JP3445243B2 - 基板を操作するための装置および方法 - Google Patents
基板を操作するための装置および方法Info
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- JP3445243B2 JP3445243B2 JP2000545773A JP2000545773A JP3445243B2 JP 3445243 B2 JP3445243 B2 JP 3445243B2 JP 2000545773 A JP2000545773 A JP 2000545773A JP 2000545773 A JP2000545773 A JP 2000545773A JP 3445243 B2 JP3445243 B2 JP 3445243B2
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
- B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
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- Bending Of Plates, Rods, And Pipes (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【0001】本発明は、内穴を有する基板を操作するた
めの装置であって、内側グリッパと外側グリッパとが設
けられている形式のものに関する。また、本発明は、内
穴を有する基板を操作するための方法であって、第1の
基板を内穴グリッパによって把持する形式のものに関す
る。
めの装置であって、内側グリッパと外側グリッパとが設
けられている形式のものに関する。また、本発明は、内
穴を有する基板を操作するための方法であって、第1の
基板を内穴グリッパによって把持する形式のものに関す
る。
【0002】このような形式の方法および装置は、たと
えば同一出願人による未公開のドイツ連邦共和国特許出
願公開第19718471号明細書中に記載されてい
る。ただし、繰り返しを避けるために、前記ドイツ連邦
共和国特許出願公開第19718471号明細書は本発
明の対象である。前記ドイツ連邦共和国特許出願公開第
19718471号明細書に記載されている、2つの基
板を接着するための装置においては、基板を操作するた
めの複数の装置(以下、ハンドリング装置と呼ぶ)が周
知である。基板を回転式切換テーブル(Rundsch
alttisch)から接着ステーションへ搬送するた
めに働く1つのハンドリング装置は、内側グリッパと外
側グリッパとを有している。両グリッパはそれぞれ真空
グリッパとして形成されている。規定されたこのハンド
リング装置の機能形式では、回転式切換テーブルからま
ず第1の基板を内穴グリッパによって持ち上げ、接着ス
テーションへ移動させ、そこに載置する。その後、ハン
ドリング装置が回転式切換テーブルへ戻し運動させられ
る。この回転式切換テーブルでハンドリング装置は、内
穴グリッパによって第2の基板を持ち上げる。この第2
の基板は、外側グリッパと接触させられる。この場合、
内穴グリッパと外側グリッパとの協働によって、第2の
基板に湾曲が生ぜしめられる。その後、第2の基板は接
着ステーションへ移動させられ、そこで接着剤が塗布さ
れた第1の基板上に載置される。
えば同一出願人による未公開のドイツ連邦共和国特許出
願公開第19718471号明細書中に記載されてい
る。ただし、繰り返しを避けるために、前記ドイツ連邦
共和国特許出願公開第19718471号明細書は本発
明の対象である。前記ドイツ連邦共和国特許出願公開第
19718471号明細書に記載されている、2つの基
板を接着するための装置においては、基板を操作するた
めの複数の装置(以下、ハンドリング装置と呼ぶ)が周
知である。基板を回転式切換テーブル(Rundsch
alttisch)から接着ステーションへ搬送するた
めに働く1つのハンドリング装置は、内側グリッパと外
側グリッパとを有している。両グリッパはそれぞれ真空
グリッパとして形成されている。規定されたこのハンド
リング装置の機能形式では、回転式切換テーブルからま
ず第1の基板を内穴グリッパによって持ち上げ、接着ス
テーションへ移動させ、そこに載置する。その後、ハン
ドリング装置が回転式切換テーブルへ戻し運動させられ
る。この回転式切換テーブルでハンドリング装置は、内
穴グリッパによって第2の基板を持ち上げる。この第2
の基板は、外側グリッパと接触させられる。この場合、
内穴グリッパと外側グリッパとの協働によって、第2の
基板に湾曲が生ぜしめられる。その後、第2の基板は接
着ステーションへ移動させられ、そこで接着剤が塗布さ
れた第1の基板上に載置される。
【0003】説明したハンドリング装置では、ただ1つ
の基板だけしかそれぞれ持ち上げることができずかつ搬
送することができない。さらに、真空グリッパの解除を
加速させるために、グリッパの解除時に、負圧が排除さ
れるだけでなく、ポジティブな空気ブラストも基板へ当
て付けられる。しかし、この場合、特に内側グリッパの
解除時に、空気が、接着したい両基板間へ吹き込まれる
という危険が生じる。このことは好ましくない。なぜな
らば、これによって、両基板間に存在する接着剤内での
空気封入が生ぜしめられるからである。
の基板だけしかそれぞれ持ち上げることができずかつ搬
送することができない。さらに、真空グリッパの解除を
加速させるために、グリッパの解除時に、負圧が排除さ
れるだけでなく、ポジティブな空気ブラストも基板へ当
て付けられる。しかし、この場合、特に内側グリッパの
解除時に、空気が、接着したい両基板間へ吹き込まれる
という危険が生じる。このことは好ましくない。なぜな
らば、これによって、両基板間に存在する接着剤内での
空気封入が生ぜしめられるからである。
【0004】前記ドイツ連邦共和国特許出願公開第19
718471号明細書中に記載されている装置では、内
穴グリッパが別の箇所でも使用される。この内穴グリッ
