JPH06198533A - 静電チャック - Google Patents
静電チャックInfo
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- JPH06198533A JPH06198533A JP57593A JP57593A JPH06198533A JP H06198533 A JPH06198533 A JP H06198533A JP 57593 A JP57593 A JP 57593A JP 57593 A JP57593 A JP 57593A JP H06198533 A JPH06198533 A JP H06198533A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 静電チャックは、誘電体１の内部に電極２ａ
・２ｂが埋設されてなる静電チャック本体２０と、電極
２ａ・２ｂ間に直流電圧を印加する直流電源３とを有
し、静電気力により吸着対象物４を吸着固定する。誘電
体１は、非弾性誘電層１ａと弾性層１ｂとから成り、吸
着面にゴミが付着しても、弾性層１ｂの変形によってゴ
ミは層内に埋没する。また、吸着対象物４の表面が粗面
でも、その表面形状に応じて弾性層１ｂが変形し、吸着
対象物４との密着性が向上する。 【効果】 吸着面へのゴミの付着、吸着対象物４の表面
の粗さが静電チャックの吸着能力に及ぼす影響が従来よ
りも小さく、吸着面の清掃周期を従来よりも延長できる
と共に、表面の粗さによる吸着対象物４に対する制限が
緩和される。
・２ｂが埋設されてなる静電チャック本体２０と、電極
２ａ・２ｂ間に直流電圧を印加する直流電源３とを有
し、静電気力により吸着対象物４を吸着固定する。誘電
体１は、非弾性誘電層１ａと弾性層１ｂとから成り、吸
着面にゴミが付着しても、弾性層１ｂの変形によってゴ
ミは層内に埋没する。また、吸着対象物４の表面が粗面
でも、その表面形状に応じて弾性層１ｂが変形し、吸着
対象物４との密着性が向上する。 【効果】 吸着面へのゴミの付着、吸着対象物４の表面
の粗さが静電チャックの吸着能力に及ぼす影響が従来よ
りも小さく、吸着面の清掃周期を従来よりも延長できる
と共に、表面の粗さによる吸着対象物４に対する制限が
緩和される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、導体あるいは半導体か
らなる吸着対象物を静電気力により吸着固定する静電チ
ャックに関するものである。
らなる吸着対象物を静電気力により吸着固定する静電チ
ャックに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、吸着対象物を静電気力により吸着
固定する静電チャックが、様々な分野で利用されるよう
になっている。例えば、静電チャックは、プロッタにお
ける用紙の固定に用いられたり、エッチング装置等の半
導体製造装置におけるシリコンウエハ等の固定に用いら
れている。
固定する静電チャックが、様々な分野で利用されるよう
になっている。例えば、静電チャックは、プロッタにお
ける用紙の固定に用いられたり、エッチング装置等の半
導体製造装置におけるシリコンウエハ等の固定に用いら
れている。
【０００３】上記静電チャックには、図５に示すような
単極型のものと、図６に示すような双極型のものがあ
る。単極型の静電チャックは、図５に示すように、基本
的には、誘電体５１の内部に１枚の金属電極５２が埋設
された静電チャック本体５０と、上記の電極５２と吸着
対象物５４との間に所定の直流電圧を印加する直流電源
５３とから構成されている。
単極型のものと、図６に示すような双極型のものがあ
る。単極型の静電チャックは、図５に示すように、基本
的には、誘電体５１の内部に１枚の金属電極５２が埋設
された静電チャック本体５０と、上記の電極５２と吸着
対象物５４との間に所定の直流電圧を印加する直流電源
５３とから構成されている。
【０００４】一方、双極型の静電チャックは、図６に示
すように、基本的には、誘電体６１の内部に２枚の金属
電極６２ａ・６２ｂが埋設された静電チャック本体６０
と、上記の２枚の電極６２ａ・６２ｂ間に所定の直流電
圧を印加する直流電源６３とから構成されている。
