JP3445685B2 - マスク保護装置 - Google Patents
マスク保護装置Info
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Description
おけるフォトリソグラフィ工程で使用されるマスク或い
はレチクル(以下「マスク」という)に塵埃等が付着す
るのを防止する目的で用いられるマスク保護装置に関す
る。
に塵埃等が付着すると、これが半導体ウェハーに投影さ
れ、不良製品となりがちである。この問題を解消し、マ
スク上に塵埃等が付着するのを防止するため、マスクパ
タ─ンを囲う大きさの枠の一側面に透明な薄膜を張設
し、他側端面をマスク上に粘着テ─プ等の接着手段によ
り接着してマスクを薄膜により一定の間隔を存して覆う
ようにしたマスク保護装置が供用されるようになった。
した状態では、内部がきわめて気密性のよい状態になっ
ているため、気圧変化や温度変化によって薄膜が膨らん
だり、凹んだりすることがある。こうした薄膜の膨らみ
や凹みは、膜の光学的特性を変化させたり、凹凸の程度
が激しいと、薄膜がマスクに接触したり、収納するケー
スの蓋に当たって膜が損傷するようにもなる。
39703号には、枠に少なくとも一つに通気孔を形成
すると共に、通気孔をフィルタ─で塞いで塵埃等の侵入
を防止するようにしたマスク保護装置が提案されてい
る。この装置によれば、マスク上に取付けた状態で通気
性を有するため、温度変化や圧力変化によって薄膜が膨
らんだり、凹んだりするのを解消することができる。
を形成したマスク保護装置について改良を加え、温度変
化や圧力変化への応答性をよくしようとするもので、そ
れには通気孔の面積を増加させるか、或いは通気孔の数
を増やすことが考えられるが、通気孔の面積を大きくす
るのは、枠の強度が損なわれ、マスク上に装置を取付け
るためマスクに押付けるとき、枠が変形しがちとなる。
また通気孔の数を増やすのも、孔穿けやフィルタ─の取
付けに手間がかかり好ましくない。
増加させることによって温度変化や圧力変化への応答性
を向上させたマスク保護装置を提供することを目的とす
る。
め、マスクパターンを囲う大きさの枠と、枠の一側面に
張設される薄膜と、枠の他側端面をマスク上に取着する
接着手段とを有するマスク保護装置において、マスクパ
ターンとマスク保護装置で囲まれる空間と、それ以外の
空間に存する気体を流通させるために枠に形成される少
なくとも一つの通気孔と、該通気孔よりも断面積が大き
くて、枠に第2の接着手段により又は両面に第2の接着
手段を有するスペーサを介して一定の間隔を存して枠か
ら離して取着され、通気孔を覆うフィルター手段から構
成してなるものである。
有する枠面との間隔は、50〜1000μm、好ましく
は100〜500μmとされる。別のマスク保護装置
は、枠にマスクパターンとマスク保護装置で囲まれる空
間と、それ以外の空間に存する気体を流通させるための
通気孔と、該通気孔より大きな断面積を有して通気孔と
連通し、開口部に該開口部を覆うフィルター手段が取付
けられる凹溝を設けたことを特徴とする。ここで支持枠
に設けられる凹溝は、断面が溝の深さ方向に均一に形成
されていてもよいし、開口部に向かって拡大するように
形成されていてもよい。いずれの場合も溝の深さは枠の
強度を損なわなければどのような深さでもよいが、一般
には、0.05mm〜1.5mm程度とされる。別のマスク
保護装置は、フィルター手段が枠の外側に取着されるこ
とを特徴とする。更に別のマスク保護装置は、枠にマス
クパターンとマスク保護装置で囲まれる空間と、それ以
外の空間に存する気体を流通させるために通気孔を形成
すると共に、通気孔より大きな断面積を有するフィルタ
ー支持枠を上記枠に取着し、フィルター支持枠は開口部
がフィルター手段で覆われると共に、底に上記通気孔に
接続する貫通孔が形成されることを特徴とする。上述の
いずれのマスク保護装置においても、フィルターの断面
積は一般に通気孔の断面積の2〜5000倍、好ましく
は5〜3000倍、とくに好ましくは10〜2000倍
とされる。
をA(m2)、フィルタ─手段を通過するガス移動係数を
K(m/sec)とすると、フィルター手段を通るガス
の通過量Q(m3)は、Q=AKとなる。つまりガスの通
過量Qはフィルター面積の増加に比例して増大する。ま
たガスの流れる有効面積が増加することにより、塵埃の
付着による目詰まりの可能性が少なくなる。
ようにすれば、取付けが容易でフィルタ─による発塵の
影響を少なくすることができる。図1に示すマスク保護
装置6は、マスクパタ─ンを囲う大きさの矩形状の枠3
と、枠3の上側面に接着剤11にて貼付されて張設され
る透明な薄膜4と、枠3の下側端面に取着される離型紙
付きの両面粘着テ─プ5と、枠3の側面に穿設される通
気孔1よりなり、通気孔1には、図2及び図3に詳細に
示されるように、塵埃除去用の円形のフィルター2がそ
の周縁において、通気孔1を囲うリング状の両面粘着テ
─プ8によって取着されている。
