KR20130078797A - 기판 처리장치 및 기판 처리방법 - Google Patents

기판 처리장치 및 기판 처리방법 Download PDF

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Abstract

기판을 지지하는 압력이 챔버 내부의 압력 이상으로 유지되도록 한 기판 처리장치 및 기판 처리방법이 개시된다. 본 발명에 따른 기판 처리장치는 챔버와, 상기 챔버의 내부에 배치되는 기판지지대와, 상기 기판지지대에 지지된 상기 기판이 상기 기판지지대로부터 분리하기 위해 팽창되는 팽창막을 작동하는데 사용되는 분리라인 및 상기 챔버 내부의 배기에 사용되는 배기라인에 연결되는 제 1펌프와, 상기 제 1펌프에 의해 상기 챔버 내부의 압력이 일정 압력에 도달하면, 상기 챔버 내부를 더 낮은 압력으로 배기하고, 상기 작동라인을 상기 챔버 내부의 압력과 동일한 압력으로 유지하기 위한 제 2펌프를 포함한다.

Description

기판 처리장치 및 기판 처리방법{Apparatus for processing substrate and method of processing substrate}
본 발명은 기판 처리장치 및 기판 처리방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 두 기판을 서로 대향되게 지지하고, 두 기판이 합착되도록 하는 기판 처리장치 및 기판 처리방법에 관한 것이다.
기판처리장치에 있어서 기판을 파지하거나 지지하기 위하여 기판척(substrate chuck)이 사용된다. 척(chuck)에는 여러 종류가 있는데, 가장 대표적인 것이 정전척이다. 정전척은 정전력을 이용하여 기판을 점착하는데, 이때의 정전력을 발생시키기 위하여 전원을 공급하여야 한다. 이러한 정전척은 전원이 필요하고, 또한 제조와 제어가 매우 어렵고, 제조비용이 매우 고가이다.
따라서 이를 대체할 수 있는 척장치로 기판척이 최근 개발되었다. 기판척에 대한 종래기술로는 "대한민국 등록특허 제0869088호;점착 척 장치"가 있다. 상기 등록특허는 점착부재를 이용하여 기판을 점착함과 동시에 통기홀을 통한 배기에 의해 기판이 흡착되도록 하며, 다른 통기홀을 통해 흡기가 수행됨에 따라 변형되는 변형막에 의해 기판이 분리되도록 구성된다.
한편, 상기 등록특허와 같은 점착 척 장치를 이용한 기판의 처리는 공정의 청정도 및 처리 효율을 확보하기 위하여 챔버의 내부에서 이루어지는데, 기판의 처리공정은 챔버의 고진공 분위기에서 이루어지는 것이 일반적이다. 따라서, 기판 처리장치는 기판의 흡착 및 분리를 위한 제 2배기라인과 펌프, 챔버 내부의 진공을 위한 제 2배기라인과 펌프가 설치된다. 이때, 기판의 흡착 및 분리에 사용되는 펌프는 저진공 펌프가 사용되며, 챔버의 배기에 사용되는 펌프는 고진공 펌프가 사용된다.
따라서 기판이 흡착된 상태에서 챔버의 배기를 수행하게 되면, 챔버 내부의 압력과 기판을 지지하는 압력 사이에서 압력차가 발생되어, 기판이 낙하되고 기판이 파손되는 문제점이 발생될 수 있다.
대한민국 등록특허 제0869088호
본 발명의 목적은 기판을 지지하는 압력이 챔버 내부의 압력 이상으로 유지되도록 한 기판 처리장치 및 기판 처리방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 기판 처리장치는 챔버와, 상기 챔버의 내부에 배치되는 기판지지대와, 상기 기판지지대에 지지된 상기 기판이 상기 기판지지대로부터 분리하기 위해 팽창되는 팽창막을 작동하는데 사용되는 분리라인 및 상기 챔버 내부의 배기에 사용되는 배기라인에 연결되는 제 1펌프와, 상기 제 1펌프에 의해 상기 챔버 내부의 압력이 일정 압력에 도달하면, 상기 챔버 내부를 더 낮은 압력으로 배기하고, 상기 작동라인을 상기 챔버 내부의 압력과 동일한 압력으로 유지하기 위한 제 2펌프를 포함한다.
