通気孔を設け、ペリクル内外の圧力差を緩
和している。しかしながら、前者のペリクルでは、微小
な塵埃等を確実に捕捉するためにはフィルターの目を細
かくしなければならず、このためフィルターのガス透過
速度が遅く、圧力差が緩和されるまで時間がかかるとい
う問題がある。一方、後者のペリクルでは、通気孔の粘
着状内面でペリクル内部に進入しようとする塵埃等を捕
捉しようとするものであるが、通気孔がストレートであ
り、またその距離も短いため、侵入しようとする塵埃等
のすべてを通気孔の粘着状内面で捕捉することは困難で
ある。

【０００５】従って本発明の目的は、ペリクル内部に塵
埃等が侵入することなく、ペリクル内外の気圧差を緩和
し得ると共に、ペリクル内部の気体の置換も可能なペリ
クルを提供するにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、側面に
ペリクル内部と外部を連通する通気孔を有する枠体、該
枠体の上面に設けられた接着剤層、該接着剤層を介して
張架されるペリクル膜、及び該枠体の下面に設けられた
粘着剤層から成るペリクルにおいて、前記枠体には、枠
体の内側面と外側面を連通し且つ屈曲部を有すると共に
内表面が粘着性を有する通気孔が、複数設けられている
ことを特徴とするペリクルが提供される。

【０００７】本発明のペリクルにおいては、 １．通気孔が、枠体に複数の孔を穿ち、該孔を組み合わ
せると共に不要部分に枠材料を埋め込むことにより閉塞
させて、一つの連通した孔にすることにより形成された
ものであること、 ２．枠体が、該枠体を内側及び外側に分割した２つの枠
状部材を組み合わせて成り、該枠状部材同士の接触面の
少なくとも一方には屈曲部を有する溝と共に枠状部材を
組み合わせたときに枠体の内側面と外側面を連通する溝
が設けられ、該溝が枠状部材を組み合わせたときに前記
通気孔が形成されたものであること、及びこの場合に
は、枠状部材の外側部分がアルミニウム合金７０７５−
Ｔ６から成ると共に、前記枠状部材の内側部分が自然発
色アルマイト化アルミニウム又はセラミックから成って
いること、 ３．枠体が、該枠体を上下方向に分割した２つの枠状部
材を組み合わせて成り、該枠状部材同士の接触面の少な
くとも一方には、枠状部材の内側面と外側面を連通し且
つ屈曲部を有する溝が設けられ、該溝が枠状部材を組み
合わせたときに前記通気孔が形成されたものであるこ
と、が好ましい。

【０００８】また、このように形成された通気孔は、 ４．屈曲部が３箇所以上設けられていること、 ５．枠体の少なくとも一つの角部を通って屈曲部を形成
する溝から成ること、 ６．枠体外面側の孔口が、外側に向かって開口面積の大
きくなる漏斗型であること、 ７．孔径の異なる通気孔の組合せであること、が好まし
い。更に、このペリクル枠内に設けられた通気孔の他
に、 ８．枠体の上面又は下面に、通気孔を形成する溝が設け
られていること、 ９．接着剤層又は粘着剤層に、通気孔が形成されている
こと、 が望ましい。

【０００９】

【発明の実施形態】本発明のペリクルは、ペリクル内部
と外部の雰囲気を連通するための通気孔を有するペリク
ル枠において、このペリクル枠中に、枠体の内側面と該
側面を連通し且つ屈曲部を有すると共に内面に粘着剤が
塗布された通気孔が、複数設けられていることによっ
て、枠体内部に長い行路の通気孔を形成することが可能
となり、通気孔内面に施された粘着剤と屈曲部とが相俟
って、ペリクル外側から内側へ侵入しようとする塵埃等
をこの通気孔内で有効に捕捉することが可能となり、ペ
リクルの内外の気体の連通を充分に確保しつつ、ペリク
ル内部への塵埃等の侵入を有効に防止すると共に、ペリ
クル内部の気体の置換をも容易に行うことができるので
ある。

