TWI824969B - 混合型光掩膜及其製造方法 - Google Patents
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Abstract
本發明公開混合型光掩膜及其製造方法，可通過使掩膜在拉伸狀態下牢固地附著在玻璃基材的複合結構來確保溫度及濕度上的穩定性，由此，可最大限度地減少反復使用引起的變化量。本發明的混合型光掩膜包括：玻璃基材，形成有一面及與上述一面相反的另一面；掩膜，形成有遮光圖案，以通過拉伸來對齊上述遮光圖案的位置的狀態放置在上述玻璃基材的一面上；第一粘結部件，使得所拉伸的上述掩膜貼合在玻璃基材；以及第二粘結部件，使得所貼合的上述掩膜固定在玻璃基材。
Description
本發明涉及混合型光掩膜及其製造方法，更詳細地，涉及如下的混合型光掩膜及其製造方法，即，可通過使掩膜在拉伸狀態下牢固地附著在玻璃基材的複合結構來確保溫度及濕度上的穩定性，由此，可最大限度地減少反復使用引起的變化量。
通常，顯示裝置應用於多種設備。這種顯示裝置不僅應用於智能手機、平板電腦（PC）等小型設備，還應用於電視（TV）、顯示器、公共顯示器（PD，Public Display）等大型設備。
最近，隨著對500每英寸像素（PPI，Pixel Per Inch）以上的超高解析度超高清設備（UHD，Ultra High Definition）的需求的逐漸增加，高解析度顯示裝置正應用於小型設備及大型設備。因此，用於實現低功率及高解析度的技術正備受矚目。
通常使用的顯示裝置可根據驅動方法大致分為液晶顯示器（LCD，Liquid Crystal Display）及有機發光二極體顯示器（OLED，Organic Light Emitting Diode）等。液晶顯示器作為利用液晶（Liquid Crystal）驅動的顯示裝置，其結構在液晶下部設置有包括冷陰極螢光燈（CCFL，Cold Cathode Fluorescent Lamp）或發光二極體（LED，Light Emitting Diode）等的光源，是指通過利用配置在光源上的液晶對從光源釋放的光量進行調節來驅動的顯示裝置。
為了製造這種顯示裝置，需要執行曝光、顯像、蝕刻等工序。執行上述曝光工序所需的光掩膜用於製造包括半導體或顯示面板在內的要求高精度的電子裝置，是指可通過曝光工序在塗有光刻膠或幹膜的晶圓或玻璃基材上形成金屬圖案等的產品。
尤其，在有機發光二極體顯示器中，發光層所包含的有機物可通過稱為高精度金屬掩膜（FMM，Fine Metal Mask）的有機發光二極體用金屬掩膜蒸鍍在基板上，所蒸鍍的有機物可通過形成為與在有機發光二極體用金屬掩膜所形成的掩膜圖案孔相對應的圖案來執行像素的作用。
這種有機發光二極體用金屬掩膜也由曝光、顯像、蝕刻等工序製成。即，在有機發光二極體用金屬掩膜的製造過程中，通過曝光工序在塗有光刻膠或幹膜的金屬板上形成掩膜圖案孔。
通常，在向晶圓、金屬板或玻璃基材等的上下兩側安裝有兩張光掩膜的狀態下，執行曝光工序。
這種光掩膜使用基於PET（聚對苯二甲酸乙二醇酯）膜的薄膜型光掩膜（FPM，Film Photo Mask）和基於玻璃的玻璃型光掩膜（GPM，Glass Photo Mask），但是，為了製造第6代半（G6H）尺寸級的開口型金屬掩膜（OMM，Open Metal Mask），不可避免地要使用薄膜型光掩膜。
相比於玻璃型光掩膜，這種薄膜型光掩膜雖然存在精度低且製造後易受到周圍環境（溫度/濕度）影響的缺點，但是具有能夠對應第6代半（G6H）尺寸級且成本廉價的優點。
相反，雖然玻璃型光掩膜根據種類在優秀程度上存在差異，但是，相比於薄膜型光掩膜，在製造時的位置（Plotting）精度或因之後環境的變化層面上顯示出更優秀的特性。
這種玻璃型光掩膜分為鈉鈣玻璃（sodalime chrome glass）和石英鉻玻璃（quartz chrome glass），雖然石英鉻掩膜的成本昂貴，但具備最優秀的性能。
因此，需以限制尺寸和節約成本為目的而使用薄膜型光掩膜，並且，為了製造需求逐漸增加的高質量開口型金屬掩膜而需要改進薄膜型光掩膜。
