JP5047232B2

JP5047232B2 - ペリクル

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Publication number: JP5047232B2
Application number: JP2009152277A
Authority: JP
Inventors: 一敏関原
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 2009-06-26
Filing date: 2009-06-26
Publication date: 2012-10-10
Anticipated expiration: 2029-06-26
Also published as: JP2011008082A; KR20110000493A; TWI438567B; CN101930163A; US8435703B2; US20100328635A1; EP2267529B1; CN101930163B; EP2267529A1; HK1149088A1; KR101383438B1; TW201100953A

Description

本発明は、半導体デバイス、プリント基板あるいは液晶ディスプレイ等を製造する際のゴミよけとして使用されるペリクルに関するものである。

ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造或は液晶ディスプレイ等の製造においては、半導体ウエハーあるいは液晶用原板に光を照射してパターンを作製するが、この時に用いるフォトマスクあるいはレチクル（以下、単に「フォトマスク」と記述する。）にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりするなど、寸法、品質、外観などが損なわれるという問題があった。

このため、これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことが難しい。そこで、フォトマスク表面にゴミよけとしてペリクルを貼り付けした後に露光を行っている。この場合、異物はフォトマスクの表面には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。

ペリクルは、透明なペリクル膜を、ペリクルフレームの上端面に貼り付けたものである。ペリクル膜の素材としては、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースあるいはフッ素樹脂などが使用され、ペリクルフレームの素材としては、アルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどが使用される。さらに、ペリクルフレームの下端にはフォトマスクに装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が設けられるのが一般的である。

また、ペリクルをフォトマスクに貼り付けた状態において、ペリクル内部に囲まれた空間と外部との気圧差をなくすことを目的として、ペリクルフレームの一部に気圧調整用の通気孔を開け、通気孔を通じて移動する空気からの異物侵入を防ぐためのフィルタ部材が設置されることもある（特許文献１参照）。

このフィルタ部材は通常所望の異物捕集性能および通気性能が得られるよう捕集口径および面積が考慮されるが、気圧調整用の通気孔が１箇所では所望の通気量が得られない場合には複数の通気孔が設けられ、それぞれにフィルタ部材が設置される。特に、１辺が５００ｍｍを超えるような大型の液晶製造用ペリクルでは、通気量確保のため、通常８〜数十箇所に通気孔が設けられ、それぞれにフィルタ部材が設置される。しかし、通気量確保のために通気孔を多数設けることはペリクルフレームの剛性を低下させる結果となり好ましいことではない。剛性が低下すると、製造時において変形しやすくなるほか、
ペリクル膜を展張した際のフレームの撓みが大きくなり、ペリクル内側の有効露光領域が減少したり、ペリクル貼付精度が悪化するという問題点がある。

ここで用いられるフィルタ部材は、一般的にはポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などを延伸加工した多孔質薄膜をフィルタ膜として用いたシート状のものがコスト、形状の点からペリクルでの使用に適しており、良く用いられる。その構造は、図４に示すようなもので、フィルタ膜４１の片面にペリクルフレームに接着するための粘着層４３をリング状に配し、その反対側の面にはフィルタ膜４１を保護するポリプロピレン（ＰＰ）等からなる粗いメッシュ状の保護網４２を接着した３層構造となっていて、厚さは全体で０．１５〜０．３ｍｍ程度である。時には発塵を防ぐためにフィルタ膜に粘着性物質を塗布または浸潤させる加工が行われることもある（特許文献２参照）。

この場合、フィルタ膜が粘着性物質で覆われるためフィルタ部材製造時に付着した異物がフィルタ膜上に固定され、通気の際にペリクル内に移動することがないため、フィルタ部材からの発塵が大幅に低下する。この粘着性物質の塗布量はフィルタ膜の通気性を考慮して決定されるが、発塵防止効果と通気性の間には相反する関係がある。すなわち、塗布量が多いほど発塵防止効果は向上するが、通気性は悪化する。そのため、高い発塵防止効果を有しつつ、高い通気性を確保するのは極めて困難であった。

そのため、特に大型のペリクルにおいては、通気性を確保するために、気圧調整用の通気孔の数を増やし、それに応じてフィルタ部材の取り付け数を増やすことが必要となる。しかし、フィルタ部材の取り付け数が増加すると取付作業の負担等の様々な問題が生ずる。