すように、基本的には、誘電体６１の内部に２枚の金属
電極６２ａ・６２ｂが埋設された静電チャック本体６０
と、上記の２枚の電極６２ａ・６２ｂ間に所定の直流電
圧を印加する直流電源６３とから構成されている。
【０００５】上記構成の静電チャックでは、電極５２
（６２ａ・６２ｂ）を披包する誘電体５１（６１）にお
いて誘電分極現象が起こり、これにより吸着対象物５４
との間で静電気力が生じ、吸着対象物５４が静電チャッ
ク本体５０（６０）の吸着面に吸着される。静電チャッ
ク本体２０の吸着面に接触している吸着対象物５４に作
用する静電気力、即ち、静電チャックの吸着力Ｆ（Ｎ）
は、上記のような誘電分極現象により現れる分極電荷の
量によって定まり、基本的には、次式（１）によって表
される。
（６２ａ・６２ｂ）を披包する誘電体５１（６１）にお
いて誘電分極現象が起こり、これにより吸着対象物５４
との間で静電気力が生じ、吸着対象物５４が静電チャッ
ク本体５０（６０）の吸着面に吸着される。静電チャッ
ク本体２０の吸着面に接触している吸着対象物５４に作
用する静電気力、即ち、静電チャックの吸着力Ｆ（Ｎ）
は、上記のような誘電分極現象により現れる分極電荷の
量によって定まり、基本的には、次式（１）によって表
される。
【０００６】 Ｆ＝（Ｓ／２）・ε・（Ｖ／ｄ）2 ・・・（１） 但し、上式（１）中のεは、 ε＝ε0 ・εr である。ここで、Ｓは電極５２（６２ａ・６２ｂ）の面
積（ｍ2 ）、ε0 は真空の誘電率（8.８５×１０-12 Ｃ
2 Ｎ-1ｍ-2）、εr は誘電体５１（６１）の比誘電率、
Ｖは電源５３（６３）の印加電圧（Ｖ）、ｄは誘電体５
１（６１）における表面の厚さ、即ち、電極５２（６２
ａ・６２ｂ）から吸着面までの距離（ｍ）である。
積（ｍ2 ）、ε0 は真空の誘電率（8.８５×１０-12 Ｃ
2 Ｎ-1ｍ-2）、εr は誘電体５１（６１）の比誘電率、
Ｖは電源５３（６３）の印加電圧（Ｖ）、ｄは誘電体５
１（６１）における表面の厚さ、即ち、電極５２（６２
ａ・６２ｂ）から吸着面までの距離（ｍ）である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な静電チャックにおいて、図７に示すように、静電チャ
ック本体５０（６０）の吸着面にゴミ７０…が付着して
いる場合、静電チャック本体５０（６０）と吸着対象物
との間に隙間Ｄが生じ、両者間の接触面積が減少する。
静電チャックの吸着力（吸着対象物５４に作用する吸着
力）は、静電チャック本体５０（６０）と吸着対象物と
の間の距離に大きく反比例するため、吸着面にゴミが付
着している場合静電チャックの吸着能力の低下が起き
る。
な静電チャックにおいて、図７に示すように、静電チャ
ック本体５０（６０）の吸着面にゴミ７０…が付着して
いる場合、静電チャック本体５０（６０）と吸着対象物
との間に隙間Ｄが生じ、両者間の接触面積が減少する。
静電チャックの吸着力（吸着対象物５４に作用する吸着
力）は、静電チャック本体５０（６０）と吸着対象物と
の間の距離に大きく反比例するため、吸着面にゴミが付
着している場合静電チャックの吸着能力の低下が起き
る。
【０００８】上記のように、静電チャックの吸着能力の
低下が起きれば、吸着対象物の脱落等の事故を招来する
ことになる。また、静電チャック本体５０（６０）と吸
着対象物５４との間の熱伝導を利用して、吸着対象物５
４の冷却あるいは加熱を行う場合には、両者間の接触面
積の減少により、冷却効率あるいは加熱効率の低下を来
すことにもなる。そこで、このような不都合を解消する
ため、静電チャック本体５０（６０）の吸着面を周期的
に清掃する必要が生じるが、上記従来の構成では、吸着
面に付着するゴミの量が僅かであっても静電チャックの
吸着能力の低下が大きいため、頻繁に吸着面の清掃を行
う必要があるという問題点を有している。
低下が起きれば、吸着対象物の脱落等の事故を招来する
ことになる。また、静電チャック本体５０（６０）と吸
着対象物５４との間の熱伝導を利用して、吸着対象物５
４の冷却あるいは加熱を行う場合には、両者間の接触面
積の減少により、冷却効率あるいは加熱効率の低下を来
すことにもなる。そこで、このような不都合を解消する