相關現有技術文獻有韓國公開專利公報第10-2019-0053427號（公開日：2019年05月20日），上述文獻記載有薄膜掩膜及其製造方法。
發明所欲解決之問題
本發明的目的在於，提供如下的混合型光掩膜及其製造方法，即，通過使掩膜在拉伸狀態下牢固地附著在玻璃基材的複合結構來確保溫度及濕度上的穩定性，由此，可最大限度地減少反復使用引起的變化量。
解決問題之技術手段
為了實現上述目的，本發明實施例的混合型光掩膜的製造方法包括：輸出步驟，輸出形成有遮光圖案的掩膜；對齊步驟，將所輸出的上述掩膜裝入拉伸機並進行拉伸來對齊上述掩膜的遮光圖案位置；附著步驟，通過第一粘結部件將所拉伸的上述掩膜附著在玻璃基材；以及固定步驟，通過第二粘結部件對經由上述第一粘結部件貼合的掩膜和玻璃基材進行固定。
在所輸出的上述掩膜形成有第一平面區域，在所拉伸的上述掩膜形成有大於上述第一平面區域的第二平面區域。
在上述拉伸過程中，上述拉伸機的拉伸夾具分別裝配在所輸出的上述掩膜的四個邊，上述拉伸機的拉伸夾具沿著上下左右四個方向分別對所輸出的掩膜進行拉伸並即時對齊遮光圖案的位置。
上述附著步驟包括如下步驟：在上述玻璃基材上的與所拉伸的上述掩膜的四個邊緣部分相對應的位置形成第一粘結部件；以及在固定所拉伸的上述掩膜的狀態下升高玻璃基材或在固定上述玻璃基材的狀態下降低所拉伸的上述掩膜來使得所拉伸的上述掩膜經由第一粘結部件附著在玻璃基材。
上述第一粘結部件沿著上述掩膜的內側邊緣形成，用於先使上述掩膜與玻璃基材貼合，上述第二粘結部件沿著上述掩膜的外側邊緣形成，用於再使上述掩膜與玻璃基材被固定。
上述第一粘結部件及上述第二粘結部件分別由壓敏膠粘劑（PSA，pressure sensitive adhesive）或光學透明膠粘劑（OCA，optically clear adhesive）製成。
上述掩膜在與上述玻璃基材相向的一面形成有多個槽圖案，配置在與上述第一粘結部件相對應的位置。
用於實現上述目的的本發明實施例的混合型光掩膜包括：玻璃基材，形成有一面及與上述一面相反的另一面；掩膜，形成有遮光圖案，以通過拉伸來對齊上述遮光圖案的位置的狀態放置在上述玻璃基材的一面上；第一粘結部件，使得所拉伸的上述掩膜貼合在玻璃基材；以及第二粘結部件，使得所貼合的上述掩膜固定在玻璃基材。
上述第一粘結部件沿著上述掩膜的內側邊緣形成，用於先使上述掩膜與玻璃基材貼合，上述第二粘結部件沿著上述掩膜的外側邊緣形成，用於再使上述掩膜與玻璃基材被固定。
上述第一粘結部件及上述第二粘結部件分別由壓敏膠粘（PSA，pressure sensitive adhesive）物質或光學透明膠粘（OCA，optically clear adhesive）物質製成。
上述掩膜在與上述玻璃基材相向的一面形成有多個槽圖案，配置在與上述第一粘結部件相對應的位置。
對照先前技術之功效
本發明的混合型光掩膜及其製造方法具有結構層面上的優點，即，通過使掩膜在拉伸狀態下牢固地附著在玻璃基材的複合結構來確保溫度及濕度上的穩定性，由此，可最大限度地減少反復使用引起的變化量。
並且，本發明的混合型光掩膜及其製造方法具有如下效果，即，當利用拉伸機對所輸出的掩膜進行拉伸時，即時測定遮光圖案的位置後，可通過第一粘結部件及第二粘結部件進行附著及固定，從而提高遮光圖案的位置精度，因此，可確保曝光工序的可靠性。
並且，本發明的混合型光掩膜及其製造方法不僅能夠確保曝光工序的可靠性，而且，相比於昂貴的玻璃光掩膜（鈉鈣玻璃和石英鉻玻璃），可通過使用相對廉價的高分子膜及玻璃等材料來顯著減少製造成本。
並且，本發明的混合型光掩膜及其製造方法可通過構成由廉價的掩膜與玻璃基材貼合而成的複合結構來確保優秀的位置精度，因此，可減少設備投資成本。
另外，本發明的混合型光掩膜及其製造方法還具有如下效果，即，當因長期使用而需要廢棄處理光掩膜時，可通過去除第一粘結部件及第二粘結部件來從玻璃基材分離掩膜，由此，可基於玻璃基材的迴圈利用進一步節約製造成本。