通常、フィルタ部材は図５に示すように、ペリクルフレームの外側表面に通気孔を覆う形で貼り付けられている。多数のフィルタ部材がペリクルフレーム外側に突出した状態になると、ハンドリング治具、ペリクル貼付装置や露光装置においてフィルタ部材が接触して損傷したり、フィルタ部材の厚み分、ペリクルフレームを内側に押してペリクル膜に皺を発生させる危険性が飛躍的に高まる。

さらに、製造上の問題もある。フィルタ部材は通気孔をふさぐことがないよう、位置を良く合わせてピンセット等で貼り付ける必要がある。しかし、フィルタ部材は通常０．１５〜０．３ｍｍ程度と薄いうえ、膜面を汚したり損傷したりすることがないよう、細心の注意を持って貼り付ける必要があり、その作業は非常に難しい。そのため、取り付け枚数が多くなると、このフィルタ部材貼り付け作業は作業者への負担が特に大きなものとなる。

実公昭６３−３９７０３号公報特開平９−６８７９２号公報

本発明は、上記のような問題点に鑑みなされたもので、本発明の目的は、発塵が少ないうえに通気性に優れ、さらにペリクル取り扱い時にもフィルタ部材の接触、破損の恐れが無く、なおかつ製造時の作業性にも優れたペリクルを提供することにある。

本発明は、ペリクルフレームに、ペリクル内部の気圧をペリクル外部の気圧と同一に調整するための貫通孔が設けられ、当該貫通孔に異物の侵入を防止するフィルタを具えたフィルタ部材が取り付けられたペリクルに関し、前記貫通孔が、（１）ペリクル外部に開口しフィルタ部材を収容する凹形状の外側段部と、（２）前記外側段部の底面に開口する凹形状の内側段部と、（３）一端が前記内側段部の底面に開口し他端がペリクル内部に開口する通気孔からなることを特徴とする（請求項１）。本発明でいうフィルタ部材とは、貫通孔への異物の侵入を防止するフィルタを具備する部材であり、当該部材を外側段部に貼着する為の接着層や粘着層を含んでいる。内側段部の存在によりフィルタ面下の空隙を大きくすることができ、通気性が向上する。また、外側段部にフィルタ部材が収容されることにより、ペリクルフレーム外面よりフィルタ部材が突出することがなくなるか、あるいは、突出の程度が低下し、ペリクル取り扱い時において、フィルタ部材が接触破損する恐れがきわめて低下する。さらに、この外側段部はフィルタ部材貼り付け時においても貼り付け位置の目標となるため、特別な技術が無くとも正確な位置への貼り付けが可能となる。

ここで、上記外側段部の深さは、フィルタ部材の厚さの５０〜１５０％の範囲であることが良い（請求項２）。フィルタ部材の厚さにはフィルタ部材を外側段部の底部に貼着する為の接着層や粘着層の厚さが含まれる。外側段部の深さは少なくともフィルタ部材の厚さの５０％あれば、いくばくかのフィルタ部材破損の危険度低下が得られるし、なおかつ貼り付け時の位置合わせ効果を得ることができる。しかし、深さがフィルタ部材厚みに対して深すぎると貼り付け作業性が大幅に低下するため、その上限は１５０％とすることが好適である。

また、内側段部の外側段部側の開口部の面積が、フィルタ部材のフィルタの通気面積の８０〜１５０％の範囲であり、内側段部の深さが０．２ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが良い（請求項３）。この範囲がフィルタ面下の空隙として好適である。ここでフィルタの通気面積とは、フィルタの通気に関与する面積のことであり、例えば、フィルタにペリクルフレームに接着するための粘着層がリング状に配されているフィルタ部材であれば、リング状の粘着層に囲まれた面積が通気面積である。

そして、上記に加え、フィルタ部材のフィルタに粘着性物質を塗布または浸潤すれば（請求項４）、通気性を確保しつつも、フィルタ部材からの発塵を著しく低減することができる。内側段部の存在によりフィルタ面下の空隙を大きくすることができるので、フィルタの外側から粘着性物質を塗布または浸潤した際に、フィルタ内側に染み出した粘着性物質がフィルタの通気面に溜まったり、通気面が貫通孔の内面に貼り付くことが防止され、所望の通気性能を得ることができる。