上に装着するときには、離型紙を剥がしてマスク上にマ
スクパタ─ンを囲うようにして接着する。図4に示すフ
ィルター13は、長方形で、一側面には保護ネット14
が積層され、他側面周縁には、補強基材15の両面に接
着剤層16を備えた両面粘着テープ17が貼付されてい
る。
粘着テープ17で通気孔1を囲うようにして取着してな
るものである。図6に示すマスク保護装置は、枠3の外
側面に円形又は矩形の凹溝19を形成し、凹溝19の溝
底に通気孔21を穿設すると共に、フィルター22を接
着剤にて凹溝周縁に貼着し、凹溝19の開口部を覆った
ものである。
孔1と同サイズの貫通孔24を形成し、開口部をフィル
ター25で覆った円形ないし矩形のフィルター枠26を
貫通孔24が通気孔1と合致するようにして枠3に接着
剤27にて取着したものである。 実施例 図4に示すように、周縁に両面粘着テープを貼付したP
TTE製のフィルター(ジャパンゴアテックス株式会社
製、製品名「オートマスクベント」)を直径0.5mmの
通気孔を形成した枠(縦120mm、 横98mm、 高さ
6.3mm)に通気孔を覆うようにして取着した図5に示
すタイプのマスク保護装置を用い、これをマスク9上に
接着した。このときフィルターと通気孔を有する枠面ま
での間隔は150μm であり、フィルターを通る空気の
有効面積は3.2mm2 であった。
態のマスクを加熱炉に入れ、常温の25℃から50℃ま
で15分かけて加熱した結果、ペリクル膜には何等膨ら
みは発生しなかった。 比較例 実施例と同じフィルターを用いて枠に通気孔を覆うよう
にして接着剤にて接着した。このときのフィルターと通
気孔を有する枠面までの間隔は10μm であり、フィル
ターを通る空気の有効面積は0.2mm2で通気孔と実質
的に同じであった。
クを加熱炉に入れ、実施例と同様にして加熱したとこ
ろ、ペリクル膜に膨らみが発生し、膨らみを解消するの
に50分以上を要した。
うな効果を奏する。請求項1記載の保護装置によれば、
通気孔よりも断面積の大きなフィルター手段を枠から離
して設けたことにより、通気孔での移動係数を増やすこ
とができ、温度や圧力の変化に対する応答性を向上させ
ることができるほか、塵埃の付着による目詰まりの可能
性を少なくすることができる。
ター手段をスペーサを介して枠に取着させるようにすれ
ば、スペーサの厚みを変えることにより、フィルター手
段を枠面より任意の距離だけ容易に離すことができる。
請求項3記載の保護装置においては、フィルター手段を
枠に直接取り付けることにより枠面からのフィルター手
段の出張りを少なくすることができる。
タ─手段を枠の外側に取付けることにより、フィルタ─
手段の取付けが容易となり、発塵の影響を少なくするこ
とができる。請求項5記載の保護装置のように、フィル
ター手段を枠面から50μm 以上離せば、温度変化によ
るペリクル膜の膨らみを確実に防ぐことができる。請求
項6記載の保護装置においては、フィルター枠の高さを
変えることにより、フィルター手段を枠面より任意の距
離だけ離すことができ、またフィルター枠を剛体で形成
すれば、フィルター枠を掴んで枠に押し付けるのが容易
にできるようになる。
部の側面図。
を示す要部の拡大断面図。
の例を示す要部の拡大断面図。
・フィルター 3・・枠 4・・薄膜 5、8・・両面接着テープ 6・・マスク保護装置 9・・マスク 14・・保護ネット 15・・補強基材 16・・接着剤層 17・・両面粘着テープ 19・・凹溝 14・・貫通孔 26・・フィルター枠 27・・接着剤
Claims (6)
- 【請求項1】 マスクパターンを囲う大きさの枠と、枠
の一側面に張設される薄膜と、枠の他側端面をマスク上
に取着する接着手段とを有するマスク保護装置におい
て、マスクパターンとマスク保護装置で囲まれる空間
と、それ以外の空間に存する気体を流通させるために枠
に形成される少なくとも一つの通気孔と、該通気孔より
大きな断面積を有して枠に一定の間隔を存して枠から離
して取着され、通気孔を覆うフィルター手段とからなる
ことを特徴とする。 - 【請求項2】 フィルター手段は、枠に直接取着される
代わりに、両面に第2の接着手段を有するスペーサを介
して取着される請求項1記載のマスク保護装置。 - 【請求項3】 マスクパターンを囲う大きさの枠と枠の
一側面に張設される薄膜と、枠の他側端面をマスク上に
取着する接着手段を有するマスク保護装置において、マ
スクパターンとマスク保護装置で囲まれる空間と、それ
以外の空間に存する気体を流通させるための通気孔と、
該通気孔より大きな断面積を有する凹溝とを上記枠に形
成し、凹溝には溝底に通気孔が開口すると共に、凹溝の
開口部を覆うフィルター手段が設けられることを特徴と
する保護装置。 - 【請求項4】 フィルター手段が枠の外側に取着される
ことを特徴とする請求項1ないし3のいづれかの請求項
に記載のマスク保護装置。 - 【請求項5】 フィルター手段は、通気孔を有する枠面
と50μm以上離して枠に取着される請求項1又は2記
載のマスク保護装置。 - 【請求項6】 マスクパターンを囲う大きさの枠と枠の
一側面に張設される薄膜と、枠の他側端面をマスク上に
取付する接着手段を有するマスク保護装置において、マ
スクパターンとマスク保護装置で囲まれる空間と、それ
以外の空間に存する気体を流通させるための通気孔と、
該通気孔より大きな断面積の通気孔を上記枠に形成する
と共に、通気孔より大きな断面積を有するフィルター支
持枠を上記枠に取付し、フィルター支持枠は開口部がフ
ィルター手段で覆われると共に、底に上記通気孔に接続
する貫通孔が形成されることを特徴とするマスク保護装
置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14797495A JP3445685B2 (ja) | 1994-08-11 | 1995-06-15 | マスク保護装置 |
CA002154600A CA2154600C (en) | 1994-08-11 | 1995-07-25 | Mask protective device |
KR1019950024036A KR0164946B1 (ko) | 1994-08-11 | 1995-08-04 | 마스크 보호장치 |
EP19950305523 EP0696760B1 (en) | 1994-08-11 | 1995-08-08 | Mask protective device |
DE1995606054 DE69506054T2 (de) | 1994-08-11 | 1995-08-08 | Schutzvorrichtung für Masken |
US08/513,518 US5601955A (en) | 1994-08-11 | 1995-08-10 | Mask protective device |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18967694 | 1994-08-11 | ||
JP6-189676 | 1994-08-11 | ||
JP14797495A JP3445685B2 (ja) | 1994-08-11 | 1995-06-15 | マスク保護装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08106156A JPH08106156A (ja) | 1996-04-23 |
JP3445685B2 true JP3445685B2 (ja) | 2003-09-08 |
Family
ID=26478348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14797495A Expired - Lifetime JP3445685B2 (ja) | 1994-08-11 | 1995-06-15 | マスク保護装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5601955A (ja) |
EP (1) | EP0696760B1 (ja) |
JP (1) | JP3445685B2 (ja) |
KR (1) | KR0164946B1 (ja) |
CA (1) | CA2154600C (ja) |
DE (1) | DE69506054T2 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19808461A1 (de) * | 1998-03-02 | 1999-09-09 | Zeiss Carl Fa | Retikel mit Kristall-Trägermaterial |
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US6279249B1 (en) | 1999-12-30 | 2001-08-28 | Intel Corporation | Reduced particle contamination manufacturing and packaging for reticles |
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JP2003315983A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-06 | Mitsubishi Electric Corp | フォトマスク |
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JP6275270B2 (ja) * | 2014-09-19 | 2018-02-07 | 三井化学株式会社 | ペリクル、その製造方法及び露光方法 |
EP3079013B1 (en) * | 2015-03-30 | 2018-01-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Pellicle |
