TWI622334B - Holding device - Google Patents

Holding device Download PDF

Info

Publication number
TWI622334B
TWI622334B TW105116085A TW105116085A TWI622334B TW I622334 B TWI622334 B TW I622334B TW 105116085 A TW105116085 A TW 105116085A TW 105116085 A TW105116085 A TW 105116085A TW I622334 B TWI622334 B TW I622334B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
ring frame
holding
frame portion
holding bodies
opening
Prior art date
Application number
TW105116085A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201742545A (zh
Inventor
rui-qing Cai
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to TW105116085A priority Critical patent/TWI622334B/zh
Publication of TW201742545A publication Critical patent/TW201742545A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI622334B publication Critical patent/TWI622334B/zh

Links

Landscapes

  • Water Treatment By Electricity Or Magnetism (AREA)

Abstract

本創作之固持裝置,其具有二固持本體,每一該固持本體中央形成一開孔,並於該開孔周緣處形成一環框部,該環框部內嵌埋複數磁性件,該磁性件使該二固持本體的環框部彼此吸附連接,該二環框部的連接面各自具有一容置槽以形成一空間,該環框部上進一步形成有複數間隔設置的排液孔;透過二固持本體間的磁性吸附連接,以及環框部上容置槽的形成,使得加工片材夾掣於二固持本體的容置槽的底面之間,以形成一保護及定型作用,據以改善加工片材於製程間發生變形或折痕的情形,此外,由於排液孔的形成,能夠加速工作液體自固持本體上排乾。