本発明によれば、内側段部を設けたことによりフィルタの通気面積が最大限確保されので、通気孔の数を減らしたり、通気孔を小径とすることができる。その結果、貫通孔を設けたことによるペリクルフレームの剛性の低下を最小限に止めることができる。また、フィルタに発塵低減の為の粘着性物質を塗布または浸潤した場合でも、内側段部の存在により通気性が確保され、高い通気性を兼ね備えたペリクルを得ることができる。また、フィルタ部材を外側段部内に取り付けるため、ペリクルフレーム表面からの突出が無いかあるいは少なく、ペリクル貼付時や使用中においてのフィルタ部材の接触および破損が低減され、信頼性の高いペリクルとなる。さらに、製造時においては、容易にフィルタ部材の位置合わせが可能なため作業性が大幅に向上し、多数のフィルタ部材を取り付ける際にも短時間かつ信頼性高く作業を行うことができる。

本発明のペリクルの第１の実施態様の要部図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）はＩ−Ｉ線による断面図である。本発明のペリクルの第２の実施態様の要部図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）はＩ−Ｉ線による断面図である。本発明のペリクルの第３の実施態様の要部図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）はＩ−Ｉ線による断面図である。フィルタ部材の一例の構造図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は底面図である。従来のペリクルの部分図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）はＩ−Ｉ線による断面図である。粘着性物質を塗布または浸潤した場合の説明図である。ペリクルフレームであり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）はＩ−Ｉ線による断面図である。通気性評価装置。発塵評価装置。

以下、本発明を実施するための形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものでなはい。また、本発明は貫通孔の数が多い液晶製造用途で使用される、一辺の長さが５００ｍｍを超えるような大型のペリクルにおいて特に効果が大きいが、半導体用途で使用される、貫通孔の数が１〜２個程度の小型のペリクルについて適用しても所望の効果が得られるので、特にその用途が限定されるものではない。

ペリクルフレームには、貫通孔が設けられている。貫通孔は、外側段部、外側段部よりも一回り小さい内側段部、および通気孔からなり、外側段部はフィルタ部材より一回り大きく、フィルタ部材が外側段部に収まるように取り付けられている。

フィルタ部材はペリクルフレーム表面への突出がないか少ないため、ペリクル取り扱いの際にこれが接触して剥離、脱落する危険が大幅に低減される。また、フィルタの取り付けは、通常、ピンセット等を用いて行われるが、外側段部が貼り付けの目標になるため、きわめて位置あわせがしやすく作業性が大幅に向上する。外側段部が無い場合は、フィルタ外側からは見えないフィルタ通気面の中央がほぼ通気孔の真上に来るように位置を調整する必要があり、これは非常に作業しにくいものであった。

フィルタ部材が取り付けられる外側段部の深さは、フィルタ部材の厚さの５０〜１５０％の範囲、より好ましくは１００〜１２０％とすることが良い。１００％以下ではフィルタ部材が突出してしまうため、フィルタ部材破損の危険を完全には回避できないが、製造時に位置あわせが容易であるという効果はある。深さはフィルタ部材の厚みの１５０％以上は余剰で、洗浄性が悪化するうえ、フィルタ部材の貼り付け作業においても作業性が悪化するため、好ましくない。

内側段部により、フィルタの通気面下の空隙が十分に確保されるため、フィルタ部材の通気性が向上する。特に、フィルタ膜に粘着性物質を塗布または浸潤した場合には大きな効果を発揮する。

フィルタに粘着性物質を塗布または浸潤した場合の粘着性物質の状態を、図６に示した。フィルタ膜６３の内側に染み出した粘着性物質６６は、表面張力により粘着層６５および内側段部６８の側壁の方に凝集する。その結果、フィルタ膜６３の通気面に粘着性物質が溜まったり、通気面がペリクルフレーム６１に貼り付くことが防止されるので、フィルタ膜６３の通気面積の低下はほとんど生じない。したがって、粘着性物質による通気性の低下を最小限に抑えることができる。図６にはフィルタ膜を使用した場合を示したが、膜以外の形状のフィルタの場合も同様の状態となる。