パは、後続の搬送のために、1つの基板もしくは互いに
接着したい基板をそれぞれ内穴内で把持する。しかし、
内穴グリッパは、ただ1つの基板もしくは、1つのユニ
ットを形成する互いに接着された基板だけしかそれぞれ
持ち上げることができずかつ搬送することができない。
718471号明細書中に記載されている装置では、内
穴グリッパが別の箇所でも使用される。この内穴グリッ
パは、後続の搬送のために、1つの基板もしくは互いに
接着したい基板をそれぞれ内穴内で把持する。しかし、
内穴グリッパは、ただ1つの基板もしくは、1つのユニ
ットを形成する互いに接着された基板だけしかそれぞれ
持ち上げることができずかつ搬送することができない。
【0005】さらに、ドイツ連邦共和国特許出願公開第
19529537号明細書に基づき、平坦な基板を内穴
で把持しかつ保持するための装置が公知である。この公
知の装置では、ケーシング内に傾倒可能に支承されたフ
ィンガ状の複数のグリッパが基板の内穴内へ導入され、
次いで、基板を内穴で保持するために外方へ旋回させら
れる。さらに、定期刊行物「オー プラス ぺー −
エルヒドラウリークウント プノイマティーク(o+p
− oelhydraulik undpneuma
tik)」 第22版 1978年 第1号 第10頁
中には、空気圧式に操作可能な種々異なるグリッパが記
載されている。この場合、特に1つの内穴グリッパが説
明されている。前記ドイツ連邦共和国特許出願公開第1
9529537号明細書および前記定期刊行物に基づき
公知の内穴グリッパでは、ただ1つの個々の基板だけし
かそれぞれ処理することができないという問題が生じて
しまう。ヨーロッパ特許出願公開第0793224号明
細書に基づき、CD(コンパクトディスク)の製造に関
連して基板を操作するための装置が公知である。この公
知の装置では、内側グリッパが内穴グリッパの形で、ま
た、外側グリッパが真空サッカの形で設けられている。
両グリッパは、互いに独立して基板を把持し、基板を互
いに接着するために接触させられる。「Patent
Abstracts of Japan Vol.01
6No.201 (P−1352) 1992年5月1
4日」および特開平4−032045号公報に基づき、
光学的な記憶媒体を製造するために基板を接着する方法
が公知である。この公知の方法では、一方の基板が凸面
状に湾曲させられ、その後、解放と基板の固有の剛性と
によって、接着され得る他方の基板上へ被着される。こ
れによって、空気ブラストの侵入が阻止されている。国
際公開第9743760号パンフレットに基づき、DV
D(デジタルビデオディスク)のためのディスクを接着
するための接着剤ノズルが公知である。この接着剤ノズ
ルによって接着剤が、接着したい2つの基板の間に挿入
される。国際公開第9857806号パンフレットに基
づき、CDのための基板を接着する装置が公知である。
この公知の装置では、ディスク半部を分離して保持する
ために分離保持装置が使用される。さらに、ディスク変
形防止装置が設けられている。このディスク変形防止装
置は、最終的な接着中に、接着工程中のディスク半部が
変形することを阻止するために使用される。
19529537号明細書に基づき、平坦な基板を内穴
で把持しかつ保持するための装置が公知である。この公
知の装置では、ケーシング内に傾倒可能に支承されたフ
ィンガ状の複数のグリッパが基板の内穴内へ導入され、
次いで、基板を内穴で保持するために外方へ旋回させら
れる。さらに、定期刊行物「オー プラス ぺー −
エルヒドラウリークウント プノイマティーク(o+p
− oelhydraulik undpneuma
tik)」 第22版 1978年 第1号 第10頁
中には、空気圧式に操作可能な種々異なるグリッパが記
載されている。この場合、特に1つの内穴グリッパが説
明されている。前記ドイツ連邦共和国特許出願公開第1
9529537号明細書および前記定期刊行物に基づき
公知の内穴グリッパでは、ただ1つの個々の基板だけし
かそれぞれ処理することができないという問題が生じて
しまう。ヨーロッパ特許出願公開第0793224号明
細書に基づき、CD(コンパクトディスク)の製造に関
連して基板を操作するための装置が公知である。この公
知の装置では、内側グリッパが内穴グリッパの形で、ま
た、外側グリッパが真空サッカの形で設けられている。
両グリッパは、互いに独立して基板を把持し、基板を互
いに接着するために接触させられる。「Patent
Abstracts of Japan Vol.01
6No.201 (P−1352) 1992年5月1
4日」および特開平4−032045号公報に基づき、
光学的な記憶媒体を製造するために基板を接着する方法
が公知である。この公知の方法では、一方の基板が凸面
状に湾曲させられ、その後、解放と基板の固有の剛性と
によって、接着され得る他方の基板上へ被着される。こ
れによって、空気ブラストの侵入が阻止されている。国
際公開第9743760号パンフレットに基づき、DV
D(デジタルビデオディスク)のためのディスクを接着
するための接着剤ノズルが公知である。この接着剤ノズ
ルによって接着剤が、接着したい2つの基板の間に挿入
される。国際公開第9857806号パンフレットに基
づき、CDのための基板を接着する装置が公知である。
この公知の装置では、ディスク半部を分離して保持する
ために分離保持装置が使用される。さらに、ディスク変
形防止装置が設けられている。このディスク変形防止装
置は、最終的な接着中に、接着工程中のディスク半部が
変形することを阻止するために使用される。
【0006】本発明の課題は、基板を操作するための装
置を改良すると同時に方法を改善して、複数の基板を同
時に操作することが可能であるにもかかわらず、前記装
置が構造的に簡単であるかもしくは前記方法を簡単に行
うことができ、しかも、高い生産性を達成することがで
きるようにすることである。本発明の別の課題は、内穴
を有する基板を操作するための装置を改良すると同時に
方法を改善して、互いに載着された基板間での空気の封