Description

固持裝置
本創作涉及一種固持裝置,特別是涉及一種用以固定薄形加工片材的固持裝置。
隨著科技的進步,3C產品朝向體積縮小而易於攜帶的方向發展,如:智慧型手機或平板電腦,因此,所述產品的電路基板的尺寸亦必須隨之限縮,方可執行電性連通的功能,同時符合該類產品在外形尺寸上的要求。
因此,現行應用於3C產品的電路基板為長、薄形片材,為達成電性線路的密集化,所述的電路基板係透過曝光、顯影、蝕刻…等加工製程而成形電性連接線路,從而實現電路基板的電性連通功能,同時兼顧尺寸外形的縮小化;在製造過程中,欲製成電路基板的加工片材必須浸入顯影液、蝕刻液等加工液體內,以進行各個階段的加工。
然而,由於現有技術電路基板的加工片材為長、薄形的外型,因此,將加工片材浸入加工液體以及自加工液體內取出的過程,極易因缺乏保護、定型,或是不易對加工片材形成支承力,進而造成加工片材的變形或折痕,令製程的良率無法提升,更因不良品的增加而墊高產品的生產成本。
本創作之目的在於改善現有技術中,因加工片材為長、薄形且支承不易,使得加工片材於製程中,極易形成變形或折損等缺失,藉由本創作 技術手段之實施,使得加工片材能夠受到固持及定型,而避免在加工製程中,發生加工片材的變形或折痕等現象。
為達到上述之創作目的,本創作所採用的技術手段為設計一種固持裝置,其具有二固持本體;每一該固持本體具有一開孔、一環框部、複數磁性件及一扳槽;該開孔貫穿形成於該固持本體,該環框部環繞形成於該開孔周緣處,該複數磁性件間隔設置的嵌埋形成於該環框部內,該扳槽凹陷形成於該環框部的外緣處,該二固持本體的扳槽各自形成於環框部的相對應邊,並且該二固持本體的扳槽相互間隔一距離;其中一該固持本體的開孔及環框部在位置上相對應於另一該固持本體的開孔及環框部;並且,該二固持本體的磁性件在位置上相對應而彼此吸附,使該二固持本體的環框部相互連接。
所述之固持裝置,其中每一該固持本體進一步具有一連接面及一容置槽;該連接面位於該環框部的一側面,該二固持本體的連接面相互連接;該容置槽凹陷形成於該連接面,並且環繞該開孔設置,該容置槽與該開孔相通,該二固持本體的容置槽在位置上相對應,以在該二固持本體之間形成一空間。
所述之固持裝置,其中每一該固持本體進一步具有複數排液孔,該複數排液孔貫穿形成於該環框部,該複數排液孔間隔設置且平行於該開孔成形方向。
所述之固持裝置,其中該二固持本體的複數排液孔在位置上相互對應,而使該二固持本體的複數排液孔各自相連通。
所述之固持裝置,其中每一該固持本體進一步具有複數排液孔,該複數排液孔貫穿形成於該環框部,該複數排液孔間隔設置且垂直於該開孔成形方向,該排液孔能夠相通於該開孔。
所述之固持裝置,其中每一該固持本體進一步具有複數排液槽,該複數排液槽凹陷形成於該連接面,該複數排液槽間隔設置且垂直於該開孔成形方向,該排液槽的端部在位置上對應且相通於該容置槽;並且,該二固持本體的排液槽在位置上相互對應,使得該二固持本體的排液槽形成孔洞。
本創作採用的另一技術手段為設計一種固持裝置,其具有二固持本體;每一該固持本體具有複數開孔、一環框部、複數磁性件、一連接面、一容置槽、一扳槽及複數排液孔;該複數開孔間隔設置的貫穿形成於該固持本體,該環框部環繞形成於該開孔周緣處,其中一該固持本體的複數開孔及環框部在位置上相對應於另一該固持本體的複數開孔及環框部;該複數磁性件間隔設置的嵌埋形成於該環框部內,該二固持本體的磁性件在位置上相對應而彼此吸附,使該二固持本體的環框部相互連接;該連接面位於該環框部的一側面,該二固持本體的連接面相互連接;該容置槽凹陷形成於該連接面,並且環繞該開孔設置,該容置槽與該開孔相通,該二固持本體的容置槽在位置上相對應,以在該二固持本體之間形成一空間;該扳槽凹陷形成於該環框部的外緣處,該二固持本體的扳槽各自形成於環框部的相對應邊,並且該二固持本體的扳槽相互間隔一距離;該複數排液孔貫穿形成於該環框部,該複數排液孔間隔設置且平行於該開孔成形方向,該二固持本體的複數排液孔在位置上相互對應,而使該二固持本體的複數排液孔各自相連通。
本創作另行採用的一技術手段為設計一種固持裝置,其具有二固持本體;每一該固持本體具有複數開孔、一環框部、複數磁性件、一連接面、一容置槽、一扳槽及複數排液孔;該複數開孔間隔設置的貫穿形成於該固持本體,該環框部環繞形成於該開孔周緣處,其中一該固持本體的複數開孔及環框部在位置上相對應於另一該固持本體的複數開孔及環框部;該複數磁性件間隔設置的嵌埋形成於該環框部內,該二固持本體的磁性件在位置上相對應而 彼此吸附,使該二固持本體的環框部相互連接;該連接面位於該環框部的一側面,該二固持本體的連接面相互連接;該容置槽凹陷形成於該連接面,並且環繞該開孔設置,該容置槽與該開孔相通,該二固持本體的容置槽在位置上相對應,以在該二固持本體之間形成一空間;該扳槽凹陷形成於該環框部的外緣處,該二固持本體的扳槽各自形成於環框部的相對應邊,並且該二固持本體的扳槽相互間隔一距離;該複數排液孔貫穿形成於該環框部,該複數排液孔間隔設置且垂直於該開孔成形方向,該排液孔能夠相通於該開孔。