상기 기판 처리장치는 상기 분리라인과 상기 배기라인으로 분기되고 상기 제 1펌프에 연결되는 제 1배기라인과, 상기 제 1배기라인에 설치되어 상기 제 1배기라인과 상기 제 1펌프의 연결을 개폐시키는 제 1개폐밸브와, 상기 챔버와 상기 제 2펌프에 연결되는 제 2배기라인과, 상기 제 2배기라인에 설치되어 상기 제 2배기라인과 상기 제 2펌프의 연결을 개폐시키는 제 2개폐밸브를 포함할 수 있다.
상기 압력조절부는 상기 제 1배기라인과 상기 제 2배기라인을 연결하는 전환라인과, 상기 전환라인에 설치되어 상기 제 1배기라인이 상기 제 2펌프에 연결되거나, 상기 제 2배기라인이 상기 제 1펌프에 연결되도록 상기 전환라인을 개폐시키는 전환밸브를 포함할 수 있다.
상기 기판 처리장치는 상기 기판지지대에 설치되며 흡기 또는 배기에 따라 팽창 또는 수축되는 다이아프램을 더 포함할 수 있다.
상기 다이아프램의 주변에 설치되어 상기 기판을 점착하는 점착부재를 더 포함할 수 있다.
상기 제 1펌프는 드라이 펌프(dry pump)이며, 상기 제 2펌프는 티엠피 펌프(TMP;Turbo Molecular Pump)일 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 기판 처리방법은 챔버의 내부로 기판이 반입되는 기판 반입단계와, 상기 챔버의 내부에 배치되는 기판지지대에 상기 기판이 지지되며, 상기 기판이 상기 기판지지대로부터 분리되기 위해 팽창되는 팽창막을 작동하기 위한 분리라인과 상기 챔버 내부의 배기에 사용되는 배기라인에 연결되는 제 1펌프에 의해 배기가 수행되는 기판 지지단계와, 상기 챔버 내부의 압력이 일정 압력에 도달하면, 상기 챔버 내부가 더 낮은 압력으로 배기되고, 상기 챔버 내부의 압력과 동일한 압력으로 유지되도록 하는 제 2펌프에 의해 배기가 수행되는 압력 조절단계를 포함한다.
상기 챔버 내부의 압력이 상기 기판의 흡착 압력보다 작을 경우, 상기 제 1펌프에 의해 상기 챔버의 배기가 수행될 수 있다.
상기 기판 지지단계는 상기 기판지지대에 설치되는 점착부재에 의해 상기 기판이 점착될 수 있다.
상기 기판은 상기 기판지지대에 설치되는 다이아프램이 팽창되어 상기 기판지지대로부터 분리될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 처리장치 및 기판 처리방법은 기판을 지지하는 압력이 챔버 내부의 압력 이상으로 유지되어 기판 낙하에 따른 기판의 파손을 방지하는 효과가 있다.
도 1은 본 실시예에 따른 기판 처리장치를 간략하게 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 실시예에 따른 기판 처리장치 중 도 1에 표기된 "I"부를 확대하여 나타낸 확대도이다.
도 3은 본 실시예에 따른 기판 처리방법을 나타낸 순서도이다.
도 4 및 도 5는 본 실시예에 따른 기판 처리장치의 기판 지지동작을 나타낸 도면이다.
도 6 및 도 7은 본 실시예에 따른 기판 처리장치의 챔버 배기동작 및 압력 동기화 동작을 나타낸 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 실시예에 따른 기판 처리장치의 기판 합착동작을 나타낸 도면이다.
