JPH0686342U - 真空ピンセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 収容された半導体ウエハを、カセットケース
から容易に取り出すことができる真空ピンセットを提供
することにある。 【構成】 真空ピンセット１０は、半導体ウエハを吸着
する吸着部１１と、この吸着部１１を支持する伸縮自在
の支持アーム１２と、この支持アーム１２の基端部を固
定する把持部１３とを備えて構成する。支持アーム１２
は、入れ子状に嵌合した３つの筒体１２ａ、１２ｂ、１
２ｃを互いに連設して構成し、かつ、この支持アーム１
２内部には、吸着部１１から把持部１３に至り、吸着部
１１から吸引されるエアーを導く伸縮自在なチューブを
配設している。そして、支持アーム１２内部にエアーを
供給し、或いは、この支持アーム１２内部のエアーを排
気することにより、支持アーム１２を構成する各筒体１
２ａ、１２ｂ、１２ｃを、突出・後退させることを特徴
とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、エアーの吸引力を利用して半導体ウエハを保持する真空ピンセット に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図６に、従来の真空ピンセットを示す。真空ピンセット６０は、中空のパイプ ６１の先端部に、半導体ウエハ１を吸着する吸着部６２を備えており、この吸着 部６２の吸着面には多数の開口部を形成している。この真空ピンセット６０の図 示しない基端部側には吸引ポンプを接続しており、この吸引ポンプによって吸着 部６２からエアーを吸引するものである。そして、この吸引力を利用して、半導 体ウエハ１を吸着部６２に保持する機構となっている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

従来の真空ピンセットは、このように構成されており、主に、カセットケース 内に収容された半導体ウエハを取り出す際に使用されている（図４参照）。この カセットケースは、半導体ウエハを一枚ずつ収容するための隔壁が形成されてい るが、この間隔は、通常、５ｍｍ程度と極めて狭い。これは、あまりこの間隔を 広げてしまうと、収容した半導体ウエハが内部で移動してしまい、搬送の際など に損傷するおそれがあるためである。

【０００４】 従って、半導体ウエハ１を取り出す際、この収容スペース内に吸着部６２を挿 入するが、この吸着部６２の厚さは３ｍｍ程度であり、半導体ウエハ１の厚さを 考慮すると、さらに狭い間隙内に吸着部６２を挿入しなければならなかった。し かも、従来の真空ピンセットでは、吸着部６２及びパイプ６１が一体的に固定さ れているため、半導体ウエハを取り出す際、作業者は、この真空ピンセットを把 持した手を、垂直に、かつ、ぶれなく持ち上げなければならないという実用上の 課題があった。

【０００５】 本考案はこのような課題を解決すべくなされたものであり、その目的は、収容 された半導体ウエハを、カセットケースから容易に取り出すことができる真空ピ ンセットを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

そこで、本考案にかかる真空ピンセットは、この吸着部を支持する支持アーム を伸縮自在な構造とした。すなわち、半導体ウエハを吸着する真空ピンセットで あって、この真空ピンセットは、半導体ウエハを吸着する吸着部と、この吸着部 を支持する伸縮自在の支持アームと、この支持アームの基端部を固定する把持部 とを備える。この支持アームは、入れ子状に嵌合した複数の筒体を互いに連設し て構成しており、かつ、この支持アーム内部には、吸着部から吸引されるエアー を導くため、先端に位置する筒体に一端を固定し、他端を把持部に固定した伸縮 自在なチューブを配設している。そして、各筒体の内側とこのチューブの外側と で形成される支持アーム内部の空間内にエアーを供給し、或いは、この空間内の エアーを排気することにより、この支持アームを構成する複数の筒体を、突出・ 後退させることを特徴とするものである。

【０００７】 また、吸着部を支持アームに対して変位自在に支持し、かつ、吸着部から吸引 されたエアーがこの内部を流通し得る玉継手などの自在継手によって、この吸着 部と支持アームとを接続して構成することが望ましい。

【０００８】

【作用】

複数の筒体が入れ子状に嵌合して構成する支持アームは、この内部に伸縮自在 のチューブを配設することにより、内部に独自にエアーを流通させる別のエアー 流通路を形成した、いわゆる２重管を構成している。したがって、半導体ウエハ を吸引するためにエアーは、この支持アーム内に配設したチューブを介して吸引 される。一方、その外側に位置する各筒体と、このチューブの外側とで形成され る支持アーム内部の空間内にエアーを供給することにより、この圧力によって入 れ子状の筒体が前方に突出する。また、支持アーム内のエアーを排気することに より、この支持アームが後退する。この後退動作を利用して、収容された半導体 ウエハをカセットケースから引き上げる。

