KR102418363B1 - 펠리클용 지지 프레임 - Google Patents

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하야토 기요미
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니폰게이긴조쿠가부시키가이샤
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Abstract

알루미늄 합금제의 프레임체(10)의 표면(10a)에 펠리클 막(2)이 접착되고, 프레임체(10)의 이면(10b)에 투명 기판(M)이 접착되는 펠리클(P)용 지지 프레임(1)이다. 프레임체(10)의 이면(10b)에는, 프레임체(10)의 주위 방향으로 연장되는 오목 홈(20)이 형성됨과 함께, 프레임체(10)의 외주면(10c)으로부터 오목 홈(20)의 내면에 이르는 통기 구멍(30)이 형성되어 있다. 이 구성에서는, 투명 기판(M)으로부터 지지 프레임(1)을 떼어낼 때, 지지 프레임(1)의 변형을 억제할 수 있다.

Description

펠리클용 지지 프레임 {SUPPORT FRAME FOR PELLICLE}
본 발명은, 펠리클용 지지 프레임에 관한 것이다.
액정 패널의 제조 공정 중에는, 포토마스크나 레티클이라고 불리는 투명 기판에 그려진 회로 패턴을 유리 기판 상에 도포한 레지스트에 전사하는 포토리소그래피 공정이 포함되어 있다.
상기한 포토리소그래피 공정에서는, 투명 기판에 먼지 등의 이물이 부착되어 있으면, 레지스트에 전사되는 회로 패턴이 선명하지 않게 되는 점에서, 투명 기판에는 펠리클이라고 불리는 방진 커버가 덮여 있다(예를 들어, 특허문헌 1).
펠리클은, 투명 기판에 그려진 회로 패턴의 전체를 둘러싸는 지지 프레임과, 이 지지 프레임의 표면에 피복된 투광성의 펠리클 막을 구비하고 있다. 그리고, 지지 프레임의 이면은 투명 기판에 접착된다.
일본 특허 제5619436호 공보
상기한 펠리클은, 자원의 유효 이용이나 제조 비용의 관점에서 재이용하는 것이 바람직하다. 그러나, 종래는, 지지 프레임에 인장력을 가하여, 지지 프레임을 투명 기판으로부터 분리하고 있어, 지지 프레임이 변형되어 버릴 가능성이 높기 때문에, 지지 프레임의 재이용이 어렵다고 하는 문제가 있다.
본 발명은, 상기한 문제를 해결하고, 투명 기판으로부터 지지 프레임을 떼어낼 때, 지지 프레임의 변형을 억제할 수 있는 펠리클용 지지 프레임을 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 알루미늄 합금제의 프레임체를 갖고, 상기 프레임체의 표면에 펠리클 막이 접착되고, 상기 프레임체의 이면에 투명 기판이 접착되는 펠리클용 지지 프레임이다. 상기 프레임체의 이면에는, 상기 프레임체의 주위 방향으로 연장되는 오목 홈이 형성됨과 함께, 상기 프레임체의 외주면으로부터 상기 오목 홈의 내면에 이르는 통기 구멍이 적어도 하나 형성되어 있다.
본 발명의 지지 프레임을 투명 기판으로부터 떼어낼 때에는, 통기 구멍을 통해 오목 홈 내로 공기를 보냄으로써 오목 홈 내의 기압을 높이면 된다. 이와 같이 하면, 오목 홈 내의 압력에 의해, 프레임체의 이면을 투명 기판으로부터 이격시키기 쉬워진다. 또한, 오목 홈은, 프레임체의 주위 방향으로 연장되어 있으므로, 프레임체의 일부에 압력이 집중되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 통기 구멍을 통해 접착제의 용해액을 오목 홈 내에 유입시켜, 지지 프레임과 투명 기판을 접착하고 있는 접착층을 용해한 후에, 오목 홈 내의 기압을 높여, 지지 프레임을 투명 기판으로부터 떼어내도 된다.