通気孔は、フィルタと比較すると通気性へ及ぼす影響はきわめて小さいので、その形状は主としてペリクルフレーム剛性への影響ならびに加工性を考慮して決定する。本発明では、特に通気孔の形状は問わないが、加工性からは丸孔が最適である。その径は大きいほど加工しやすいが、大きくなるに従い、ペリクルフレームの剛性が低下するため、通気性を確保した上で、できるだけ小さい方が良い。通気性の点からは、その直径は０．５mm程度あれば十分であるが、ペリクルフレーム幅が１０mmを超えるような、特に大型のペリクルの場合は、細径の刃物では折れたり、加工速度が極めて遅くなるので、生産効率の良いドリル加工を考えると直径１．５mm程度が好適である。

内側段部に代えて、例えば、通気孔を極端に太径としたり、フィルタの通気面と同じ断面形状とすることでも本発明と同様の効果を得ることができる。しかし、これらの方法では、上記したように、ペリクルフレーム断面積の減少によりペリクルフレーム剛性が著しく低下し、使用に耐えない。本発明の手法では、ペリクルフレーム断面積の減少を最低限にとどめることができ、ペリクルフレーム剛性への悪影響はほとんど無い。

内側段部の外側段部側の開口部の面積を、フィルタ部材のフィルタの通気面積の８０〜１５０％の範囲とすることが良く、内側段部の深さを０．２ｍｍ以上１ｍｍ以下とすることが良い。８０％以下ではフィルタの通気面の確保が不十分であるし、１５０％以上では粘着層の接着部が少なくなり、取り付けの信頼性が低下する。また、深さ０．２ｍｍ以下ではフィルタ面との接触が完全には解消されず、１ｍｍ以上では、洗浄性が悪化するうえ、段部内の異物検査がやりにくくなるため、好ましくない。

また、この内側段部の形状は、上記範囲を考慮したうえで、加工性、洗浄性等を考慮して適宜設計すれば良い。後述の図１〜３に示す形状の他、内側段部の壁面に１段以上の段がついた形状も採用できる。

図１に本発明のペリクルの第１の実施態様を示す。図１に示したのは、フィルタ部材取り付け部周辺の部分図であり、当該フィルタ部材は図４に示すような構造のもので、多孔質ＰＴＦＥなどからなるフィルタ膜４１の片面に粘着層４３、その反対面に目の粗いＰＰ等のメッシュが保護網４２として接着されている。粘着層４３の中央部の領域がくりぬかれており、この部分はフィルタ膜４１が露出しているので、この領域で通気が行われる。内側段部１７は底の角部が直角に彫り込まれている。内側段部の外側段部側の開口部の平面方向の形状は、フィルタ部材の露出形状に合わせてある。

図２に本発明のペリクルの第２の実施態様を示す。図２（Ａ）における破線は、外側の破線がフィルタ膜の粘着層の内周面を、内側の破線が内側段部２７の開口部の形状を示している。この実施態様は内側段部２７の底の角部をＲ形状とし、内側段部の外側段部側の開口部の平面方向の形状を、加工の容易な角の丸い形状としたものである。

図３に本発明のペリクルの第３の実施態様を示す。これまで、図４に示すような単層のフィルタ膜を具えたフィルタ部材を使用した場合について述べてきたが、図３のような円筒型のフィルタ部材３８を使用することもできる。この円筒型のフィルタ部材３８は、焼結金属多孔質体、多孔質セラミックス、ステンレス鋼線、多孔質樹脂などからなるフィルタ３８ａを、ステンレス鋼、ポリプロピレンなどからなる外筒３８ｂ内にかしめ加工、あるいは接着により取り付け、さらに、ペリクルフレーム３１に固定する為の粘着層３８ｃを設けたものであり、円筒の両端面間で通気が行われる。図３には保護網のないものを示したが、保護網を設けてもよい。粘着層３８ｃに代えて接着剤の層を設けてもよい。この場合においても、フィルタ部材が収納される外側段部３６の凹みのさらに内側にもう一段の凹みの内側段部３７を設ければ、上記単層膜のフィルタ部材の場合と同様の効果を得ることができる。外筒３８ｂと外側段部３６の隙間部分はエポキシ、シリコーン樹脂などの接着性物質により充填されていることが好ましい。