【０００９】

【実施例】

以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて説明する。

【００１０】 図１に、本実施例にかかる真空ピンセットを示す。真空ピンセット１０は、半 導体ウエハを吸着する吸着部１１、この吸着部１１を支持する支持アーム１２、 及びこの支持アーム１２の基端部を固定し、作業者が実際に把持する把持部１３ から成り、この把持部１３の終端部からは、吸引ポンプと給排気ポンプの２台の ポンプに接続されるエアーホース１４が延在している。

【００１１】 吸着部１１は、その吸着面１１ａに多数の吸引孔１１ｂを形成しており、この 吸引孔１１ｂからエアーを吸引する（図２）。

【００１２】 図３に示すように、支持アーム１２は、入れ子状に嵌合した３つの筒体１２ａ ，１２ｂ，１２ｃを連設して構成しており、Ｌ型に屈曲した最小径の筒体１２ａ は、その先端部を自在継手としての玉継手１５に固定している。従って、吸着部 １１は、筒体１２ａに対して変位自在に支持されることになる。また、この支持 アーム１２内部には、把持部１３から筒体１２ａに至る蛇腹状のチューブ１６を 配設している。このチューブ１６の先端部は、筒体１２ａに固定しており、後述 する支持アーム１２の突出・後退動作に伴って伸縮する構造となっている。なお 、玉継手１５は、その内部が空洞に形成されており、吸着部１１から吸引された エアーは、玉継手１５、チューブ１６を介して流通する。また、チューブ１６の 他端は、把持部１３内部を貫通する吸気路１７と接続している。この吸気路１７ は、エアーホース１４内に配設した吸引ホース１８と接続しており、この吸引ホ ース１８が前述した吸引ポンプと接続されている。従って、吸着部１１の吸気面 １１ａから吸引されたエアーは、玉継手１５、チューブ１６、吸気路１７及び吸 引ホース１８を流通して排気されることになる。

【００１３】 一方、チューブ１６の先端部と筒体１２ａの内周面とは、リング状の鍔部材１ ９によって閉塞されており、このため、この部分は、支持アーム１２の内周面、 チューブ１６の外周面及び鍔部材１９によって、閉塞された空間２０が形成され ている。この空間２０の他端側は、把持部１３の内部を環状に貫通する給排気路 ２１と接続しており、この給排気路２１の他端は、前述したエアーホース１４と 接続している。このエアーホース１４の終端は、前述した給排気ポンプに接続さ れている。

【００１４】 従って、この給排気ポンプによって空間２０内にエアーを供給することにより 、空間２０内の圧力が高まり、この圧力によって鍔部材１９が押圧され、筒体１ ２ａが前方に突出する。次いで、この筒体１２ａに引っ張られるようにして、そ の後段の筒体１２ｂ、１２ｃが突出することになりる。このようにして支持アー ム１２の突出動作が行われる。

【００１５】 また、この給排気ポンプによって空間２０内のエアーを排気することにより、 この内部の圧力が下がり、前述した逆の動作によって、支持アーム１２が後退す る動作を行うものである。なお、各エアーの給気・排気の切り換え、或いは、半 導体ウエハを吸着するための吸引のオン・オフ制御は、把持部１３に設けた各ボ タン３０を操作することにより実施する。

【００１６】 ここで、図４を参照し、このように構成する真空ピンセット１０の使用方法を 説明する。カセットケース４０には、一定の間隔で隔壁４１が形成されており、 この隔壁４１によって仕切られた間隙内に、それぞれ半導体ウエハ１が収容され ている。