入が回避されるようにすることである。
置を改良すると同時に方法を改善して、複数の基板を同
時に操作することが可能であるにもかかわらず、前記装
置が構造的に簡単であるかもしくは前記方法を簡単に行
うことができ、しかも、高い生産性を達成することがで
きるようにすることである。本発明の別の課題は、内穴
を有する基板を操作するための装置を改良すると同時に
方法を改善して、互いに載着された基板間での空気の封
入が回避されるようにすることである。
【0007】ヨーロッパ特許出願公開第0793224
号明細書に基づき公知の装置から出発して、この課題
は、本発明によれば、前記装置が制御装置を有してお
り、該制御装置が、内側グリッパと外側グリッパとを制
御し、両グリッパが、互いに相対的に運動させられる一
方で、両グリッパが、第1の基板を湾曲させるために該
基板を把持することによって解決される。これによっ
て、こうして把持されたもしくは受容された基板を他方
の基板上へ載置する場合にはまず、受容された基板の中
央領域が、下側に位置する基板に接触し、その後はじめ
て縁部領域が接触するということが可能となる。これに
よって、やはり基板間での空気封入が阻止される。前記
装置が、基板を搬送するために水平に運動可能であると
有利である。
号明細書に基づき公知の装置から出発して、この課題
は、本発明によれば、前記装置が制御装置を有してお
り、該制御装置が、内側グリッパと外側グリッパとを制
御し、両グリッパが、互いに相対的に運動させられる一
方で、両グリッパが、第1の基板を湾曲させるために該
基板を把持することによって解決される。これによっ
て、こうして把持されたもしくは受容された基板を他方
の基板上へ載置する場合にはまず、受容された基板の中
央領域が、下側に位置する基板に接触し、その後はじめ
て縁部領域が接触するということが可能となる。これに
よって、やはり基板間での空気封入が阻止される。前記
装置が、基板を搬送するために水平に運動可能であると
有利である。
【0008】さらに、真空グリッパとは異なり、内穴グ
リッパとしての内側グリッパの構成の利点は、たとえ
ば、接着したい2つの基板間へ空気が吹き込まれるとい
う危険なしに、内穴グリッパを迅速にかつ効果的に解除
することができるという点にある。
リッパとしての内側グリッパの構成の利点は、たとえ
ば、接着したい2つの基板間へ空気が吹き込まれるとい
う危険なしに、内穴グリッパを迅速にかつ効果的に解除
することができるという点にある。
【0009】内穴グリッパの外径が、基板の内穴の内径
よりも小さく設定されていると有利である。これによっ
て、内穴グリッパは、第1の基板が外側グリッパによっ
て把持されるかもしくは保持される間に、第1の基板を
通過して延び、第2の基板を把持することができるよう
になっている。内穴グリッパの、簡単なかつ効果的な作
業のために、内穴グリッパが空気圧式に操作可能である
と有利である。
よりも小さく設定されていると有利である。これによっ
て、内穴グリッパは、第1の基板が外側グリッパによっ
て把持されるかもしくは保持される間に、第1の基板を
通過して延び、第2の基板を把持することができるよう
になっている。内穴グリッパの、簡単なかつ効果的な作
業のために、内穴グリッパが空気圧式に操作可能である
と有利である。
【0010】本発明の有利な構成では、内側グリッパと
外側グリッパとが、互いに独立して操作可能である。こ
れによって、単数または複数の基板の把持時に、操作装
置のフレキシビリティ(Flexibilitaet)
を向上させることができる。本発明の有利な構成では、
外側グリッパが、リングに配置された多数のサッカを備
えた真空サッカである。前記サッカは、外側領域での基
板のより確実な把持を保証している。外側グリッパによ
って受容される基板を縁部領域で湾曲させるために、リ
ングが、凸面状に湾曲した形状を有していると有利であ
る。これによって、こうして受容された基板を他方の基
板上へ載置する場合にまず、受容された基板の中央領域
が、下側に位置する基板と接触させられ、その後はじめ
て縁部領域が接触させられる。これによって、やはり基
板間での空気封入を阻止することができる。操作装置
が、基板を搬送するために水平に運動可能であると有利
である。
外側グリッパとが、互いに独立して操作可能である。こ
れによって、単数または複数の基板の把持時に、操作装
置のフレキシビリティ(Flexibilitaet)
を向上させることができる。本発明の有利な構成では、
外側グリッパが、リングに配置された多数のサッカを備
えた真空サッカである。前記サッカは、外側領域での基
板のより確実な把持を保証している。外側グリッパによ
って受容される基板を縁部領域で湾曲させるために、リ
ングが、凸面状に湾曲した形状を有していると有利であ
る。これによって、こうして受容された基板を他方の基
板上へ載置する場合にまず、受容された基板の中央領域
が、下側に位置する基板と接触させられ、その後はじめ
て縁部領域が接触させられる。これによって、やはり基
板間での空気封入を阻止することができる。操作装置
が、基板を搬送するために水平に運動可能であると有利
である。
【0011】さらに、前記課題は、内穴グリッパによっ
て把持された第1の基板を外側グリッパと接触させ、第
1の基板を外側グリッパによって把持し、内穴グリッパ
を解除し、内穴グリッパを、第1の基板内に設けられた
穴を通して運動させ、これによって、まず第2の基板を
把持し、その後、再び解除し、内穴グリッパが第1の基
板を再び把持し、その後、第1の基板を湾曲させるため
に、内穴グリッパを外側グリッパに対して相対的に運動
させ、湾曲した第1の基板の中央領域を第2の基板と接
触させ、次いで、残りの領域を第2の基板と接触させる
という方法によって解決される。この方法では、同時に
2つの基板を処理することができ、場合によっては搬送
することができる。これによって、サイクル時間が減少
される。有利には、搬送距離が短縮される、なぜなら
ば、同時に2つの基板が搬送されるからである。これに
よって、使用される構成要素、特に駆動装置の耐用年数