本創作再採用的另一技術手段為設計一種固持裝置,其具有二固持本體;每一該固持本體具有複數開孔、一環框部、複數磁性件、一連接面、一容置槽、一扳槽及複數排液槽;該複數開孔間隔設置的貫穿形成於該固持本體,該環框部環繞形成於該開孔周緣處,其中一該固持本體的複數開孔及環框部在位置上相對應於另一該固持本體的複數開孔及環框部;該複數磁性件間隔設置的嵌埋形成於該環框部內,該二固持本體的磁性件在位置上相對應而彼此吸附,使該二固持本體的環框部相互連接;該連接面位於該環框部的一側面,該二固持本體的連接面相互連接;該容置槽凹陷形成於該連接面,並且環繞該開孔設置,該容置槽與該開孔相通,該二固持本體的容置槽在位置上相對應,以在該二固持本體之間形成一空間;該扳槽凹陷形成於該環框部的外緣處,該二固持本體的扳槽各自形成於環框部的相對應邊,並且該二固持本體的扳槽相互間隔一距離;該複數排液槽凹陷形成於該連接面,該複數排液槽間隔設置且垂直於該開孔成形方向,該排液槽的端部在位置上對應且相通於該容置槽,該二固持本體的排液槽在位置上相互對應,使得該二固持本體的排液槽形成孔洞。
本創作的優點在於,透過二固持本體所各自嵌埋的磁性件,以達成二固持本體間以磁性吸附而相互連接,同時,二固持本體的環框部上所形 成的容置槽,使得加工片材能夠抵壓夾掣於二固持本體的容置槽的底面之間,從而形成對於加工片材的保護及定型功效,令加工片材能夠順利的浸入工作液體或自工作液體內取出,以此改善以往加工片材於加工製程間發生變形或受到折損的情形,並且,藉由二固持本體上複數排液孔的形成,以加速工作液體自固持本體及加工片材上排乾,從而讓工作液體的置換及反應能力能夠提升,此外,固持本體的材質尚能因應工作液體的特性,而做出相應的選擇,或者是於固持本體的表面進行塗裝處理。
10、10A、10B、20‧‧‧固持本體
11、11A、21‧‧‧開孔
12、12A、22‧‧‧環框部
13、13A、23‧‧‧磁性件
14、14A、14B、24‧‧‧扳槽
15、15B、25‧‧‧連接面
16、16B、26‧‧‧容置槽
17、17A、27‧‧‧排液孔
18‧‧‧排液槽
30‧‧‧加工片材
圖1為本創作第一實施例的立體外觀圖。
圖2為本創作第一實施例的立體分解圖。
圖3為本創作第一實施例的固持本體的側視剖面圖。
圖4為本創作第二實施例的固持本體的剖面圖。
圖5為本創作第三實施例的固持本體形成連接面的平面圖。
以下配合圖式及本創作之較佳實施例,進一步闡述本創作為達成預定創作目的所採取的技術手段。
請參照圖1及圖2所示,本創作一種固持裝置的第一實施例,其具有二固持本體10、20。
請參照圖1至圖3所示,該固持本體10具有一開孔11、一環框部12、複數磁性件13、一扳槽14、一連接面15、一容置槽16及複數排液孔17。
該開孔11貫穿形成於該固持本體10,例如:位在該固持本體10的中央處,使該固持本體10構成一中空框架。
該環框部12環繞形成於該開孔11周緣處。
該複數磁性件13間隔設置的嵌埋形成於該環框部12內。
該扳槽14凹陷形成於該環框部12的外緣處,於圖中具體實施例,該扳槽14係形成於該環框部12的頂緣處。
該連接面15位於該環框部12的一側面。
該容置槽16凹陷形成於該連接面15,並且環繞該開孔11設置,該容置槽16與該開孔11相通。
該複數排液孔17貫穿形成於該環框部12,較佳實施例為該複數排液孔17間隔設置且平行於該開孔11成形方向。
請參照圖1及圖2所示,該固持本體20同樣形成有一開孔21、一環框部22、複數磁性件23、一扳槽24、一連接面25、一容置槽26及複數排液孔27,並且結構相同於該固持本體10,故於此不再贅述。
於本創作第一實施例具體實施時,請同時參照圖1及圖2所示,該固持本體10的開孔11及環框部12在位置上相對應於該固持本體20的開孔21及環框部22,並且,該二固持本體10、20的磁性件13、23在位置上相對應而彼此吸附,使得該二固持本體10、20的環框部12、22相互連接,意即,該固持本體10的連接面15與該固持本體20的連接面25透過該二磁性件13、23的磁性吸附而相互連接。
並且,該固持本體10的容置槽16以及該固持本體20的容置槽26在位置上相對應,以在該二固持本體10、20之間形成一空間,從而使一加工片材30能夠位於該二固持本體10、20的容置槽16、26內,由於該二固持本體10、20的容置槽16、26底面間的距離小於該加工片材30的厚度,同時透過該二固持 本體10、20間的相互吸附,使得該加工片材30抵壓夾掣於該容置槽16與該容置槽26的底面之間,以達成該加工片材30加工過程中的固定。