이와 같이, 본 발명에서는, 지지 프레임을 투명 기판으로부터 떼어낼 때, 프레임체를 투명 기판으로부터 이격되는 방향으로 밀 수 있으므로, 프레임체의 변형을 억제할 수 있다. 따라서, 지지 프레임을 재이용할 수 있다.
상기한 지지 프레임에 있어서, 오목 홈을 프레임체의 이면의 전체 주위에 연속해서 형성한 경우에는, 오목 홈 내로 공기를 보냈을 때, 프레임체의 이면 전체에 균등하게 압력이 작용하므로, 프레임체의 변형을 더 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 상기한 지지 프레임에서는, 복수의 상기 오목 홈을 상기 프레임체의 주위 방향으로 병설하여, 상기 각 오목 홈에 적어도 하나의 상기 통기 구멍을 연통시켜도 된다.
상기한 펠리클용 지지 프레임에 있어서, 상기 프레임체의 각 변에 상기 통기 구멍을 형성한 경우에는, 오목 홈 내의 기압을 밸런스 좋게 높일 수 있으므로, 프레임체의 변형을 더 효과적으로 억제할 수 있다.
상기한 펠리클용 지지 프레임에 있어서, 상기 오목 홈의 저면에 바닥이 있는 피트 구멍을 형성하고, 상기 통기 구멍을 상기 피트 구멍의 내주면에 개구시킨 경우에는, 통기 구멍의 직경을 오목 홈의 깊이보다 크게 형성할 수 있으므로, 공기의 공급 효율을 높일 수 있다.
상기한 펠리클용 지지 프레임에 있어서, 상기 피트 구멍의 저면을 상기 통기 구멍보다 상기 프레임체의 표측에 형성한 경우에는, 피트 구멍의 저면이 통기 구멍보다 깊은 위치에 배치되기 때문에, 피트 구멍의 내주면에 통기 구멍의 축 단면 전체를 확실하게 개구시킬 수 있다.
상기한 펠리클용 지지 프레임에 있어서는, 상기 통기 구멍을 상기 프레임체의 높이 방향의 중앙에 형성하는 것이 바람직하다.
이 구성에서는, 통기 구멍의 내주면으로부터 프레임체의 표면까지의 두께와, 통기 구멍의 내주면으로부터 프레임체의 이면까지의 두께를 균등하게 확보할 수 있으므로, 프레임체의 굽힘 강성의 저하를 억제할 수 있다.
상기한 펠리클용 지지 프레임에 있어서, 상기 프레임체의 외주면으로부터 내주면에 이르는 관통 구멍을 형성한 경우에는, 지지 프레임에 펠리클 막 및 투명 기판을 접착한 후에, 지지 프레임의 내부 공간과 외부 공간에 압력차가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 펠리클용 지지 프레임을 사용하면, 지지 프레임을 투명 기판으로부터 떼어낼 때, 프레임체의 변형을 억제할 수 있으므로, 지지 프레임을 재이용할 수 있다. 더욱이, 자원을 유효 이용함과 함께, 제조 비용을 저감시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 펠리클 및 투명 기판을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 관한 펠리클 및 투명 기판을 도시한 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 관한 지지 프레임을 도시한 모식적인 평면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 관한 지지 프레임을 도시한 모식적인 저면도이다.
도 5의 (a)는 본 실시 형태의 지지 프레임을 도시한 모식적인 측면도, (b)는 A-A 단면도, (c)는 B-B 단면도, (d)는 C-C 단면도이다.
본 발명의 실시 형태에 대해, 적절하게 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
또한, 본 실시 형태의 각 도면에서는, 지지 프레임의 구성을 이해하기 쉽게 설명하기 위해, 지지 프레임의 각 부를 적절하게 모식적으로 도시하고 있다.
이하의 설명에 있어서, 전후 좌우 및 표리라 함은, 지지 프레임을 이해하기 쉽게 설명하기 위해 설정한 것이며, 지지 프레임의 구성 및 사용 상태를 특정하는 것은 아니다.
