KR101632043B1 - 로드록 장치 및 이를 구비한 진공처리장치 - Google Patents

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샤프 가부시키가이샤
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Abstract

로드록(load lock) 장치(1)는, 내부가 진공배기 가능하게 구성되고, 처리 대상물(S)이 수납되는 로드록실(4)과, 로드록실(4) 내부에 수납되어, 처리 대상물(S)을 지지하는 지지대(13)와, 로드록실(4)에 설치되어, 진공상태인 로드록실(4)의 내부에 벤트가스를 공급하여, 대기압 상태로 전환하는 슬로우 벤트 수단(15)을 구비한다. 슬로우 벤트수단(15)은, 지지대(13)에 대해 좌우대칭으로 배치된다.

Description

로드록 장치 및 이를 구비한 진공처리장치{LOAD LOCK DEVICE AND VACUUM TREATMENT CHAMBER EQUIPPED WITH SAME}
본 발명은, 로드록실 내의 처리 대상물로의 이물질(파티클)의 부착을 억제할 수 있는 로드록 장치 및 이를 구비한 진공처리장치에 관한 것이다.
예를 들어, 액정표시장치용 유리기판의 제조공정이나, 반도체 웨이퍼 제조공정에서는, 스퍼터링, 에칭 및 플라즈마 CVD 등의 진공처리가 행해진다.
그리고, 이와 같은 진공처리를 행하는 진공처리장치에서는, 진공처리를 행하는 처리실에 유리기판 등의 처리 대상물을 반입 또는 반출할 시에, 진공처리실 내부를 일단 대기압으로 되돌려 버리면, 진공처리실의 내벽에 가스가 흡착하는 등의 현상이 생긴다. 따라서, 진공처리실의 내부를, 다음 처리가 개시 가능한 상태로 하기까지, 상당히 긴 시간을 필요로 하게 되고, 결과적으로 장치의 처리능력이 대폭으로 저하되어 버리는 문제가 있었다.
그래서, 이와 같은 문제를 회피하기 위해, 로드록 장치를 설치하고, 이 로드록 장치의 내부만을 대기압으로 되돌림으로써, 로드록 장치를 개재하여, 처리 대상물을 진공처리실로 반입 및 반출하는 것이 행해진다. 그리고, 이와 같은 로드록 장치를 설치하여, 진공처리실의 내부를 고진공으로 한 상태에서 진공처리를 행함으로써, 장치의 처리능력 저하를 방지하는 것이 가능하게 된다.
여기서, 로드록 장치의 내부에서는, 진공처리실 내의 반응 생성물과 처리 대상물의 반송기구 등으로부터의 먼지 발생에 의해, 다수의 이물질이 존재한다. 그리고, 로드록 장치의 진공배기나 벤트(vent)를 행할 시에, 이 이물질이, 급격한 기체의 흐름에 의해, 로드록 장치의 내부에서 날아 올라 처리 대상물에 부착하고, 결과적으로 불량품이 발생하여 처리 대상물의 수율이 저하되는 문제가 발생하고 있었다.
그래서, 이와 같은 이물질에 기인하는 수율의 저하를 억제하기 위한 로드록 장치가 제안되고 있다. 보다 구체적으로는, 예를 들어, 로드록실 내에 도입되는 벤트가스를 확산시키는 가스 확산판을 구비한 로드록 장치가 제안되고 있다. 그리고, 이와 같은 가스 확산판을 설치함으로써, 도입가스의 유속을 저감하여, 이물질의 날아 오름을 억제할 수 있다고 기재되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).
또, 웨이퍼 지지부와 로드록 배기구의 사이에, 웨이퍼 지지부를 포괄하도록 배치되고, 다수의 구멍을 갖는 간섭판을 구비한 로드록 장치가 제안되고 있다. 그리고, 이와 같은 간섭판을 설치함으로써, 웨이퍼 주변부의 기류가 흐트러지는 것을 억제하여, 웨이퍼 주변에서 가스를 등방적(等方的)으로 배기하는 것이 가능하게 되므로, 이물질의 날아 오름을 억제할 수 있다고 기재되어 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조).
