JP2021118323A - 静電チャッククリーナー及び静電チャックのクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(構成1)被吸着物を保持する吸着面を有する静電チャックをクリーニングする静電チャッククリーナーであって、基板と、前記基板上に形成された金属膜と、を有し、
前記金属膜は、ナノインデンテーション法により測定されるマルテンス硬さが3000MPa以下であることを特徴とする静電チャッククリーナー。
図1は、本実施形態の係る静電チャッククリーナー10の断面図である。図1に示すように、本実施形態に係る静電チャッククリーナー10は、基板12と、基板12の上に形成された金属膜14とを有する。金属膜14は、ナノインデンテーション法により測定されるマルテンス硬さが3000MPa以下である。
具体的には、ほぼ同じサイズ及び形状の異物を吸着面の上に100個載置した後、金属面が吸着面に向かい合うようにして、吸着面の下方に静電チャッククリーナーをセットした。次に、真空チャックによって静電チャッククリーナーを吸着面に吸着した後、静電チャッククリーナーを吸着面から離間させた。次に、吸着面の上に残存している異物の個数を電子顕微鏡によって測定した。残存している異物の個数に応じて、静電チャッククリーナーの性能を以下のように評価した。
極めて良好:残存している異物が10個以下
良好:残存している異物が11個以上30個以下
不良:残存している異物が31個以上
測定装置:Nano Indenter G200(KLA Corporation製)
圧子タイプ:バーコビッチ
最大印加加重:0.2mN
これに対し、比較例1の静電チャッククリーナーは、金属膜のマルテンス硬さが3000MPaを超えており、合成石英よりも硬度が高いため、異物を取り除く性能が不良であった。
12 基板
14 金属膜
30 静電チャック
32 チャック本体
34 チャックプレート
34a 吸着面
100 反射型マスク(被吸着物)
P 異物
Claims (6)
- 被吸着物を保持する吸着面を有する静電チャックをクリーニングする静電チャッククリーナーであって、
基板と、
前記基板上に形成された金属膜と、を有し、
前記金属膜は、ナノインデンテーション法により測定されるマルテンス硬さが3000MPa以下であることを特徴とする静電チャッククリーナー。 - 前記金属膜のマルテンス硬さは、前記被吸着物の裏面導電膜のマルテンス硬さよりも低いことを特徴とする請求項1に記載の静電チャッククリーナー。
- 前記金属膜は、Pb、Sn、Mg、Zn、Au、Ag、Al、Cu及びSbから選ばれる少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の静電チャッククリーナー。
- 前記金属膜は、Zn、Al及びCuから選ばれる少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の静電チャッククリーナー。
- 前記金属膜の膜厚は、1μm以上であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の静電チャッククリーナー。
- 請求項1乃至5の何れか1項に記載の静電チャッククリーナーを静電チャックにセットし、前記静電チャッククリーナーの金属膜を前記静電チャックの吸着面に密着させた後、前記静電チャッククリーナーを前記静電チャックから取り外すことによって前記吸着面をクリーニングすることを特徴とする静電チャックのクリーニング方法。
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