本發明的優點、特徵及其實現方法可通過參照附圖詳細說明的實施例變得更加明確。但是，本發明並不限定於以下公開的實施例，可通過多種不同實施方式實現，本實施例僅用於本發明的公開變得完整，使得本發明所屬技術領域的普通技術人員能夠完全理解本發明的範疇，本發明僅限定於申請專利範圍的範疇。在說明書的全文內容中，相同的附圖標記表示相同的結構要素。
以下，參照附圖詳細說明本發明優選實施例的混合型光掩膜及其製造方法。
圖1為本發明實施例的混合型光掩膜的俯視圖，圖2為示出沿著圖1的Ⅱ-Ⅱ’線切割的剖視圖。
參照圖1及圖2，在有機發光二極體用金屬掩膜的製造過程中，本發明實施例的混合型光掩膜100可用於選擇性地曝光光刻膠或幹膜所需的曝光工序，但並不局限於此。
為此，本發明實施例的混合型光掩膜100包括玻璃基材120、掩膜140、第一粘結部件160及第二粘結部件180。
玻璃基材120形成有一面120a及與一面120a相反的另一面120b。作為這種玻璃基材的材料可利用包括矽酸鹽的玻璃。例如，玻璃基材120可選自鋁矽酸鹽、硼矽酸鹽、硼鋁矽酸鹽等，但並不限定於此。而且，玻璃基材120還可包括用於提高耐久性、表面平滑性及透明度的添加物質。添加物質可以為鹼金屬、鹼土金屬及其氧化物。
相比於對溫度及濕度敏感的掩膜140，玻璃基材120不僅對溫度及濕度非常穩定，而且具備優秀的耐久性。優選地，這種玻璃基材120的面積應大於掩膜140，以便穩定放置掩膜140。
掩膜140形成有遮光圖案145，以通過拉伸來對齊遮光圖案145的位置的狀態放置在玻璃基材120的一面120a上。這種掩膜140形成有一面140a及與一面140a相反的另一面140b，掩膜140的一面140a與玻璃基材120的一面120a相向放置。其中，遮光圖案145可形成在掩膜140的另一面140b上，但並不局限於此。即，遮光圖案145也可形成在掩膜140的一面140a上。
其中，掩膜140可由作為柔性材料的高分子膜材料製成。高分子膜可以為選自環烯烴共聚物（COP，cyclo olefin copolymer）膜、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA，polymethyl methacrylate）膜、聚碳酸酯（PC，polycarbonate）膜、聚乙烯（PE，polyethylene）膜、聚乙烯醇樹脂（PVA，polyvinyl alcohol）膜、聚醚碸樹脂（PES，poly ether sulfone）膜、聚苯硫醚（PPS，polyphenylsulfone）膜、聚醚醯亞胺（PEI，polyetherimide）膜、聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN，polyethylenemaphthatlate）膜、聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET，polyethyleneterephtalate）膜及聚醯亞胺（PI，polyimide）膜中的一種，但並不局限於此。
而且，遮光圖案145可以僅包括用於阻隔光的遮光部。與此不同地，遮光圖案145可包括：遮光部，用於阻隔光；以及半透射部，用於阻隔光的一部分，使得剩餘一部分透射。為此，遮光圖案145的半透射部可被設計成縫隙形態，但並不局限於此。
這種遮光圖案145可由選自鋁（Al）、鎳（Ni）、釩（V）、鎢（W）、鉭（Ta）、鉬（Mo）、鈮（Nb）、鈦（Ti）、鐵（Fe）、鉻（Cr）、鈷（Co）及銅（Cu）中的一種以上金屬物質製成。
第一粘結部件160用於將拉伸的掩膜140貼合在玻璃基材120。這種第一粘結部件160沿著掩膜140的內側邊緣形成，用於先使掩膜140與玻璃基材120貼合。由此，第一粘結部件160插入配置在掩膜140與玻璃基材120之間的重疊空間，使得掩膜140的一面140a與玻璃基材120的一面120a之間實現物理附著。
優選地，這種第一粘結部件160應利用在約-10℃～40℃的常溫條件下的接合力優秀的膠粘劑，這是因為，若掩膜140暴露在高溫條件下，則有可能導致拉伸的掩膜140產生變形。