ため、静電チャック本体５０（６０）の吸着面を周期的
に清掃する必要が生じるが、上記従来の構成では、吸着
面に付着するゴミの量が僅かであっても静電チャックの
吸着能力の低下が大きいため、頻繁に吸着面の清掃を行
う必要があるという問題点を有している。
【０００９】また、図８に示すように、吸着対象物５４
の表面が粗面であれば、静電チャック本体５０（６０）
と吸着対象物５４との接触面積が少なくなるため、この
場合も静電チャックの吸着能力の低下が起きることにな
る。
の表面が粗面であれば、静電チャック本体５０（６０）
と吸着対象物５４との接触面積が少なくなるため、この
場合も静電チャックの吸着能力の低下が起きることにな
る。
【００１０】尚、直流電源５３（６３）の印加電圧を高
くすれば、静電チャックの吸着力を大きくできるが、静
電チャックの使用環境（吸着対象物５４や直流電源５３
（６３）の能力）により、それにも限界がある。このた
め、表面の粗さによって吸着可能な吸着対象物５４が制
限されるという問題点を有している。
くすれば、静電チャックの吸着力を大きくできるが、静
電チャックの使用環境（吸着対象物５４や直流電源５３
（６３）の能力）により、それにも限界がある。このた
め、表面の粗さによって吸着可能な吸着対象物５４が制
限されるという問題点を有している。
【００１１】本発明は、上記に鑑みなされたものであ
り、その目的は、吸着面へのゴミの付着、あるいは吸着
対象物５４の表面の粗さに起因する吸着能力の低下を抑
え、吸着面の清掃周期の延長を可能とすると共に、表面
の粗さによる吸着対象物に対する制限を緩和することが
できる静電チャックを提供することにある。
り、その目的は、吸着面へのゴミの付着、あるいは吸着
対象物５４の表面の粗さに起因する吸着能力の低下を抑
え、吸着面の清掃周期の延長を可能とすると共に、表面
の粗さによる吸着対象物に対する制限を緩和することが
できる静電チャックを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明に係る静電チャッ
クは、上記の課題を解決するために、誘電体内部に所定
の直流電圧が印加される電極が埋設されてなる静電チャ
ック本体を備え、静電気力によって上記静電チャック本
体の表面に吸着対象物を吸着するものであって、以下の
手段を講じたことを特徴としている。
クは、上記の課題を解決するために、誘電体内部に所定
の直流電圧が印加される電極が埋設されてなる静電チャ
ック本体を備え、静電気力によって上記静電チャック本
体の表面に吸着対象物を吸着するものであって、以下の
手段を講じたことを特徴としている。
【００１３】即ち、上記静電チャックは、上記静電チャ
ック本体の表面に、弾性層が形成されている。
ック本体の表面に、弾性層が形成されている。
【００１４】
【作用】上記の構成によれば、静電チャック本体の誘電
体内部に埋設された電極に直流電圧が印加されると、こ
の電極を披包する誘電体において誘電分極現象が起こ
り、導体または半導体からなる吸着対象物が静電気力に
よって上記静電チャック本体の表面に吸着固定されるこ
とになる。
体内部に埋設された電極に直流電圧が印加されると、こ
の電極を披包する誘電体において誘電分極現象が起こ
り、導体または半導体からなる吸着対象物が静電気力に
よって上記静電チャック本体の表面に吸着固定されるこ
とになる。
【００１５】ここで、上記静電チャック本体の表面に
は、弾性層が形成されているので、静電チャック本体の
表面にゴミが付着している場合、静電チャックの吸着力
が作用する吸着対象物によりゴミが弾性層側へ押圧され
ることによって弾性層が変形し、ゴミは層内に埋没す
る。このため、静電チャック本体の表面におけるゴミが
付着していない部位では、吸着対象物との接触状態が確
保されることになり、静電チャック本体の表面に付着す
るゴミが静電チャックの吸着能力に及ぼす影響が従来よ
りも小さくなる。すなわち、上記の構成では、ゴミの付
着による経時的な吸着能力の低下速度が従来よりも遅
く、この結果、静電チャック本体の表面の清掃周期を従
来よりも延長することが可能である。
は、弾性層が形成されているので、静電チャック本体の
表面にゴミが付着している場合、静電チャックの吸着力