以下に本発明の実施例を記述するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

［実施例１］
Ａ５０５２アルミニウム合金の圧延板から図７に示すような形状の外寸１５２６×１７４８ｍｍ、内寸１４９３×１７１１ｍｍ、高さ６．２ｍｍのペリクルフレームを機械加工により製作した。このペリクルフレームには１６箇所の貫通孔を設け、各貫通孔は図１（Ｂ）に示す断面形状とした。ここで、図中の寸法は、外側段部（ａ、ｂ、ｅ）＝１０．０×４．０×０．３ｍｍ、内側段部（ｃ、ｄ、ｆ）＝７．５×１．６×０．５ｍｍ、通気孔径（ｇ）＝１．５ｍｍ、外側段部の外縁角部の曲率半径（ｈ）＝１．０ｍｍ、内側段部の外縁角部の曲率半径（ｋ）＝０．５ｍｍである。そして、機械加工終了後、このペリクルフレーム表面をサンドブラスト処理し、さらに黒色アルマイト処理を施した。

このペリクルフレームをＣｌａｓｓ１００のクリーンルーム内に搬送して、界面活性剤および純水にて洗浄し、完全に乾燥させた。

そして、このペリクルフレームの上端面にペリクル膜接着剤１３としてシリコーン粘着剤（信越化学工業（株）製；商品名ＫＲ３７００）をトルエンで希釈して乾燥膜厚がおよそ１００μｍとなるように塗布した。また、下端面にはマスク粘着層１５を構成する為のマスク粘着剤としてシリコーン粘着剤（信越化学工業（株）製；商品名ＫＲ３７００）をトルエンで希釈し、６ｍｍ幅となるように塗布した。このとき、乾燥後の粘着剤の高さが約２ｍｍとなるように仕上げた。

そして、各通気孔には、打ち抜き加工により製作した図４に示すような保護網４２、フィルタ膜４１、粘着層４３からなる構造の捕集径０．１μｍのフィルタ部材をピンセットを用いて貼り付けたうえ、シリコーン粘着剤（信越化学工業（株）製；商品名ＫＲ３７００）をトルエンで適当な粘度に希釈したものをハンドディスペンサでフィルタ部材表面より４μl塗布し、粘着剤をフィルタ膜に浸潤させた。ピンセットを用いたフィルタの貼り付け作業に要した時間を計測したところ、１枚あたりおよそ１５ｓｅｃであった。

その後、このペリクルフレームを１３０℃に加熱して粘着剤、接着剤中の溶媒を乾燥させるとともに、シリコーン粘着剤を完全に架橋させ、次いで粘着剤保護用として別途製作しておいたセパレータをマスク粘着層１５上に貼り合わせた。このセパレータは、片面に離型剤をコーティングしたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（厚さ１２５μｍ、半透明）をペリクルフレームの形状に切断して製作したものである。

次に、ペリクル膜の製造について説明する。Ｃｌａｓｓ１００のクリーンルーム内にて、表面を平滑に研磨した１６２０×１７８０ｍｍの石英基板を洗浄、乾燥したのち、その片面にダイコート法を用いて膜材料としてフッ素樹脂（旭硝子（株）製；商品名サイトップ）の溶液を乾燥後膜厚が６μｍとなるように塗布した。この成膜方法は、ここではダイコート法としたが、この他にスピンコート法、スリットアンドスピン法など種々のものを使用することが可能である。その後、成膜基板ごとオーブンで２００℃に加熱し、溶媒を乾燥させた。そして、冷却後、この膜に対して、枠状の膜剥離治具を接着し、ゆっくりと基板から引き剥がしてペリクル膜を得た。

そして最後に、膜剥離治具に接着した状態のペリクル膜を、前記したペリクルフレームの膜接着層に貼り合わせ、外側の余剰膜をカッターにより切除してペリクルを完成させた。

完成したペリクルのフィルタ部の外観を観察したところ、全てのフィルタは段差内に収納され、曲がりやズレがない好適なものであった。

そして、このペリクルについて通気性を評価した。評価に使用した装置を図８に示す。被計測ペリクル８６は、アルミ製ベース板８１上に貼り付けられ、ペリクル内部にエアを導入するためのバルブ８２が設けられている。ベース板８１上からは所定の距離で支持フレーム８３下に超音波距離センサ８４が取り付けられており、ペリクル膜までの距離を測定して表示器８５に表示することができる。

この装置により、上記ペリクルに５０００ｃｃのエアを導入し、ペリクル膜が元の高さに戻るまでの時間を計測したところ、１７ｈ３０ｍｉｎであった。

また、このペリクルについてフィルタ部材からの発塵量を評価した。はじめに、１６２０×１７８０×厚さ１０ｍｍの表面研磨した石英ガラス基板を用意し、クリーンルーム内で洗浄、乾燥の後、暗室内で集光ランプを用いて基板上の異物検査を行った。付着していた異物についてはエアブローによる除去を行ったが、除去できないものについては、その位置をマップに正確に記録した。