특허문헌 1: 일본 특허공개 평8-124993호 공보 특허문헌 2: 일본 특허공개 평6-318536호 공보
그러나, 상기 특허문헌 1, 2에 기재된 로드록 장치에서는, 처리 대상물 상의 기류를 억제함으로써, 이물질의 날아 오름을 어느 정도 억제할 수 있으나, 로드록 장치 내부 전체의 벤트가스 기류의 흐트러짐에 기인하는 이물질의 날아 오름을 충분히 억제하는 것이 곤란하였다. 따라서, 처리 대상물의 이물질 부착을 충분히 억제할 수 없어, 결과적으로 처리 대상물의 수율이 저하되는 문제가 발생하고 있었다.
그래서, 본 발명은 상술한 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 로드록실 내의 처리 대상물로의 이물질 부착을 효과적으로 억제할 수 있는 로드록 장치 및 이를 구비한 진공처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 로드록 장치는, 내부가 진공배기 가능하게 구성되고, 처리 대상물이 수납되는 로드록실과, 로드록실 내부에 수납되어, 처리 대상물을 지지하는 지지대와, 로드록실에 설치되어, 진공상태인 로드록실의 내부에 벤트가스(vent gas)를 공급하여, 대기압 상태로 전환하는 슬로우 벤트(slow vent) 수단을 구비하고, 슬로우 벤트 수단이 지지대에 대해 좌우대칭으로 배치되는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하면, 로드록실의 슬로우 벤트를 행할 시에, 로드록실 내 전체에서, 벤트가스의 기류를 일정방향(예를 들어, 지지대에 지지된 처리 대상물에 대한 상방으로부터 하방으로의 방향)으로 발생시키는 것이 가능하게 된다. 따라서, 로드록실 내부 전체의 벤트가스 기류의 흐트러짐에 기인하는 이물질의 날아 오름을 억제하는 것이 가능하게 되므로, 로드록실 내의 처리 대상물로의 이물질 부착을 효과적으로 억제하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 처리 대상물의 수율 저하를 억제하는 것이 가능하게 된다.
본 발명의 로드록 장치에서는, 슬로우 벤트 수단은, 로드록실에 접속되고, 로드록실의 내부에 벤트가스를 공급하는 슬로우 벤트관과, 슬로우 벤트관에 설치되어, 슬로우 벤트관으로부터 로드록실로의 벤트가스의 유입량을 조절하는 슬로우 벤트 밸브에 의해 구성되어도 된다.
본 발명의 로드록 장치에서는, 로드록실에 형성되어, 로드록실 내부의 가스를 로드록실의 외부로 배기하기 위한 배기구와, 배기구에 접속된 배기펌프를 추가로 구비하고, 배기구가 메쉬(mesh) 형상을 가져도 된다.
이러한 구성에 의하면, 로드록실로부터 배기 펌프로의 이물질 침입을 방지할 수 있음과 동시에, 로드록실의 진공배기를 행할 시에, 로드록실 내부의 배기류의 흐트러짐에 기인하는 이물질의 날아 오름을 억제하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 로드록실의 진공배기를 행할 시에, 로드록실 내의 처리 대상물로 이물질의 부착을 효과적으로 억제하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 처리 대상물의 수율 저하를 억제하는 것이 가능하게 된다.
본 발명의 로드록 장치에서는, 지지대가 처리 대상물을 종(縱)배치 상태로 지지하는 구성으로 하여도 된다.
이러한 구성에 의하면, 본 벤트처리를 행하기 전의 슬로우 벤트 처리의 단계에서, 이미 처리 대상물에 부착되어 있는 이물질을 제거하는 것이 가능하게 되므로, 처리 대상물로의 이물질 부착을 한층 더 효과적으로 억제하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 처리 대상물의 수율 저하를 한층 더 억제하는 것이 가능하게 된다.
또, 본 발명의 로드록 장치는, 로드록실 내의 처리 대상물로의 이물질 부착을 효과적으로 억제하여, 처리 대상물의 수율 저하를 억제할 수 있는 우수한 특성을 구비한다. 따라서, 본 발명은, 로드록 장치와, 로드록실로부터 반입되어 오는 처리 대상물에 대해, 진공 분위기 하에서 소정의 처리를 행하는 진공처리실을 구비하는 진공처리장치에 적합하게 사용된다.
본 발명에 의하면, 로드록실 내의 처리 대상물로의 이물질 부착을 효과적으로 억제하여, 처리 대상물의 수율 저하를 억제할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시형태에 관한 진공처리장치의 전체구성을 나타내는 도면이다.