が作用する吸着対象物によりゴミが弾性層側へ押圧され
ることによって弾性層が変形し、ゴミは層内に埋没す
る。このため、静電チャック本体の表面におけるゴミが
付着していない部位では、吸着対象物との接触状態が確
保されることになり、静電チャック本体の表面に付着す
るゴミが静電チャックの吸着能力に及ぼす影響が従来よ
りも小さくなる。すなわち、上記の構成では、ゴミの付
着による経時的な吸着能力の低下速度が従来よりも遅
く、この結果、静電チャック本体の表面の清掃周期を従
来よりも延長することが可能である。
【００１６】また、吸着対象物の表面が粗面な場合で
も、吸着力により吸着対象物の表面が弾性層に押しつけ
られることにより、弾性層が吸着対象物の表面形状に応
じて変形し、吸着対象物は略全面にわたって静電チャッ
ク本体の表面と接触することになる。このため、吸着対
象物の表面がある程度粗面であっても、平滑面の場合と
略同程度の吸着力が得られ、吸着対象物の表面の粗さに
起因する静電チャックの吸着能力の低下を抑えることが
できる。これにより、表面の粗さによる吸着対象物に対
する制限を従来よりも緩和することができる。
も、吸着力により吸着対象物の表面が弾性層に押しつけ
られることにより、弾性層が吸着対象物の表面形状に応
じて変形し、吸着対象物は略全面にわたって静電チャッ
ク本体の表面と接触することになる。このため、吸着対
象物の表面がある程度粗面であっても、平滑面の場合と
略同程度の吸着力が得られ、吸着対象物の表面の粗さに
起因する静電チャックの吸着能力の低下を抑えることが
できる。これにより、表面の粗さによる吸着対象物に対
する制限を従来よりも緩和することができる。
【００１７】
【実施例】本発明の一実施例について図１ないし図４に
基づいて説明すれば、以下の通りである。
基づいて説明すれば、以下の通りである。
【００１８】本実施例では、図１に示すように、誘電体
１の内部に２枚の金属電極２ａ・２ｂが組み込まれてな
る静電チャック本体２０と、上記の２枚の電極２ａ・２
ｂ間に所定の直流電圧を印加する直流電源３とを備えた
双極型の静電チャックを例に挙げて説明する。
１の内部に２枚の金属電極２ａ・２ｂが組み込まれてな
る静電チャック本体２０と、上記の２枚の電極２ａ・２
ｂ間に所定の直流電圧を印加する直流電源３とを備えた
双極型の静電チャックを例に挙げて説明する。
【００１９】上記誘電体１は、非弾性誘電層１ａと弾性
層１ｂとから構成されており、上記電極２ａ・２ｂは、
非弾性誘電層１ａ側に埋設されている。この非弾性誘電
層１ａとしては、例えば、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）、炭
化ケイ素（ＳｉＣ）、およびチタン酸カルシウム（Ｃａ
ＴｉＯ3 ）等のセラミック材料を使用することができ
る。
層１ｂとから構成されており、上記電極２ａ・２ｂは、
非弾性誘電層１ａ側に埋設されている。この非弾性誘電
層１ａとしては、例えば、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）、炭
化ケイ素（ＳｉＣ）、およびチタン酸カルシウム（Ｃａ
ＴｉＯ3 ）等のセラミック材料を使用することができ
る。
【００２０】上記誘電体１の弾性層１ｂの表面は、吸着
対象物４を吸着する吸着面となり、その膜厚は、静電チ
ャックの吸着力を極端に低下させることなく、且つ、吸
着面に付着するゴミや吸着対象物４表面の小さな凹凸が
層内に埋没する程度に設定される。尚、弾性層１ｂの膜
厚の最適値は弾性層１ｂの材質によっても異なるが、そ
の膜厚は、２〜３μｍ程度が望ましい。この弾性層１ｂ
としては、静電チャックの吸着力を低下させないよう
に、できるだけ比誘電率の高い材質を使用することが望
ましく、例えば、シリコンゴム、ポリテトラフルオロエ
チレン等のフッソ樹脂、ビニル樹脂、ナイロン等を使用
することができる。また、吸着対象物４の冷却あるいは
加熱を考慮に入れる場合は、その材質として熱伝導率の
高いものを選定することが望ましい。
対象物４を吸着する吸着面となり、その膜厚は、静電チ
ャックの吸着力を極端に低下させることなく、且つ、吸
着面に付着するゴミや吸着対象物４表面の小さな凹凸が
層内に埋没する程度に設定される。尚、弾性層１ｂの膜