為此，優選地，第一粘結部件160由壓敏膠粘劑（PSA，pressure sensitive adhesive）或光學透明膠粘劑（OCA，optically clear adhesive）製成。
即，第一粘結部件160可以為OCA光學膠組合物，包含（甲基）丙烯酸共聚物、聚氨酯共聚物、矽共聚物、環氧共聚物等粘結性共聚物。其中，更優選地，第一粘結部件160由（甲基）丙烯酸共聚物或矽共聚物製成。
這種第一粘結部件160可通過如下方式形成，即，將兩面膠帶形態的壓敏膠膜或OCA光學膠膜附著在玻璃基材120或掩膜140的表面後，在常溫條件下，利用加壓輥或加壓機進行壓合來形成。並且，第一粘結部件160可通過配料機噴嘴塗布（dispenser nozzle coating）、刮刀塗布（knife coating）、噴塗（spray coating）、浸塗（dip coating）及棒塗（bar coating）方法中的一種方式向玻璃基材120或掩膜140的表面上塗敷粘結劑組合物並在常溫條件下進行乾燥來形成。
更具體地，第一粘結部件160可形成在玻璃基材120上，位於玻璃基材120與拉伸的掩膜140的四個邊緣部分相對應的位置。隨後，通過第一粘結部件160將拉伸的掩膜140附著貼合在玻璃基材120。
第二粘結部件180用於將貼合的掩膜140固定在玻璃基材120。這種第二粘結部件180沿著掩膜140的外側邊緣形成，用於再使掩膜140與玻璃基材120被固定。由此，第二粘結部件180使得掩膜140的另一面140b邊緣部分與從掩膜140隔開的外側的玻璃基材120的一面120a之間實現物理附著。
其中，更優選地，第二粘結部件180與插入配置在掩膜140與玻璃基材120之間的重疊空間的第一粘結部件160相接合。
由此，根據本發明實施例，可通過使掩膜140在拉伸狀態下牢固地附著在玻璃基材120的複合結構來確保溫度及濕度上的穩定性，從而能夠最大限度地減少反復使用引起的變化量。
而且，根據本發明實施例，在利用拉伸機對所輸出的掩膜140進行拉伸時即時測定遮光圖案145的位置的狀態下，可通過第一粘結部件160及第二粘結部件180將掩膜140附著及固定在玻璃基材120，由此提高掩膜140的遮光圖案145的位置精度，因此，可確保曝光工序的可靠性。
與第一粘結部件160相同，優選地，這種第二粘結部件180應利用在約-10℃～40℃的常溫條件下的接合力優秀的膠粘劑，這是因為，若掩膜140暴露在高溫條件下，則有可能導致拉伸的掩膜140產生變形。
為此，優選地，第二粘結部件180由壓敏膠粘劑（PSA，pressure sensitive adhesive）或光學透明膠粘劑（OCA，optically clear adhesive）製成。
即，第二粘結部件180可以為OCA光學膠組合物，包含（甲基）丙烯酸共聚物、聚氨酯共聚物、矽共聚物、環氧共聚物等粘結性共聚物。其中，更優選地，第二粘結部件180由（甲基）丙烯酸共聚物或矽共聚物製成。
第二粘結部件180可通過如下方式形成，即，將兩面膠帶形態的壓敏膠膜或OCA光學膠膜分別附著在玻璃基材120或掩膜140的表面後，在常溫條件下，利用加壓輥或加壓機進行壓合來形成。並且，第二粘結部件180可通過配料機噴嘴塗布（dispenser nozzle coating）、刮刀塗布（knife coating）、噴塗（spray coating）、浸塗（dip coating）及棒塗（bar coating）方法中的一種方式向玻璃基材120及掩膜140的表面上塗敷粘結劑組合物並在常溫條件下進行乾燥來形成。
如上所述，本發明實施例的混合型光掩膜具有結構層面上的優點，即，通過使掩膜在拉伸狀態下牢固地附著在玻璃基材的複合結構來確保溫度及濕度上的穩定性，由此，可最大限度地減少反復使用引起的變化量。
並且，本發明實施例的混合型光掩膜具有如下效果，即，當利用拉伸機對所輸出的掩膜進行拉伸時，即時測定遮光圖案的位置後，可通過第一粘結部件及第二粘結部件進行附著及固定來提高遮光圖案的位置精度，因此，可確保曝光工序的可靠性。