도 2는, 본 발명의 실시형태에 관한 진공처리장치의 로드록 장치를 나타내는 도면이다.
도 3은, 본 발명의 본 실시형태에 관한 진공처리장치에 의해 처리 대상물의 처리 흐름을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는, 본 발명의 실시형태에 관한 진공처리장치의 로드록 장치의 진공배기구의 형상을 나타내는 도면이다.
도 5는, 본 발명의 변형예에 관한 로드록 장치를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 여기서, 본 발명은, 이하의 실시형태에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 진공처리장치의 전체구성을 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명의 실시형태에 관한 진공처리장치의 로드록 장치를 나타내는 도면이다.
도 1에 나타내듯이, 본 실시형태의 진공처리장치(1)는, 진공처리실(2)과 로드록 장치(3)와 대기(大氣) 반송실(24)을 구비한다.
진공처리실(2)은, 예를 들어, 액정표시장치용 유리기판 등의 처리 대상물(S)에 대해, 진공 분위기 하에서 소정의 처리(예를 들어, 스퍼터링, 에칭 및 플라즈마 CVD 등)를 행하기 위한 것이다.
대기 반송실(24)은, 미처리의 처리 대상물(S)을 로드록 장치(3)로 반송함과 동시에, 로드록 장치(3)를 개재하여, 진공처리실(2)에서 소정의 처리가 행해진 처리 대상물(S)이 반입되는 것이다.
로드록 장치(3)는, 로드록 장치(3)의 내부를 진공상태에서 대기압으로 되돌림으로써, 로드록 장치(3)를 개재하여, 진공처리실(2)에 의해 처리된 처리 대상물(S)을 진공처리실(2)로부터 대기 반송실(24)로 반출함과 동시에, 로드록 장치(3)의 내부를 대기압으로부터 진공상태로 되돌림으로써, 로드록 장치(3)를 개재하여, 처리 대상물(S)을 대기 반송실(24)로부터 진공처리실(2)로 반출하기 위한 것이다.
이 로드록 장치(3)는, 도 1, 도 2에 나타내듯이, 내부를 진공배기 가능하게 구성되어, 처리 대상물(S)이 수납되는 로드록실(4)과, 로드록실(4)에 접속되고, 로드록실(4) 내부에 벤트가스를 공급하는 벤트가스 공급관(7)과, 벤트가스 공급관(7)에 설치되어, 벤트가스 공급관(7)으로부터 로드록실(4)로 벤트가스의 유입량을 조절하는 벤트밸브(vent valve)(8)를 구비한다.
로드록실(4)은, 예를 들어 알루미늄 등의 재질에 의해, 용기 형상으로 형성된다. 또, 벤트가스 공급관(7)은 가스 공급원(도시 않음)에 접속된다.
또, 로드록 장치(3)는, 로드록실(4)로의 가스공급을 서서히 행하는(즉, 로드록실(4)로의 가스 공급량을 서서히 변화시키는), 이른바 "슬로우 벤트"를 행하기 위한 슬로우 벤트 수단(15)을 구비한다. 이 슬로우 벤트 수단(15)은, 로드록실(4)에 설치되고, 진공상태인 로드록실(4)의 내부에 벤트가스를 서서히 공급하여, 대기압 상태로 전환하는 것이다.
또한, 슬로우 벤트 수단(15)은, 벤트가스 공급관(7) 및 로드록실(4)에 접속되어, 로드록실(4)의 내부에 벤트가스를 공급하는 슬로우 벤트관(9)과, 슬로우 벤트관(9)에 설치되고, 슬로우 벤트관(9)으로부터 로드록실(4)로의 벤트가스의 유입량을 조절하는 슬로우 벤트밸브(10)에 의해 구성된다.
또, 로드록 장치(3)는, 로드록실(4) 내부의 가스를 배기함으로써, 로드록실(4) 내부의 진공배기를 행하기 위한 배기수단(20)을 구비한다.
이 배기수단(20)은, 로드록실(4)에 형성되고, 로드록실(4) 내부의 가스를 로드록실(4)의 외부로 배기하기 위한 배기구(14)와, 배기구(14)에 접속되어, 배기된 가스가 공급되는 배기관(34)과, 배기관(34)에 설치된 배기밸브(5)와, 배기밸브(5)를 개재하여, 배기관(34) 및 배기구(14)에 접속된 배기펌프(6)에 의해 구성된다.