が高められる。両基板は互いにセンタリングされる。な
ぜならば、内穴グリッパが基板を、この基板の内穴内で
の把持もしくは受容によってそれぞれセンタリングし、
このセンタリングが外側グリッパへの引渡し時にも維持
されるからである。さらに、すでに装置に関して説明し
たように、基板間での空気封入が阻止される。
て把持された第1の基板を外側グリッパと接触させ、第
1の基板を外側グリッパによって把持し、内穴グリッパ
を解除し、内穴グリッパを、第1の基板内に設けられた
穴を通して運動させ、これによって、まず第2の基板を
把持し、その後、再び解除し、内穴グリッパが第1の基
板を再び把持し、その後、第1の基板を湾曲させるため
に、内穴グリッパを外側グリッパに対して相対的に運動
させ、湾曲した第1の基板の中央領域を第2の基板と接
触させ、次いで、残りの領域を第2の基板と接触させる
という方法によって解決される。この方法では、同時に
2つの基板を処理することができ、場合によっては搬送
することができる。これによって、サイクル時間が減少
される。有利には、搬送距離が短縮される、なぜなら
ば、同時に2つの基板が搬送されるからである。これに
よって、使用される構成要素、特に駆動装置の耐用年数
が高められる。両基板は互いにセンタリングされる。な
ぜならば、内穴グリッパが基板を、この基板の内穴内で
の把持もしくは受容によってそれぞれセンタリングし、
このセンタリングが外側グリッパへの引渡し時にも維持
されるからである。さらに、すでに装置に関して説明し
たように、基板間での空気封入が阻止される。
【0012】第1の基板と外側グリッパとの接触が鉛直
運動、特に内穴グリッパの持上げによって行われると有
利である。
運動、特に内穴グリッパの持上げによって行われると有
利である。
【0013】本発明の有利な構成では、内穴グリッパに
よる第1の基板および/または第2の基板の把持が空気
圧式に制御される。なぜならば、これによって、簡単な
かつ正確な制御と、内穴での基板の均一な把持とが可能
であるからである。
よる第1の基板および/または第2の基板の把持が空気
圧式に制御される。なぜならば、これによって、簡単な
かつ正確な制御と、内穴での基板の均一な把持とが可能
であるからである。
【0014】第1の基板が、外側グリッパによって負圧
を用いて把持されると有利である。
を用いて把持されると有利である。
【0015】本発明の有利な構成では、第1の基板が縁
部領域で、第2の基板から離れる方向へ湾曲している。
これによって、後続の、第2の基板上への第1の基板の
載置時に、第1の基板がまず中央領域で第2の基板と接
触させられ、その後はじめて、第1の基板の転動によっ
て基板の外側領域が互いに接触させられ、これによっ
て、基板間での空気封入が阻止されるということが可能
となる。内穴グリッパと外側グリッパとが、受容された
基板の搬送のために水平に運動させられると有利であ
る。
部領域で、第2の基板から離れる方向へ湾曲している。
これによって、後続の、第2の基板上への第1の基板の
載置時に、第1の基板がまず中央領域で第2の基板と接
触させられ、その後はじめて、第1の基板の転動によっ
て基板の外側領域が互いに接触させられ、これによっ
て、基板間での空気封入が阻止されるということが可能
となる。内穴グリッパと外側グリッパとが、受容された
基板の搬送のために水平に運動させられると有利であ
る。
【0016】以下に、本発明の実施例を図面につき詳し
く説明する。
く説明する。
【0017】図1には、操作装置もしくはハンドリング
装置の主要な部分が断面図で概略的に示してある。ハン
ドリング装置は、たとえば、上述した未公開のドイツ連
邦共和国特許出願公開第19718471号明細書に記
載されている、2つの基板を接着するための装置で使用
することができる。
装置の主要な部分が断面図で概略的に示してある。ハン
ドリング装置は、たとえば、上述した未公開のドイツ連
邦共和国特許出願公開第19718471号明細書に記
載されている、2つの基板を接着するための装置で使用
することができる。
【0018】本発明によるハンドリング装置1は主とし
て、内穴グリッパ2と、真空グリッパとして形成されて
いる外側グリッパ3とから成っている。この外側グリッ
パ3は適当な固定装置4を介して、概略的にしか図示さ
れていない行程装置5に固定されている。内穴グリッパ
2はその長手方向軸線Aに沿って運動するために、行程
装置(図示せず)に結合されている。
て、内穴グリッパ2と、真空グリッパとして形成されて
いる外側グリッパ3とから成っている。この外側グリッ
パ3は適当な固定装置4を介して、概略的にしか図示さ
れていない行程装置5に固定されている。内穴グリッパ
2はその長手方向軸線Aに沿って運動するために、行程
装置(図示せず)に結合されている。
【0019】内穴グリッパ2は、長手方向に延びる上側
の軸部部材7を有している。この軸部部材7の下端部に
は、拡開可能な部材8が適当に固定されている。この拡
開可能な部材8はスリット10を有しており、これによ
って、拡開可能な部材8の拡開が可能となっている。こ
の拡開可能な部材8の内部には、膨張可能なボディ11
が位置している。このボディ11は、拡開可能な部材8
に固定された接続エレメント12を介して空気圧式にま
たは液圧式に操作される。この場合、以下でさらに説明
するように、基板の内穴と係合するために、膨張可能な
ボディ11が膨張し、これによって、拡開可能な部材8
が拡開するようになっている。
の軸部部材7を有している。この軸部部材7の下端部に
は、拡開可能な部材8が適当に固定されている。この拡
開可能な部材8はスリット10を有しており、これによ
って、拡開可能な部材8の拡開が可能となっている。こ
の拡開可能な部材8の内部には、膨張可能なボディ11
が位置している。このボディ11は、拡開可能な部材8
に固定された接続エレメント12を介して空気圧式にま
たは液圧式に操作される。この場合、以下でさらに説明
するように、基板の内穴と係合するために、膨張可能な
ボディ11が膨張し、これによって、拡開可能な部材8