具體而言,該加工片材30能夠為薄形電路基板,因此,當該加工片材30透過本創作的固持裝置而固定後,隨即進行曝光、顯影、蝕刻…等加工製程,本創作的固持裝置固定該加工片材30而浸入顯影液或蝕刻液等工作液體內,工作液體則透過該固持本體10、20的開孔11、21而對加工片材30的表面進行加工,待加工處理完成後,使工作液體自該二固持本體10、20與該加工片材30瀝乾,此外,該二固持本體10、20的複數排液孔17、27能夠在位置上相互對應,意即,該固持本體10的排液孔17各自相連通於該固持本體20的排液孔27,該複數排液孔17、27能夠有助於顯影液或蝕刻液自該二固持本體10、20加速的排乾。
該固持本體10的扳槽14以及該固持本體20的扳槽24各自形成於該環框部12及該環框部22的相對應邊,於圖中所示的具體實施例,該扳槽14、24形成於該環框部12、22的頂緣處,並且該二固持本體10、20的扳槽14、24係相互間隔一距離,以在該二固持本體10、20上形成施力點,便於克服該磁性件13、23的磁力,進而分離該二固持本體10、20以取下該加工片材30。
請參照圖4所示,本創作的第二實施例與第一實施例間的結構大致相同,不同之處在於該固持本體10A的複數排液孔17A的成形方式,該複數排液孔17A貫穿形成於該環框部12A,該複數排液孔17A間隔設置且垂直於該開孔11A成形方向,並且該排液孔17A的端部相通於該開孔11A,並且,於圖4所示的第二實施例中,該複數磁性件13A係間隔設置的嵌埋於該環框部12A的四個角落處。
請參照圖5所示,本創作的第三實施例與第一實施例間的差別在於,該固持本體10B以複數排液槽18取代複數排液孔17,該複數排液槽18凹陷 形成於該連接面15B,該複數排液槽18間隔設置且垂直於該開孔11成形方向,該排液槽18的端部在位置上對應且相通於該容置槽16B,並且,該二固持本體10B的排液槽18在位置上互相對應,因此,當該二固持本體10B相連接時,將使該二固持本體10B的排液槽18形成孔洞,以加速液體的排除。
以上所列舉的三種實施方式,僅為本創作所揭露的三個較佳實施例,於本創作實際應用於電路基板加工的情形下,並不以前述所揭露的三個技術內容為限,其中該二固持本體10、20,除了於該固持本體10、20的中央處貫穿形成該開孔11、21而構成中空框架的態樣之外,該二固持本體亦能夠為「日」字形、「田」字形、「井」字形,或是「X」字形等態樣,意即,於所述的二固持本體的環框部內形成有複個間隔設置的開孔,而與上述三較佳實施例相同的是,透過磁性件達成該二固持本體間的連接,進而夾掣該加工片材30,同時,於該二固持本體亦貫穿形成有複數排液孔,以加速工作液體的排乾,以及,在該二固持本體的外緣處各自凹陷形成有扳槽且該二固持本體的扳槽相互間隔一距離,以利於該二固持本體的分離。
於本創作中,藉由該二固持本體10、20所嵌埋複數磁性件13、23的磁性吸附,以達成該二固持本體10、20的連接面15、25間的相互連接,並且,該二固持本體10、20的環框部12、22上各自形成有相對應的該容置槽16、26,使得該加工片材30能夠夾掣於於該二容置槽16、26的底面之間,從而使該加工片材30能夠受到本創作固持裝置的保護及定型,令該加工片材30能夠順利的由顯影液或蝕刻液等…工作液體內浸入或取出,藉以改善現有技術在加工片材的製程中發生變形或產生折痕的情形,此外,藉由該固持本體10上複數排液孔17、17A或是排液槽18的形成,以加速工作液體自該固持本體10及該加工片材30上排乾,並且由於工作液體的加速排乾,使得顯影液及蝕刻液等工作液體間的置換速度能夠加快,意即,該加工片材30由顯影液中取出後,該加工片材 30上殘留的顯影液能夠快速排乾,繼而令該加工片材30浸入蝕刻液後馬上形成反應,由此提升該等工作液體對於該加工片材30產生作用的反應能力。
此外,於本創作具體實施的過程中,能夠依據工作液體的特性,而對該二固持本體10、20的材質做出相應的選擇,或者是於該二固持本體10、20的表面進行塗裝處理,如:將環氧化物(epoxy)塗布於該二固持本體10、20表面。
以上所述僅是本創作的較佳實施例而已,並非對本創作做任何形式上的限制,雖然本創作已以較佳實施例揭露如上,然而並非用以限定本創作,任何所屬技術領域中具有通常知識者,在不脫離本創作技術方案的範圍內,當可利用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例,但凡是未脫離本創作技術方案的內容,依據本創作的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾,均仍屬於本創作技術方案的範圍內。