그리고, 배기펌프(6)가 구동상태이고 배기밸브(5)가 열린 상태인 때에, 로드록실(4) 내부의 진공배기가 행해지는 구성이 된다.
또한, 로드록 장치(3)는, 로드록실(4) 내부에 수납되고, 처리 대상물(S)을 지지하는 지지대(13)를 구비한다. 이 지지대(13)는, 도 2에 나타내듯이, 처리 대상물(S)을 종배치(수직배치) 상태에서 지지하도록 구성되고, 지지대(13)에 설치된 지지편(18)에 의해, 처리 대상물(S)이 거의 수직으로 지지되도록 구성된다.
또, 로드록 장치(3)는, 지지대(13)에 장착됨과 동시에, 처리 대상물(S)을 반송하기(즉, 지지대(13)를 반송하기) 위한 반송수단(30)을 구비한다.
또한, 도 1에 나타내듯이, 진공처리실(2)과 로드록 장치(3)의 사이에는, 개폐 가능한 게이트 밸브(gate valve)(21)가 설치됨과 동시에, 로드록 장치(3)와 대기 반송실(24)의 사이에는, 개폐 가능한 게이트 밸브(22)가 설치된다.
그리고, 게이트 밸브(21)가 열린 상태에서, 상술한 반송수단(30)이, 처리 대상물(S)을 진공처리실(2)과 로드록 장치(3)의 사이에서 반송하는 구성으로 된다. 또, 마찬가지로, 게이트 밸브(22)가 열린 상태에서, 상술한 반송수단(30)이, 처리 대상물(S)을 로드록 장치(3)와 대기 반송실(24)의 사이에서 반송하는 구성으로 한다.
이 때, 본 실시형태에서는, 도 1, 도 2에 나타내듯이, 처리 대상물(S)은, 횡배치(수평배치)가 아닌, 종배치(수직배치)의 상태에서 반송되는 구성이 된다. 즉, 진공처리장치(1)는, 처리 대상물(S)을 지지대(13)에 설치한 상태에서, 장치의 설치 바닥에 대해 수직으로 세워 반송 및 처리하는 장치이다.
또, 반송수단(30)으로서는, 예를 들어 반송롤러가 사용되고, 지지대(13)에 지지된 처리 대상물(S)이 반송수단(30)에 의해, 도 1에 나타내는 화살표 X 방향으로 반송되는 구성이 된다. 그리고, 반송수단(30)은, 처리 대상물(S)을 반송할 수 있는 것이라면 특별히 한정되지 않으며, 반송롤러 대신에 반송벨트 등을 사용하는 구성이라도 된다.
다음에, 본 실시형태의 진공처리장치(1)에 의한 처리 대상물의 처리 흐름을 설명한다. 먼저, 진공처리실(2)에서, 예를 들어, 액정표시장치용 유리기판 등의 처리 대상물(S)에 대해, 진공 분위기 하에서 소정의 처리(예를 들어, 스퍼터링, 에칭 및 플라즈마 CVD 등)가 행해진다(단계 S1).
이어서, 로드록 장치(3)의 로드록실(4) 내부를 진공으로 한 상태에서, 게이트 밸브(21)를 열고, 지지대(13)에 지지된 진공처리 후의 처리 대상물(S)이, 반송수단(30)에 의해, 진공처리실(2)로부터 로드록 장치(3)로 반송되어, 처리 대상물(S)이 로드록실(4)의 내부로 반입되고, 처리 대상물(S)이 로드록실(4) 내부에서, 도 1에 나타내는 위치에 고정된다(단계 S2). 한편, 처리 대상물(S)이 로드록실(4)의 내부로 반입되면, 게이트 밸브(21)가 닫힌다.
계속해서, 로드록실(4)의 벤트를 행한다(단계 S3). 즉, 진공처리 후의 처리 대상물(S)이 반입된 로드록실(4)은 진공상태이므로, 처리 대상물(S)을 대기 반송실(24)로 반송하기 위해, 벤트가스를 사용하여 로드록실(4)을 대기압 상태까지 벤트한다.