【００１０】前述した通り、従来よりペリクル内外の雰
囲気の気圧差を緩和するためにペリクル枠に通気孔を設
けることは行われていたが、従来のペリクル枠において
は、加工の容易さから単に枠体の側面にストレートの通
気孔を設けるにとどまっていた。しかしながら、短い行
路の通気孔では、外部からの塵埃等を通気孔内で捕捉す
ることは困難であると共に、通気孔がストレート形状で
は、ペリクル外部から内部への気体の流れは層流であ
り、通気孔内表面付近の塵埃等は捕捉できるとしても、
全ての塵埃等を捕捉することまでは不可能であった。

【００１１】これに対して本発明で用いるペリクル枠に
設けられた通気孔は、従来の通気孔に比して行路が長
く、しかも屈曲部を有しているので、この部分で気体の
流れが攪乱されて気体中に存在する微小な塵埃等を有効
に粘着性の通気孔内表面に導くことが可能となり、ペリ
クル内部に外部からの塵埃等が侵入することが有効に防
止できるのである。しかも、この通気孔は、ペリクル枠
内部に複数設けられており、これにより、一方では、ペ
リクルの外部から内部への気体の流入を可能にし、他方
では、外部からペリクル内部に流入された気体をペリク
ル内部から外部へ流出することが可能となって、ペリク
ル内部の雰囲気を常にペリクル外部と同一に維持するこ
とが可能になると共に、ペリクル内部の気体の置換を行
うことも容易になる。これにより、例えばペリクル膜を
長期保存するような場合等に窒素置換等を行っておくこ
とにより、ペリクル膜の劣化を防止することも可能とな
るのである。

【００１２】本発明のペリクルにおいては、通気孔は３
箇所以上の屈曲部を有していることが特に好ましい。こ
れにより通気孔の行路を長く設定できると共に、前述し
たような外部からの塵埃等を捕捉する機会を充分に得る
ことができ、塵埃等の侵入を有効に防止することが可能
となるからである。また、この屈曲部はペリクル枠の角
部を通ることにより形成されていることが、通気孔の形
成が容易であるので望ましいが、勿論、枠体の角部以外
に屈曲部を設けても同様の効果を得ることができる。ま
た、通気孔の枠体外面側の孔口が、外側に向かって開口
面積の大きくなる漏斗型であることが好ましい。これに
より、通気孔内に外気を充分に取り入れることが可能と
なり、内外気圧差を速やかに緩和し得ると共に、ペリク
ル内部の気体の置換も容易に行うことが可能となる。

【００１３】本発明のペリクル枠に設けられる通気孔
は、ペリクル枠内部に複数設けられているが、特に孔径
の異なる通気孔の組合せであることが好ましい。これに
より、孔径の大きい通気孔はペリクル内部からの気体の
排出孔となって、ペリクル内部の気体が速やかに排出さ
れ、気体の置換が速やか且つ容易に行われることにな
る。

【００１４】本発明のペリクルにおいて、上記特徴を有
する通気孔は、以下の方法によって形成することができ
る。まず第一の方法について説明する。図１はペリクル
枠１の通気口が形成されている部分の断面図を示してい
る。このペリクル枠は一体に成形されており、図１に示
すように、外側面からペリクル枠中にドリル等の工具で
複数の孔Ａ−Ｂ，Ｃ−Ｄ，Ｅ−Ｆ，Ｇ−Ｈ，Ｉ−Ｊをそ
れぞれ穿孔する。このうち、点々でハッチングされた部
分、すなわちＤ−Ｉ，Ａ−Ｋ，Ｃ−Ｋ，Ｅ−Ｂ，Ｇ−Ｆ
の部分の孔にペリクル枠を形成した材料と同様の材料、
例えばアルミニウム等の棒を嵌め込み、これらの孔を完
全に塞ぐことによって、ペリクル枠中に、（外面口）Ｊ
−Ｄ−Ｋ−Ｂ−Ｆ−Ｈ（内面口）という、Ｄ，Ｋ，Ｂ，
Ｆの４箇所の屈曲部を有する通気孔を形成することがで
きる。