が拡開するようになっている。
【0020】膨張可能なボディ11が圧力で空気圧的に
または液圧的に負荷されていない場合には、拡開可能な
部材8は、拡開されていない静止状態にある。この静止
状態では、膨張可能なボディ11は適当な手段(図示せ
ず)によって予荷重もしくはプレロードをかけられてい
る。
または液圧的に負荷されていない場合には、拡開可能な
部材8は、拡開されていない静止状態にある。この静止
状態では、膨張可能なボディ11は適当な手段(図示せ
ず)によって予荷重もしくはプレロードをかけられてい
る。
【0021】真空グリッパとして形成された外側グリッ
パ3は金属製リング15を有している。この金属製リン
グ15の外側の縁部領域内には、吸盤17を備えた複数
のサッカ16が配置されている。このサッカ16は、公
知の形式で負圧を用いて基板を把持するために、相応す
る負圧接続部を介して負圧源もしくは真空源(共に図示
せず)に接続可能である。
パ3は金属製リング15を有している。この金属製リン
グ15の外側の縁部領域内には、吸盤17を備えた複数
のサッカ16が配置されている。このサッカ16は、公
知の形式で負圧を用いて基板を把持するために、相応す
る負圧接続部を介して負圧源もしくは真空源(共に図示
せず)に接続可能である。
【0022】ここで、ハンドリング装置1の機能形式を
図2a〜図2cにつき詳しく説明する。図2aには、拡
開可能な部材8が第1のウェーハ21の内穴20内へ導
入されている状態が概略的に示してある。サッカ16を
備えた外側グリッパ3は、第1のウェーハ21の上方に
位置していて、このウェーハ21から間隔を置いて配置
されている。
図2a〜図2cにつき詳しく説明する。図2aには、拡
開可能な部材8が第1のウェーハ21の内穴20内へ導
入されている状態が概略的に示してある。サッカ16を
備えた外側グリッパ3は、第1のウェーハ21の上方に
位置していて、このウェーハ21から間隔を置いて配置
されている。
【0023】この位置で、拡開可能な部材8は、図2a
には示していない膨張可能なボディ11を介して拡開さ
れ、これによって、第1の基板21の内穴20の内周面
と係合するようになっている。この場合、内穴グリッパ
2に関連した第1の基板21のセンタリングが達成され
る。なぜならば、内穴グリッパ2は内穴20の内周面と
均一に係合するからである。
には示していない膨張可能なボディ11を介して拡開さ
れ、これによって、第1の基板21の内穴20の内周面
と係合するようになっている。この場合、内穴グリッパ
2に関連した第1の基板21のセンタリングが達成され
る。なぜならば、内穴グリッパ2は内穴20の内周面と
均一に係合するからである。
【0024】この係合によって第1の基板21が把持さ
れる。このような形式で第1の基板21が把持されてい
る場合には、この基板21は内穴グリッパ2によって持
ち上げられ、外側グリッパ3のサッカ16と接触させら
れる。サッカ16に形成された負圧によって、基板21
はその外側領域でサッカ16に吸い付けられかつ把持さ
れる。この時点で内穴グリッパ2は解除され、さらに
は、基板21は外側グリッパ3によってしか保持されな
い。
れる。このような形式で第1の基板21が把持されてい
る場合には、この基板21は内穴グリッパ2によって持
ち上げられ、外側グリッパ3のサッカ16と接触させら
れる。サッカ16に形成された負圧によって、基板21
はその外側領域でサッカ16に吸い付けられかつ把持さ
れる。この時点で内穴グリッパ2は解除され、さらに
は、基板21は外側グリッパ3によってしか保持されな
い。
【0025】内穴グリッパ2の解除の後、この内穴グリ
ッパ2は、第1の基板21の内穴20を通過して下方
へ、しかも、第2の基板25の内穴24内へ運動させら
れる。この位置でも同様に、拡開可能な部材8が、膨張
可能なボディ11を介して拡開され、これによって、第
2の基板25の内穴24の内周面と係合するようになっ
ている。この位置で、第1の基板21と第2の基板25
とを、たとえば接着ユニットのような別の位置へ搬送す
るために、ハンドリング装置1全体は持ち上げられ、水
平に運動させられる。
ッパ2は、第1の基板21の内穴20を通過して下方
へ、しかも、第2の基板25の内穴24内へ運動させら
れる。この位置でも同様に、拡開可能な部材8が、膨張
可能なボディ11を介して拡開され、これによって、第
2の基板25の内穴24の内周面と係合するようになっ
ている。この位置で、第1の基板21と第2の基板25
とを、たとえば接着ユニットのような別の位置へ搬送す
るために、ハンドリング装置1全体は持ち上げられ、水
平に運動させられる。
【0026】接着ユニットでは、第2の基板25が内穴
グリッパ2の解除によって降下され、第1の基板21に
向けられた表面が接着剤で被覆される。この被覆中に、
内穴グリッパ2が再び上方へ移動し、これによって、拡
開可能な部材8が、第1の基板21の内穴20内に位置
する。拡開可能な部材8は、上述したように、再び拡開
され、第1の基板21の内穴20と係合する。内穴グリ
ッパ2の、下方への僅かな運動によって、第1の基板2
1の、外側グリッパ3のサッカ16によって依然として
保持される外側領域は下側の基板25から離れる方向へ
湾曲させられる。その後、第1の基板21は下側の基板
25と接触するように運動する。この場合、基板21の
中央領域が最初に接触する。その後、外側グリッパ3の
解除によって、基板21の残りの領域も互いに接触す
る。この場合、外側領域は最後に接触する。把持時に、
基板が内穴グリッパ2によって、この内穴グリッパ2に
関連してそれぞれセンタリングされることによって、基
板は、互いに正確にセンタリングされて載置されもす
る。このことは、基板の接着時に特に必要となる。
グリッパ2の解除によって降下され、第1の基板21に
向けられた表面が接着剤で被覆される。この被覆中に、
内穴グリッパ2が再び上方へ移動し、これによって、拡
開可能な部材8が、第1の基板21の内穴20内に位置
する。拡開可能な部材8は、上述したように、再び拡開
