JP2011192859A - テープ貼付装置及びテープ貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内部に気密空間5を有するチャンバ6と、気密空間5を第1及び第2の気密空間7、8に仕切り、上面にウェハ9が載置されるゴムシート10と、ゴムシート10の上方でテープ11を保持するテープフレーム12と、第1及び第2の気密空間7、8の加圧及び減圧を切り替える第1及び第2の給排気管13、14とを備え、第1及び第2の気密空間7、8を真空状態とした後、第2の気密空間8を加圧してゴムシート10を膨張させ、ウェハ9を押し上げてテープ11に貼り付けるテープ貼付装置であって、ウェハ9の押し上げに際し、第2の気密空間8の加圧量を制御してゴムシート10の膨張速度を低速から高速に向けて段階的に変化させながら、ウェハ9をテープ11に貼り付けるテープ貼付装置1。
【選択図】図1
Description
2 装置本体
3 給排気機構
4 制御部
4a タイマ
5 気密空間
6 チャンバ
6a 上側チャンバ
6b 下側チャンバ
7 第1の気密空間
7a 押さえリングの内側空間
7b 押さえリングの外側空間
8 第2の気密空間
9 半導体ウェハ
10 ゴムシート
11 ダイシング用テープ
12 テープフレーム
13 第1の給排気管
14 第2の給排気管
14a メッシュ蓋
15 真空度センサ
16 シールリング
17 スペーサ
18 押さえリング
19 溝
21 窒素供給源
22 空気供給源
23 真空ポンプ
24 第1の電磁弁
26 第2の電磁弁
27 第3の電磁弁
28 流量制御弁
Claims (10)
- 内部に気密空間を有する容器と、前記気密空間を、上方に位置する第1の気密空間と下方に位置する第2の気密空間とに仕切り、該第1の気密空間側にテープ貼付対象物が載置される弾性シートと、前記第1の気密空間内でテープを保持し、該テープを前記弾性シートに載置されたテープ貼付対象物から所定の距離を隔てて位置させるテープ保持部材と、前記第1及び第2の気密空間の加圧及び減圧を切り替える気圧切替手段とを備え、前記第1及び第2の気密空間を真空状態とした後、前記第2の気密空間を加圧して前記弾性シートを膨張させ、前記テープ貼付対象物を押し上げて前記テープに貼り付けるテープ貼付装置であって、
前記テープ貼付対象物の押し上げに際し、前記第2の気密空間の加圧量を制御して前記弾性シートの膨張速度を低速から高速に向けて段階的に変化させながら、前記テープ貼付対象物を前記テープに貼り付けることを特徴とするテープ貼付装置。 - 前記テープ貼付対象物と前記テープの当接面積が所定量に達するまで、破損しない押し付け圧で該テープ貼付対象物を前記テープに押し付け可能な第1の速度によって前記弾性シートを膨張させ、その後、該弾性シートの膨張速度を前記第1の速度よりも速い第2の速度に切り替え、前記テープ貼付対象物の貼付面の全体を前記テープに当接させることを特徴とする請求項1に記載のテープ貼付装置。
- 前記第1の速度で弾性シートを膨張させるのに先立ち、該第1の速度よりも遅い第3の速度で前記弾性シートを膨張させ、前記テープ貼付対象物の中心部を前記テープに当接させることを特徴とする請求項2に記載のテープ貼付装置。
- 前記第1及び第2の気密空間を真空状態とした後、該第1の気密空間の真空状態を維持したまま該第2の気密空間を閉塞することで、前記第3の速度で前記弾性シートを膨張させることを特徴とする請求項3に記載のテープ貼付装置。
- 前記第2の速度で弾性シートを膨張させる際に、前記テープ貼付対象物と前記テープが当接した状態で、これらを押し上げ、前記気密空間の天井面に押し当てることを特徴とする請求項2、3又は4に記載のテープ貼付装置。
- 前記弾性シートの下面と前記気密空間の底面との間に設けられ、前記第2の気密空間から気体を吸引する吸気口の周辺に配置されたスペーサを備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のテープ貼付装置。
- 前記スペーサが複数設けられ、該複数のスペーサが前記吸気口を中心とした十字状又は放射状に配置されることを特徴とする請求項6に記載のテープ貼付装置。
- 前記第2の気密空間から気体を吸引する吸気口にメッシュ蓋を付設したことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のテープ貼付装置。
- 前記テープの接着面にUV硬化樹脂製の接着剤が塗布され、
前記第1及び第2の気密空間を真空状態とする際に、該第1の気密空間に断続的に窒素を供給することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載のテープ貼付装置。 - 内部に気密空間を有する容器と、前記気密空間を、上方に位置する第1の気密空間と下方に位置する第2の気密空間とに仕切り、該第1の気密空間側にテープ貼付対象物が載置される弾性シートと、前記第1の気密空間内でテープを保持し、該テープを前記弾性シートに載置されたテープ貼付対象物から所定の距離を隔てて位置させるテープ保持部材と、前記第1及び第2の気密空間の加圧及び減圧を切り替える気圧切替手段とを備えたテープ貼付装置を用い、前記第1及び第2の気密空間を真空状態とした後、前記第2の気密空間を加圧して前記弾性シートを膨張させ、前記テープ貼付対象物を押し上げて前記テープに貼り付けるテープ貼付方法であって、
前記テープ貼付対象物の押し上げに際し、前記第2の気密空間の加圧量を制御して前記弾性シートの膨張速度を低速から高速に向けて段階的に変化させながら、前記テープ貼付対象物を前記テープに貼り付けることを特徴とするテープ貼付方法。
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