【００１５】また第二及び第三の方法として、ペリクル
枠を２つの枠状部材に分割し、この枠状部材同士の接触
面に溝を形成することによって通気孔を形成することが
できる。すなわち第二の方法としては、ペリクル枠を、
内側及び外側に分割し、内側部材及び外側部材の２つの
枠状部材の組合せとし、この該枠状部材同士の接触面の
少なくとも一方には屈曲部を有する溝、及び枠状部材を
組み合わせたときに枠体の内側面と外側面を連通する溝
を設けることによって、通気孔を形成することができ
る。この方法による場合には、枠状部材の外側部分がア
ルミニウム合金７０７５−Ｔ６から成ると共に、前記枠
状部材の内側部分が自然発色アルマイトアルミニウム又
はセラミックから成っていることが特に好ましい。すな
わち外側部材に採用するアルミニウム合金７０７５−Ｔ
６は機械的強度に優れていると共に、内側部材に採用す
る自然発色アルマイトアルミニウムまたはセラミックは
耐光性に優れ、短波長の露光光を照射された場合にも退
色等の変質が防止されていることから、このような異素
材の枠状部材を組み合わせることにより、機械的強度及
び耐光性を兼ね備えたペリクルを提供することが可能と
なるのである。

【００１６】また、第三の方法としては、ペリクル枠を
上下方向に分割し、この上側部材及び下側部材の２つの
組合せとし、この枠状部材同士の接触面の少なくとも一
方に、枠状部材の内側面と外側面を連通し且つ屈曲部を
有する溝が設けることによって、通気孔を形成すること
ができる。この方法によれば何れか一方の部材に溝を形
成しておくことにより、ペリクル枠を貫通し、行路が長
く且つ複雑な形状の通気孔を容易に作成することができ
る。

【００１７】本発明のペリクルにおいては、上述したペ
リクル枠側面を貫通する通気孔の他に、ペリクル枠の上
面又は下面、すなわち接着剤層又は粘着層を設けるべき
面にも、上述したようなペリクル枠の内部と外部を連通
し且つ屈曲部を有する溝を形成し、その後接着剤層又は
粘着層を設けることによって形成される通気孔を設ける
こともできる。これによりペリクル枠側面を貫通する通
気孔との組合せで容易に複数の通気孔を設けることが可
能となる。また、接着剤層又は粘着層自体に、同様の通
気孔を設けることもでき、これによりペリクル枠側面を
貫通する通気孔との組合せで複数の通気孔を設けること
もできる。

【００１８】

【実施例】本発明のペリクルを添付図面を用いて詳細に
説明する。図２は、本発明のペリクルの一例を示す側断
面図であり、１はペリクル枠、２はペリクル膜、３は接
着剤層、４は粘着層から成り、粘着層側をマスクＭに載
置して使用する。尚、本明細書においては、上方又は下
方とは、図２に示すペリクルの側面を基準に、ペリクル
枠側を上方、マスク側を下方とし、ペリクル膜が張架さ
れる面をペリクル枠の上面とし、マスクに載置される面
を枠体の下面とする。

【００１９】図３は、本発明に用いるペリクル枠１の一
例の斜視図であり、このペリクル枠１は、図４に示すよ
うに、上方部材１ａ及び下方部材１ｂを、上方部材１ａ
の下面５ａ及び下方部材１ｂの上面５ｂが接触面となる
ように組合せることによって、一つのペリクル枠を形成
している。この態様においては、ペリクル枠１の上面６
は、上方部材１ａの上面によって形成され、この上面６
に接着剤層を介してペリクル膜が張架される。一方、ペ
リクル枠１の下面７は、下方部材１ｂの下面によって形
成され、この下面７に粘着層が形成される。