その後、図９に示すように、この石英ガラス基板９１に製作したペリクル９２を貼り付け、ペリクル９２とガラス基板９１に囲まれた閉空間を作った。そして、ペリクル９２のフィルタ部９３のうち５箇所を無作為に選んで、外側からエアガン９４にてブローを行った。エアブローの条件は、ノズル径：２ｍｍ、距離：２０ｍｍ、圧力：４ｋｇｆ／ｃｍ²、ブロー時間：１０ｓｅｃとした。

そして、フィルタ部材へのエアブロー後、暗室内にて石英ガラス基板９１上の異物を集光ランプにより目視検査し、エアブロー前の検査マップと比較した。その結果、基板上の異物は全く増加しておらず、フィルタ部材からの発塵が無いことが確認された。

［実施例２］
上記実施例１と同じ方法、手順にてペリクルを製作した。ただし、使用するフィルタ部材にはシリコーン粘着剤の塗布を行わなかった。このペリクルに対して、上記実施例１と同様にして、外観検査および通気性の評価を行った。
完成したペリクルのフィルタ部材の外観を観察したところ、全てのフィルタ部材は段差内に収納され、曲がりやズレがない好適なものであった。

通気性評価として、図８の装置によりペリクル内に５０００ｃｃのエアを導入し、ペリクル膜が元の高さに戻るまでの時間を計測したところ、１４ｈ４０ｍｉｎであった。

［比較例１］
Ａ５０５２アルミニウム合金の圧延板から図７に示すような形状の外寸１５２６×１７４８ｍｍ、内寸１４９３×１７１１ｍｍ、高さ６．２ｍｍのペリクルフレームを機械加工により製作した。このペリクルフレームには図５に示すような同一径断面形状の直径１．５ｍｍの通気孔５２を１６箇所設けた。機械加工終了後、このペリクルフレーム表面をサンドブラスト処理し、さらに黒色アルマイト処理を施した。

そして、上記実施例１と同様にして、このペリクルフレームをＣｌａｓｓ１００のクリーンルーム内にて洗浄、乾燥した後、上記実施例１と同じく膜接着剤５３、マスク粘着剤５５を塗布した。そして、各通気孔には、打ち抜き加工により製作した図４に示す構造のフィルタ部材をピンセットを用いて貼り付けたうえ、シリコーン粘着剤（信越化学工業（株）製；商品名ＫＲ３７００）をトルエンで上記実施例１と同じ濃度に希釈したものをハンドディスペンサでフィルタ部材５６表面より４μl塗布し、粘着剤をフィルタに浸潤させた。このとき、ピンセットを用いたフィルタの貼り付け作業に要した時間を計測したところ、平均１枚あたり約３６ｓｅｃであった。

次いで、このペリクルフレームを１３０℃に加熱して溶媒を乾燥させるとともに、シリコーン粘着剤を完全に架橋させ、粘着剤保護用として別途製作しておいたセパレータをマスク粘着層上に貼り合わせた。

最後に、上記実施例１と同様にして製作したペリクル膜をこのペリクルフレームの膜接着層に貼り合わせ、ペリクルフレーム外側の余剰膜をカッターにより切除してペリクルを完成させた。

完成したペリクルに対し、上記実施例１と同様にして図８に示す装置により通気性評価を行った。ペリクルの密閉空間にエア導入バルブ８２より５０００ｃｃのエアを注入し、その後、膜が水平に戻るまでの時間を計測したところ約４１ｈであった。

完成したペリクルに対し、フィルタ部材の外観を観察した。各々のフィルタ部材にはズレや曲がりが見られ、特に、各フィルタ部材の間隔のズレが目立った。各々のフィルタ部材の間隔を計測したところ、設計上８０ｍｍ間隔に対して、最小７８ｍｍ、最大８３ｍｍで取り付けられていた。フィルタ部材が本来の位置からずれて貼り付けられると、フィルタ部材に塗布したシリコーン粘着剤が直接通気孔に流入し通気孔が粘着層で狭くなったり塞がれたりすることがあるが、このペリクルにはその懸念があった。また、外観上も芳しくなかった。また、１６枚ものフィルタ部材がペリクルフレームから突出しているため、ペリクルフレームが何かに接触した際には破損、剥離する恐れが非常に高いものであった。