본 실시 형태의 지지 프레임(1)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 펠리클(P)에 사용되는 것이다. 본 실시 형태의 펠리클(P)은, 액정 패널을 제조할 때의 포토리소그래피 공정에 있어서, 투명 기판(M)(포토마스크)의 표면(Ma)에 먼지 등이 부착되는 것을 방지하기 위한 방진 커버이다.
본 실시 형태의 펠리클(P)은, 예를 들어 가로의 치수가 700㎜ 이상, 세로의 치수가 400㎜ 이상인 대형의 액정 패널의 제조에 적용하는 것이 바람직하다.
펠리클(P)은, 투명 기판(M)에 그려진 회로 패턴(도시하지 않음)의 전체를 둘러싸는 지지 프레임(1)과, 지지 프레임(1)의 표면에 덮인 펠리클 막(2)을 구비하고 있다.
지지 프레임(1)은, 평면에서 보아 직사각형의 프레임체(10)를 갖고 있다. 프레임체(10)는, 알루미늄 합금재를 가공하여 얻어진 것이다.
프레임체(10)는, 전후 한 쌍의 횡 프레임부(11, 11)와, 좌우 한 쌍의 종 프레임부(12, 12)에 의해 구성되어 있다. 횡 프레임부(11) 및 종 프레임부(12)의 축 단면은 직사각형으로 형성되어 있다.
양 횡 프레임부(11, 11)는, 프레임체(10)의 긴 변이 되는 부분이고, 양 종 프레임부(12, 12)는, 프레임체(10)의 짧은 변이 되는 부분이다.
펠리클 막(2)은, 10㎛ 이하의 니트로셀룰로오스 혹은 셀룰로오스 유도체나 불소 폴리머 등의 투명한 고분자막이다. 펠리클 막(2)은, 평면에서 보아 직사각형으로 형성되어 있고, 지지 프레임(1)의 외형과 동일한 형상으로 되어 있다.
펠리클 막(2)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 접착층(4)을 통해 프레임체(10)의 표면(10a)에 접착된다. 펠리클 막(2)을 프레임체(10)의 표면(10a)에 접착하였을 때에는, 펠리클 막(2)에 의해 프레임체(10)의 표면(10a) 전체가 덮인다.
또한, 프레임체(10)의 이면(10b)에는 점착제가 부착되고, 프레임체(10)의 이면(10b)은 점착층(5)을 통해 투명 기판(M)의 표면(Ma)에 접착된다.
프레임체(10)에는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 이면(10b)에 형성된 오목 홈(20)과, 오목 홈(20)에 연통되는 복수의 통기 구멍(30)과, 복수의 관통 구멍(40)과, 복수의 지그 구멍(50)이 형성되어 있다.
오목 홈(20)은, 프레임체(10)의 주위 방향으로 연장되어 있고, 프레임체(10)의 이면(10b)의 전체 주위에 연속해서 형성되어 있다. 오목 홈(20)의 축 단면은 직사각형으로 형성되어 있다(도 5의 (d) 참조).
오목 홈(20)은, 횡 프레임부(11)의 이면(10b)에 있어서 전후 방향의 중앙(횡 프레임부(11)의 폭 방향의 중앙)에 형성됨과 함께, 종 프레임부(12)의 이면(10b)에 있어서 좌우 방향의 중앙(종 프레임부(12)의 폭 방향의 중앙)에 형성되어 있다.
횡 프레임부(11)의 이면(10b)에는, 4개의 피트 구멍(21)이 좌우 방향으로 병설되고, 종 프레임부(12)의 이면(10b)에는, 2개의 피트 구멍(21, 21)이 전후 방향으로 병설되어 있다.
피트 구멍(21)은, 오목 홈(20)의 저면에 형성된 바닥이 있는 원형 구멍이다. 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이, 피트 구멍(21)의 저면(21a)은, 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙보다 표측에 배치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 피트 구멍(21)의 저면(21a)은, 후기하는 통기 구멍(30)보다 표측에 배치되어 있다.