【００２０】図５は、図３に示したペリクル枠１の下方
部材１ｂの斜視図であり、この図から明らかなように、
下方部材１ｂの上面５ｂには、溝８ａ及び８ｂが形成さ
れている。この溝８ａ及び８ｂは、何れも一方の端部９
ａ及び９ｂが下方部材１ｂの外側面１０に形成され、他
方の端部１１ａ及び１１ｂが下方部材１ｂの内側面１２
に形成されており、上方部材１ａと組み合わせたときに
も、ペリクル枠の側面を貫通した状態となる。しかもこ
の溝８ａ及び８ｂは、端部９ａ及び９ｂで９０゜方向転
換する屈曲部１４ａ及び１４ｂとなっており、また下方
部材１ｂの角部１３を通過することによって屈曲部１４
ｃ及び１４ｄがそれぞれ２箇所形成され、それぞれの溝
について屈曲部が計４箇所形成されている。この屈曲部
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ及び１４ｄで気流が方向を変え
る際に通気孔内表面にぶつかって流れが攪乱されるた
め、この屈曲部で気体中に存在する塵埃等が粘着剤が塗
布さた通気孔内表面に付着して有効に捕捉されることに
なる。

【００２１】本発明においては、溝８ａ及び８ｂが形成
された下方部材１ｂの上面５ｂと上方部材１ａの下面５
ａとが向かい合いように組合せてペリクル枠を形成する
ことにより、下方部材１ｂに形成された溝８ａ及び８ｂ
を、ペリクルによって区画される内側と外側を連通する
と共に、ペリクル枠内部に屈曲部を有する行路の長い通
気孔として形成することが可能となったのである。

【００２２】図６は、本発明に用いるペリクル枠の他の
一例の斜視図を示す。このペリクル枠２１は、図７に示
すように、外側部材２１ａに内側部材２１ｂを、外側部
材の内側面２２ａ及び内側部材２１ｂの外側面２２ｂが
接触面となるように嵌合することによって、一つのペリ
クル枠２１を形成している。この態様においては、ペリ
クル枠２１の外側面２３は外側部材２１ａの外側面で構
成され、ペリクル枠２１の内側面２４は内側部材２１ｂ
の内側面で構成され、ペリクル枠２１の上面２５は外側
部材２１ａ及び内側部材２１ｂのそれぞれの上面２５ａ
及び２５ｂで構成され、同様にペリクル枠２１の下面２
６は外側部材２１ａ及び内側部材２１ｂのそれぞれの下
面２６ａ及び２６ｂで構成されている。この上面２５に
ペリクル膜が接着剤層を介して張架され、また下面２６
に粘着層が形成される。

【００２３】図７に示すように、ペリクル枠を構成する
外側部材２１ａの内側面２２ａには、溝２７ａが形成さ
れている。この溝２７ａは、一方の端部２８ａが設けら
れている内側面２２ａと相対する内側面に位置する他方
の端部（図示せず）から外側部材２１ａの側面を貫通し
て外側面２３に開口部２９ｂを形成し外部と連通してい
る。また図７から明らかなように、内側部材２１ｂの外
側面２２ｂにも外側部材２１ａと同様に、溝２７ｂが形
成されている。この溝２７ｂは、一方の端部３０が内側
部材２１ｂの側面を貫通して内側面２４に開口部（図示
せず）を形成して内部と連通している。