され、第1の基板21の内穴20と係合する。内穴グリ
ッパ2の、下方への僅かな運動によって、第1の基板2
1の、外側グリッパ3のサッカ16によって依然として
保持される外側領域は下側の基板25から離れる方向へ
湾曲させられる。その後、第1の基板21は下側の基板
25と接触するように運動する。この場合、基板21の
中央領域が最初に接触する。その後、外側グリッパ3の
解除によって、基板21の残りの領域も互いに接触す
る。この場合、外側領域は最後に接触する。把持時に、
基板が内穴グリッパ2によって、この内穴グリッパ2に
関連してそれぞれセンタリングされることによって、基
板は、互いに正確にセンタリングされて載置されもす
る。このことは、基板の接着時に特に必要となる。
【0027】本発明を有利な実施例につき予め説明し
た。しかし、当業者には、本発明の思想を逸脱すること
なしに多数の構成と変化形とが可能である。本発明によ
る方法は、基板の接着に関連して説明した。しかし、本
発明の原理は、2つの基板が操作されなければならない
別の方法でも使用可能である。
た。しかし、当業者には、本発明の思想を逸脱すること
なしに多数の構成と変化形とが可能である。本発明によ
る方法は、基板の接着に関連して説明した。しかし、本
発明の原理は、2つの基板が操作されなければならない
別の方法でも使用可能である。
【0028】さらに、本発明は、基板の内穴としか係合
しない内穴グリッパの正確な方式にも制限されていな
い。むしろ、内穴グリッパはショルダを有していてもよ
い。このショルダは、基板の内穴を通過して案内されか
つ内穴グリッパを拡開した後、基板を支持するために基
板の下面と係合する。外側グリッパとしての真空グリッ
パの代わりに、基板の外側領域に作用する別のグリッパ
が、内穴グリッパと組み合わされてもよい。 [図面の簡単な説明]
しない内穴グリッパの正確な方式にも制限されていな
い。むしろ、内穴グリッパはショルダを有していてもよ
い。このショルダは、基板の内穴を通過して案内されか
つ内穴グリッパを拡開した後、基板を支持するために基
板の下面と係合する。外側グリッパとしての真空グリッ
パの代わりに、基板の外側領域に作用する別のグリッパ
が、内穴グリッパと組み合わされてもよい。 [図面の簡単な説明]
【図1】本発明による操作装置の概略的な断面図であ
る。
る。
【図2】本発明による方法の機能経過を概略的に示す図
であり、図2aには、内穴グリッパが第1の基板の内穴
と係合した状態が示してあり、図2bには、第1の基板
と外側グリッパとが接触した状態が示してあり、図2c
には、内穴グリッパが第2の基板の内穴と係合した状態
が示してある。
であり、図2aには、内穴グリッパが第1の基板の内穴
と係合した状態が示してあり、図2bには、第1の基板
と外側グリッパとが接触した状態が示してあり、図2c
には、内穴グリッパが第2の基板の内穴と係合した状態
が示してある。
1 ハンドリング装置、 2 内穴グリッパ、 3 外
側グリッパ、 4 固定装置、 5 行程装置、 7
軸部部材、 8 部材、 10 スリット、11 ボデ
ィ、 12 接続エレメント、 15 金属製リング、
16 サッカ、 17 吸盤、 20 内穴、 21
ウェーハまたは基板、 24 内穴、 25 基板、
A 長手方向軸線
側グリッパ、 4 固定装置、 5 行程装置、 7
軸部部材、 8 部材、 10 スリット、11 ボデ
ィ、 12 接続エレメント、 15 金属製リング、
16 サッカ、 17 吸盤、 20 内穴、 21
ウェーハまたは基板、 24 内穴、 25 基板、
A 長手方向軸線
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平7−215506(JP,A)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
B25J 15/06
B25J 15/00
B65G 47/91
B65G 49/05
Claims (14)
- 【請求項1】 内穴(20,24)を有する基板(2
1,25)を操作するための装置(1)であって、内側
グリッパ(2)と、該内側グリッパ(2)に対して半径
方向外側に位置する外側グリッパ(3)とが設けられて
おり、内側グリッパ(2)が、内穴グリッパ(2)とし
て形成されており、外側グリッパ(3)が、真空サッカ
(3)として形成されており、該真空サッカ(3)が、
リング(15)に配置された多数のサッカ(16)を有
している形式のものにおいて、当該装置(1)が、制御
装置を有しており、該制御装置が、内側グリッパ(2)
と外側グリッパ(3)とを制御するようになっており、
基板(21)を湾曲させるために、両グリッパ(2,
3)が、同一の基板(21)を把持している間に互いに
相対的に運動させられるようになっていることを特徴と
する、基板を把持するための装置。 - 【請求項2】 リング(15)が、凸面状に湾曲した形
状を有している、請求項1記載の装置。 - 【請求項3】 内穴グリッパ(2)が鉛直に運動可能で
ある、請求項1または2記載の装置。 - 【請求項4】 内穴グリッパ(2)の外径が、内穴(2
0,24)の内径よりも小さく設定されている、請求項
1から3までのいずれか1項記載の装置。 - 【請求項5】 内穴グリッパ(2)が空気圧式に操作可
能である、請求項1から4までのいずれか1項記載の装
置。 - 【請求項6】 内側グリッパ(2)と外側グリッパ
(3)とが、互いに独立して操作可能である、請求項1
から5までのいずれか1項記載の装置。 - 【請求項7】 前記装置(1)が、基板(21,25)
を搬送するために水平に運動可能である、請求項1から
6までのいずれか1項記載の装置。 - 【請求項8】 内穴(20,24)を有する基板(2
1,25)を操作するための方法において、以下の方法
ステップ: 第1の基板(21)を内穴グリッパ(2)によって把持
し、 第1の基板(21)を外側グリッパ(3)と接触させ、 第1の基板(21)を外側グリッパ(3)によって把持
し、 内穴グリッパ(2)を解除し、 内穴グリッパ(2)を、第1の基板(21)内に設けら
れた穴(20)を通して運動させ、 第2の基板(25)を内穴グリッパ(2)によって把持
し、 第2の基板(25)を解除し、 第1の基板(21)を内穴グリッパ(2)によって新た
に把持し、 第1の基板(21)を湾曲させるために、内穴グリッパ
(2)を外側グリッパ(3)に対して相対的に運動さ
せ、 湾曲した第1の基板(21)の中央領域と、第2の基板
(25)とを接触させ、 第1の基板(21)の残りの領域と、第2の基板(2
5)とを接触させる を特徴とする、基板を操作するための方法。 - 【請求項9】 第1の基板(21)と外側グリッパ
(3)との接触を鉛直運動によって行う、請求項8記載
の方法。 - 【請求項10】 第1の基板(21)と外側グリッパ
(3)との接触を内穴グリッパ(2)の持上げによって
行う、請求項8または9記載の方法。 - 【請求項11】 内穴グリッパ(2)による第1の基板
(21)および/または第2の基板(25)の把持を空
気圧式に制御する、請求項8から10までのいずれか1
項記載の方法。 - 【請求項12】 外側グリッパ(3)による第1の基板
(21)の把持を負圧を用いて行う、請求項8から11
までのいずれか1項記載の方法。 - 【請求項13】 第1の基板(21)を縁部領域で、第
2の基板(25)から離れる方向へ湾曲させる、請求項
8から12までのいずれか1項記載の方法。 - 【請求項14】 内穴グリッパ(2)と外側グリッパ
(3)とを水平に運動させる、請求項8から13までの
いずれか1項記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19818479A DE19818479C1 (de) | 1998-04-24 | 1998-04-24 | Vorrichtung und Verfahren zum Handhaben von Substraten |
DE19818479.4 | 1998-04-24 | ||
PCT/EP1999/002499 WO1999055605A1 (de) | 1998-04-24 | 1999-04-14 | Vorrichtung und verfahren zum handhaben von substraten |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002512899A JP2002512899A (ja) | 2002-05-08 |
JP3445243B2 true JP3445243B2 (ja) | 2003-09-08 |
Family
ID=7865747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000545773A Expired - Fee Related JP3445243B2 (ja) | 1998-04-24 | 1999-04-14 | 基板を操作するための装置および方法 |
Country Status (14)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6494511B1 (ja) |
EP (1) | EP1073599B1 (ja) |
JP (1) | JP3445243B2 (ja) |
KR (1) | KR100358787B1 (ja) |
CN (1) | CN1298364A (ja) |
AT (1) | ATE221842T1 (ja) |
AU (1) | AU3816199A (ja) |
CA (1) | CA2329356A1 (ja) |
DE (2) | DE19818479C1 (ja) |
DK (1) | DK1073599T3 (ja) |
ES (1) | ES2182518T3 (ja) |
IL (1) | IL139156A0 (ja) |
TW (1) | TW432003B (ja) |
WO (1) | WO1999055605A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1269069B9 (de) | 2000-02-29 | 2005-03-02 | Autefa Automation GmbH | Flaschenbehandlungsanlage |
DE102004045957A1 (de) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Singulus Technologies Ag | Vorrichtung zum Halten und Transportieren eines Werkstücks mit einer ebenen Oberfläche |
DE102006019767A1 (de) * | 2006-04-28 | 2007-11-08 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Verfahren und maschinelle Anordnung zum Handhaben eines Werkstücks mit zumindest einer Durchtrittsöffnung |
CN102069494B (zh) * | 2009-11-23 | 2013-07-31 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 机械手 |
CN102431024B (zh) * | 2010-09-08 | 2014-12-10 | 本田技研工业株式会社 | 金属环的热处理方法 |
FR3025448B1 (fr) * | 2014-09-10 | 2017-03-24 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Tete de prehension pour appareil de prehension par aspiration. |
CN104440012A (zh) * | 2014-10-30 | 2015-03-25 | 上海无线电设备研究所 | 一种led光源板定位及抓取装置 |
CN107697627B (zh) * | 2017-09-21 | 2023-10-17 | 广东拓斯达科技股份有限公司 | 一种镀膜板的抽取装置 |
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JPH0734498Y2 (ja) * | 1988-02-03 | 1995-08-02 | 日東電工株式会社 | スペーサー |
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JPH0432045A (ja) | 1990-05-28 | 1992-02-04 | Dainippon Ink & Chem Inc | 光ディスクの貼合せ方法 |
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ATE181784T1 (de) * | 1997-03-17 | 1999-07-15 | Tapematic Spa | Gerät und verfahren zum kleben von plattenhälften zur herstellung von optischen datenspeicherplatten |
DE19718471A1 (de) * | 1997-04-30 | 1998-11-05 | Steag Hamatech Gmbh Machines | Verfahren und Vorrichtung zum Verkleben von zwei Substraten |
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-
1998
- 1998-04-24 DE DE19818479A patent/DE19818479C1/de not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-04-14 CN CN99805319A patent/CN1298364A/zh active Pending
- 1999-04-14 DE DE59902272T patent/DE59902272D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-14 US US09/674,180 patent/US6494511B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-04-14 DK DK99920663T patent/DK1073599T3/da active
- 1999-04-14 IL IL13915699A patent/IL139156A0/xx unknown
- 1999-04-14 EP EP99920663A patent/EP1073599B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-14 ES ES99920663T patent/ES2182518T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-14 KR KR1020007011770A patent/KR100358787B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-04-14 AU AU38161/99A patent/AU3816199A/en not_active Abandoned
- 1999-04-14 JP JP2000545773A patent/JP3445243B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-04-14 WO PCT/EP1999/002499 patent/WO1999055605A1/de active IP Right Grant
- 1999-04-14 AT AT99920663T patent/ATE221842T1/de not_active IP Right Cessation
- 1999-04-14 CA CA002329356A patent/CA2329356A1/en not_active Abandoned
- 1999-04-16 TW TW088106108A patent/TW432003B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES2182518T3 (es) | 2003-03-01 |
DK1073599T3 (da) | 2002-12-02 |
DE19818479C1 (de) | 1999-11-11 |
WO1999055605A1 (de) | 1999-11-04 |
JP2002512899A (ja) | 2002-05-08 |
TW432003B (en) | 2001-05-01 |
EP1073599B1 (de) | 2002-08-07 |
ATE221842T1 (de) | 2002-08-15 |
KR20010042946A (ko) | 2001-05-25 |
CA2329356A1 (en) | 1999-11-04 |
KR100358787B1 (ko) | 2002-10-25 |
US6494511B1 (en) | 2002-12-17 |
AU3816199A (en) | 1999-11-16 |
DE59902272D1 (de) | 2002-09-12 |
CN1298364A (zh) | 2001-06-06 |
EP1073599A1 (de) | 2001-02-07 |
IL139156A0 (en) | 2001-11-25 |
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