도 4에 도시하는 바와 같이, 횡 프레임부(11)의 4개의 피트 구멍(21) 중, 중앙 부근의 2개의 피트 구멍(21, 21)은, 횡 프레임부(11)의 좌우 방향의 중앙(길이 방향의 중앙)의 좌우 양측에 배치되어 있다. 또한, 횡 프레임부(11)의 4개의 피트 구멍(21) 중, 단부 부근의 2개의 피트 구멍(21, 21)은, 횡 프레임부(11)의 좌우 양단부에 배치되어 있다.
종 프레임부(12)의 2개의 피트 구멍(21, 21)은, 종 프레임부(12)의 전후 방향의 중앙(길이 방향의 중앙)의 전후 양측에 배치되어 있다.
통기 구멍(30)은, 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이, 프레임체(10)의 외주면(10c)으로부터 피트 구멍(21)의 내주면에 관통되어 있는 원형 구멍이다. 통기 구멍(30)은, 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙에 배치되어 있다.
피트 구멍(21)의 저면(21a)은, 통기 구멍(30)보다 표측에 배치되어 있고, 통기 구멍(30)의 축 단면 전체가 피트 구멍(21)의 내주면에 개구되어 있다.
도 4에 도시하는 바와 같이, 전후의 횡 프레임부(11, 11)에는, 각각 4개의 통기 구멍(30)이 형성되고, 좌우의 종 프레임부(12, 12)에는, 각각 2개의 통기 구멍(30)이 형성되어 있다.
이와 같이, 본 실시 형태의 지지 프레임(1)에서는, 프레임체(10)의 각 변에 통기 구멍(30)이 형성되어 있다. 즉, 오목 홈(20)의 각 변에 복수의 통기 구멍(30)이 연통되어 있고, 오목 홈(20)에 대해 12개의 통기 구멍(30)이 연통되어 있다.
관통 구멍(40)은, 도 5의 (c)에 도시하는 바와 같이, 횡 프레임부(11)의 외주면(10c)으로부터 내주면(10d)에 관통되어 있다. 관통 구멍(40)은, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙에 배치되어 있다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 전후의 횡 프레임부(11, 11)에 각각 4개의 관통 구멍(40)이 형성되어 있다. 즉, 프레임체(10)에는 8개의 관통 구멍(40)이 형성되어 있다.
횡 프레임부(11)의 4개의 관통 구멍(40) 중, 중앙 부근의 2개의 관통 구멍(40, 40)은, 횡 프레임부(11)의 4개의 피트 구멍(21) 중, 중앙 부근의 2개의 피트 구멍(21, 21) 사이에 병설되어 있다.
또한, 횡 프레임부(11)의 4개의 관통 구멍(40) 중, 단부 부근의 2개의 관통 구멍(40, 40)은, 횡 프레임부(11)의 4개의 피트 구멍(21) 중, 횡 프레임부(11)의 좌측의 영역 또는 우측의 영역에 있어서, 인접하는 2개의 피트 구멍(21, 21) 사이에 배치되어 있다.
지그 구멍(50)은, 횡 프레임부(11)의 외주면(10c)에 형성된 바닥이 있는 원형 구멍이다(도 4 참조). 지그 구멍(50)에는, 지지 프레임(1)의 제조 시나 펠리클(P)(도 1 참조)의 사용 시에, 지지 프레임(1)을 보유 지지하는 파지 장치인 지그(핀)가 삽입된다.
전후의 횡 프레임부(11, 11)에 각각 4개의 지그 구멍(50)이 형성되어 있다. 횡 프레임부(11)의 4개의 통기 구멍(30) 중, 외측의 통기 구멍(30)의 좌우 양측에 2개의 지그 구멍(50, 50)이 형성되어 있다.
본 실시 형태의 지지 프레임(1)에서는, 지그 구멍(50)이 횡 프레임부(11)의 좌우 양단부에 형성되어 있으므로, 지그 구멍(50)을 횡 프레임부(11)의 좌우 방향의 중앙에 형성한 경우에 비해, 지그에 의해 지지 프레임(1)을 보유 지지하였을 때의 횡 프레임부(11)의 휨을 억제할 수 있다.