【００２４】一方、この態様においては、外側部材２１
ａには、外側部材２１ａの側壁３１を貫通する開口部３
２が設けられている。この開口部３２は、外側部材２１
ａと内側部材２１ｂが嵌合されたときに、内側部材２１
ｂの端部３０が設けられている外側面２２ｂと相対する
外側面に位置する他方の端部（図示せず）と合致する位
置に設けられており、これにより内側部材２１ｂの溝２
７ｂは一方の端部３０からペリクル内側に通じる開口に
よってペリクル内側と連通すると共に、他方の端部から
外側部材２１ａの側面を貫通して成る開口部３２に通じ
てペリクル外側に連通して、ペリクルによって区画され
る内側と外側を連通することが可能となる。同様に、内
側部材２１ｂにも、内側部材２１ｂの側壁３３を貫通す
る開口部３４が設けられている。これにより、この外側
部材２１ａの内側面２２ａに設けられた溝２７ａも、そ
の端部２８ａと合致する位置に設けられた開口部３４に
よって、溝２７ａとペリクル内側が連通すると共に、他
方の端部から通じる開口２９ｂによって溝２７ａとペリ
クル外側が連通して、ペリクルによって区画される内側
と外側を連通することが可能となる。

【００２５】本発明においては、上述したペリクル枠内
部に設けられた通気孔と、接着剤層又は粘着剤層に設け
られていた通気孔や、ペリクル枠の上面又は下面に設け
られた溝から成る通気孔を組み合わせて用いることもで
きる。例えば本出願人の提案する、ペリクル枠の上面又
は下面にペリクル内側と外側と連通する溝を形成し、こ
の溝上に接着剤層又は粘着剤層を設けることにより、前
述したような屈曲部を有すると共に、行路の長い通気孔
を形成することもできるし、また接着剤層又は粘着剤層
自体に同様の溝を形成し、ペリクル膜又はマスクとの接
触によって、前述したような屈曲部を有すると共に、行
路の長い通気孔を形成することもできる（特願平８−１
８７１４５号）。

【００２６】これにより、ペリクル枠内部に設けられた
通気孔との組合せで複数の通気孔を設けることができ、
ペリクル内部とペリクル外部との気体の流通が容易に行
われ、ペリクル内部の気体の置換も可能となる。しかも
本発明により形成される通気孔は屈曲部を有すると共に
行路が長く、更に通気孔内表面が粘着性であるため、通
気孔内を通過する気体は、屈曲部でその流れが乱されて
気体中に存在する塵埃等のほとんどが通気孔内表面に付
着し、ペリクル内部に塵埃等が侵入することが有効に防
止されるのである。

【００２７】本発明のペリクルにおいては、上述した実
施例に限定されずに、種々の態様を採用することができ
る。枠状部材の接触面に設ける溝の形態としては、前述
した実施例ではペリクル枠の側壁に２つの通気孔を設け
ているが、ペリクル枠の上面又は下面、或いは接着剤層
又は粘着剤層に設ける通気孔と組み合わせることを前提
に、以下のような態様を採用することもできる。例え
ば、図８に示すように、ペリクル枠を構成する上方部材
又は下方部材の接触面４０全面にわたって、外側に向い
た開口（外側開口）４１から角渦巻き状に、内側に向い
た開口（内側開口）４２まで続く溝４３を設けてもよい
し、図９に示すように、ペリクル枠を構成する上方部材
又は下方部材の接触面４０に外側開口４１から二方向に
分かれ、内側開口４２付近で再び合流する溝４３を設け
ることもできる。

【００２８】また、ペリクル枠を構成する枠状部材も、
ペリクル枠を上下に分割したものでは接触面が上面及び
下面と平行である場合に限られず、接触面が斜めになっ
ていたり、段差を有していても勿論よく、同様にペリク
ル枠を内外に分割したものでは接触面がペリクル枠側面
と平行である場合に限られず、やはり斜めになっていた
り、段差を有することも勿論可能である。更に、各枠状
部材の接触面のぞれぞれに、組み合わせたときに互いに
重なり合わない形状の溝を設けて、複数の通気孔を形成
することもできる。