並且，本發明實施例的混合型光掩膜不僅能夠確保曝光工序的可靠性，而且，相比於昂貴的玻璃光掩膜（鈉鈣玻璃和石英鉻玻璃），可通過使用相對廉價的高分子膜及玻璃等材料來顯著減少製造成本。
並且，本發明實施例的混合型光掩膜可通過構成由廉價的掩膜與玻璃基材貼合而成的複合結構來確保優秀的位置精度，因此，可減少設備投資成本。
而且，本發明實施例的混合型光掩膜還具有如下效果，即，當因長期使用而需要廢棄處理光掩膜時，可通過去除第一粘結部件及第二粘結部件來從玻璃基材分離掩膜，由此，可基於玻璃基材的迴圈利用進一步節約製造成本。
另一方面，圖3為示出本發明一變形例的混合型光掩膜的剖視圖，圖4為放大示出圖3的A部分的剖視圖。
參照圖3及圖4，本發明一變形例的混合型光掩膜100包括玻璃基材120、掩膜140、第一粘結部件160及第二粘結部件180。
本發明一變形例的玻璃基材120、第一粘結部件160及第二粘結部件180與參照圖1及圖2說明的實施例的玻璃基材120、第一粘結部件160及第二粘結部件180實質相同或相似，因此，將省略重複說明並著重說明不同點。
掩膜140形成有遮光圖案145，以通過拉伸來對齊遮光圖案145位置的狀態放置在玻璃基材120的一面120a上。這種掩膜140形成有一面140a及與一面140a相反的另一面140b，掩膜140的一面140a與玻璃基材120的一面120a相向。其中，遮光圖案145可埋設在掩膜140的一面140a，但並不局限於此。即，遮光圖案145也可埋設在掩膜140的另一面140b。
在本發明一變形例中，在掩膜140的與玻璃基材120相向的一面140a形成有多個槽圖案147，配置在與第一粘結部件160相對應的位置。
這種多個槽圖案147可存在多種形狀，只要可最大限度地增加與第一粘結部件160的接觸面積即可。例如，當從截面上觀察多個槽圖案147時，可分別形成選自三角形、四邊形、五邊形、六邊形、半圓形等中的一種以上形狀。
其中，優選地，多個槽圖案147的高度為掩膜140整體厚度的50％以下，這是因為，若多個槽圖案147的高度大於掩膜140整體厚度的50％，則過高的高度設計將成為導致掩膜140的強度及剛性變弱的因素，因此，並不優選。
根據本發明一變形例，若在掩膜140的一面140a形成有多個槽圖案147，則可擴展掩膜140與第一粘結部件160之間的粘結面積，因此，可進一步強化掩膜140與第一粘結部件160之間的接合力。
圖5為示出本發明再一變形例的混合型光掩膜的剖視圖，圖6為放大示出圖5的B部分的剖視圖。
參照圖5及圖6，本發明再一變形例的混合型光掩膜100包括玻璃基材120、掩膜140、第一粘結部件160及第二粘結部件180。
本發明再一變形例的掩膜140、第一粘結部件160及第二粘結部件180與參照圖3及圖4說明的一變形例的掩膜140、第一粘結部件160及第二粘結部件180實質相同或相似，因此，將省略重複說明並著重說明不同點。
玻璃基材120形成有一面120a及與一面120a相反的另一面120b。
在本發明再一變形例中，在玻璃基材120的與掩膜140相向的一面120a形成有多個槽圖案127，配置在與第一粘結部件160相對應的位置。
這種多個槽圖案127可存在多種形狀，只要可最大限度地增加與第一粘結部件160的接觸面積即可。例如，當從截面上觀察多個槽圖案127時，可分別形成選自三角形、四邊形、五邊形、六邊形、半圓形等中的一種以上形狀。
其中，優選地，多個槽圖案127的高度為玻璃基材120整體厚度的10％以下，這是因為，在多個槽圖案127的高度大於玻璃基材120整體厚度的10％而設計的高度過高時，在玻璃基材120的加工過程中有可能引起在玻璃基材120產生裂紋等不良問題，因此，並不優選。
如上所述，本發明再一變形例的混合型光掩膜100在玻璃基材120的一面120a形成有多個槽圖案127，在與玻璃基材120的一面120a相向的掩膜140的一面140a形成有多個槽圖案147。
其中，多個槽圖案127與多個槽圖案147之間可形成相互對稱的結構。並且，多個槽圖案127與多個槽圖案147可相互按照“之”字形交替形成。