さらに、フィルタ部材からの発塵量評価として、上記実施例１と全く同条件にて５箇所のフィルタ部材にエアブローを行ったが、基板上の異物は全く増加しておらず、フィルタ部材からの発塵は確認されなかった。

比較例１について、上記結果をまとめると、フィルタ膜に塗布した粘着剤の効果により、フィルタ部材からの発塵が無くこの点では好適なものであったが、フィルタ部材貼付状態の外観が悪い上、通気性が非常に悪い。性能として実施例１に比べ劣っているものであった。

［比較例２］
上記比較例１と同じ方法、手順にてペリクルを製作した。ただし、使用するフィルタ部材にはシリコーン粘着剤の塗布を行わなかった。このペリクルに対して、上記実施例１と全く同じ評価を行った。
完成したペリクルのフィルタ部の外観は、上記比較例１と同じく曲がり、ズレが多く見受けられ、見た目として芳しく無いものであった。

通気性評価として、図８の装置によりペリクル内に５０００ｃｃのエアを導入し、ペリクル膜が元の高さに戻るまでの時間を計測したところ、１５ｈ３０ｍｉｎであった。

さらに、フィルタ部材からの発塵量評価として、上記実施例１と全く同条件にて５箇所のフィルタ部材にエアブローを行った。その結果、５箇所のうち４箇所の通気孔近傍のガラス基板上に直径５〜３０μｍの異物数個の付着が見られた。

以上をまとめると、比較例２のペリクルは、上記実施例２より通気性が悪かった。また、フィルタからの発塵が多く、信頼性が非常に低いものであった。

１１ペリクルフレーム
１２通気孔
１３膜接着層
１４ペリクル膜
１５マスク粘着層
１６外側段部
１７内側段部
１８フィルタ部材
ａ，ｂ，ｅ外側段部の寸法
ｃ，ｄ，ｆ内側段部の寸法
ｇ通気孔の直径
ｈ外側段部の角部曲率半径
ｋ内側段部の角部曲率半径

２１ペリクルフレーム
２２通気孔
２３膜接着層
２４ペリクル膜
２５マスク粘着層
２６外側段部
２７内側段部
２８フィルタ部材

３１ペリクルフレーム
３２通気孔
３３膜接着層
３４ペリクル膜
３５マスク粘着層
３６外側段部
３７内側段部
３８フィルタ部材
３８ａフィルタ
３８ｂ外筒
３８ｃ粘着層

４１フィルタ膜
４２保護網
４３粘着層

５１ペリクルフレーム
５２通気孔
５３膜接着層
５４ペリクル膜
５５マスク粘着層
５６フィルタ部材

６１ペリクルフレーム
６２通気孔
６３フィルタ膜
６４保護網
６５粘着層
６６塗布した粘着性物質
６７外側段部
６８内側段部

７１ペリクルフレーム

８１ベース板
８２通気管およびエア導入バルブ
８３支持フレーム
８４超音波式距離センサ
８５表示計
８６ペリクル

９１石英ガラス基板
９２ペリクル
９３フィルタ
９４エアガン

Claims

ペリクルフレームに、ペリクル内部の気圧をペリクル外部の気圧と同一に調整するための貫通孔が設けられ、当該貫通孔に異物の侵入を防止するフィルタを具えたフィルタ部材が取り付けられているペリクルであって、
前記貫通孔が、
（１）ペリクル外部に開口しフィルタ部材を収容する凹形状の外側段部と、
（２）前記外側段部の底面に開口する凹形状の内側段部と、
（３）一端が前記内側段部の底面に開口し他端がペリクル内部に開口する通気孔からなることを特徴とするペリクル。
外側段部の深さがフィルタ部材の厚みの５０〜１５０％の範囲である請求項１に記載のペリクル。
内側段部の外側段部側の開口部の面積が、フィルタ部材のフィルタの通気面積の８０〜１５０％の範囲であり、内側段部の深さが０．２ｍｍ以上１ｍｍ以下である請求項１または請求項２に記載のペリクル。
フィルタ部材のフィルタに粘着性物質が塗布または浸潤されてなる請求項１〜３のいずれか１項に記載のペリクル。