【００２９】この通気孔を形成する溝は、従来公知の切
削加工等により形成することができる。溝の大きさはペ
リクル枠の大きさ、枠体の幅等によっても相違するが、
一般には０．３乃至１．５ｍｍ、特に０．５乃至１．０
ｍｍの幅であることが好ましく、また通気孔の長さは、
勿論これに限定されないが、ペリクル枠の水平方向断面
の一周の長さの１０％以上、特に３０乃至２００％の長
さを有していることが好ましい。

【００３０】ペリクル枠上面又は下面に通気孔を形成す
る溝を設ける場合も、前述した枠状部材に溝を設ける場
合と同様、溝の形態は種々の態様を採用することができ
る。また、接着剤層或いは粘着剤層に通気孔を設ける場
合は、前述した図８及び図９に示したように、接着剤又
は粘着剤を角渦巻き状の溝が残るように塗布したり、或
いは内外に二列に塗布し内側と外側の列にそれぞれ出入
り口が一つずつ対向辺に形成されるように塗布したりす
ることもできる。また、接着剤層又は粘着剤層に通気孔
を形成する場合には、図１０及び図１１に示すように、
ペリクル枠の上面又は下面４４に接着剤又は粘着剤４５
を、塗布幅を広く、或いは少なくとも通気孔を形成する
部分で広くして、通気孔４６がＵ形、段状、段違い状、
凹凸状に形成されるように塗布することもできる。

【００３１】また、接着剤層又は粘着剤層に通気孔を設
ける場合には、前述した方法以外にもペリクル枠の上面
又は下面に接着剤又は粘着剤を全面に塗布した後、カッ
ティング等により不要部分を除去することによって形成
することもできる。

【００３２】本発明においては、前述したように、ペリ
クル枠を貫通する通気孔を出入り口が各２箇所設けられ
るように、複数個設けることがペリクル内部の気体の流
入及び流出をスムーズに行う上で好ましいが、ペリクル
枠を貫通する通気孔を一つ設け、ペリクル枠上面又は下
面、或いは接着剤層又は粘着剤層に設けられた通気孔を
組み合わせることによって、複数個の通気孔、すなわち
出入り口が各２箇所あるようにすることも勿論可能であ
る。

【００３３】本発明において通気孔内表面に粘着性を付
与するには、通気孔内表面に粘着剤を塗布すればよく、
勿論これに限定されないが、例えばポリスチレン、ポリ
イソブチレン、ポリエステル樹脂、酢酸ビニル樹脂、エ
チレン酢酸ビニル共重合体、ポリエチレンフェノキシ樹
脂等を挙げることができ、これら粘着剤を通気孔内にマ
イクロシリンジ等で注入してもよいし、枠体を分割する
場合は形成された溝に塗布することにより容易に粘着性
を付与することができる。また、枠状部材としては、ア
ルミニウム、アルミニウム合金、自然発色アルマイト化
アルミニウム等、従来ペリクル枠に用いられていたもの
を全て用いることができる。また、前述した通り、内側
部材と外側部材の２つの枠状部材に分割する場合には、
内側部材として自然発色アルマイト化アルミニウム又は
セラミック、外側部材として７０７５−Ｔ６アルミニウ
ム合金の組合せであることが好ましい。更に、枠状部材
を組み合わせる方法としては、エポキシ系、シアノ系、
アクリル系等の接着剤を用いる接着の他、圧接や溶接等
によって一体化してペリクル枠とすることができる。

【００３４】

【発明の効果】本発明のペリクルによれば、ペリクル枠
の内側面と外側面を連通し且つ屈曲部を有すると共に内
面に粘着剤が塗布された通気孔が、ペリクル枠に複数設
けられていることにより、ペリクル内部に塵埃等が侵入
することなく、ペリクル内外の気圧差を速やかに緩和し
得ると共に、外気の流入及びペリクル内部の気体の流出
がスムーズになってペリクル内部の気体の置換も可能な
ペリクルを提供することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のペリクルの通気孔を作成する方法の一
例を説明するための断面図である。