이하, 본 실시예에 따른 기판 처리장치 및 기판 처리방법에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면에서의 요소의 형상 등은 명확한 설명을 위하여 과장되게 표현된 부분이 있을 수 있으며, 도면 상에서 동일 부호로 표시된 요소는 동일 요소를 의미한다.
도 1은 본 실시예에 따른 기판 처리장치를 간략하게 나타낸 단면도이며, 도 2는 본 실시예에 따른 기판 처리장치 중 도 1에 표기된 "I"부를 확대하여 나타낸 확대도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 처리장치(100)는 두 기판을 합착시키는 데 사용될 수 있다. 따라서 본 실시예에 따른 기판 처리장치(100)는 제 1챔버(111)와, 제 1챔버(111)에 대해 승강 구동되는 제 2챔버(112)를 포함할 수 있다. 이와 같이 제 2챔버(112)가 제 1챔버(111)에 대해 승강되므로, 기판은 제 1챔버(111)와 제 2챔버(112)의 사이로 출입될 수 있다.
제 1챔버(111)의 내측에는 제 1기판지지대(120)가 설치되며, 제 2챔버(112)의 내측에는 제 2기판지지대(130)가 설치될 수 있다. 그리고 제 1챔버(111)에는 제 1챔버(111)의 하부벽과 제 1기판지지대(120)를 관통하여 승강 구동되는 복수의 리프트핀(141)이 설치될 수 있다. 복수의 리프트핀(141)은 제 1기판지지대(120)와 제 2기판지지대(130)의 사이로 출몰하여 제 1챔버(111)와 제 2챔버(112)의 사이로 반입되는 기판을 제 1기판지지대(120) 또는 제 2기판지지대(130)로 전달한다.
제 1기판지지대(120)는 복수의 리프트핀(141)에 의해 전달되는 제 1기판(11)을 지지한다. 제 1기판지지대(120)는 정전기력에 의해 기판을 흡착하는 정전척(Electro Static Chuck)일 수 있고, 또는 그 외의 다른 종류의 척장치일 수 있다.
제 2기판지지대(130)는 복수의 리프트핀(141)에 의해 전달되는 제 2기판(12)을 지지한다. 제 2기판지지대(130)에는 흡기 또는 배기가 가능하도록 하는 복수의 관통홀(131)이 형성될 수 있다. 복수의 관통홀(131) 중 일부는 복수의 리프트핀(141)에 의해 전달되는 제 2기판(12)을 흡착하는 데 사용되는 흡착용 관통홀(이하, '흡착홀'이라 함.)(132)로 사용될 수 있으며, 나머지 관통홀은 제 2기판지지대(130)에 지지되는 제 2기판(12)을 분리하는 분리용 관통홀(이하, '분리홀'이라 함.)(133)로 사용될 수 있다.
제 2기판(12)에 접촉되는 제 2기판지지대(130)의 일면에는 점착부재(134)와 다이아프램(Diaphram)과 같은 팽창막(135)이 설치될 수 있다.
점착부재(134)는 소량의 규소 원자와 결합하는 알케닐게를 함유하는 오르가노폴리실록산(10 내지 75 중량부), 오르가노히드로젠폴리실록산(5 내지 30 중량부) 및 부가 반응 촉매 등을 주성분으로 하는 부가 반응 경화형 실리콘 고무 조성물을 경화시킴으로써 제조될 수 있다. 복수의 리프트핀(141)에 의해 제 2기판지지대(130)으로 전달되는 제 2기판(12)은 제 2기판지지판(130)의 일면에 접촉될 수 있다. 이때, 흡착홀(132)의 배기가 수행됨과 동시에 제 2기판(12)은 점착부재(134)에 점착될 수 있다. 이와 같이 제 2기판(12)은 흡착홀(132)의 배기와 점착부재(134)에 의한 점착이 함께 수행되어 제 2기판지지대(130)에 견고하게 지지될 수 있다.