Claims (9)

  1. 一種固持裝置,其具有二固持本體;每一該固持本體具有一開孔、一環框部、複數磁性件及一扳槽;該開孔貫穿形成於該固持本體,該環框部環繞形成於該開孔周緣處,該複數磁性件間隔設置的嵌埋形成於該環框部內,該扳槽凹陷形成於該環框部的外緣處,該二固持本體的扳槽各自形成於環框部的相對應邊,並且該二固持本體的扳槽相互間隔一距離;其中一該固持本體的開孔及環框部在位置上相對應於另一該固持本體的開孔及環框部;並且,該二固持本體的磁性件在位置上相對應而彼此吸附,使該二固持本體的環框部相互連接。
  2. 如請求項1所述之固持裝置,其中每一該固持本體進一步具有一連接面及一容置槽;該連接面位於該環框部的一側面,該二固持本體的連接面相互連接;該容置槽凹陷形成於該連接面,並且環繞該開孔設置,該容置槽與該開孔相通,該二固持本體的容置槽在位置上相對應,以在該二固持本體之間形成一空間。
  3. 如請求項1或2所述之固持裝置,其中每一該固持本體進一步具有複數排液孔,該複數排液孔貫穿形成於該環框部,該複數排液孔間隔設置且平行於該開孔成形方向。
  4. 如請求項3所述之固持裝置,其中該二固持本體的複數排液孔在位置上相互對應,而使該二固持本體的複數排液孔各自相連通。
  5. 如請求項1或2所述之固持裝置,其中每一該固持本體進一步具有複數排液孔,該複數排液孔貫穿形成於該環框部,該複數排液孔間隔設置且垂直於該開孔成形方向,該排液孔能夠相通於該開孔。
  6. 如請求項1或2所述之固持裝置,其中每一該固持本體進一步具有複數排液槽,該複數排液槽凹陷形成於該連接面,該複數排液槽間隔設置且垂直於該開孔成形方向,該排液槽的端部在位置上對應且相通於該容置槽;並且,該二固持本體的排液槽在位置上相互對應,使得該二固持本體的排液槽形成孔洞。
  7. 一種固持裝置,其具有二固持本體;每一該固持本體具有複數開孔、一環框部、複數磁性件、一連接面、一容置槽、一扳槽及複數排液孔;該複數開孔間隔設置的貫穿形成於該固持本體,該環框部環繞形成於該開孔周緣處,其中一該固持本體的複數開孔及環框部在位置上相對應於另一該固持本體的複數開孔及環框部;該複數磁性件間隔設置的嵌埋形成於該環框部內,該二固持本體的磁性件在位置上相對應而彼此吸附,使該二固持本體的環框部相互連接;該連接面位於該環框部的一側面,該二固持本體的連接面相互連接;該容置槽凹陷形成於該連接面,並且環繞該開孔設置,該容置槽與該開孔相通,該二固持本體的容置槽在位置上相對應,以在該二固持本體之間形成一空間;該扳槽凹陷形成於該環框部的外緣處,該二固持本體的扳槽各自形成於環框部的相對應邊,並且該二固持本體的扳槽相互間隔一距離; 該複數排液孔貫穿形成於該環框部,該複數排液孔間隔設置且平行於該開孔成形方向,該二固持本體的複數排液孔在位置上相互對應,而使該二固持本體的複數排液孔各自相連通。
  8. 一種固持裝置,其具有二固持本體;每一該固持本體具有複數開孔、一環框部、複數磁性件、一連接面、一容置槽、一扳槽及複數排液孔;該複數開孔間隔設置的貫穿形成於該固持本體,該環框部環繞形成於該開孔周緣處,其中一該固持本體的複數開孔及環框部在位置上相對應於另一該固持本體的複數開孔及環框部;該複數磁性件間隔設置的嵌埋形成於該環框部內,該二固持本體的磁性件在位置上相對應而彼此吸附,使該二固持本體的環框部相互連接;該連接面位於該環框部的一側面,該二固持本體的連接面相互連接;該容置槽凹陷形成於該連接面,並且環繞該開孔設置,該容置槽與該開孔相通,該二固持本體的容置槽在位置上相對應,以在該二固持本體之間形成一空間;該扳槽凹陷形成於該環框部的外緣處,該二固持本體的扳槽各自形成於環框部的相對應邊,並且該二固持本體的扳槽相互間隔一距離;該複數排液孔貫穿形成於該環框部,該複數排液孔間隔設置且垂直於該開孔成形方向,該排液孔能夠相通於該開孔。
  9. 一種固持裝置,其具有二固持本體;每一該固持本體具有複數開孔、一環框部、複數磁性件、一連接面、一容置槽、一扳槽及複數排液槽; 該複數開孔間隔設置的貫穿形成於該固持本體,該環框部環繞形成於該開孔周緣處,其中一該固持本體的複數開孔及環框部在位置上相對應於另一該固持本體的複數開孔及環框部;該複數磁性件間隔設置的嵌埋形成於該環框部內,該二固持本體的磁性件在位置上相對應而彼此吸附,使該二固持本體的環框部相互連接;該連接面位於該環框部的一側面,該二固持本體的連接面相互連接;該容置槽凹陷形成於該連接面,並且環繞該開孔設置,該容置槽與該開孔相通,該二固持本體的容置槽在位置上相對應,以在該二固持本體之間形成一空間;該扳槽凹陷形成於該環框部的外緣處,該二固持本體的扳槽各自形成於環框部的相對應邊,並且該二固持本體的扳槽相互間隔一距離;該複數排液槽凹陷形成於該連接面,該複數排液槽間隔設置且垂直於該開孔成形方向,該排液槽的端部在位置上對應且相通於該容置槽,該二固持本體的排液槽在位置上相互對應,使得該二固持本體的排液槽形成孔洞。
TW105116085A 2016-05-24 2016-05-24 Holding device TWI622334B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW105116085A TWI622334B (zh) 2016-05-24 2016-05-24 Holding device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW105116085A TWI622334B (zh) 2016-05-24 2016-05-24 Holding device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201742545A TW201742545A (zh) 2017-12-01
TWI622334B true TWI622334B (zh) 2018-04-21