본 실시 형태에서는, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙에 지그 구멍(50)이 배치되어 있지만, 지그 구멍(50)의 높이는 한정되는 것은 아니며, 사용하는 지그에 따라서 지그 구멍(50)의 높이나 형상이 설정된다.
본 실시 형태의 펠리클(P)에서는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 프레임체(10)의 표면(10a)에 접착층(4)을 통해 펠리클 막(2)이 접착되어 있다. 또한, 프레임체(10)의 이면(10b)은 점착층(5)을 통해 투명 기판(M)에 접착된다.
펠리클(P)을 투명 기판(M)에 접착하면, 펠리클 막(2)과 투명 기판(M) 사이에 지지 프레임(1)이 개재되고, 투명 기판(M)의 표면(Ma)으로부터 이격된 위치에 펠리클 막(2)이 배치된다.
또한, 펠리클(P)에서는, 지지 프레임(1)의 프레임체(10)에 관통 구멍(40)(도 3 참조)이 형성되어 있다. 따라서, 프레임체(10)의 표리를 펠리클 막(2) 및 투명 기판(M)에 의해 막은 상태라도, 프레임체(10)의 내부 공간이 관통 구멍(40)을 통해 외부 공간에 연통되어 있으므로, 프레임체(10)의 내부 공간과 외부 공간에 압력차가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
다음으로, 펠리클(P)을 투명 기판(M)으로부터 떼어내는 순서에 대해 설명한다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 펠리클(P)이 투명 기판(M)에 접착된 상태에서, 각 통기 구멍(30)을 통해 접착제의 용해액을 오목 홈(20) 내에 유입시킨다. 이에 의해, 용해액에 의해 점착층(5)이 용해된다.
계속해서, 통기 구멍(30)의 외주면(10c)측의 개구부에, 통기관(6)의 선단부를 접속한다. 이때, 각 통기관(6)은 도시하지 않은 송기 장치에 연결되어 있다.
송기 장치에 의해 각 통기 구멍(30)을 통해 오목 홈(20) 내로 공기가 보내지면, 오목 홈(20) 내의 기압이 높아진다. 이와 같이 하여, 오목 홈(20) 내의 압력에 의해, 프레임체(10)를 투명 기판(M)으로부터 이격되는 방향으로 밂으로써, 펠리클(P)을 투명 기판(M)으로부터 박리하여 떼어낼 수 있다.
또한, 도 2에 도시하는 바와 같이, 지지 프레임(1)에 펠리클 막(2) 및 투명 기판(M)을 접착할 때에는, 펠리클 막(2)을 프레임체(10)의 표면(10a)에 접착하여 펠리클(P)이 형성된 후에, 프레임체(10)의 이면(10b)에 점착층(5)을 통해 투명 기판(M)을 겹친다.
이상과 같은 지지 프레임(1)에서는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 각 통기 구멍(30)으로부터 오목 홈(20) 내로 공기를 보내, 오목 홈(20) 내의 기압을 높임으로써, 프레임체(10)의 이면(10b)을 투명 기판(M)으로부터 이격시키기 쉬워진다.
이에 의해, 지지 프레임(1)을 투명 기판(M)으로부터 떼어낼 때, 프레임체(10)의 변형을 억제할 수 있으므로, 지지 프레임(1)을 재이용할 수 있다.
그리고, 지지 프레임(1)을 반복하여 이용함으로써, 자원을 유효 이용함과 함께, 액정 패널의 제조 비용을 저감시킬 수 있다.
또한, 지지 프레임(1)에서는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 오목 홈(20)이 프레임체(10)의 이면(10b)의 전체 주위에 연속해서 형성됨과 함께, 프레임체(10)의 각 변에 통기 구멍(30)이 형성되어 있다.
따라서, 오목 홈(20) 내로 공기를 보냈을 때, 프레임체(10)의 이면(10b) 전체에 균등하게 압력이 작용하여, 오목 홈(20) 내의 공기의 기압을 밸런스 좋게 높일 수 있으므로, 프레임체(10)의 변형을 더 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 지지 프레임(1)에서는, 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이, 통기 구멍(30)이 피트 구멍(21)의 내주면에 개구되어 있고, 통기 구멍(30)의 직경을 오목 홈(20)의 깊이보다 크게 형성할 수 있으므로, 공기의 공급 효율을 높일 수 있다.