其結果，在本發明再一變形例的混合型光掩膜100中，由於玻璃基材120及掩膜140形成有多個槽圖案127及多個槽圖案147，因此，可進一步擴展與插入壓合在玻璃基材120的多個槽圖案127與掩膜140的多個槽圖案147之間的第一粘結部件160的粘結面積，由此，可進一步強化玻璃基材120和掩膜140與第一粘結部件160之間的接合力。
以下，參照附圖說明本發明實施例的混合型光掩膜的製造方法。
圖7至圖10為示出本發明實施例的混合型光掩膜的製造方法的工序俯視圖，圖11至圖14為示出本發明實施例的混合型光掩膜的製造方法的工序剖視圖。
如圖7及圖11所示，輸出形成有遮光圖案145的掩膜140。
其中，掩膜140可由作為柔性材料的高分子膜材料製成。高分子膜可以為選自環烯烴共聚物（COP，cyclo olefin copolymer）膜、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA，polymethyl methacrylate）膜、聚碳酸酯（PC，polycarbonate）膜、聚乙烯（PE，polyethylene）膜、聚乙烯醇樹脂（PVA，polyvinyl alcohol）膜、聚醚碸樹脂（PES，poly ether sulfone）膜、聚苯硫醚（PPS，polyphenylsulfone）膜、聚醚醯亞胺（PEI，polyetherimide）膜、聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN，polyethylenemaphthatlate）膜、聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET，polyethyleneterephtalate）膜及聚醯亞胺（PI，polyimide）膜中的一種，但並不局限於此。
而且，遮光圖案145可以僅包括用於阻隔光的遮光部。與此不同地，遮光圖案145可包括：遮光部，用於阻隔光；以及半透射部，用於阻隔光的一部分，使得剩餘一部分透射。為此，遮光圖案145的半透射部可被設計成縫隙形態，但並不局限於此。
這種遮光圖案145可由選自鋁（Al）、鎳（Ni）、釩（V）、鎢（W）、鉭（Ta）、鉬（Mo）、鈮（Nb）、鈦（Ti）、鐵（Fe）、鉻（Cr）、鈷（Co）及銅（Cu）中的一種以上金屬物質製成。
接著，如圖8及圖12所示，將所輸出的掩膜140裝入拉伸機並進行拉伸來對齊掩膜140的遮光圖案145位置。
在這種拉伸過程中，優選地，拉伸機的拉伸夾具200分別裝配在所輸出的掩膜140的四個邊。在此情況下，拉伸機的拉伸夾具200沿著上下左右四個方向分別對所輸出的掩膜140進行拉伸，並通過拉伸機的顯示部即時監控遮光圖案的位置對齊。
由此，在所輸出的掩膜140形成第一平面區域，在所拉伸的掩膜140形成大於第一平面區域的第二平面區域。
隨後，如圖9及圖13所示，通過第一粘結部件160將所拉伸的掩膜140附著在玻璃基材120。
作為這種玻璃基材120的材料可利用包含矽酸鹽的玻璃。例如，玻璃基材120可選自鋁矽酸鹽、硼矽酸鹽、硼鋁矽酸鹽等，但並不限定於此。而且，玻璃基材120還可包括用於提高耐久性、表面平滑性及透明度的添加物質。添加物質可以為鹼金屬、鹼土金屬及其氧化物。
相比於對溫度及濕度敏感的掩膜140，玻璃基材120不僅對溫度及濕度非常穩定，而且具備優秀的耐久性。優選地，這種玻璃基材120的面積應大於掩膜140，以便穩定放置掩膜140。
在本步驟中，第一粘結部件160沿著掩膜140的內側邊緣形成，用於先使掩膜140與玻璃基材120貼合。由此，第一粘結部件160插入配置在掩膜140與玻璃基材120之間的重疊空間，使得掩膜140的一面140a與玻璃基材120的一面120a之間實現物理附著。
優選地，這種第一粘結部件160應利用在約-10℃～40℃的常溫條件下的接合力優秀的膠粘劑，這是因為，若掩膜140暴露在高溫條件下，則有可能導致所拉伸的掩膜140產生變形。