Family

ID=61230301

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105116085A TWI622334B (zh) 2016-05-24 2016-05-24 Holding device

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TWI622334B (zh)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM338527U (en) * 2008-02-01 2008-08-11 Yu-Xian Wang Pressing-type carrying fixture structure
CN201425937Y (zh) * 2009-04-29 2010-03-17 深圳市大族激光科技股份有限公司 一种夹具

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM338527U (en) * 2008-02-01 2008-08-11 Yu-Xian Wang Pressing-type carrying fixture structure
CN201425937Y (zh) * 2009-04-29 2010-03-17 深圳市大族激光科技股份有限公司 一种夹具

Also Published As

Publication number Publication date
TW201742545A (zh) 2017-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9969609B2 (en) MEMS device
JP6423730B2 (ja) ペリクル用の支持枠
US10642151B2 (en) Pellicle support frame and production method
KR930024192A (ko) 절연기판실리콘 반도체장치와 그 제조방법
US10721576B2 (en) MEMS microphone and method for manufacturing the same
JP2009111375A5 (zh)
JP6519190B2 (ja) ペリクル用支持枠
CN104979242A (zh) 用于分离芯片的设备和方法
TWI731276B (zh) 用於雙面處理的圖案化夾盤
TWI622334B (zh) Holding device
US20070090479A1 (en) Controlling bond fronts in wafer-scale packaging
JP2018515905A (ja) マイクロチップをウェーハーから切り離して該マイクロチップを基板上に装着する方法および装置
US8580691B2 (en) Method of forming non-planar membranes using CMP
KR101553826B1 (ko) 이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송방법
JP3206442U (ja) 保持装置
KR101568862B1 (ko) 박막 기판 이송용 클램프
JP4554978B2 (ja) Memsデバイスの製造方法及びmemsデバイスを製造するための接合基板
TWI699844B (zh) 貼合結構與貼合方法
CN108609575B (zh) 一种mems器件及其制备方法、电子装置
JP2013197457A (ja) 吸着テーブル
KR101631625B1 (ko) 전자장치 및 전자장치의 제조방법
KR20130046153A (ko) 습식식각 공정시 초박형 웨이퍼 후면보호를 위한 캐리어장치
JP2009165907A (ja) ダスト除去方法およびダスト除去装置
JP2021054675A (ja) ガラス物品及びその製造方法
TW202021769A (zh) 固化成型模具及利用該固化成型模具之固化成型方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees