WO2019172141A1 - ペリクル、露光原版、露光装置、及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
ペリクル、露光原版、露光装置、及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態に係るペリクル100の上面図である。ペリクル100は、EUVフォトリソグラフィ用ペリクルである。EUVフォトリソグラフィ用ペリクル膜に特段の限定はない。ペリクル100は、ペリクル膜101と、支持枠103と、4つの突起部105とを含む。
図3は、ペリクル膜101、支持枠103、及び突起部105を含む平面でペリクル100を切断したときの断面を示す図(すなわち、図1のA-A断面図)である。図4は、図3の構成のペリクル100を下方から見た図(すなわち、後述する第1の端面141に垂直な方向から見た図)である。図4においては、支持枠103及び突起部105を破線で示し、ペリクル膜101は省略する。本実施形態では、4つの突起部105の周辺の構成は、互いに同一であるものとする。この前提は、以下で説明する各構成例でも同じである。
図6は、ペリクル膜101、支持枠103、及び突起部105を含む平面でペリクル100を切断したときの断面を示す図(すなわち、図1のA-A断面図)である。図7は、図6の構成のペリクル100を下方から見た図である。図7においては、支持枠103及び突起部105を破線で示し、ペリクル膜101を省略する。構成例2において、第1の無機物層109は、第1の接着層107の第1の側面121、及び第2の側面131に設けられている。第1の無機物層109は、例えば、第1の接着層107の側面の全体に設けられている。第1の無機物層109は、例えば、突起部105と接触するが、支持枠103とは接触しない。
図9は、ペリクル膜101、支持枠103、及び突起部105を含む平面でペリクル100を切断したときの断面を示す図(すなわち、図1のA-A断面図)である。
図11は、ペリクル膜101、支持枠103、及び突起部105を含む平面でペリクル100を切断したときの断面を示す図(すなわち、図1のA-A断面図)である。構成例4において、第2の無機物層113は、第3の側面151、第4の側面161、及び第2の端面171に設けられている。第2の無機物層113は、例えば、密着層111の側面の全体、及び第2の端面171の全体を覆う。第2の無機物層113は、少なくとも支持枠103と接触する。第2の無機物層113は、例えば、支持枠103と接触するが、突起部105とは接触しない。
図13は、ペリクル膜101、支持枠103、及び突起部105を含む平面でペリクル100を切断したときの断面を示す図(図1のA-A断面図)である。構成例5は、実質的に、構成例2及び構成例4を組み合わせた構成に等しい。すなわち、第1の無機物層109は、第1の接着層107の第1の側面121、及び第2の側面131を覆う。第2の無機物層113は、密着層111の第3の側面151、第4の側面161、及び第2の端面171に設けられている。第2の無機物層113は、例えば、第3の側面151、第4の側面161、及び第2の端面171の全体を覆う。
ペリクル100の支持枠の強度を高めるため、構成例6に係るペリクル100の支持枠103は、第1の枠体103Aと第2の枠体115とを含む。
構成例7に係るペリクル100では、突起部が第2の枠体115に設けられる。図18から図20は、第2の枠体115に突起部105Aを適用した場合のペリクル100の断面を示す図である。図18に示す例では、第1の接着層107、密着層111及び第2の無機物層113は、構成例3と同じ位置に設けられている。図19に示す例では、密着層111及び第2の無機物層113は、構成例4と同じ位置に設けられている。図20に示す例では、第1の接着層107、第1の無機物層109、密着層111及び第2の無機物層113は、構成例5と同じ位置に設けられている。
本実施形態の露光装置は、本実施形態の露光原版を備える。このため、本実施形態の露光原版と同様の効果を奏する。
図22は、本実施形態の露光装置の一例である、EUV露光装置180の概略断面図である。
本実施形態の半導体装置の製造方法は、光源から放出された露光光を、本実施形態の露光原版の前記ペリクル膜を透過させて前記原版に照射し、前記原版で反射させ、前記原版によって反射された露光光を、前記ペリクル膜を透過させて感応基板に照射することにより、前記感応基板をパターン状に露光する。
Claims (15)
- ペリクル膜と、
前記ペリクル膜を支持する支持枠と、
前記支持枠に設けられた突起部と、
前記突起部に設けられた第1の接着層と、
前記第1の接着層よりも前記ペリクル膜が位置する側に設けられた無機物層と、
を有するペリクル。 - 前記無機物層は、
前記第1の接着層において、前記ペリクル膜と交差する方向の側面であって、前記ペリクル膜が位置する側の第1の側面に設けられた第1の無機物層を含む
請求項1に記載のペリクル。 - 前記第1の無機物層は、
前記第1の接着層において、さらに前記第1の側面に対向する第2の側面に設けられている
請求項2に記載のペリクル。 - 前記第1の無機物層は、
前記第1の接着層において、さらに前記突起部と接する面と対向する第1の端面に設けられている
請求項2に記載のペリクル。 - 前記支持枠に設けられた密着層を有し、
前記無機物層は、
前記密着層において、前記ペリクル膜と交差する方向の側面であって、前記ペリクル膜が位置する側の第3の側面に設けられている第2の無機物層を含む
請求項1に記載のペリクル。 - 前記密着層及び前記第2の無機物層は、前記支持枠の底面に沿って枠状に形成されている請求項5に記載のペリクル。
- 前記第2の無機物層は、
前記密着層において、さらに、前記第3の側面に対向する第4の側面、及び前記支持枠と接する面と対向する第2の端面に設けられている
請求項6に記載のペリクル。 - 前記支持枠が、前記ペリクル膜に接続される第1の枠体と、前記第1の枠体と接続される第2の枠体と、を含む請求項1に記載のペリクル。
- 前記無機物層が金属層である、請求項1に記載のペリクル。
- 前記金属層は、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、ニッケル、銅、ルテニウム、タンタル、及び金の群から選ばれた何れか一種の金属、前記群から選ばれた二種以上の元素を含む合金、又は、前記群から選ばれる何れか一種又は二種以上の元素を含む酸化物である、請求項9に記載のペリクル。
- 原版と、前記原版のパターンを有する側の面に装着された、請求項1から請求項10のいずれか1項に記載のペリクルと、を含む露光原版。
- 請求項11に記載の露光原版を有する露光装置。
- 露光光を放出する光源と、
請求項11に記載の露光原版と、
前記光源から放出された露光光を前記露光原版に導く光学系と、を有し、
前記露光原版は、前記光源から放出された露光光が前記ペリクル膜を透過して前記原版に照射されるように配置されている、露光装置。 - 前記露光光が、EUV(Extreme Ultraviolet)光である請求項13に記載の露光装置。
- 光源から放出された露光光を、請求項11に記載の露光原版のペリクル膜を透過させて前記原版に照射し、前記原版で反射させ、
前記原版によって反射された露光光を、前記ペリクル膜を透過させて感応基板に照射することにより、前記感応基板をパターン状に露光する、半導体装置の製造方法。
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