JP6395320B2 (ja) * | 2015-03-30 | 2018-09-26 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル |
WO2020009169A1 (ja) * | 2018-07-04 | 2020-01-09 | 日本特殊陶業株式会社 | ペリクル枠 |
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KR102207853B1 (ko) * | 2019-06-27 | 2021-01-27 | 주식회사 에프에스티 | 펠리클용 벤트 필터 및 이를 포함하는 펠리클 |
JPWO2023027051A1 (ja) * | 2021-08-25 | 2023-03-02 | ||
KR20230097245A (ko) * | 2021-12-23 | 2023-07-03 | 삼성전자주식회사 | 펠리클 세정 장치 및 이를 이용한 펠리클 세정 방법 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US4833051A (en) * | 1984-08-20 | 1989-05-23 | Nippon Kogaku K.K. | Protective device for photographic masks |
JPS6339703U (ja) | 1986-09-01 | 1988-03-15 | ||
JPH055982A (ja) * | 1991-06-27 | 1993-01-14 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフイ−用ペリクル |
US5344677A (en) * | 1992-08-27 | 1994-09-06 | Hong Gilbert H | Photochemically stable deep ultraviolet pellicles for excimer lasers |
-
1995
- 1995-06-15 JP JP14797495A patent/JP3445685B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-07-25 CA CA002154600A patent/CA2154600C/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-08-04 KR KR1019950024036A patent/KR0164946B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-08-08 EP EP19950305523 patent/EP0696760B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-08 DE DE1995606054 patent/DE69506054T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-10 US US08/513,518 patent/US5601955A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08106156A (ja) | 1996-04-23 |
EP0696760A1 (en) | 1996-02-14 |
EP0696760B1 (en) | 1998-11-18 |
KR960008411A (ko) | 1996-03-22 |
KR0164946B1 (ko) | 1999-01-15 |
CA2154600C (en) | 1998-12-22 |
DE69506054T2 (de) | 1999-05-12 |
US5601955A (en) | 1997-02-11 |
CA2154600A1 (en) | 1996-02-12 |
DE69506054D1 (de) | 1998-12-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080627 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090627 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100627 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100627 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120627 Year of fee payment: 9 |
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