JP6303399B2 - Euv露光装置 - Google Patents
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- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 10
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 4
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 claims description 3
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 16
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 150000004676 glycans Chemical class 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001282 polysaccharide Polymers 0.000 description 1
- 239000005017 polysaccharide Substances 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Description
EUVマスクの多層反射膜が形成された面とは反対側の面に形成された導電膜を静電吸着する静電チャックを有するEUV露光装置において、
前記静電チャックの表面に、厚さ500nm〜1μmの有機高分子材料からなり、ファンデルワールス力により前記静電チャック上に吸着され、前記静電チャックの表面から除去可能な保護被膜を備えたことを特徴とするEUV露光装置である。
込むことで、EUVマスクの平坦度悪化を防止することができ、ひいてはウェハ上に転写されるパターンの歪みや位置ずれを防止することができる。
EUVマスク17においては、露光時に吸収されたEUV光が熱エネルギーに変化するため、基板14は通常のフォトマスクで使用される合成石英ではなく、TiO2をドープした低熱膨張ガラスなどが使用される。基板14の一方の面には、EUV光に対して透過性が高く、高屈折率層と低屈折率層を交互に積層させたEUV光を反射する多層反射膜15が形成される。一例として、Si膜とMo膜を交互に積層させたSi/Mo多層膜が挙げられる。
であれば良い。
12・・・保護被膜
13・・・導電膜
14・・・基板
15・・・多層反射膜
16・・・吸収膜
17・・・EUVマスク
Claims (1)
- EUVマスクの多層反射膜が形成された面とは反対側の面に形成された導電膜を静電吸着する静電チャックを有するEUV露光装置において、
前記静電チャックの表面に、厚さ500nm〜1μmの有機高分子材料からなり、ファンデルワールス力により前記静電チャック上に吸着され、前記静電チャックの表面から除去可能な保護被膜を備えたことを特徴とするEUV露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013223115A JP6303399B2 (ja) | 2013-10-28 | 2013-10-28 | Euv露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013223115A JP6303399B2 (ja) | 2013-10-28 | 2013-10-28 | Euv露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015088510A JP2015088510A (ja) | 2015-05-07 |
JP6303399B2 true JP6303399B2 (ja) | 2018-04-04 |
Family
ID=53051020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013223115A Active JP6303399B2 (ja) | 2013-10-28 | 2013-10-28 | Euv露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6303399B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102019100839A1 (de) * | 2019-01-14 | 2020-07-16 | Advanced Mask Technology Center Gmbh & Co. Kg | Fotomaskenanordnung mit reflektierender fotomaske und verfahren zum herstellen einer reflektierenden fotomaske |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60111038U (ja) * | 1983-12-29 | 1985-07-27 | 富士通株式会社 | 真空チヤツク |
JPH06198533A (ja) * | 1993-01-06 | 1994-07-19 | Nissin Electric Co Ltd | 静電チャック |
US7198276B2 (en) * | 2003-10-24 | 2007-04-03 | International Business Machines Corporation | Adaptive electrostatic pin chuck |
JP2005228978A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Canon Inc | 露光装置及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2007227499A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Seiko Epson Corp | 基板支持装置及び露光装置 |
JP2008032884A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Toppan Printing Co Ltd | 露光装置及びそれを用いた電磁波シールドメッシュの製造方法 |
JP2008226887A (ja) * | 2007-03-08 | 2008-09-25 | Nikon Corp | 保持装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
JP2009117441A (ja) * | 2007-11-02 | 2009-05-28 | Creative Technology:Kk | ワーク保持装置 |
CN102292807A (zh) * | 2009-01-28 | 2011-12-21 | 旭硝子株式会社 | Euv光刻用反射型掩模基板的制造方法 |
JP5329387B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2013-10-30 | 株式会社東芝 | 洗浄用レチクル、レチクルステージの洗浄方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2012009537A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 反射型マスクブランクス、反射型マスク、反射型マスクブランクスの製造方法、および、反射型マスクの製造方法 |
WO2012005294A1 (ja) * | 2010-07-09 | 2012-01-12 | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | 静電チャック装置及びその製造方法 |
JP5743450B2 (ja) * | 2010-07-28 | 2015-07-01 | 株式会社東芝 | レチクルチャッククリーナー |
JP5703841B2 (ja) * | 2011-02-28 | 2015-04-22 | 凸版印刷株式会社 | 反射型マスク |
-
2013
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015088510A (ja) | 2015-05-07 |
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