팽창막(135)은 분리홀(133)을 통해 흡기 또는 배기됨에 따라 팽창 또는 수축된다. 팽창막(135)은 분리홀(133)을 통해 배기가 수행됨에 따라 수축되어 제 2기판지지대(130)에 흡착 및 점착되는 제 2기판(12)에 간섭되는 것이 방지되며, 분리홀(133)을 통해 흡기가 수행됨에 따라 팽창되어 제 2기판지지대(130)에 지지되는 제 2기판(12)이 제 2기판지지대(130)로부터 원활하게 분리되도록 한다.
한편, 본 실시예에 따른 기판 처리장치(100)는 제 2기판(12)이 제 2기판지지대(130)에 흡착되도록 하는 흡착부를 포함한다. 흡착부는 제 1배기라인(150), 제 1개폐밸브(151), 제 1펌프(152)의 조합으로 이루어질 수 있다.
제 1배기라인(150)은 복수의 관통홀(131)과 제 1펌프(152)에 연결된다. 이때, 제 1배기라인(150)은 흡착홀(133)에 연결되어 제 2기판(12)의 흡착 및 챔버(110)의 배기경로를 형성하는 배기라인과, 분리홀(133)에 연결되는 분리라인으로 분기될 수 있다. 제 1펌프(152)로는 저진공 펌프인 드라이 펌프(dry pump)가 사용될 수 있다. 제 1펌프(152)는 제 1배기라인(150)을 통해 복수의 관통홀(131)의 흡기 또는 배기를 수행한다. 제 1개폐밸브(151)는 제 1배기라인(150)에 설치되어 제 1배기라인(150)과 제 1펌프(152)와의 연결을 개폐시킬 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 기판 처리장치(100)는 챔버(110)의 진공 배기를 수행하는 진공배기부를 포함한다. 진공배기부는 제 2배기라인(160), 제 2개폐밸브(161), 제 2펌프(162)의 조합으로 이루어질 수 있다.
제 2배기라인(160)은 챔버(110)와 제 2펌프(162)에 연결될 수 있다. 제 2펌프(162)로는 고진공 펌프인 티엠피 펌프(TMP;Turbo Molecular Pump)가 사용될 수 있다. 제 2펌프(162)는 제 2배기라인(160)을 통해 제 1챔버(111)와 제 2챔버(112)에 의해 폐쇄되는 챔버(10) 내부의 배기를 수행한다. 제 2개폐밸브(161)는 제 2배기라인(160)에 설치되어 제 2배기라인(160)과 제 2펌프(162)의 연결을 개폐시킬 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 기판 처리장치(100)는 제 2기판(12)을 지지하는 압력이 챔버(110) 내부의 압력 이상으로 유지되도록 하는 압력조절부를 포함할 수 있다. 압력조절부는 전환라인(170)과 전환밸브(171)의 조합으로 이루어질 수 있다.
전환라인(170)은 제 1배기라인(150)과 제 2배기라인(160)에 연결되고, 전환밸브(171)는 전환라인(170)에 설치될 수 있다. 전환라인(170)은 제 1배기라인(150)이 제 2펌프(162)에 연결되거나, 제 2배기라인(160)이 제 1펌프(152)에 연결될 수 있도록 한다. 전환밸브(171)는 전환라인(170)의 개별 개폐되도록 한다.
한편, 본 실시예에 따른 기판 처리장치(100)는 제 1기판(11)과 제 2기판(12)의 정렬을 위해 제 1기판(11)과 제 2기판(12)에 형성된 정렬마크를 촬영하는 카메라(142)와 카메라(142)가 정렬마크(13)를 촬영할 수 있도록 광을 조하하는 조명(143)의 조합으로 이루어지는 정렬마크 감지장치(142, 143), 제 1기판지지대(120)와 제 2기판지지대(130) 중 적어도 어느 하나를 3차원으로 구동시켜 두 기판(11, 12)의 정밀 정렬을 수행하는 정밀 정렬장치(145) 등이 설치될 수 있다. 이러한 정렬마크 감지장치(142, 143) 및 정밀 정렬장치(145)은 이미 본 발명의 기술분야에서 널리 알려진 기술이므로, 상세한 설명은 생략하도록 한다.