【００１７】 実際に、半導体ウエハ１を引き上げるには、まず、給排気ポンプによって、空 間２０内にエアーを供給し、支持アーム１２を伸長させる。そして、作業者は、 把持部１４を保持し、支持アーム１２先端の吸着部１１を所定の間隙内に挿入す る。次いで、作業者は、把持部１４の所定のボタン３０を押し、吸引ポンプを駆 動して半導体ウエハ１を吸着部１１に吸着させる。次いで、作業者は、把持部１ ４の他のボタン３０を操作し、給排気ポンプによって空間２０内のエアーを排気 し、支持アーム１２を収縮させる。すると、図４に示すように、カセットケース ４０内から半導体ウエハ１が引き上げられる。この作業時には、カセットケース ４０を、取り出し方向に多少傾けて行うのが通例であり、この際、半導体ウエハ １は、玉継手１５の作用を受けて、その自重によって回転することとなる。従っ て、半導体ウエハは、引き上げに伴って、カセットケース４０の各間隙内に形成 されたレールに沿って、回転しながら安定して取り出すことができる。

【００１８】 本実施例で示した真空ピンセット１０の他の使用方法としては、図５に示すよ うに、半導体ウエハ１のオリフラ１ａの位置を合わせることにも利用できる。す なわち、図５（ａ）のように、オリフラ１ａが下方に位置する場合には、このオ リフラ１ａ近傍に吸着部１１を吸着させた後、支持アーム１２を収縮させる。す ると、図５（ｂ）に示すように、玉継手１５の作用によって、半導体ウエハ１は その自重によって回転する。このように用いることにより、各半導体ウエハ１を カセットケース４０内で回転させることができ、オリフラ１ａの位置合わせを行 うこともできる。

【００１９】 以上、各実施例では、吸着部１１の形状を四角形として例示したが、この例に 限定するものではなく、例えば円形、三角形など、様々に変更することが可能で ある。また、吸着面１１ａの吸引孔１１ｂの形態も、例えば、メッシュ状或いは 、全面開口とするなど、何等限定するものではない。さらに、自在継手として玉 継手を例示したが、同様な機能を有する他の自在継手を用いることも可能である 。

【００２０】

【考案の効果】

本考案にかかる真空ピンセットは、吸着部を支持する支持アームを伸縮自在に 形成し、エアーを給気・排気することにより、この支持アームを突出・後退させ る構成としたので、作業者は、取り出し作業の際に、手を上下に動かす必要がな く、吸着した半導体ウエハを容易に引き上げることができ、引き上げ作業によっ て半導体ウエハが損傷するおそれを低減することが可能である。

【００２１】 また、吸着部と支持アームとを自在継手を介して接続することにより、半導体 ウエハを容易に引き上げる際、このウエハは、自重によって回転することになる 。したがって、引上げ作業をより一層安定させることができると共に、収容され た半導体ウエハのオリフラの位置合わせを実施できるなどの多くの実用上の効果 を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案にかかる真空ピンセットを示す斜視図で
ある。

【図２】吸着部を示す斜視図である。

【図３】真空ピンセットの内部構造を示す縦断面図であ
る。

【図４】真空ピンセットを用いて、カセットケースから
半導体ウエハを引き上げた状態を示す斜視図である。

【図５】（ａ），（ｂ）は、真空ピンセットを用いてオ
リフラの位置合わせを実施した状態を示す説明図であ
る。

【図６】従来の真空ピンセットの要部を示す縦断面図で
ある。

【符号の説明】

１…半導体ウエハ、１０…真空ピンセット、１１…吸着
部、１２…支持アーム、 １３…把持部、１５…玉継
手、１９…鍔部材。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウエハを吸着する真空ピンセット
   であって、 前記真空ピンセットは、前記半導体ウエハを吸着する吸
   着部と、この吸着部を支持する伸縮自在の支持アーム
   と、この支持アームの基端部を固定する把持部とを備え
   ており、 前記支持アームは、入れ子状に嵌合した複数の筒体を互
   いに連設して構成しており、かつ、この支持アーム内部
   には、前記吸着部から吸引されるエアーを導くため、先
   端に位置する前記筒体に一端を固定し、他端を前記把持
   部に固定した伸縮自在なチューブを配設しており、 前記各筒体の内側とこのチューブの外側とで形成される
   前記支持アーム内部の空間内にエアーを供給し、或い
   は、この空間内のエアーを排気することにより、この支
   持アームを構成する前記複数の筒体を、突出・後退させ
   ることを特徴とする真空ピンセット。
2. 【請求項２】 前記吸着部を前記支持アームに対して変
   位自在に支持し、かつ、前記吸着部から吸引されたエア
   ーがこの内部を流通し得る自在継手によって、前記吸着
   部と前記支持アームとを接続して構成することを特徴と
   する請求項１記載の真空ピンセット。