為此，優選地，第一粘結部件160由壓敏膠粘劑（PSA，pressure sensitive adhesive）或光學透明膠粘劑（OCA，optically clear adhesive）製成。
即，第一粘結部件160可以為OCA光學膠組合物，包含（甲基）丙烯酸共聚物、聚氨酯共聚物、矽共聚物、環氧共聚物等粘結性共聚物。其中，更優選地，第一粘結部件160由（甲基）丙烯酸共聚物或矽共聚物製成。
這種第一粘結部件160可通過如下方式形成，即，將兩面膠帶形態的壓敏膠膜或OCA光學膠膜附著在玻璃基材120或掩膜140的表面後，在常溫條件下，利用加壓輥或加壓機進行壓合來形成。並且，第一粘結部件160可通過配料機噴嘴塗布（dispenser nozzle coating）、刮刀塗布（knife coating）、噴塗（spray coating）、浸塗（dip coating）及棒塗（bar coating）方法中的一種方式向玻璃基材120或掩膜140的表面上塗敷粘結劑組合物並在常溫條件下進行乾燥來形成。
更具體地，附著步驟可包括：第一過程，在玻璃基材120上的與所拉伸的掩膜140的四個邊緣部分相對應的位置形成第一粘結部件160；以及第二過程，通過第一粘結部件160將所拉伸的掩膜140附著在玻璃基材120。
其中，第二過程可通過在固定所拉伸的掩膜140的狀態下升高玻璃基材120的方式執行。並且，第二過程也可通過在固定玻璃基材120的狀態下降低所拉伸的掩膜140的方式執行。
另一方面，在掩膜140的與玻璃基材120相向的一面140a可形成有多個槽圖案（圖3的147），配置在與第一粘結部件160相對應的位置。如上所述，若在掩膜140的一面形成有多個槽圖案，則可通過擴展掩膜140與第一粘結部件160之間的粘結面積來進一步強化掩膜140與第一粘結部件160之間的接合力。
然後，如圖10及圖14所示，通過第二粘結部件180對經由第一粘結部件160貼合的掩膜140及玻璃基材120進行固定，這種第二粘結部件180沿著掩膜140的外側邊緣形成，用於再使掩膜140與玻璃基材120被固定。由此，第二粘結部件180使得掩膜140的另一面140b邊緣部分與從掩膜140隔開的外側的玻璃基材120的一面120a之間實現物理附著。其中，更優選地，第二粘結部件180與插入配置在掩膜140與玻璃基材120之間的重疊空間的第一粘結部件160相接合。
與第一粘結部件160相同，優選地，這種第二粘結部件180應利用在約-10℃～40℃的常溫條件下的接合力優秀的膠粘劑，這是因為，若掩膜140暴露在高溫條件下，則有可能導致所拉伸的掩膜140產生變形。
為此，優選地，第二粘結部件180由壓敏膠粘劑（PSA，pressure sensitive adhesive）或光學透明膠粘劑（OCA，optically clear adhesive）製成。
即，第二粘結部件180可以為OCA光學膠組合物，包含（甲基）丙烯酸共聚物、聚氨酯共聚物、矽共聚物、環氧共聚物等粘結性共聚物。其中，更優選地，第二粘結部件180由（甲基）丙烯酸共聚物或矽共聚物製成。
這種第二粘結部件180可通過如下方式形成，即，將兩面膠帶形態的壓敏膠膜或OCA光學膠膜分別附著在玻璃基材120或掩膜140的表面後，在常溫條件下，利用加壓輥或加壓機進行壓合來形成。並且，第二粘結部件180可通過配料機噴嘴塗布（dispenser nozzle coating）、刮刀塗布（knife coating）、噴塗（spray coating）、浸塗（dip coating）及棒塗（bar coating）方法中的一種方式向玻璃基材120及掩膜140的表面上塗敷粘結劑組合物並在常溫條件下進行乾燥來形成。
如上所述，根據本發明實施例，當利用拉伸機對所輸出的掩膜140進行拉伸時，即時測定遮光圖案的位置後，可通過第一粘結部件160及第二粘結部件180將掩膜140附著及固定在玻璃基材120，由此提高掩膜140的遮光圖案145的位置精度，因此，可確保曝光工序的可靠性。
基於以上內容，可完成本發明實施例的混合型光掩模版的製造方法。