이하, 본 실시예에 따른 기판 처리방법에 대해 설명하도록 한다.
도 3은 본 실시예에 따른 기판 처리방법을 나타낸 순서도이다.
도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 처리방법은 기판 반입단계(S11)와, 기판 지지단계(S12)와, 챔버 배기단계(S13) 및 압력 동기화단계(S14)를 포함한다.
먼저, 기판 반입단계(S11)에서 제 2기판(12)은 챔버(10)의 내부로 반입된다.
즉, 제 2챔버(112)가 상승되어 챔버(10)가 개방된다. 이와 같이 챔버(10)가 개방되면, 도시되지 않은 기판 이송장치에 의해 제 2기판(12)은 챔버(10)의 내부로 반입된다.
이어, 기판 지지단계(S12)에서 제 2기판(12)이 제 2기판지지대(130)에 지지된다.
도 4 및 도 5는 본 실시예에 따른 기판 처리장치의 기판 지지동작을 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 복수의 리프트핀(141)이 상승되고, 기판 이송장치(미도시)에 지지되는 제 2기판(12)은 복수의 리프트핀(141)에 지지된다. 제 2기판(12)이 복수의 리프트핀(141)에 지지되면, 기판 이송장치(미도시)는 챔버(10)의 외부로 배출된다. 복수의 리프트핀(141)에 지지되는 제 2기판(12)은 복수의 리프트핀(141)과 함께 상승된다. 제 2기판(12)은 제 2기판지지대(130)의 일면에 접촉된다. 제 2기판(12)은 점착부재(134)에 접촉된다.
이와 함께 제 1개폐밸브(151)는 제 1배기라인(150)과 제 1펌프(152)가 연결되도록 개방된다. 제 1펌프(152)는 제 1배기라인(150)을 통해 복수의 관통홀(131)의 배기를 수행한다. 이때, 제 2개폐밸브(161)는 제 2배기라인(160)과 제 2펌프(162)가 연결되지 않도록 폐쇄되고, 전환밸브(171)는 전환라인(170)을 폐쇄시킨다.
이와 같이 제 2기판(12)은 점착부재(134)에 점착됨과 동시에, 복수의 관통홀(131)의 배기에 따라 제 2기판지지대(130)에 흡착되어 제 2기판지지대(130)에 견고하게 지지될 수 있다.
이어, 복수의 리프트핀(141)이 하강되며, 기판 이송장치(미도시)에 의해 제 1기판(11)이 챔버(10)의 내부로 반입될 수 있다.
이어, 복수의 리프트핀(141)이 상승되고, 기판 이송장치(미도시)에 지지되는 제 1기판(11)은 복수의 리프트핀(141)에 지지된다. 제 1기판(11)이 복수의 리프트핀(141)에 지지되면, 기판 이송장치(미도시)는 챔버(10)의 외부로 배출된다. 복수의 리프트핀(141)에 지지되는 제 1기판(11)은 복수의 리프트핀(141)과 함께 하강된다. 제 1기판(11)은 제 1기판지지대(120)에 지지된다.
이어, 챔버 배기단계(S13)에서 챔버(10)의 배기가 수행된다.
도 6 및 도 7은 본 실시예에 따른 기판 처리장치의 챔버 배기동작 및 압력 동기화 동작을 나타낸 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 제 2챔버(112)가 하강되어 챔버(10)가 폐쇄된다. 챔버(10)가 폐쇄되면, 전환밸브(171)는 전환라인(170)을 개방시킨다. 전환라인(170)이 개방됨에 따라 제 2배기라인(160)은 전환라인(170)을 통해 제 1펌프(152)에 연결될 수 있다.