厚の最適値は弾性層１ｂの材質によっても異なるが、そ
の膜厚は、２〜３μｍ程度が望ましい。この弾性層１ｂ
としては、静電チャックの吸着力を低下させないよう
に、できるだけ比誘電率の高い材質を使用することが望
ましく、例えば、シリコンゴム、ポリテトラフルオロエ
チレン等のフッソ樹脂、ビニル樹脂、ナイロン等を使用
することができる。また、吸着対象物４の冷却あるいは
加熱を考慮に入れる場合は、その材質として熱伝導率の
高いものを選定することが望ましい。
【００２１】上記の構成において、静電チャックの動作
を以下に説明する。
を以下に説明する。
【００２２】直流電源３より静電チャック本体２０の２
枚の電極２ａ・２ｂ間に所定の直流電圧が印加されるこ
とにより、電極２ａ・２ｂを披包する誘電体１において
誘電分極現象が起こる。この状態で、静電チャック本体
２０の表面に形成された弾性層１ｂに、導体あるいは半
導体からなる吸着対象物４を載置すれば、静電気力によ
り、吸着対象物４が静電チャック本体２０の表面に吸着
固定されることになる。
枚の電極２ａ・２ｂ間に所定の直流電圧が印加されるこ
とにより、電極２ａ・２ｂを披包する誘電体１において
誘電分極現象が起こる。この状態で、静電チャック本体
２０の表面に形成された弾性層１ｂに、導体あるいは半
導体からなる吸着対象物４を載置すれば、静電気力によ
り、吸着対象物４が静電チャック本体２０の表面に吸着
固定されることになる。
【００２３】例えば、図２に示すように、静電チャック
本体２０の表面（吸着面）にゴミ３０…が付着している
場合、静電チャックの吸着力が作用する吸着対象物４に
よりゴミ３０…が弾性層１ｂ側へ押圧されることによっ
て弾性層１ｂが変形し、ゴミ３０…は層内に埋没する。
このため、静電チャック本体２０の表面におけるゴミ３
０…が付着していない部位では、吸着対象物４との接触
状態が確保される。
本体２０の表面（吸着面）にゴミ３０…が付着している
場合、静電チャックの吸着力が作用する吸着対象物４に
よりゴミ３０…が弾性層１ｂ側へ押圧されることによっ
て弾性層１ｂが変形し、ゴミ３０…は層内に埋没する。
このため、静電チャック本体２０の表面におけるゴミ３
０…が付着していない部位では、吸着対象物４との接触
状態が確保される。
【００２４】したがって、従来では、静電チャック本体
の表面に付着するゴミが静電チャックの吸着能力に及ぼ
す影響が非常に大きく、ゴミの付着量が僅かでも、静電
チャックの吸着能力の低下が大きかったのに対し、本実
施例では、ゴミの付着量が少なければ、それほど大きな
吸着力の低下を生じることはない。すなわち、本実施例
の静電チャックの場合、ゴミの付着による経時的な吸着
能力の低下速度が従来よりも遅く、このため、静電チャ
ック本体２０の表面の清掃周期を従来よりも延長するこ
とが可能である。したがって、保守・点検作業者の労力
を従来よりも省くことができ、特に、直接手出しができ
ない場所（例えば、真空中）で使用される静電チャック
に対しては、非常にその効果が高い。
の表面に付着するゴミが静電チャックの吸着能力に及ぼ
す影響が非常に大きく、ゴミの付着量が僅かでも、静電
チャックの吸着能力の低下が大きかったのに対し、本実
施例では、ゴミの付着量が少なければ、それほど大きな
吸着力の低下を生じることはない。すなわち、本実施例
の静電チャックの場合、ゴミの付着による経時的な吸着
能力の低下速度が従来よりも遅く、このため、静電チャ
ック本体２０の表面の清掃周期を従来よりも延長するこ
とが可能である。したがって、保守・点検作業者の労力
を従来よりも省くことができ、特に、直接手出しができ
ない場所（例えば、真空中）で使用される静電チャック
に対しては、非常にその効果が高い。
【００２５】また、図３に示すように、表面が粗面な吸
着対象物４を吸着固定するような場合、吸着力により吸
着対象物４の表面が弾性層１ｂに押しつけられることに
より、弾性層１ｂが吸着対象物４表面の形状に応じて変
形し、吸着対象物４は略全面にわたって静電チャック本
体２０表面との接触状態が確保される。
着対象物４を吸着固定するような場合、吸着力により吸
着対象物４の表面が弾性層１ｂに押しつけられることに
より、弾性層１ｂが吸着対象物４表面の形状に応じて変