以下，雖然著重說明了本發明實施例，但是，本發明所屬技術領域的普通技術人員可基於自身水準進行多種變更及變形。除非脫離本發明的技術思想範圍，否則這種變更及變形均屬於本發明的範疇。因此，本發明的保護範圍應基於申請專利範圍判斷。
100：混合型光掩膜
120：玻璃基材
120a：玻璃基材的一面
120b：玻璃基材的另一面
127：槽圖案
140：掩膜
140a：掩膜的一面
140b：掩膜的另一面
145：遮光圖案
147：槽圖案
160：第一粘結部件
180：第二粘結部件
200：拉伸夾具
圖1為本發明實施例的混合型光掩膜的俯視圖。
圖2為示出沿著圖1的Ⅱ-Ⅱ’線切割的剖視圖。
圖3為示出本發明一變形例的混合型光掩膜的剖視圖。
圖4為放大示出圖3的A部分的剖視圖。
圖5為示出本發明再一變形例的混合型光掩膜的剖視圖。
圖6為放大示出圖5的B部分的剖視圖。
圖7至圖10為示出本發明實施例的混合型光掩膜的製造方法的工序俯視圖。
圖11至圖14為示出本發明實施例的混合型光掩膜的製造方法的工序剖視圖。
100：混合型光掩膜
120：玻璃基材
120a：玻璃基材的一面
120b：玻璃基材的另一面
140：掩膜
140a：掩膜的一面
140b：掩膜的另一面
145：遮光圖案
160：第一粘結部件
180：第二粘結部件
Claims (9)
- 一種混合型光掩膜的製造方法，其中， 包括： 輸出步驟，輸出形成有遮光圖案的掩膜； 對齊步驟，將所輸出的上述掩膜裝入拉伸機並進行拉伸來對齊上述掩膜的遮光圖案位置； 附著步驟，通過第一粘結部件將所拉伸的上述掩膜附著在玻璃基材；以及 固定步驟，通過第二粘結部件對經由上述第一粘結部件貼合的掩膜和玻璃基材進行固定， 上述第一粘結部件沿著上述掩膜的內側邊緣形成，用於先使上述掩膜與玻璃基材貼合， 上述第二粘結部件沿著上述掩膜的外側邊緣形成，用於再使上述掩膜與玻璃基材被固定。
- 如請求項1之混合型光掩膜的製造方法，其中，在所輸出的上述掩膜形成有第一平面區域，在所拉伸的上述掩膜形成有大於上述第一平面區域的第二平面區域。
- 如請求項1之混合型光掩膜的製造方法，其中，在上述拉伸過程中，上述拉伸機的拉伸夾具分別裝配在所輸出的上述掩膜的四個邊，上述拉伸機的拉伸夾具沿著上下左右四個方向分別對所輸出的掩膜進行拉伸並即時對齊遮光圖案的位置。
- 如請求項1之混合型光掩膜的製造方法，其中，上述附著步驟包括如下步驟： 在上述玻璃基材上的與所拉伸的上述掩膜的四個邊緣部分相對應的位置形成第一粘結部件；以及 在固定所拉伸的上述掩膜的狀態下升高玻璃基材或在固定上述玻璃基材的狀態下降低所拉伸的上述掩膜來使得所拉伸的上述掩膜經由第一粘結部件附著在玻璃基材。
- 如請求項1之混合型光掩膜的製造方法，其中，上述第一粘結部件及上述第二粘結部件分別由壓敏膠粘劑（PSA，pressure sensitive adhesive）或光學透明膠粘劑（OCA，optically clear adhesive）製成。
- 如請求項1之混合型光掩膜的製造方法，其中，上述掩膜在與上述玻璃基材相向的一面形成有多個槽圖案，配置在與上述第一粘結部件相對應的位置。
- 一種混合型光掩膜，其中， 包括： 玻璃基材，形成有一面及與上述一面相反的另一面； 掩膜，形成有遮光圖案，以通過拉伸來對齊上述遮光圖案的位置的狀態放置在上述玻璃基材的一面上； 第一粘結部件，使得所拉伸的上述掩膜貼合在玻璃基材；以及 第二粘結部件，使得所貼合的上述掩膜固定在玻璃基材， 上述第一粘結部件沿著上述掩膜的內側邊緣形成，用於先使上述掩膜與玻璃基材貼合， 上述第二粘結部件沿著上述掩膜的外側邊緣形成，用於再使上述掩膜與玻璃基材被固定。
- 如請求項7之混合型光掩膜，其中，上述第一粘結部件及上述第二粘結部件分別由壓敏膠粘（PSA，pressure sensitive adhesive）物質或光學透明膠粘（OCA，optically clear adhesive）物質製成。
- 如請求項7之混合型光掩膜，其中，上述掩膜在與上述玻璃基材相向的一面形成有多個槽圖案，配置在與上述第一粘結部件相對應的位置。
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