상술한 바와 같이 제 2개폐밸브(161)는 제 2배기라인(160)이 제 2펌프(162)에 연결되지 않도록 폐쇄되고, 제 1펌프(152)는 제 2기판(12)의 흡착을 위해 제 1배기라인(150)의 배기를 수행하고 있다. 따라서 챔버(10)는 제 2배기라인(160), 전환라인(170) 및 제 1배기라인(150)을 통해 제 1펌프(152)에 의해 배기될 수 있다.
이와 같이 챔버(10) 내부가 제 1펌프(152)에 의해 개략적으로 배기되면, 챔버(10) 내부의 고진공을 위해 전환밸브(171)는 전환라인(170)을 폐쇄시키고, 제 2개폐밸브(161)는 제 2배기라인(160)과 제 2펌프(162)가 연결되도록 개방된다. 이에 따라 제 1배기라인(150)과 제 2배기라인(160)은 제 1펌프(152)와 제 2펌프(162)에 의해 각각 개별 배기될 수 있다.
이어, 압력 조절단계(S14)에서 챔버(10) 내부의 압력과 제 2기판(12)을 지지하는 압력이 조절될 수 있다.
즉, 제 1배기라인(150)과 제 2배기라인(160)기 개별 배기됨에 따라, 챔버(10) 내부의 압력이 설정값(예를 들어, 100Pa)에 도달할 수 있다. 이때, 제 1개폐밸브(151)는 제 1배기라인(150)이 제 1펌프(152)에 연결되지 않도록 폐쇄되며, 전환밸브(171)는 전환라인(170)을 개방시킨다. 따라서 제 1배기라인(150)은 전환라인(170) 및 제 2배기라인(160)을 따라 제 2펌프(162)에 연결될 수 있다. 이와 같이 제 1배기라인(150)과 제 2배기라인(160)이 제 2펌프(162)에 연결되고, 제 2펌프(162)에 의해 제 2배기라인(160)과 함께 배기됨에 따라 챔버(10) 내부의 압력과, 제 2기판(S2)을 지지하는 압력은 동기화될 수 있다.
이와 같이, 챔버(10) 내부의 압력과 제 2기판(12)을 지지하는 압력이 동기화됨에 따라 제 2기판(12)은 챔버(10) 내부의 압력과 제 2기판(12)을 지지하는 압력 사이의 차이에 따라 제 2기판지지대(130)로부터 낙하되는 것이 방지될 수 있다.
도 8 및 도 9는 본 실시예에 따른 기판 처리장치의 기판 합착동작을 나타낸 도면이다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 정렬마크 감지장치(142, 143)에 의해 두 기판(11, 12)의 정렬마크(13)가 촬영되고, 정렬장치(145)에 의해 두 기판(11, 12)의 정밀정렬이 수행되어 두 기판(11, 12)이 근접될 수 있다. 두 기판(11, 12)이 근접한 상태에서 전환밸브(171)에 의해 전환라인(170)이 폐쇄되고, 제 1개폐밸브(151)는 제 1배기라인(150)이 제 1펌프(152)에 연결되도록 개방될 수 있다.
따라서 상술한 바와 같이 제 1펌프(152)는 제 2펌프(162)에 비해 저압으로 배기를 수행하므로, 챔버(10) 내부의 압력과 제 2기판(12)을 지지하는 압력의 사이에는 압력차가 발생될 수 있다. 챔버(10) 내부의 압력과 제 2기판(12)을 지지하는 압력의 압력차에 따라 제 2기판(12)은 제 2기판지지대(130)로부터 서서히 이탈될 수 있다.
또한 제 1펌프(152)는 제 1배기라인(150)을 통해 복수의 관통홀(131)로 흡기시키고, 팽창막(135)이 팽창될 수 있다.