形し、吸着対象物４は略全面にわたって静電チャック本
体２０表面との接触状態が確保される。
【００２６】したがって、従来では、吸着対象物の表面
の粗さが静電チャックの吸着能力に及ぼす影響が非常に
大きく、その表面が粗面であれば、平滑面の場合と比較
して、静電チャック本体と吸着対象物との接触面積の減
少による静電チャックの吸着能力の低下が生じていたの
に対し、本実施例では、吸着対象物の表面がある程度粗
面であっても、平滑面の場合と略同程度の吸着力が得ら
れ、吸着対象物の表面の粗さに起因する静電チャックの
吸着能力の低下を抑えることができる。これにより、表
面の粗さによる吸着対象物４に対する制限を従来よりも
緩和することができる。
の粗さが静電チャックの吸着能力に及ぼす影響が非常に
大きく、その表面が粗面であれば、平滑面の場合と比較
して、静電チャック本体と吸着対象物との接触面積の減
少による静電チャックの吸着能力の低下が生じていたの
に対し、本実施例では、吸着対象物の表面がある程度粗
面であっても、平滑面の場合と略同程度の吸着力が得ら
れ、吸着対象物の表面の粗さに起因する静電チャックの
吸着能力の低下を抑えることができる。これにより、表
面の粗さによる吸着対象物４に対する制限を従来よりも
緩和することができる。
【００２７】また、本実施例の静電チャックは、静電チ
ャック本体２０の表面に弾性層１ｂが形成されているこ
とから、上述のように、吸着対象物４との密着性が良く
なり、静電チャック本体２０にゴミが付着している場合
や、吸着対象物４の表面が粗面の場合でも、従来に比べ
てはるかに広い吸着対象物４との接触面積が得られるの
で、静電チャック本体２０と吸着対象物４との間の熱伝
導を利用して吸着対象物４の冷却あるいは加熱を行う際
の冷却効率あるいは加熱効率の向上を図れる。
ャック本体２０の表面に弾性層１ｂが形成されているこ
とから、上述のように、吸着対象物４との密着性が良く
なり、静電チャック本体２０にゴミが付着している場合
や、吸着対象物４の表面が粗面の場合でも、従来に比べ
てはるかに広い吸着対象物４との接触面積が得られるの
で、静電チャック本体２０と吸着対象物４との間の熱伝
導を利用して吸着対象物４の冷却あるいは加熱を行う際
の冷却効率あるいは加熱効率の向上を図れる。
【００２８】尚、上記の実施例では、双極型の静電チャ
ックを例に挙げて説明したが、本発明は、これに限定さ
れるものではなく、図４に示すように、非弾性誘電層１
１ａと弾性層１１ｂとから成る誘電体１１の内部に１枚
の金属電極１２が埋設された静電チャック本体２１と、
上記の電極１２と吸着対象物４との間に所定の直流電圧
を印加する直流電源１３とから構成される単極型の静電
チャックにも適用できる。
ックを例に挙げて説明したが、本発明は、これに限定さ
れるものではなく、図４に示すように、非弾性誘電層１
１ａと弾性層１１ｂとから成る誘電体１１の内部に１枚
の金属電極１２が埋設された静電チャック本体２１と、
上記の電極１２と吸着対象物４との間に所定の直流電圧
を印加する直流電源１３とから構成される単極型の静電
チャックにも適用できる。
【００２９】また、上記の実施例では、図１に示すよう
に、誘電体１が非弾性誘電層１ａと弾性層１ｂとから成
る２層構造となっているが、これに限定されるものでは
なく、吸着面となる表面側に弾性層１ｂが形成されてい
ればよく、例えば、誘電体１全体が弾性を有する１層構
造であってもよい。
に、誘電体１が非弾性誘電層１ａと弾性層１ｂとから成
る２層構造となっているが、これに限定されるものでは
なく、吸着面となる表面側に弾性層１ｂが形成されてい
ればよく、例えば、誘電体１全体が弾性を有する１層構
造であってもよい。
【００３０】上記の実施例は、あくまでも、本発明の技
術内容を明らかにするものであって、そのような具体例
にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではなく、本
発明の精神と特許請求の範囲内で、いろいろと変更して
実施することができるものである。
術内容を明らかにするものであって、そのような具体例
にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではなく、本