【図２】本発明のペリクルの一例の側断面図である。

【図３】本発明に用いるペリクル枠の一例を示す斜視図
である。

【図４】図３に示すペリクル枠が分割された状態を示す
斜視図である。

【図５】図４に示すペリクル枠の下方部材を示す斜視図
である。

【図６】本発明に用いるペリクル枠の他の一例を示す斜
視図である。

【図７】図６に示すペリクル枠が分割された状態を示す
斜視図である。

【図８】枠状部材に設ける溝の形状の一例を説明するた
めの断面図である。

【図９】枠状部材に設ける溝の形状の他の一例を説明す
るための断面図である。

【図１０】接着剤層又は粘着剤層に設ける通気孔の形状
の一例を説明するための部分拡大図である。

【図１１】接着剤層又は粘着剤層に設ける通気孔の形状
の他の一例を説明するための部分拡大図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中川 広秋 山口県玖珂郡和木町和木六丁目１番２号 三井化学株式会社内 Ｆターム(参考） 2H095 BC37 BC38 3B117 AA01 BA51 5F046 AA25 CB17 DA06

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 側面にペリクル内部と外部を連通する通
   気孔を有する枠体、該枠体の上面に設けられた接着剤
   層、該接着剤層を介して張架されるペリクル膜、及び該
   枠体の下面に設けられた粘着剤層から成るペリクルにお
   いて、 前記枠体には、枠体の内側面と外側面を連通し且つ屈曲
   部を有すると共に内表面が粘着性を有する通気孔が、複
   数設けられていることを特徴とするペリクル。
2. 【請求項２】 前記通気孔には、屈曲部が３箇所以上設
   けられている請求項１記載のペリクル。
3. 【請求項３】 前記通気孔が、枠体に複数の孔を穿ち、
   該孔を組み合わせると共に不要部分に枠材料を埋め込む
   ことにより閉塞させて、一つの連通した孔にすることに
   より形成されたものである請求項１又は２記載のペリク
   ル。
4. 【請求項４】 前記枠体が、該枠体を内側及び外側に分
   割した２つの枠状部材を組み合わせて成り、該枠状部材
   同士の接触面の少なくとも一方には屈曲部を有する溝と
   共に枠状部材を組み合わせたときに枠体の内側面と外側
   面を連通する溝が設けられ、該溝が枠状部材を組み合わ
   せたときに前記通気孔を形成する請求項１又は２記載の
   ペリクル。
5. 【請求項５】 前記枠状部材の外側部分がアルミニウム
   合金７０７５−Ｔ６から成ると共に、前記枠状部材の内
   側部分が自然発色アルマイト化アルミニウム又はセラミ
   ックから成ることを特徴とする請求項４記載のペリク
   ル。
6. 【請求項６】 前記枠体が、該枠体を上下方向に分割し
   た２つの枠状部材を組み合わせて成り、該枠状部材同士
   の接触面の少なくとも一方には、枠状部材の内側面と外
   側面を連通し且つ屈曲部を有する溝が設けられ、該溝が
   枠状部材を組み合わせたときに前記通気孔を形成する請
   求項１又は２記載のペリクル。
7. 【請求項７】 前記通気孔が、枠体の少なくとも一つの
   角部を通って屈曲部を形成する孔又は溝から成る請求項
   １乃至６の何れかに記載のペリクル。
8. 【請求項８】 前記通気孔の枠体外面側の孔口が、外側
   に向かって開口面積の大きくなる漏斗型である請求項１
   乃至７の何れかに記載のペリクル。
9. 【請求項９】 前記通気孔が、孔径の異なる通気孔の組
   合せである請求項１乃至８の何れかに記載のペリクル。
10. 【請求項１０】 前記枠体の上面又は下面に、通気孔を
    形成する溝が形成されている請求項１乃至９の何れかに
    記載のペリクル。
11. 【請求項１１】 前記接着剤層又は粘着剤層に、通気孔
    が形成されている請求項１乃至１０の何れかに記載のペ
    リクル。