로드록실(4)의 벤트는, 먼저, 슬로우 벤트 밸브(10)를 열어 로드록실(4)로 벤트가스의 유입량을 조절하면서, 슬로우 벤트를 소정시간(예를 들어, 3∼5초간) 행한다. 이어서, 벤트 밸브(8)를 열어 로드록실(4)의 본 벤트를 행한다. 한편, 로드록실(4)의 벤트를 행할 시에는, 배기밸브(5)가 닫힌 상태가 된다.
여기서, 본 실시형태에서는, 도 1에 나타내듯이, 로드록실(4)의 슬로우 벤트를 행하기 위한 슬로우 벤트 수단(15)이, 지지대(13)(즉, 처리 대상물(S))에 대해 좌우대칭으로 배치되는 점에 특징이 있다.
그리하여, 이와 같은 구성에 의해, 로드록실(4)의 슬로우 벤트를 행할 시에, 로드록실(4) 내의 전체에 있어서, 벤트가스의 기류를 일정방향(즉, 처리 대상물(S)에 대한 상방으로부터 하방으로의 방향으로, 도 1에 나타내는 화살표 Y의 방향)으로 발생시키는 것이 가능하게 된다.
따라서, 로드록실(4) 내부 전체의 벤트가스 기류의 흐트러짐에 기인하는 이물질의 날아 오름을 억제하는 것이 가능하게 되므로, 로드록실(4) 내의 처리 대상물(S)로의 이물질 부착을 효과적으로 억제하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 처리 대상물(S)의 수율 저하를 억제하는 것이 가능하게 된다.
또, 상술과 같이, 본 실시형태에서는, 지지대(13)에 의해 처리 대상물(S)을 종배치(수직배치) 상태에서 지지하므로, 도 1에 나타내듯이, 처리 대상물(S)의 전체에 대해, 벤트가스의 기류를 닿게 하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 벤트 처리를 행하기 전의 슬로우 벤트 처리의 단계에서, 이미 처리 대상물(S)에 부착되어 있는 이물질을 제거하는 것이 가능하게 되므로, 처리 대상물(S)로의 이물질 부착을 한층 더 효과적으로 억제하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 처리 대상물(S)의 수율 저하를 한층 더 억제하는 것이 가능하게 된다.
이어서, 로드록실(4)의 벤트종료 후, 게이트 밸브(22)가 열리고, 지지대(13)에 지지된 진공처리 후의 처리 대상물(S)이, 반송수단(30)에 의해 로드록실(4)로부터 대기 반송실(24)로 반송되고, 처리 대상물(S)이 대기 반송실(24)의 내부로 반입된다(단계 S4).
계속해서, 지지대(13)에 지지된 다른 처리 대상물(S)이, 반송수단(30)에 의해 대기 반송실(24)로부터 로드록실(4)로 반송되고, 처리 대상물(S)이 로드록실(4)의 내부로 반입된다(단계 S5). 그리고, 처리 대상물(S)이 로드록실(4)의 내부로 반입되면, 게이트 밸브(22)가 닫힌다.
이어서, 로드록실(4)의 진공배기를 행한다(단계 S6). 즉, 진공처리 전의 처리 대상물(S)이 반입된 로드록실(4)은 대기압 상태이므로, 처리 대상물(S)을 진공처리실(2)로 반송하기 위해 로드록실(4)을 진공배기한다.
보다 구체적으로는, 먼저, 배기펌프(6)를 구동하고, 이어서 배기펌프(6)가 구동되고 있는 상태에서 배기밸브(5)를 열어, 배기구(14)를 개재하여 로드록실(4)의 진공배기를 행한다.
여기서, 본 실시형태에서는, 도 4에 나타내듯이, 배기구(14)가 메쉬 형상을 갖는 점에 특징이 있다.
종래의 로드록 장치에서는, 로드록실의 내부에서 발생한 이물질이 배기펌프로 침입하는 것을 방지하기 위해, 진공배기구의 상부에 이물질 혼입 방지용 커버를 설치하고 있었다. 그러나, 이 커버를 설치하면, 로드록실의 진공배기를 행할 시에, 배기류(排氣流)의 흐트러짐이 발생하여, 로드록실의 내부에서, 배기류 흐트러짐에 기인하는 이물질의 날아 오름이 발생하고 있었다.