이와 같이 제 2기판(12)은 챔버(10) 내부의 압력과 제 2기판(12)을 지지하는 압력의 압력차와, 팽창막(135)의 팽창에 따라 제 2기판지지대(130)로부터 서서이 낙하되어 제 1기판(11)에 합착될 수 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.
100 : 기판 처리장치 110 : 챔버
120 : 제 1기판지지대 130 : 제 2기판지지대
131 : 관통홀 134 : 점착부재
135 : 다이아프램 150 : 제 1배기라인
151 : 제 1개폐밸브 152 : 제 1펌프
160 : 제 2배기라인 161 : 제 2개폐밸브
162 : 제 2펌프 170 : 전환라인
171 : 전환밸브

Claims (10)

  1. 챔버와,
    상기 챔버의 내부에 배치되는 기판지지대와,
    상기 기판지지대에 지지된 상기 기판이 상기 기판지지대로부터 분리하기 위해 팽창되는 팽창막을 작동하는데 사용되는 분리라인 및 상기 챔버 내부의 배기에 사용되는 배기라인에 연결되는 제 1펌프와,
    상기 제 1펌프에 의해 상기 챔버 내부의 압력이 일정 압력에 도달하면, 상기 챔버 내부를 더 낮은 압력으로 배기하고, 상기 작동라인을 상기 챔버 내부의 압력과 동일한 압력으로 유지하기 위한 제 2펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 분리라인과 상기 배기라인으로 분기되고 상기 제 1펌프에 연결되는 제 1배기라인과,
    상기 제 1배기라인에 설치되어 상기 제 1배기라인과 상기 제 1펌프의 연결을 개폐시키는 제 1개폐밸브와,
    상기 챔버와 상기 제 2펌프에 연결되는 제 2배기라인과,
    상기 제 2배기라인에 설치되어 상기 제 2배기라인과 상기 제 2펌프의 연결을 개폐시키는 제 2개폐밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 압력조절부는
    상기 제 1배기라인과 상기 제 2배기라인을 연결하는 전환라인과,
    상기 전환라인에 설치되어 상기 제 1배기라인이 상기 제 2펌프에 연결되거나, 상기 제 2배기라인이 상기 제 1펌프에 연결되도록 상기 전환라인을 개폐시키는 전환밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 기판지지대에 설치되며 흡기 또는 배기에 따라 팽창 또는 수축되는 팽창막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 다이아프램의 주변에 설치되어 상기 기판을 점착하는 점착부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  6. 제 2항에 있어서, 상기 제 1펌프는 드라이 펌프(dry pump)이며, 상기 제 2펌프는 티엠피 펌프(TMP;Turbo Molecular Pump)인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  7. 챔버의 내부로 기판이 반입되는 기판 반입단계와,
    상기 챔버의 내부에 배치되는 기판지지대에 상기 기판이 지지되며, 상기 기판이 상기 기판지지대로부터 분리되기 위해 팽창되는 팽창막을 작동하기 위한 분리라인과 상기 챔버 내부의 배기에 사용되는 배기라인에 연결되는 제 1펌프에 의해 배기가 수행되는 기판 지지단계와,
    상기 챔버 내부의 압력이 일정 압력에 도달하면, 상기 챔버 내부가 더 낮은 압력으로 배기되고, 상기 챔버 내부의 압력과 동일한 압력으로 유지되도록 하는 제 2펌프에 의해 배기가 수행되는 압력 조절단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 챔버 내부의 압력이 상기 기판의 흡착 압력보다 작을 경우, 상기 제 1펌프에 의해 상기 챔버의 배기가 수행되는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 기판 지지단계는 상기 기판지지대에 설치되는 점착부재에 의해 상기 기판이 점착되는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
  10. 제 7항에 있어서,
    상기 기판은 상기 팽창막이 팽창되어 상기 기판지지대로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
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