또한, 지지 프레임(1)에서는, 피트 구멍(21)의 저면(21a)이 통기 구멍(30)보다 깊은 위치(표측의 위치)에 배치되어 있으므로, 피트 구멍(21)의 내주면에 통기 구멍(30)의 축 단면 전체를 확실하게 개구시킬 수 있다.
또한, 지지 프레임(1)에서는, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 각 통기 구멍(30)이 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙에 형성되어 있다. 이 구성에서는, 통기 구멍(30)의 내주면으로부터 프레임체(10)의 표면(10a)까지의 두께와, 통기 구멍(30)의 내주면으로부터 프레임체(10)의 이면(10b)까지의 두께를 균등하게 확보할 수 있으므로, 프레임체(10)의 굽힘 강성의 저하를 억제할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 일 없이, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절하게 변경이 가능하다.
본 실시 형태에서는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 오목 홈(20)이 프레임체(10)의 전체 주위에 연속해서 형성되어 있지만, 복수의 오목 홈(20)을 프레임체(10)의 주위 방향으로 병설하고, 각 오목 홈(20)에 통기 구멍(30)을 연통시켜도 된다.
또한, 통기 구멍(30) 및 관통 구멍(40)의 수나 배치는 한정되는 것은 아니며, 프레임체(10)의 크기에 맞추어 적절하게 설정된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 통기 구멍(30), 관통 구멍(40) 및 지그 구멍(50)이 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙에 형성되어 있지만, 프레임체(10)의 높이 방향의 중앙으로부터 벗어난 위치에 형성해도 된다.
1 : 지지 프레임
2 : 펠리클 막
4 : 접착층
5 : 점착층
6 : 통기관
10 : 프레임체
10a : 표면
10b : 이면
10c : 외주면
10d : 내주면
11 : 횡 프레임부
12 : 종 프레임부
20 : 오목 홈
21 : 피트 구멍
21a : 저면
30 : 통기 구멍
40 : 관통 구멍
50 : 지그 구멍
M : 투명 기판
P : 펠리클

Claims (7)

  1. 알루미늄 합금제의 프레임체를 갖고,
    상기 프레임체의 표면에 펠리클 막이 접착되고, 상기 프레임체의 이면에 투명 기판이 접착되는 펠리클용 지지 프레임이며,
    상기 프레임체의 이면에는, 상기 프레임체의 주위 방향으로 연장되는 오목 홈이 형성됨과 함께,
    상기 프레임체의 외주면으로부터 상기 오목 홈의 내면에 이르는 통기 구멍이 적어도 하나 형성되어 있고,
    상기 프레임체의 외주면으로부터 내주면에 이르는 관통 구멍이 형성되어 있고,
    상기 프레임체 내에는, 상기 프레임체에 상기 펠리클 막 및 상기 투명 기판이 부착된 때에, 상기 펠리클 막 및 상기 투명 기판에 의해 막힌 내부 공간이 형성되고,
    상기 내부 공간과 상기 오목 홈 내는 격리되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용 지지 프레임.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프레임체의 각 변에 상기 통기 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용 지지 프레임.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 오목 홈의 저면에는, 바닥이 있는 피트 구멍이 형성되어 있고,
    상기 통기 구멍은, 상기 피트 구멍의 내주면에 개구되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용 지지 프레임.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 피트 구멍의 저면은, 상기 통기 구멍보다 상기 프레임체의 표측에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용 지지 프레임.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 통기 구멍은, 상기 프레임체의 높이 방향의 중앙에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용 지지 프레임.
  6. 삭제
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    복수의 상기 오목 홈이 상기 프레임체의 주위 방향으로 병설되어 있고,
    상기 각 오목 홈에 적어도 하나의 상기 통기 구멍이 연통되어 있는 것을 특징으로 하는, 펠리클용 지지 프레임.
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