한편, 본 실시형태에서는, 이물질 혼입 방지용 커버를 설치하는 대신에, 배기구(14)의 형상을 메쉬 형상으로 하므로, 로드록실(4)로부터 배기 펌프(6)로의 이물질 침입을 방지할 수 있음과 동시에, 로드록실(4)의 진공배기를 행할 시에, 로드록실(4) 내부의 배기류 흐트러짐에 기인하는 이물질의 날아 오름을 억제하는 것이 가능하게 된다.
따라서, 로드록실(4)의 진공배기를 행할 시에, 로드록실(4) 내의 처리 대상물(S)로의 이물질의 부착을 효과적으로 억제하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 처리 대상물(S)의 수율 저하를 억제하는 것이 가능하게 된다.
이어서, 로드록실(4)의 진공배기가 종료된 후, 게이트 밸브(21)가 열리고, 지지대(13)에 지지된 진공처리 전의 처리 대상물(S)이, 반송수단(30)에 의해 로드록실(4)로부터 진공처리실(2)로 반송되고, 처리 대상물(S)이 진공처리실(2) 내부로 반입된다(단계 S7). 그리고, 처리 대상물(S)이 진공처리실(2) 내부로 반입되면 게이트 밸브(21)가 닫힌다
그리하여, 상술의 단계 S1∼S7의 처리가 반복되어 행해지고, 복수의 처리 대상물(S)의 진공처리가 행해지는 구성이 된다.
여기서, 상기 실시형태는 이하와 같이 변경하여도 된다.
상술한 실시형태에서는, 처리 대상물(S)을 종배치(수직배치)의 상태에서 반송하는 구성으로 하였으나, 도 5에 나타내듯이, 처리 대상물(S)을 횡배치(수평배치)의 상태로 하여 반송하는 구성으로 하여도 된다. 이 경우도, 상술한 실시형태와 마찬가지 효과를 얻을 수 있다.
(산업상 이용가능성)
본 발명의 활용예로는, 로드록 장치를 구비하는 진공처리장치를 들 수 있다.
1 : 진공처리장치 2 : 진공처리실
3 : 로드록 장치 4 : 로드록실
5 : 배기밸브 6 : 배기펌프
7 : 벤트가스 공급관 8 : 벤트밸브
9 : 슬로우 벤트관 10 : 슬로우 벤트밸브
13 : 지지대 14 : 배기구
15 : 슬로우 벤트수단 18 : 지지편
20 : 배기수단 21, 22 : 게이트 밸브
24 : 대기 반송실 30 : 반송수단
34 : 배기관

Claims (5)

  1. 내부가 진공배기 가능하게 구성되고, 처리 대상물이 수납되는 로드록실과,
    상기 로드록실 내부에 수납되어, 상기 처리 대상물을 지지하는 지지대와,
    상기 로드록실에 설치되어, 진공상태인 상기 로드록실의 내부에 벤트가스를 공급하여, 대기압 상태로 전환하는 슬로우 벤트 수단과,
    상기 로드록실에 접속되고, 상기 로드록실 내부에 상기 벤트가스를 공급하는 한 쌍의 벤트가스 공급관을 구비하는 로드록 장치에 있어서,
    상기 지지대는, 상기 처리 대상물을 종배치 상태로 지지하고,
    상기 슬로우 벤트 수단은, 상기 로드록실에 접속되고, 상기 로드록실 내부에 상기 벤트가스를 공급하는 슬로우 벤트관을 가지며,
    상기 슬로우 벤트관과 상기 벤트가스 공급관이 접속되고, 접속된 한 쌍의 상기 슬로우 벤트관과 상기 벤트가스 공급관이, 상기 지지대를 따른 방향에 대해 좌우대칭으로 배치되고,
    상기 슬로우 벤트관은, 상기 한 쌍의 벤트가스 공급관 사이에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 로드록 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 슬로우 벤트 수단은, 상기 슬로우 벤트관에 설치되어, 슬로우 벤트관으로부터 상기 로드록실로의 벤트가스 유입량을 조절하는 슬로우 벤트 밸브를 가지는 것을 특징으로 하는 로드록 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 로드록실에 형성되어, 로드록실 내부의 가스를 로드록실 외부로 배기하기 위한 배기구와,
    상기 배기구에 접속된 배기펌프를 더 구비하고,
    상기 배기구가 메쉬 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 로드록 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 로드록 장치와,
    상기 로드록실로부터 반입되어 오는 상기 처리 대상물에 대해, 진공 분위기 하에서 소정의 처리를 행하는 진공처리실을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
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