発明の精神と特許請求の範囲内で、いろいろと変更して
実施することができるものである。
【００３１】
【発明の効果】本発明の静電チャックは、以上のよう
に、静電チャック本体の表面に弾性層が形成されている
構成である。
に、静電チャック本体の表面に弾性層が形成されている
構成である。
【００３２】それゆえ、静電チャック本体の表面にゴミ
が付着している場合でも、静電チャック本体の表面にお
けるゴミが付着していない部位では、吸着対象物との接
触状態が確保されることになる。したがって、静電チャ
ック本体の表面に付着するゴミが静電チャックの吸着能
力に及ぼす影響が従来よりも小さくなり、静電チャック
本体の表面の清掃周期を従来よりも延長することができ
るという効果を奏する。
が付着している場合でも、静電チャック本体の表面にお
けるゴミが付着していない部位では、吸着対象物との接
触状態が確保されることになる。したがって、静電チャ
ック本体の表面に付着するゴミが静電チャックの吸着能
力に及ぼす影響が従来よりも小さくなり、静電チャック
本体の表面の清掃周期を従来よりも延長することができ
るという効果を奏する。
【００３３】また、吸着対象物の表面が粗面な場合で
も、弾性層が吸着対象物の表面形状に応じて変形し、吸
着対象物は略全面にわたって静電チャック本体の表面と
接触し、吸着対象物の表面が平滑面の場合と略同程度の
吸着力が得られる。したがって、吸着対象物の表面の粗
さに起因する静電チャックの吸着能力の低下を抑えるこ
とができ、表面の粗さによる吸着対象物に対する制限を
従来よりも緩和することができるという効果を奏する。
も、弾性層が吸着対象物の表面形状に応じて変形し、吸
着対象物は略全面にわたって静電チャック本体の表面と
接触し、吸着対象物の表面が平滑面の場合と略同程度の
吸着力が得られる。したがって、吸着対象物の表面の粗
さに起因する静電チャックの吸着能力の低下を抑えるこ
とができ、表面の粗さによる吸着対象物に対する制限を
従来よりも緩和することができるという効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例を示すものであり、双極型の
静電チャックの概略の縦断面図である。
静電チャックの概略の縦断面図である。
【図２】上記静電チャックにおいて、静電チャック本体
の吸着面にゴミが付着しているときの吸着状態を示す要
部拡大断面図である。
の吸着面にゴミが付着しているときの吸着状態を示す要
部拡大断面図である。
【図３】上記静電チャックにおいて、表面が粗面な吸着
対象物を吸着している状態を示す要部拡大断面図であ
る。
対象物を吸着している状態を示す要部拡大断面図であ
る。
【図４】本発明のその他の実施例を示すものであり、単
極型の静電チャックの概略の縦断面図である。
極型の静電チャックの概略の縦断面図である。
【図５】従来の単極型の静電チャックの動作を説明する
ための説明図である。
ための説明図である。
【図６】従来の双極型の静電チャックの動作を説明する
ための説明図である。
ための説明図である。
【図７】従来の静電チャックにおいて、静電チャック本
体の吸着面にゴミが付着しているときの吸着状態を示す
要部拡大断面図である。
体の吸着面にゴミが付着しているときの吸着状態を示す
要部拡大断面図である。
【図８】従来の静電チャックにおいて、表面が粗面な吸
着対象物を吸着している状態を示す要部拡大断面図であ
る。
着対象物を吸着している状態を示す要部拡大断面図であ
る。
１ 誘電体 １ａ 非弾性誘電層 １ｂ 弾性層 ２ａ 電極 ２ｂ 電極 ３ 直流電源 ４ 吸着対象物
Claims (1)
- 【請求項１】誘電体内部に所定の直流電圧が印加される
電極が埋設されてなる静電チャック本体を備え、静電気
力によって上記静電チャック本体の表面に吸着対象物を
吸着する静電チャックにおいて、 上記静電チャック本体の表面に、弾性層が形成されてい
ることを特徴とする静電チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57593A JPH06198533A (ja) | 1993-01-06 | 1993-01-06 | 静電チャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57593A JPH06198533A (ja) | 1993-01-06 | 1993-01-06 | 静電チャック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06198533A true JPH06198533A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=11477515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57593A Pending JPH06198533A (ja) | 1993-01-06 | 1993-01-06 | 静電チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06198533A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08154387A (ja) * | 1994-11-28 | 1996-06-11 | Nissin Electric Co Ltd | 静電チャック |
| EP1178597A1 (en) * | 1999-04-14 | 2002-02-06 | NUNUPAROV, Martyn Sergeevich | Electrostatic devices for mechanical blocking |
| JP2009540785A (ja) * | 2006-06-05 | 2009-11-19 | エスアールアイ インターナショナル | 静電付着 |
| JP2009539684A (ja) * | 2006-06-05 | 2009-11-19 | エスアールアイ インターナショナル | 壁移動装置 |
| JP2015088510A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | 凸版印刷株式会社 | Ｅｕｖ露光装置、保護被膜およびｅｕｖマスクの露光方法 |
-
1993
- 1993-01-06 JP JP57593A patent/JPH06198533A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08154387A (ja) * | 1994-11-28 | 1996-06-11 | Nissin Electric Co Ltd | 静電チャック |
| EP1178597A1 (en) * | 1999-04-14 | 2002-02-06 | NUNUPAROV, Martyn Sergeevich | Electrostatic devices for mechanical blocking |
| EP1178597A4 (en) * | 1999-04-14 | 2010-08-04 | Martyn Sergeevich Nunuparov | Electrostatic device for mechanical clamping |
| JP2009540785A (ja) * | 2006-06-05 | 2009-11-19 | エスアールアイ インターナショナル | 静電付着 |
| JP2009539684A (ja) * | 2006-06-05 | 2009-11-19 | エスアールアイ インターナショナル | 壁移動装置 |
| JP2012231668A (ja) * | 2006-06-05 | 2012-11-22 | Sri Internatl | 静電付着 |
| JP2013237149A (ja) * | 2006-06-05 | 2013-11-28 | Sri Internatl | 壁移動装置 |
| JP2015088510A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | 凸版印刷株式会社 | Ｅｕｖ露光装置、保護被膜およびｅｕｖマスクの露光方法 |
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